Einrichtung zur Erzeugung, Aufrechterhaltung oder Messung von Vakuum,
insbesondere Hochvakuum Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Erzeugung, Aufrechterhaltung
oder Messung von Vakuum, insbesondere Hochvakuum, beispielsweise Absperrventile,
Hochvakuumpumpen u. dgl.Equipment for generating, maintaining or measuring vacuum,
in particular high vacuum The invention relates to devices for generating, maintaining
or measurement of vacuum, especially high vacuum, for example shut-off valves,
High vacuum pumps and the like
Zum Betriebe von Hochvakuumpumpen wird bisher fast ausschließlich
O_uecksilber verwendet. Das Quecksilber weist für diesen Zweck neben mancherlei
Vorteilen ('2%Iolekulargewicht, Dampfdruck) nicht unerhebliche \'achteile auf. Das
Quecksilber ist äußerst giftig und schon bei Raumtemperatur (Temperatur von Arbeitsräumen
u. dgl.) wegen seines verhältnismäßig hohen Dampfdruckes außerordentlich gesundheitsschädlich.
Die zahlreichen Schutz- und Gegenmaßnahmen vermögen nicht zu verhindern, daß schleichende
Quecksilberkrankheiten in Betrieben, in denen Quecksilber verwendet wird, schwerwiegende
Nachteile mit sich bringen, die vielfach auch die wirtschaftlichen Verhältnisse
der Quecksilber verarbeitenden Betriebe ungünstig beeinflussen.The operation of high vacuum pumps has so far been almost exclusively
O_uecksilber used. The mercury has various things for this purpose
Advantages (2% molecular weight, vapor pressure) have not inconsiderable disadvantages. That
Mercury is extremely toxic and even at room temperature (temperature of work rooms
and the like) extremely harmful to health because of its relatively high vapor pressure.
The numerous protective and countermeasures are unable to prevent creeping
Mercury diseases are serious in establishments where mercury is used
Bring disadvantages with them, which in many cases also affect the economic situation
of the mercury processing companies unfavorably influence.
Es ist daher ein wesentliches Ziel. das Quecksilber aus Arbeitsstätten
nach lllöglichkeit zu entfernen und durch ungefährliche Stolte zu ersetzen, um so
mehr, als Quecksilberdampf auch in solchen Fällen, in denen er für technische Zwecke
selbst nutzbar gemacht wird, meist in derartigem überschuß gebildet wird, daß zur
Einschränkung der überschüssigen Dampfentwicklung besondere, mehr oder weniger kostspielige
Kondensations- und Kühlanlagen erforderlich sind.It is therefore an essential goal. the mercury from workplaces
to be removed if possible and to be replaced by harmless stolts, so
more than mercury vapor even in those cases in which it is used for technical purposes
itself is made usable, is usually formed in such excess that for
Limitation of the excess steam development special, more or less expensive
Condensation and cooling systems are required.
Bei Luftpumpen, namentlich bei Hochvakuumpumpen, z. B. nach Art der
Töplerschen oder der rotierenden oder besonders nach Art der Diffusionsdampfstrahl-Kondensationspumpen,
die als Füllflüssigkeit Quecksilber enthalten, treten überdies insofern Nachteile
auf, als der Quecksilberdampf wegen seines hohen Dampfdruckes in die zu evakuierenden
Gefäße gelangt, was besondere Vorsichtsmaßregeln bei durch flüssige Luft gekühlten
Ausfrierfallen, so z. B. bei Herstellung von Entladungs-, Röntgen- oder anderen
Röhren, erforderlich macht. Es sind bereits Vorschläge dahingehend gemacht worden,
an Stelle von Quecksilber für Luftpumpen erst bei hohen Temperaturen flüchtige,
hochsiedende organische Flüssigkeiten zu verwenden.In air pumps, especially in high vacuum pumps, e.g. B. by type of
Töpler's or rotating or especially diffusion steam jet condensation pumps,
which contain mercury as a filling liquid, moreover, there are disadvantages in this respect
on than the mercury vapor because of its high vapor pressure in the to be evacuated
Vessels gets into it, which requires special precautionary measures when cooled by liquid air
Freeze traps, e.g. B. in the manufacture of discharge, X-ray or other
Tubes, makes necessary. Proposals have already been made to
instead of mercury for air pumps only volatile at high temperatures,
to use high-boiling organic liquids.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die Luftpumpen, insbesondere
Hochvakuumpumpen, dadurch verbessert, daß man als Füllstoff reines Gallium oder
flüssige Legierungen von Gallium (Gallame) verwendet,
deren Erstarrungspunkt
gegebenenfalls tiefer liegt als der Erstarrungspunkt des reinen Galliums.According to the present invention, the air pumps, in particular
High vacuum pumps, improved by using pure gallium or as filler
liquid alloys of gallium (Gallame) used,
their freezing point
possibly lower than the solidification point of the pure gallium.
Gallium oder Gallium enthaltende Stoffe, beispielsweise Gallame, eignen
sich als Füllstoffe für Pumpen, Flüssigkeitsverschlüsse, Dichtungen, Absperrventile
oder Meßgeräte, z. B. Vakuummanometer (etwa nach Mc Loed), aus dem Grunde besonders
gut, da der Dampfdruck von Gallium erst bei 9So° C den Wert von 111..o mm Quecksilbersäule
erreicht, den Quecksilber bereits bei Raumtemperatur besitzt. Als Galliumlegierungen
kommen beispielsweise Aluminiumgallame in Frage, deren Erstarrungspunkt gegebenenfalls
tiefer liegt als der Erstarrungspunkt des reinen Galliums. Derartige Gallame besitzen
einen geringeren Dampfdruck bei Raumtemperatur als Quecksilber oder auch neuerdings
vorgeschlagene organische Flüssigkeiten.Gallium or gallium-containing substances, for example gallams, are suitable
as fillers for pumps, liquid closures, seals, shut-off valves
or measuring devices, e.g. B. Vacuum manometer (for example after Mc Loed), for the reason especially
good, because the vapor pressure of gallium only reaches 111..o mm of mercury at 90 ° C
achieved, which mercury already has at room temperature. As gallium alloys
For example, aluminum gallams come into consideration, their solidification point if necessary
is lower than the solidification point of pure gallium. Have such gallams
a lower vapor pressure at room temperature than mercury or more recently
proposed organic liquids.
Ähnlich wie bei Quecksilberhochvaküumpumpen können Galliumhochvakuumpumpen
mehrstufig zu Aggregaten zusammengebaut werden.. Gegebenenfalls können Galliumhochvakuumpumpen
mit Quecksilberpumpen zu einem Aggregat vereinigt werden. In diesem Falle empfiehlt
es sich, als letzte Stufe eine Galliumhochvakuumpumpe zu verwenden. Für die Gefäßwandungen
der neuen Hochvakuumpumpe, z. B. einer Galliumdampfstrahlpumpe, werden vorteilhaft
erst bei hohen Temperaturen erweichende Werkstoffe, wie z. B. Quarzglas, verwendet.
Bei Absperrventilen kann man Gallium oder Gallame nicht nur in flüssiger Form verwenden,
sondern auch fest.Similar to mercury high vacuum pumps, gallium high vacuum pumps can be used
can be assembled in several stages to form units. If necessary, gallium high vacuum pumps can be used
can be combined with mercury pumps to form an aggregate. In this case recommends
it is advisable to use a gallium high vacuum pump as the last stage. For the vessel walls
the new high vacuum pump, e.g. B. a gallium vapor pump are advantageous
Materials that only soften at high temperatures, such as B. quartz glass is used.
In the case of shut-off valves, gallium or gallame cannot only be used in liquid form,
but also solid.