DE60105249T2

DE60105249T2 - vacuum pump

Info

Publication number: DE60105249T2
Application number: DE2001605249
Authority: DE
Inventors: Shinya Kariya-shi Yamamoto; Yuji Kariya-shi Hashimoto; Masahiro Kariya-shi Kawaguchi; Hitoshi Kariya-shi Shoji
Original assignee: Toyota Industries Corp
Current assignee: Toyota Industries Corp
Priority date: 2000-10-23
Filing date: 2001-10-23
Publication date: 2005-09-01
Anticipated expiration: 2021-10-24
Also published as: JP2002130170A; DE60105249D1; EP1201927A2; EP1201927A3; EP1201927B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND THE INVENTION

1. Gebiet der Erfindung1st area the invention

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Strömungspfadstruktur für eine Vakuumpumpe, bei der ein Gasförderkörper in einer Pumpenkammer basierend auf einer Rotation einer Rotationswelle derart aktiviert wird, dass Gas durch den Betrieb des Gaskörpers veranlasst wird, zu strömen, um hierdurch einen Saugbetrieb bereitzustellen.The The present invention relates to a flow path structure for a vacuum pump the gas conveyor body in a pump chamber based on a rotation of a rotary shaft such is activated, that causes gas by the operation of the gas body will, to flow, to thereby provide a suction operation.

2. Beschreibung des Standes der Technik2. Description of the state of the technique

Vibrationen des Hauptkörpers einer Vakuumpumpe werden durch eine Saugleitung zum Saugen von Gas in den Hauptkörper der Vakuumpumpe und eine Ausstoßleitung zum Ausstoßen des Gases von dem Hauptkörper der Vakuumpumpe übertragen. Die Vibrationen werden dann auf eine Hilfsausrüstung übertragen, mit welcher die Saugleitung oder Ausstoßleitung verbunden ist, und die Hilfsausrüstung wird vibriert, wodurch der Geräuschpegel erhöht wird. Damit die Vibrationen des Hauptkörpers der Vakuumpumpe nicht direkt auf die Hilfsausrüstung über die Saugleitung oder die Ausstoßleitung übertragen werden, wird als Maßnahme gegen das Problem in Betracht gezogen, dass ein Balg an der Saugleitung oder der Ausstoßleitung eingelegt wird. Der derart an der Saugleitung oder der Ausstoßleitung eingelegte Balg absorbiert die übertragenen Vibrationen. Dies unterdrückt die Vibration der Hilfsausrüstung, was wiederum den Geräuschpegel senkt. Eine derartige Anordnung ist aus JP-A-56,038598 bekannt. Ferner ist die Verwendung von Balgen in Leitungen, die mit Vakuumpumpen verknüpft sind, aus JP-A-04,031675 bekannt.vibrations of the main body a vacuum pump are passed through a suction line for sucking gas in the main body the vacuum pump and an ejection line for ejection of the gas from the main body transferred to the vacuum pump. The vibrations are then transferred to an auxiliary equipment with which the Suction line or discharge line connected and the auxiliary equipment becomes vibrates, reducing the noise level is increased. So that the vibrations of the main body the vacuum pump is not directly on the auxiliary equipment via the suction line or the Discharge line are transmitted, is considered a measure Considered against the problem that a bellows on the suction line or the discharge line is inserted. The so on the suction line or the discharge line Inlaid bellows absorbs the transferred Vibrations. This suppressed the vibration of the auxiliary equipment, which in turn reduces the noise level lowers. Such an arrangement is known from JP-A-56.038598. Furthermore, the use of bellows in pipes, with vacuum pumps connected are known from JP-A-04.031675.

Der Druck innerhalb der Saugleitung variiert vom atmosphärischen Druck zu einem negativen Druck, der nahe Null ist. An der Ausstoßleitung ist, um eine Ausstoßpulsation zu unterdrücken, ein Rückschlagventil and der vorgesehen. In diesem Falle variiert der Druck innerhalb der Ausstoßleitung von dem Hauptkörper der Vakuumpumpe zu dem Rückschlagventil von einem positiven Druck, der höher ist als der atmosphärische Druck, zu einem negativen Druck, der nahe Null ist. Zusätzlich variiert der Druck innerhalb der Ausstoßleitung stromabwärts des Rückschlagventils von einem positiven Druck, der höher ist als der atmosphärische Druck, zum atmosphärischen Druck. Eine Atmosphäre ist in einer Pumpenkammer der Vakuumpumpe vorhanden, bevor die Pumpe beginnt zu arbeiten, und der positive Druck, der höher ist als der atmosphärische Druck, wird erzeugt, wenn die Atmosphäre komprimiert wird, unmittelbar nachdem die Vakuumpumpe beginnt zu arbeiten. In einem Falle, in welchem ein Balg als Teil der Saugleitung oder der Ausstoßleitung, deren Druck wie oben beschrieben variiert, verwendet wird, wird der Balg elastisch verformt, um sich auszudehnen oder zusammenzuziehen, und zwar durch die Veränderung des Innendrucks des Balgs. Eine Last durch die elastische Verformung erstreckt sich zu der Hilfsausrüstung, und dies kann die Gefahr mit sich bringen, dass die Hilfsausrüstung beschädigt wird.Of the Pressure within the suction line varies from atmospheric Pressure to a negative pressure that is near zero. At the exhaust pipe is an ejection pulsation to suppress, a check valve and the intended. In this case, the pressure varies within the discharge line from the main body the vacuum pump to the check valve from a positive pressure, higher is as the atmospheric Pressure, to a negative pressure that is near zero. Additionally varies the pressure within the discharge line downstream the check valve from a positive pressure, higher is as the atmospheric Pressure, to the atmospheric Print. An atmosphere is present in a pump chamber of the vacuum pump before the pump starts to work, and the positive pressure that is higher as the atmospheric Pressure, when the atmosphere is compressed, is generated immediately after the vacuum pump starts to work. In a case, in which a bellows as part of the suction line or the discharge line, whose pressure varies as described above, is used Bellows elastically deformed to expand or contract, through the change the internal pressure of the bellows. A load due to the elastic deformation extends to the auxiliary equipment, and this may involve the risk of damaging the auxiliary equipment.

DARSTELLUNG DER ERFINDUNGPRESENTATION THE INVENTION

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Strömungspfadstruktur bereitzustellen, bei der eine Last, die erzeugt wird, wenn ein einen Teil des Gasströmungspfades einer Vakuumpumpe bildender Balg elastisch durch eine Veränderung des Drucks in dem Balg verformt wird, sich nicht zu einer Hilfsausrüstung erstreckt, mit welcher die Vakuumpumpe über den Balg verbunden ist.It It is an object of the present invention to provide a flow path structure to provide a load that is generated when a part the gas flow path a vacuum pump forming bellows elastic by a change the pressure in the bellows is deformed, does not extend to auxiliary equipment, with which the vacuum pump over the bellows is connected.

Im Hinblick auf das Lösen der Aufgabe wird gemäß einer Zielrichtung der vorliegenden Erfindung eine Strömungspfadstruktur für eine Vakuumpumpe bereitgestellt, in der ein Gasfördermechanismus in einer Pumpenkammer basierend auf einer Rotation einer Rotationswelle derart aktiviert wird, dass Gas durch einen Betrieb des Gasförderkörpers gefördert wird, um hierdurch einen Saugbetrieb bereitzustellen, wobei die Strömungspfadstruktur aufweist:
einen Leitungsmechanismus, der einen Gasströmungspfad für das Gas bildet und mit einem Gehäuse eines Hauptkörpers der Vakuumpumpe derart verbunden ist, um mit der Pumpenkammer zu kommunizieren,
einen Balg, der zumindest einen Teil des Leitungsmechanismus bildet; und eine Abdeckung, die den Hauptkörper der Vakuumpumpe darin enthält und dazu ausgelegt ist, den Leitungsmechanismus zu fixieren,
wobei der Balg in die Abdeckung eingeschlossen ist.With a view to achieving the object, according to one aspect of the present invention, there is provided a flow path structure for a vacuum pump in which a gas delivery mechanism in a pump chamber is activated based on rotation of a rotary shaft such that gas is delivered by operation of the gas delivery body to thereby to provide a suction operation, the flow path structure comprising:
a piping mechanism that forms a gas flow path for the gas and is connected to a housing of a main body of the vacuum pump so as to communicate with the pump chamber,
a bellows forming at least part of the conduit mechanism; and a cover including the main body of the vacuum pump therein and configured to fix the lead mechanism,
the bellows being enclosed in the cover.

Eine in Verbindung mit der elastischen Verformung des Balgs in der Abdeckung erzeugte Last wird durch die Abdeckung aufgenommen und absorbiert. Dementsprechend erstreckt sich die in Verbindung mit der elastischen Verformung erzeugte Last nicht zu der Hilfsausrüstung der Vakuumpumpe.A in conjunction with the elastic deformation of the bellows in the cover generated load is absorbed by the cover and absorbed. Accordingly, it extends in conjunction with the elastic Deformation generated load not to the auxiliary equipment of the vacuum pump.

Gemäß einer Ausführungsform ist der Balg derart vorgesehen, um in Bezug auf die Drehwelle geneigt zu sein.According to one embodiment the bellows is provided so as to be inclined with respect to the rotary shaft to be.

Die Konstruktion, bei der der Balg derart vorgesehen ist, um in Bezug auf die Drehwelle geneigt zu sein, ist dahingehend vorteilhaft, dass sie die Gesamtlänge des Balgs solange wie möglich macht.The Construction in which the bellows is provided so as to be in relation to being inclined to the rotating shaft is advantageous in that that they are the total length the bellows as long as possible power.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Leitungsmechanismus geradlinig entlang einer äußeren Wandfläche des Gehäuses des Hauptkörpers der Vakuumpumpe vorgesehen.According to another embodiment, the conduit mechanism is rectilinear along an outer wall surface of the housing of the main body provided the pers of the vacuum pump.

Der geradlinige Leitungsmechanismus ist dahingehend vorteilhaft, dass er die Vorrichtung kompakt macht.Of the rectilinear conduction mechanism is advantageous in that he makes the device compact.

Gemäß noch einer weiteren Ausführungsform ist der Leitungsmechanismus im wesentlichen parallel zu der Drehwelle ausgeführt.According to one more another embodiment the conduction mechanism is substantially parallel to the rotation shaft executed.

Vibrationen der Vakuumpumpe werden hauptsächlich in einer Richtung senkrecht zu der Drehwelle erzeugt. Der Balg des Leitungsmechanismus, der im wesentlichen parallel zu der Drehwelle ist, dehnt sich in Axialrichtungen der Drehwelle aus und/oder kontrahiert sich in diesen, und dementsprechend ist das Vorsehen des Balgs am wirksamsten, um Vibrationen der Vakuumpumpe zu absorbieren.vibrations the vacuum pump are mainly generated in a direction perpendicular to the rotary shaft. The bellows of the Conduction mechanism which is substantially parallel to the rotation shaft, Expands in axial directions of the rotating shaft and / or contracted in this, and accordingly, the provision of the bellows is on most effective to absorb vibrations of the vacuum pump.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist in der Abdeckung ein Durchgangsloch gebildet, der Leitungsmechanismus verläuft durch das Durchgangsloch und eine Dichteinrichtung ist vorgesehen um mit dem Leitungsmechanismus und der Abdeckung verbunden zu sein, um zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Abdeckung abzudichten.According to one another embodiment is formed in the cover, a through hole, the line mechanism extends through the through hole and a sealing device is provided around being connected to the conduit mechanism and the cover, between the inside and the outside of the Seal cover.

Das Durchgangsloch bildet nicht einen Abschnitt, der eine Kommunikation zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Abdeckung vorsieht, wodurch die Dichteigenschaften innerhalb der Abdeckung sichergestellt werden können.The Through hole does not form a section that communicates between the inside and the outside of the Cover provides, whereby the sealing properties within the Cover can be ensured.

Die vorliegende Erfindung kann vollständiger anhand der Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung, die nachfolgend gegeben wird, zusammen mit den begleitenden Zeichnungen verständlich werden.The The present invention can be more fully understood from the description preferred embodiments of the invention given below together with the accompanying ones Drawings understandable become.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

1 ist eine Seitenansicht einer mehrstufigen Rootspumpe (Rootsverdichter), die in einer Abdeckung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung platziert ist, 1 Fig. 10 is a side view of a multi-stage Roots compressor placed in a cover according to a first embodiment of the present invention;

2 ist eine Draufsicht der mehrstufigen Rootspumpe in der in 1 gezeigten Abdeckung, 2 is a plan view of the multi-stage Roots pump in the 1 shown cover,

3A ist eine seitliche Schnittansicht eines Hauptabschnitts eines Ausstoßleitungsmechanismus, und 3B ist eine seitliche Querschnittsansicht eines Hauptabschnitts eines Saugleitungsmechanismus, 3A FIG. 15 is a side sectional view of a main portion of an exhaust duct mechanism, and FIG 3B FIG. 12 is a side cross-sectional view of a main portion of a suction pipe mechanism; FIG.

4 ist eine längsgerichtete, horizontale Schnittansicht der mehrstufigen Rootspumpe, 4 is a longitudinal, horizontal sectional view of the multi-stage Roots pump,

5A ist eine entlang der Linie A-A in 4 geführte Schnittansicht, und 5A is one along the line AA in 4 guided sectional view, and

5B ist eine entlang der Linie B-B in 4 geführte Schnittansicht, 5B is one along the BB line in 4 guided sectional view,

6A ist eine entlang der Linie C-C in 4 geführte Schnittansicht, und 6A is one along the line CC in 4 guided sectional view, and

6B ist eine entlang der Linie D-D in 4 geführte Schnittansicht, 6B is one along the line DD in 4 guided sectional view,

7A, 7B, zeigen eine zweite Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei 7A eine seitliche Schnittansicht ist, die einen Hauptabschnitt eines Ausstoßleitungsmechanismus zeigt, und 7B eine seitliche Schnittansicht ist, die einen Hauptabschnitt eines Saugleitungsmechanismus zeigt, und 7A . 7B show a second embodiment according to the present invention, wherein 7A is a side sectional view showing a main portion of a discharge line mechanism, and 7B is a side sectional view showing a main portion of a Saugleitungsmechanismus, and

8A, 8B zeigen eine dritte Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei 8A eine seitliche Schnittansicht ist, die einen Hauptabschnitt eines Ausstoßleitungsmechanismus zeigt, und 8B eine seitliche Schnittansicht ist, die einen Hauptabschnitt eines Saugleitungsmechanismus zeigt. 8A . 8B show a third embodiment according to the present invention, wherein 8A is a side sectional view showing a main portion of a discharge line mechanism, and 8B Fig. 10 is a side sectional view showing a main portion of a suction pipe mechanism.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMENDESCRIPTION THE PREFERRED EMBODIMENTS

Eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei welcher die Erfindung in einer Rootspumpe (einem Rootsverdichter) umgesetzt ist, wird nachfolgend unter Bezugnahme auf 1 bis 6B beschrieben.A first embodiment of the present invention in which the invention is implemented in a Roots pump (a Roots compressor) will be described below with reference to FIG 1 to 6B described.

Wie in 4 gezeigt, ist ein vorderes Gehäuse 13 mit einem vorderen Ende eines Rotorgehäuses 12 einer mehrstufigen Rootspumpe 11 verbunden, und ein Dichtkörper 36 ist mit dem vorderen Gehäuse 13 verbunden. Ein hinteres Gehäuse 14 ist mit einem hinteren Ende des Rotorgehäuses 12 verbunden. Das Rotorgehäuse 12 umfasst einen Zylinderblock 15 und eine Mehrzahl von Teilungen 16. Wie in 5B gezeigt, umfasst der Zylinderblock 15 ein Paar von Blockstücken 17, 18, und die Teilung 16 umfasst ein Paar von Wandstücken 161, 162. Wie in 4 gezeigt, bilden ein Raum zwischen dem vorderen Gehäuse 13 und der Teilung 16, Räume zwischen den benachbarten Teilungen 16 und ein Raum zwischen dem hinteren Gehäuse 14 und den Teilungen 16, Pumpenkammern 66, 67, 68, 69 bzw. 70.As in 4 shown is a front housing 13 with a front end of a rotor housing 12 a multi-stage Roots pump 11 connected, and a sealing body 36 is with the front housing 13 connected. A rear case 14 is with a rear end of the rotor housing 12 connected. The rotor housing 12 includes a cylinder block 15 and a plurality of divisions 16 , As in 5B shown, includes the cylinder block 15 a pair of block pieces 17 . 18 , and the division 16 includes a pair of wall pieces 161 . 162 , As in 4 Shown form a space between the front housing 13 and the division 16 , Spaces between the adjacent divisions 16 and a space between the rear housing 14 and the divisions 16 , Pump chambers 66 . 67 . 68 . 69 respectively. 70 ,

Eine Drehwelle 19 ist rotierbar an dem vorderen Gehäuse 13 und dem hinteren Gehäuse 14 über Radiallager 21, 37 gelagert. Eine Drehwelle 20 ist rotierbar an dem vorderen Gehäuse 13 und dem hinteren Gehäuse 14 über Radiallager 22, 38 gelagert. Beide Drehwellen 19, 20 sind horizontal parallel zueinander vorgesehen. Die Drehwellen 19, 20 verlaufen durch die Teilungen 16.A rotary shaft 19 is rotatable on the front housing 13 and the rear housing 14 via radial bearings 21 . 37 stored. A rotary shaft 20 is rotatable on the front housing 13 and the rear housing 14 via radial bearings 22 . 38 stored. Both rotary shafts 19 . 20 are provided horizontally parallel to each other. The rotary shafts 19 . 20 run through the divisions 16 ,

Eine Mehrzahl von Rotoren 23, 24, 25, 26, 27 ist integral an der Drehwelle 19 gebildet, und eine Mehrzahl von Rotoren 28, 29, 30, 31, 32 ist integral an der Drehwelle 20 gebildet. Die Rotoren 23 bis 32 sind mit demselben Aufbau und denselben Abmessungen, betrachtet in einer Richtung entlang der Achsen 191, 201 der Drehwellen 19, 20 gebildet. Die Dicke der Rotoren 23, 24, 25, 26, 27 ist in dieser Reihenfolge vermindert, und die Dicke der Rotoren 28, 29, 30, 31, 32 ist in dieser Reihenfolge vermindert. Die Rotoren 23, 28 sind in der Pumpenkammer 66 in einem Zustand aufgenommen, in welchem sie miteinander kämmen, die Rotoren 24, 29 sind in der Pumpenkammer 67 in einem Zustand aufgenommen, in welchem sie miteinander kämmen, die Rotoren 25, 30 sind in der Pumpenkammer 68 in einem Zustand aufgenommen, in welchem sie miteinander kämmen, die Rotoren 26, 31 sind in der Pumpenkammer 69 in einem Zustand aufgenommen, in welchem sie miteinander kämmen, und die Rotoren 27, 32 sind in der Pumpenkammer 70 in einem Zustand aufgenommen, in welchem sie miteinander kämmen.A plurality of rotors 23 . 24 . 25 . 26 . 27 is integral with the rotary shaft 19 formed, and a plurality of rotors 28 . 29 . 30 . 31 . 32 is integral with the rotary shaft 20 educated. The rotors 23 to 32 are of the same construction and dimensions, viewed in a direction along the axes 191 . 201 the rotary shafts 19 . 20 educated. The thickness of the rotors 23 . 24 . 25 . 26 . 27 is reduced in that order, and the thickness of the rotors 28 . 29 . 30 . 31 . 32 is diminished in this order. The rotors 23 . 28 are in the pump chamber 66 taken in a state in which they comb each other, the rotors 24 . 29 are in the pump chamber 67 taken in a state in which they comb each other, the rotors 25 . 30 are in the pump chamber 68 taken in a state in which they comb each other, the rotors 26 . 31 are in the pump chamber 69 taken in a state where they mesh with each other, and the rotors 27 . 32 are in the pump chamber 70 taken in a state in which they comb each other.

Ein Getriebegehäuse 33 ist an dem hinteren Gehäuse 14 angebracht. Die Drehwellen 19, 20 verlaufen durch das hintere Gehäuse 14 und stehen in das Getriebegehäuse 33 hervor, und Zahnräder 34, 35 sind sicher an hervorstehenden Enden der Drehwellen 19 bzw. 20 in einem Zustand befestigt, in welchem sie miteinander kämmen. Ein Elektromotor M ist an dem Getriebegehäuse 33 angebaut. Die Antriebskraft des Elektromotors M wird auf die Drehwelle 19 über ein Axialgelenk 10 übertragen, und die Drehwelle 19 wird in einer durch Pfeile R1 in 5A, 5B und 6A, 6B angegebenen Richtung rotiert. Die Drehwelle 20 erhält die Antriebskraft von dem Elektromotor M über die Zahnräder 34, 35 und rotiert in einer durch Pfeile R2 in 5A, 5B und 6A, 6B angegebenen Richtung, die eine der Drehrichtung der Drehwelle 19 entgegengesetzte Richtung ist.A gearbox 33 is on the rear housing 14 appropriate. The rotary shafts 19 . 20 pass through the rear housing 14 and stand in the gearbox 33 and gears 34 . 35 are safe at protruding ends of the rotary shafts 19 respectively. 20 fastened in a state in which they comb each other. An electric motor M is on the transmission housing 33 grown. The driving force of the electric motor M is applied to the rotary shaft 19 via an axial joint 10 transferred, and the rotary shaft 19 is in a by arrows R1 in 5A . 5B and 6A . 6B rotated direction. The rotary shaft 20 receives the driving force from the electric motor M via the gears 34 . 35 and rotates in a direction indicated by arrows R2 in FIG 5A . 5B and 6A . 6B specified direction, one of the rotational direction of the rotary shaft 19 opposite direction is.

Wie in 4 und 5B gezeigt, ist ein Durchgang 163 in der Teilung 16 gebildet. Wie in 5B gezeigt, sind ein Einlass 164 und ein Auslass 165 des Durchgangs 163 in der Teilung 16 gebildet. Die benachbarten Pumpenkammern 66, 67, 68, 69, 70 sind in der Lage, miteinander über die Durchgänge 163 zu kommunizieren.As in 4 and 5B shown is a passage 163 in the division 16 educated. As in 5B shown are an inlet 164 and an outlet 165 of the passage 163 in the division 16 educated. The adjacent pump chambers 66 . 67 . 68 . 69 . 70 are able to communicate with each other through the passages 163 to communicate.

Wie in 5A gezeigt, ist in dem Blockstück 17 eine Einführöffnung 171 derart ausgeformt, um mit der Pumpenkammer 66 zu kommunizieren. Wie in 6B gezeigt, ist eine Ausstoßöffnung 181 in dem Blockstück 18 derart gebildet, um mit der Pumpenkammer 70 zu kommunizieren. In die Pumpenkammer 66 von der Einführöffnung 171 eingeführtes Gas wird in den Durchgang 163 von dem Einlass 164 mittels der Rotation der Rotoren 23, 28 gefördert, und wird dann von dem Auslass 165 in die benachbarte Pumpenkammer 67 über den Durchgang 163 ausgefördert. In ähnlicher Weise wird das Gas somit in der Reihenfolge gefördert, in welcher die Kapazitäten der Pumpenkammern vermindert werden, das heißt in der Reihenfolge der Pumpenkammern 67, 68, 69 und 70. Das Gas, das zu der Pumpenkammer 70 gefördert worden ist, wird dann nach außen von der Ausstoßöffnung 181 ausgestoßen. Die Rotoren 23 bis 32 sind ein Gasfördermechanismus zum Fördern des Gases.As in 5A is shown in the block piece 17 an insertion opening 171 shaped to communicate with the pump chamber 66 to communicate. As in 6B shown is an ejection opening 181 in the block piece 18 so formed to communicate with the pump chamber 70 to communicate. In the pump chamber 66 from the insertion opening 171 introduced gas is in the passage 163 from the inlet 164 by means of the rotation of the rotors 23 . 28 promoted, and then from the outlet 165 in the adjacent pump chamber 67 over the passage 163 discharged. Similarly, the gas is thus conveyed in the order in which the capacities of the pump chambers are reduced, that is, in the order of the pump chambers 67 . 68 . 69 and 70 , The gas going to the pump chamber 70 has been promoted, then outward from the discharge port 181 pushed out. The rotors 23 to 32 are a gas delivery mechanism for delivering the gas.

Das Rotorgehäuse 12, das vordere Gehäuse 13, das hintere Gehäuse 14 und das Getriebegehäuse 33 bilden ein Gehäuse eines Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe. Wie in 1 und 2 gezeigt, ist der Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe in eine Abdeckung 47 eingeschlossen, die sicher an Befestigungsabschnitten einer Stelle befestigt ist, wo die Vorrichtung eingebaut ist.The rotor housing 12 , the front housing 13 , the rear housing 14 and the gearbox 33 form a housing of a main body of the multi-stage Roots pump. As in 1 and 2 shown, the main body of the multi-stage Roots pump is in a cover 47 which is securely fastened to mounting portions of a place where the device is installed.

Wie in 6B gezeigt, ist ein Verbindungsflansch 39 mit der Ausstoßöffnung 181 verbunden. Wie in 3A gezeigt, ist ein Schalldämpfer 40 mit dem Verbindungsflansch 39 verbunden, und ein zylindrisches Führungsrohr 41 ist mit dem Schalldämpfer 40 verbunden. Ein Ausstoßrohr 42 ist mit dem Führungsrohr 41 verbunden. Ein Durchgangsloch 471 ist in einem oberen Abschnitt einer Wand 473 der Abdeckung 47 vor dem vorderen Gehäuse 13 gebildet, und das Ausstoßrohr 42 ist durch das Durchgangsloch 471 hindurch geführt. Das Ausstoßrohr 42 verläuft durch die Abdeckung 47 und ist dann mit einer Abgasbehandlungsvorrichtung verbunden, die nicht gezeigt ist. Ein Balg 421 ist in Reihe zu dem Ausstoßrohr 42 vorgesehen. Der Balg 421 ist von dem Gehäuse, das den Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe 11 bildet, beabstandet. Ein Montierflansch 422 ist um einen äußeren Umfang des Ausstoßrohrs 42 gebildet. Der Montierflansch 422 ist an der Abdeckung 47 durch Halteschrauben 57 befestigt, und der Balg 421 ist in der Abdeckung 47 enthalten.As in 6B shown is a connecting flange 39 with the ejection opening 181 connected. As in 3A shown is a muffler 40 with the connecting flange 39 connected, and a cylindrical guide tube 41 is with the muffler 40 connected. An ejection tube 42 is with the guide tube 41 connected. A through hole 471 is in an upper section of a wall 473 the cover 47 in front of the front housing 13 formed, and the ejection tube 42 is through the through hole 471 passed through. The ejection pipe 42 passes through the cover 47 and is then connected to an exhaust treatment device, not shown. A bellows 421 is in series with the exhaust pipe 42 intended. The bellows 421 is from the housing, which is the main body of the multi-stage Roots pump 11 forms, spaced. A mounting flange 422 is around an outer circumference of the ejection tube 42 educated. The mounting flange 422 is at the cover 47 through retaining screws 57 attached, and the bellows 421 is in the cover 47 contain.

Der Verbindungsflansch 39, der Schalldämpfer 40, das Führungsrohr 41 und das Ausstoßrohr 42 sind geradlinig entlang einer äußeren Wandfläche des Rotorgehäuses 12 derart vorgesehen, um im wesentlichen parallel zu den Drehwellen 19, 20 zu sein. Der Verbindungsflansch 39, der Schalldämpfer 40, das Führungsrohr 41 und das Ausstoßrohr 42, die geradlinig vorgesehen sind, bilden einen Ausstoßleitungsmechanismus 64 zum Fördern von Abgas, das von der mehrstufigen Rootspumpe 11 ausgestoßen wird, zu der Abgasbehandlungsvorrichtung. Der Ausstoßleitungsmechanismus 64 ist mit dem Rotorgehäuse 12, welches das Gehäuse des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11 bildet, derart verbunden, um mit der Pumpenkammer 70 zu kommunizieren.The connecting flange 39 , the silencer 40 , the guide tube 41 and the ejection tube 42 are straight along an outer wall surface of the rotor housing 12 provided so as to be substantially parallel to the rotary shafts 19 . 20 to be. The connecting flange 39 , the silencer 40 , the guide tube 41 and the ejection tube 42 , which are provided in a straight line, form an ejection line mechanism 64 for pumping exhaust gas from the multi-stage Roots pump 11 is discharged to the exhaust treatment device. The discharge line mechanism 64 is with the rotor housing 12 , which is the housing of the main body of the multi-stage Roots pump 11 forms, connected to the pump chamber 70 to communicate.

Ein Ventilkörper 43 und eine Rückstellfeder 44 sind in dem Führungsrohr 41 aufgenommen. Ein verjüngtes Ventilloch 411 ist in dem Führungsrohr 41 gebildet, und der Ventilkörper 43 ist dazu ausgelegt, das Ventilloch 411 zu öffnen/zu schließen. Das Führungsrohr 41, der Ventilkörper 43 und die Rückstellfeder 44 bilden eine Rückstromverhinderungseinrichtung. Abgas, das von der Pumpenkammer 70, welche die geringste Kapazität aller Pumpenkammern besitzt, zu dem Verbindungsflansch 39 über die Ausstoßöffnung 181 ausgestoßen wird, erreicht das Ventilloch 411 über den Schalldämpfer 40. In einem Fall, in welchem eine auf eine schließende Endwand 45 des Ventilkörpers 43 durch den Druck innerhalb des Schalldämpfers 40 aufgebrachte Last eine auf die schließende Endwand 45 durch den Druck innerhalb des Führungsrohrs 41 und die Federkraft der Rückstellfeder 44 aufgebrachte Last überschreitet, öffnet der Ventilkörper 43 das Ventilloch 411. Abgase, die durch das Ventilloch 411 passiert sind, strömen zur Seite des Ausstoßrohrs 42 durch den Umfang einer Umfangswand 46 des Ventilkörpers 43 und ein Kommunikationsloch 461.A valve body 43 and a return spring 44 are in the guide tube 41 added. A tapered valve hole 411 is in the guide tube 41 formed, and the valve body 43 is designed to the valve hole 411 to open / close. The guide tube 41 , the valve body 43 and the return spring 44 form a backflow prevention device. Exhaust gas from the pump chamber 70 , which has the least capacity of all pump chambers, to the connecting flange 39 over the ejection opening 181 is ejected, reaches the valve hole 411 over the muffler 40 , In a case where one on a closing end wall 45 of the valve body 43 by the pressure inside the muffler 40 applied load one on the closing end wall 45 by the pressure inside the guide tube 41 and the spring force of the return spring 44 exceeds applied load, the valve body opens 43 the valve hole 411 , Exhaust gases flowing through the valve hole 411 happened to flow to the side of the ejection tube 42 through the circumference of a peripheral wall 46 of the valve body 43 and a communication hole 461 ,

Wie in 5A gezeigt, ist ein Verbindungsflansch 58 mit einer Einführöffnung 171 verbunden. Wie in 3B gezeigt, ist ein Saugrohr 59 mit dem Verbindungsflansch 58 verbunden. Ein Durchgangsloch 472 ist in einem unteren Abschnitt der Wand 473 der Abdeckung 47 vorgesehen, und das Saugrohr 59 ist durch das Durchgangsloch 472 geführt. Das Saugrohr 59 verläuft durch die Abdeckung 47, um mit einer gewünschten Saugvorrichtung verbunden zu werden, die nicht gezeigt ist. Ein Balg 591 ist in dem Saugrohr 59 in Reihe vorgesehen. Der Balg 591 ist von dem Gehäuse, das den Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe 11 bildet, beabstandet. Ein Montierflansch 592 ist um einen äußeren Umfang des Saugrohrs 59 gebildet. Der Montierflansch 592 ist an der Abdeckung 47 durch Halteschrauben 60 befestigt, der Balg 591 ist in der Abdeckung 47 enthalten.As in 5A shown is a connecting flange 58 with an insertion opening 171 connected. As in 3B shown is a suction tube 59 with the connecting flange 58 connected. A through hole 472 is in a lower section of the wall 473 the cover 47 provided, and the suction pipe 59 is through the through hole 472 guided. The suction tube 59 passes through the cover 47 to be connected to a desired suction device, not shown. A bellows 591 is in the suction pipe 59 provided in series. The bellows 591 is from the housing, which is the main body of the multi-stage Roots pump 11 forms, spaced. A mounting flange 592 is around an outer circumference of the suction tube 59 educated. The mounting flange 592 is at the cover 47 through retaining screws 60 attached, the bellows 591 is in the cover 47 contain.

Der Verbindungsflansch 58 und das Saugrohr 59 sind geradlinig entlang der äußeren Wandfläche des Rotorgehäuses 12 derart vorgesehen, um im wesentlichen parallel zu den Drehwellen 19, 20 zu sein. Der Verbindungsflansch 58 und das Saugrohr 59 bilden einen Saugleitungsmechanismus 65 zum Fördern von Abgasen, die von der angestrebten Saugvorrichtung angesaugt werden, zu der mehrstufigen Rootspumpe 11. Der Saugleitungsmechanismus 65 ist mit dem Rotorgehäuse 12, welches das Gehäuse des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11 bildet, derart verbunden, um mit der Pumpenkammer 66 zu kommunizieren.The connecting flange 58 and the suction tube 59 are straight along the outer wall surface of the rotor housing 12 provided so as to be substantially parallel to the rotary shafts 19 . 20 to be. The connecting flange 58 and the suction tube 59 form a suction line mechanism 65 for feeding exhaust gases sucked from the intended suction device to the multi-stage Roots pump 11 , The suction line mechanism 65 is with the rotor housing 12 , which is the housing of the main body of the multi-stage Roots pump 11 forms, connected to the pump chamber 66 to communicate.

Wie in 1 und 2 gezeigt, ist die mehrstufige Rootspumpe 11 in der Abdeckung aufgenommen. Wie in 1 gezeigt, sind Schenkel 111 an einer unteren Fläche der mehrstufigen Rootspumpe 11 gebildet. Die Schenkel 111 sind mit einer unteren Wand der Abdeckung 47 über Gummikissen 61 jeweils verbunden.As in 1 and 2 shown is the multi-stage Roots pump 11 included in the cover. As in 1 shown are thighs 111 on a lower surface of the multi-stage Roots pump 11 educated. The thigh 111 are with a bottom wall of the cover 47 over rubber pillows 61 each connected.

Wie in 2 gezeigt, sind in der Abdeckung 47 ein Controller 48 und ein Wechselrichter 49 zum Regeln des Elektromotors M eingebaut. Ein Kühler 50 ist an einer unteren Fläche des hinteren Gehäuses 14 platziert. Ein Kühler 51 ist an einer oberen Fläche des Controllers 48 platziert, und ein Kühler 52 ist an einer oberen Fläche des Wechselrichters 49 platziert. Kühlfluid wird zu einem Hauptzufuhrrohr 53 von einer Kühlfluidzufuhrquelle, die nicht gezeigt ist, gefördert. Das zu dem Hauptzufuhrrohr 53 geförderte Kühlfluid verläuft durch den Kühler 51 und den Kühler 52 in dieser Reihenfolge. In einem Fall, in welchem ein elektromagnetisches Dreiwegeventil 55 in einem nicht angeregten Zustand ist, wird das Kühlfluid, das durch den Kühler 52 gelaufen ist, zu der Kühlfluidzufuhrquelle über das Hauptzufuhrrohr 53 zurückgeführt. Im Gegensatz hierzu wird in einem Fall, in welchem das elektromagnetische Dreiwegeventil 55 in einem angeregten Zustand ist, das Kühlfluid, das durch den Kühler 51 gelaufen ist, zur Seite des Kühlers 50 über das Nebenzufuhrrohr 54 geführt. Ein Temperaturdetektor 56, der an einer Fläche des hinteren Gehäuses 14 angebracht ist, erfasst die Temperatur der Oberfläche des hinteren Gehäuses 14. Der Controller 48 regelt derart, um das elektromagnetische Dreiwegeventil 55 basierend auf der Temperaturerfassungsinformation, die von dem Temperaturdetektor 56 erhalten ist, anzuregen und/oder nicht anzuregen. Das heißt, der Controller 48 regelt das Anregen und/oder Nichtanregen des magnetischen Dreiwegeventils 55 derart, dass die Temperatur der Oberfläche des hinteren Gehäuses 14 eine vorbestimmte Temperatur erreicht.As in 2 shown are in the cover 47 a controller 48 and an inverter 49 for controlling the electric motor M installed. A cooler 50 is on a lower surface of the rear housing 14 placed. A cooler 51 is on an upper surface of the controller 48 placed, and a cooler 52 is on an upper surface of the inverter 49 placed. Cooling fluid becomes a main supply pipe 53 from a cooling fluid supply source, not shown. That to the main supply pipe 53 funded cooling fluid passes through the radiator 51 and the radiator 52 in this order. In a case where a three-way electromagnetic valve 55 is in a non-excited state, the cooling fluid passing through the radiator 52 has passed to the cooling fluid supply source via the main supply pipe 53 recycled. In contrast, in a case where the electromagnetic three-way valve 55 in an excited state, the cooling fluid passing through the radiator 51 has run, to the side of the radiator 50 over the sub supply pipe 54 guided. A temperature detector 56 attached to a surface of the rear housing 14 is mounted, detects the temperature of the surface of the rear housing 14 , The controller 48 so regulates the electromagnetic three-way valve 55 based on the temperature detection information provided by the temperature detector 56 is received, stimulated and / or not stimulated. That is, the controller 48 regulates the excitation and / or non-excitation of the magnetic three-way valve 55 such that the temperature of the surface of the rear housing 14 reaches a predetermined temperature.

Durch die erste Ausführungsform werden die folgenden Vorteile erzielt.

(1) Die Vibrationen des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11, die in Verbindung mit der Rotation der Rotoren 23 bis 32 erzeugt werden, werden durch den Saugleitungsmechanismus 65 und den Ausstoßleitungsmechanismus 64 übertragen. Die Vibrationen des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11, die durch den Saugleitungsmechanismus 65 übertragen werden, werden durch den Balg 591 absorbiert. Die Vibrationen des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11, die durch den Ausstoßleitungsmechanismus 64 übertragen werden, werden durch den Balg 421 absorbiert. Der Druck in dem Saugleitungsmechanismus 65 variiert vom atmosphärischen Druck zu einem negativen Druck, der nahe Null ist. Der Druck in dem Ausstoßleitungsmechanismus 64 von dem Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe 11 zu dem Ventilkörper 43 verändert sich von einem positiven Druck, der gleich oder höher als der atmosphärische Druck ist, zu einem negativen Druck, der nahe Null ist. Zusätzlich variiert der Druck in dem Ausstoßleitungsmechanismus 64 stromabwärts des Ventilkörpers 43 von einem positiven Druck, der höher ist als der atmosphärische Druck, bis zum atmosphärischen Druck. Die Atmosphäre ist in den Pumpenkammern 66, 70 vorhanden, bevor die mehrstufige Rootspumpe beginnt, zu arbeiten, und der positive Druck, der höher oder gleich dem atmosphärischen Druck ist, wird erzeugt, wenn die Atmosphäre komprimiert wird, unmittelbar nachdem die mehrstufige Roostpumpe begonnen hat, zu arbeiten. Die Balge 421, 591 werden durch die Druckveränderungen elastisch verformt, um sich auszudehnen oder zusammenzuziehen. Die Balge 421, 591 sind in der Abdeckung 47 enthalten, und die in Verbindung mit den elastischen Verformungen der Balge 421, 591 in der Abdeckung 47 erzeugten Lasten werden durch die Abdeckung aufgenommen und absorbiert. Dementsprechend erstrecken sich die in Verbindung mit den elastischen Verformungen der Balge 421, 591 erzeugten Lasten nicht zu der Hilfsausrüstung.
(2) Der Ausstoßleitungsmechanismus 64 und der Saugleitungsmechanismus 65 sind geradlinig entlang der äußeren Wandfläche des Rotorgehäuses 12, welches das Gehäuses des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe 11 bildet, vorgesehen. Die Konstruktion, in der der Ausstoßleitungsmechanismus 64 und der Saugleitungsmechanismus 65 geradlinig entlang der äußeren Wandfläche des Rotorgehäuses 12 vorgesehen sind, kann sicherstellen, dass ein ausschließlicher Raum für Außenanbringungen an dem Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe 11 gering ist. Dementsprechend kann eine kompakte Abdeckung 47 eingesetzt werden, und dies macht die mehrstufige Rootspumpe selbst, einschließlich der Abdeckung 47, kompakt.
(3) Die Vibrationen der mehrstufigen Rootspumpe 11 werden hauptsächlich in der Richtung senkrecht zu den Drehwellen 19, 20 erzeugt. Der Balg 421 des Ausstoßleitungsmechanismus 64, der im wesentlichen parallel zu den Drehwellen 19, 20 ist, und die Balge 591 des Saugleitungsmechanismus 65, die im wesentlichen parallel zu den Drehwellen 19, 20 sind, stellen sich in der Richtung der Achsen 191, 201 der Drehwellen 19, 20 aus oder ziehen sich in dieser Richtung zusammen. Vibrationen in Richtungen senkrecht zu den Richtungen, in denen die Balge 421, 591 sich ausdehnen und/oder zusammenziehen, sind leichter zu absorbieren als Vibrationen in den Richtungen, in denen sich die Balge 421, 591 ausdehnen und/oder zusammenziehen. Dementsprechend ist die Konstruktion, bei der die Balge 421, 591 im wesentlichen parallel zu den Drehwellen 19, 20 vorgesehen sind, an wirksamsten, um Vibrationen der mehrstufigen Rootspumpe 11 zu absorbieren.

The following advantages are achieved by the first embodiment.

(1) The vibration of the main body of the multi-stage Roots pump 11 , in conjunction with the rotation of the rotors 23 to 32 are generated by the suction line mechanism 65 and the discharge line mechanism 64 transfer. The vibrations of the main body of the multi-stage Roots pump 11 passing through the suction line mechanism 65 be transmitted through the bellows 591 absorbed. The vibrations of the main body of the multi-stage Roots pump 11 passing through the discharge line mechanism 64 be transmitted through the bellows 421 absorbed. The pressure in the suction line mechanism 65 varies from atmospheric pressure to a negative pressure that is close to zero. The pressure in the discharge line mechanism 64 from the main body of the multi-stage Roots pump 11 to the valve body 43 is changing from a positive pressure that is equal to or higher than the atmospheric pressure, to a negative pressure that is close to zero. In addition, the pressure in the exhaust duct mechanism varies 64 downstream of the valve body 43 from a positive pressure higher than the atmospheric pressure to atmospheric pressure. The atmosphere is in the pump chambers 66 . 70 is present before the multistage roots pump starts to operate, and the positive pressure higher than or equal to the atmospheric pressure is generated when the atmosphere is compressed immediately after the multistage roast pump has started to operate. The bellows 421 . 591 are elastically deformed by the pressure changes to expand or contract. The bellows 421 . 591 are in the cover 47 included, and in conjunction with the elastic deformations of the bellows 421 . 591 in the cover 47 generated loads are absorbed and absorbed by the cover. Accordingly, they extend in conjunction with the elastic deformations of the bellows 421 . 591 not generated loads to the auxiliary equipment.
(2) The discharge line mechanism 64 and the suction line mechanism 65 are straight along the outer wall surface of the rotor housing 12 , which is the housing of the main body of the multi-stage Roots pump 11 forms, provided. The construction in which the discharge line mechanism 64 and the suction line mechanism 65 straight along the outer wall surface of the rotor housing 12 are provided, can ensure that an exclusive space for outdoor applications on the main body of the multi-stage Roots pump 11 is low. Accordingly, a compact cover 47 be used, and this makes the multi-stage Roots pump itself, including the cover 47 , compact.
(3) The vibrations of the multi-stage roots pump 11 are mainly in the direction perpendicular to the rotary shafts 19 . 20 generated. The bellows 421 the discharge line mechanism 64 which is essentially parallel to the rotary shafts 19 . 20 is, and the bellows 591 the suction line mechanism 65 which are substantially parallel to the rotary shafts 19 . 20 are in the direction of the axes 191 . 201 the rotary shafts 19 . 20 out or contract in that direction. Vibrations in directions perpendicular to the directions in which the bellows 421 . 591 expand and / or contract are easier to absorb than vibrations in the directions in which the bellows 421 . 591 expand and / or contract. Accordingly, the construction in which the bellows 421 . 591 essentially parallel to the rotary shafts 19 . 20 are provided, most effective to vibrations of the multi-stage Roots pump 11 to absorb.

Als nächstes wird eine zweite Ausführungsform beschrieben, die in 7A, 7B gezeigt ist. Es werden denjenigen Bauteilen, die zu den in der ersten Ausführungsform beschriebenen ähnlich sind, dieselben Bezugszeichen gegeben.Next, a second embodiment described in FIG 7A . 7B is shown. The same reference numerals will be given to those components which are similar to those described in the first embodiment.

Ein Dichtelement 62 ist zwischen einem Montierflansch 422 und einer Wand 473 eingelegt, und ein Dichtelement 63 ist zwischen einem Montierflansch 592 und der Wand 473 eingelegt. Das Dichtelement 62 ist mit dem Montierflansch 422 und der Wand 472 verbunden, und bildet eine Dichteinrichtung zum Abtrennen der Verbindungen zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Abdeckung 47 durch das Durchgangsloch 471. Das Dichtelement 63 ist mit dem Montierflansch 592 und der Wand 473 verbunden und bildet eine Dichteinrichtung zum Abtrennen von Verbindungen zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Abdeckung 47 durch ein Durchgangsloch 472. Es gibt keinen Spalt in der Abdeckung 47, und das Innere der Abdeckung 47 ist vollständig durch die Abdeckung 47 abgedichtet. Dementsprechend, selbst wenn eine Leckage von Abgasen von dem Hauptkörper der mehrstufigen Rootspumpe 11, dem Saugleitungsmechanismus 65 oder dem Ausstoßleitungsmechanismus 64 auftreten sollte, kann das so ausgeleckte Gas in der Abdeckung 47 abgedichtet werden.A sealing element 62 is between a mounting flange 422 and a wall 473 inserted, and a sealing element 63 is between a mounting flange 592 and the wall 473 inserted. The sealing element 62 is with the mounting flange 422 and the wall 472 connected, and forms a sealing device for separating the connections between the inside and the outside of the cover 47 through the through hole 471 , The sealing element 63 is with the mounting flange 592 and the wall 473 connected and forms a sealing device for separating connections between the inside and the outside of the cover 47 through a through hole 472 , There is no gap in the cover 47 , and the interior of the cover 47 is completely through the cover 47 sealed. Accordingly, even if leakage of exhaust gases from the main body of the multi-stage Roots pump 11 , the suction line mechanism 65 or the discharge line mechanism 64 should occur, the gas thus leaked in the cover 47 be sealed.

Als nächstes wird eine dritte Ausführungsform beschrieben, die in 8A, 8B veranschaulicht ist. Es werden denjenigen Bauteilen, die ähnlich zu den in der ersten Ausführungsform beschriebenen sind, dieselben Bezugszeichen gegeben.Next, a third embodiment described in FIG 8A . 8B is illustrated. The same reference numerals will be given to those components which are similar to those described in the first embodiment.

Ein Balg 421, der ein Teil eines Ausstoßrohrs 42A ist, das einen Ausstoßleitungsmechanismus 64A bildet, ist auf solche Weise vorgesehen, um in Bezug auf Drehwellen 191, 201 (nicht gezeigt) geneigt zu sein. Ein Balg 591, der ein Teil eines Saugrohrs 59A ist, das einen Saugleitungsmechanismus 65A bildet, ist derart vorgesehen, um in Bezug auf Drehwellen 191, 201 (nicht gezeigt) geneigt zu sein. Die Konstruktion, bei der die Balge 421, 591 derart vorgesehen sind, um in Bezug auf die Drehwellen 191, 201 geneigt zu sein, ist dahingehend vorteilhaft, dass sie die Gesamtlängen der Balge 421, 591 so lang wie möglich macht, ohne die Länge des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe in der Axialrichtung derselben auszudehnen. Je länger sich die Balge 421, 591 erstrecken, um so vorteilhafter sind sie beim Absorbieren von Vibrationen des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe.A bellows 421 which is part of a discharge pipe 42A is that an ejection line mechanism 64A is provided in such a way in relation to rotary shafts 191 . 201 (not shown) to be inclined. A bellows 591 that is part of a suction tube 59A is that a suction line mechanism 65A is provided so as to be in relation to rotary shafts 191 . 201 (not shown) to be inclined. The construction in which the bellows 421 . 591 are provided so as to be in relation to the rotary shafts 191 . 201 being inclined is advantageous in that they are the total lengths of the bellows 421 . 591 As long as possible, without extending the length of the main body of the multi-stage Roots pump in the axial direction of the same. The longer the bellows 421 . 591 extend, the more advantageous they are in absorbing vibrations of the main body of the multi-stage Roots pump.

Die folgenden Ausführungsformen können gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen werden.

(1) Die Balge sind direkt mit der Abdeckung verbunden.
(2) Der Schalldämpfer 40 kann ausgeführt werden, um als ein Balg auf der Seite des Ausstoßleitungsmechanismus zu dienen. In diesem Fall müssen der Schalldämpfer 40 und das Führungsrohr 41 von dem Gehäuse des Hauptkörpers der mehrstufigen Rootspumpe beabstandet sein.
(3) Der Leitungsmechanismus zum Bilden des Gasströmungspfades innerhalb der Abdeckung 47 kann mit der inneren Fläche der Abdeckung 47 derart verbunden sein, um mit dem Durchgangsloch in der Abdeckung 47 zu kommunizieren, und der Leitungsmechanismus zum Bilden des Gasströmungspfades außerhalb der Abdeckung 47 ist mit der äußeren Fläche der Abdeckung derart verbunden, um mit dem Durchgangsloch in der Abdeckung 47 zu kommunizieren.
(4) Die vorliegende Erfindung kann auf andere Vakuumpumpen als Rootspumpen angewendet werden.

The following embodiments may be provided according to the present invention.

(1) The bellows are directly connected to the cover.
(2) The muffler 40 can be made to serve as a bellows on the side of the discharge line mechanism. In this case, the silencer must 40 and the guide tube 41 be spaced from the housing of the main body of the multi-stage Roots pump.
(3) The piping mechanism for forming the gas flow path inside the cover 47 can with the inner surface of the cover 47 be connected to the through hole in the cover 47 and the conduit mechanism for forming the gas flow path outside the cover 47 is connected to the outer surface of the cover so as to communicate with the through hole in the cover 47 to communicate.
(4) The present invention can be applied to other vacuum pumps than Roots pumps.

Wie obenstehend beschrieben worden ist, sind gemäß der vorliegenden Erfindung die Balge, die zumindest einen Teil der Leitungsmechanismen bilden, in der Abdeckung enthalten, und die Leitungsmechanismen sind mit der Abdeckung verbunden. Somit stellt die vorliegende Erfindung einen überragenden Vorteil dahingehend bereit, dass verhindert werden kann, dass die Lasten, die erzeugt werden, wenn die einen Teil des Gasströmungspfades der Vakuumpumpe bildenden Balge durch eine Veränderung der Innendrücke elastisch verformt werden, sich zu der Hilfsausrüstung erstrecken.As have been described above, are in accordance with the present invention the bellows, which form at least part of the conduit mechanisms, included in the cover, and the wiring mechanisms are with connected to the cover. Thus, the present invention provides a towering one Advantage in that it can be prevented that the Loads generated when part of the gas flow path the vacuum pump forming bellows by a change in the internal pressures elastic be deformed, extend to the auxiliary equipment.

Claims

Flow path structure for a vacuum pump in which a gas delivery mechanism in a pump chamber based on rotation of a rotary shaft (FIG. 191 . 201 ) is activated such that gas is conveyed by an operation of the gas delivery body to thereby provide a suction operation, the flow path structure comprising: a conduction mechanism ( 64 . 65 ), which forms a gas flow path for the gas and with a housing ( 12 ) of a main body of the vacuum pump ( 11 ) is connected to the pump chamber ( 66 . 67 . 68 . 69 . 70 ) to communicate a bellows ( 421 . 591 ) forming at least part of the conduction mechanism; characterized by a cover ( 47 ) containing the main body of the vacuum pump therein and adapted to control the conduction mechanism ( 64 . 65 ), whereby the bellows ( 421 . 591 ) in the cover ( 47 ) is included.

A flow path structure for a vacuum pump according to claim 1, wherein said bellows is provided so as to rotate with respect to said rotating shaft (13). 191 . 201 ) to be inclined.

A flow path structure for a vacuum pump according to claim 1, wherein said conduit mechanism is rectilinear along an outer wall surface of said housing. 12 ) of the main body of the vacuum pump is provided.

Flow path structure for one A vacuum pump according to claim 1, wherein the conduit mechanism is executed substantially parallel to the rotary shaft.

A flow path structure for a vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, wherein a through-hole (FIG. 471 . 472 ) in the cover ( 47 ) is formed, and the conduction mechanism ( 64 . 65 ) passes through the through hole, and in which a sealing mechanism ( 62 . 63 ) is provided to be connected to the conduit mechanism and the cover to seal between the inside and the outside of the cover.

Flow path structure for a vacuum pump according to any one of claims 1 to 5, wherein the conduit mechanism ( 64 . 65 ) an ejection line mechanism ( 64 ) which forms a gas flow path on an ejection side.

Flow path structure for a vacuum pump according to any one of claims 1 to 5, wherein the conduit mechanism ( 64 . 65 ) a suction line mechanism ( 65 ), which forms a gas flow path on a suction side.

A flow path structure for a vacuum pump according to any one of claims 1 to 7, wherein the vacuum pump is a vacuum pump in which a plurality of rotary shafts (FIGS. 191 . 201 ) are provided parallel to each other, in which rotors ( 23 . 32 ) are provided as a gas conveying mechanism on each of the plurality of rotating shafts, wherein the rotors are meshed with each other on the rotating shafts adjacent to each other, and in which a plurality of pump chambers (Figs. 66 . 67 . 68 . 69 . 70 ) or a single pump chamber are provided in which the rotors, which are in a mutually intermeshing state, are received as a set.