DE59109241D1 - Verfahren zum Kalibrieren von Scannern und Anordnung zum Erzeugen definierter Streulichtamplituden - Google Patents

Verfahren zum Kalibrieren von Scannern und Anordnung zum Erzeugen definierter Streulichtamplituden

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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5377001A (en) * 1991-07-20 1994-12-27 Tet Techno Trust Investment Settlement Apparatus for surface inspection
CH685650A5 (de) * 1991-07-20 1995-08-31 Tencor Instruments Einrichtung für Oberflächeninspektionen.
US5377002A (en) * 1991-07-20 1994-12-27 Tet Techno Trust Investment Settlement Apparatus for surface inspections
US5359416A (en) * 1992-10-19 1994-10-25 Thiokol Corporation System and process for detecting and monitoring surface defects
JP2806747B2 (ja) * 1993-06-21 1998-09-30 大日本スクリーン製造株式会社 顕微測光装置における反射光測定方法
US6271916B1 (en) * 1994-03-24 2001-08-07 Kla-Tencor Corporation Process and assembly for non-destructive surface inspections
US6118525A (en) * 1995-03-06 2000-09-12 Ade Optical Systems Corporation Wafer inspection system for distinguishing pits and particles
US5712701A (en) * 1995-03-06 1998-01-27 Ade Optical Systems Corporation Surface inspection system and method of inspecting surface of workpiece
US5831725A (en) * 1996-10-16 1998-11-03 Atlas Electric Devices Co. Two-mode surface defect testing system
US6075613A (en) * 1999-02-26 2000-06-13 General Scanning, Inc. Optical scanner calibration device
IL130087A0 (en) 1999-05-24 2000-02-29 Nova Measuring Instr Ltd Optical inspection method and system
US6538730B2 (en) * 2001-04-06 2003-03-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Defect detection system
US6819844B2 (en) * 2002-06-20 2004-11-16 The Boeing Company Fiber-optic based surface spectroscopy
US7116413B2 (en) * 2002-09-13 2006-10-03 Kla-Tencor Corporation Inspection system for integrated applications
DE10323139A1 (de) * 2003-05-22 2004-12-23 Leica Microsystems Jena Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Hochauflösenden Fehlerfinden und Klassifizieren
DE102006019468B3 (de) * 2006-04-26 2007-08-30 Siemens Ag Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Inspektion von Oberflächen
JP2011058984A (ja) * 2009-09-11 2011-03-24 Hitachi High-Technologies Corp 異物検査装置，検査方法及びプログラム
US8873596B2 (en) 2011-07-22 2014-10-28 Kla-Tencor Corporation Laser with high quality, stable output beam, and long life high conversion efficiency non-linear crystal
US9250178B2 (en) 2011-10-07 2016-02-02 Kla-Tencor Corporation Passivation of nonlinear optical crystals
DE102014111242A1 (de) * 2014-08-07 2016-02-11 RJL Micro & Analytic Bernhard E. Heneka GmbH Einrichtung für die Restschmutzanalyse im Bereich der Bauteilsauberkeit
GB201415783D0 (en) * 2014-09-05 2014-10-22 Malvern Instr Ltd Particle characterisation
US9419407B2 (en) 2014-09-25 2016-08-16 Kla-Tencor Corporation Laser assembly and inspection system using monolithic bandwidth narrowing apparatus

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4314763A (en) * 1979-01-04 1982-02-09 Rca Corporation Defect detection system
US4360275A (en) * 1980-08-11 1982-11-23 Litton Systems Inc. Device for measurement of optical scattering
US4512659A (en) * 1983-08-10 1985-04-23 Tencor Instruments Apparatus for calibrating a surface scanner
DE3484982D1 (de) * 1983-11-26 1991-10-02 Toshiba Kawasaki Kk Apparat zum nachweis von oberflaechenfehlern.
US4776693A (en) * 1984-05-11 1988-10-11 Nippon Kogaku K. K. Foreign substance inspecting system including a calibration standard
US4902131A (en) * 1985-03-28 1990-02-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Surface inspection method and apparatus therefor
JPH0820371B2 (ja) * 1988-01-21 1996-03-04 株式会社ニコン 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

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Publication number Publication date
CH681495A5 (enExample) 1993-03-31
US5108176A (en) 1992-04-28
JPH06167456A (ja) 1994-06-14
JPH0697210B2 (ja) 1994-11-30
EP0447848B1 (de) 2002-09-11
EP0447848A3 (en) 1992-07-01
EP0447848A2 (de) 1991-09-25

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