DE551178C - Process for creating a high vacuum in x-ray tubes - Google Patents

Process for creating a high vacuum in x-ray tubes

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DE551178C
DE551178C DEM110340D DEM0110340D DE551178C DE 551178 C DE551178 C DE 551178C DE M110340 D DEM110340 D DE M110340D DE M0110340 D DEM0110340 D DE M0110340D DE 551178 C DE551178 C DE 551178C
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Germany
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Expired
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DEM110340D
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German (de)
Inventor
Dr Paul Vierkoetter
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CHF Mueller AG
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CHF Mueller AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/20Selection of substances for gas fillings; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the tube, e.g. by gettering

Description

AUSGEGEBEN AM 30. MAI 1932ISSUED ON May 30, 1932

REICHSPATENTAMTREICH PATENT OFFICE

PATENTSCHRIFTPATENT LETTERING

KLASSE 21 g GRUPPECLASS 21 g GROUP

C. H.F.Müller Akt.-Ges. in Hamburg-Fuhlsbüttel*)C. H.F. Müller Akt.-Ges. in Hamburg-Fuhlsbüttel *)

Verfahren zur Erzeugung eines hohen Vakuums in RöntgenröhrenProcess for generating a high vacuum in X-ray tubes

Patentiert im Deutschen Reiche vom 29. Mai 1929 abPatented in the German Empire on May 29, 1929

Glühkathodenröntgenröhren und ähnliche Entladungsgefäße für hohe Spannungen müssen zur Verhinderung einer Stoßionisation weitgehend von unedlen Gasen entleert sein. Dieses wird bekanntlich dadurch erreicht, daß während des Pumpvorganges die Elektroden in hohe Glut versetzt und die dabei aus ihnen austretenden Gase durch mehrstündiges Pumpen mittels einer Hochvakuumpumpe abgeführt werden.Hot cathode x-ray tubes and similar discharge vessels for high voltages must be largely emptied of base gases to prevent impact ionization. As is known, this is achieved in that the electrodes put into high embers and the gases escaping from them by pumping for several hours be discharged by means of a high vacuum pump.

Man hat zur Abkürzung des Pumpvorganges versucht, die in der Radioröhren- und Glühlampentechnik gebräuchlichen Verfahren der chemischen bzw. mechanischen Vakuumerzeugung durch ein bei hoher Temperatur Gas absorbierendes Metall oder auch durch einen sogenannten Getter ebenfalls auf Röntgenröhren anzuwenden, jedoch sind praktische Erfolge wegen des hohen Dampfdruckes der üblichen Gettersubstanzen nicht erzielt worden. Auch die Verwendung von Erdmetallen, wie z. B. Zirkon, die einen niedrigeren Dampfdruck haben, ist bereits für Hochspannungsentladungsgefäße vorgeschlagen worden. Dabei wird das Zirkon, wie vorgeschlagen, an dem heißesten Punkt der Anode beispielsweise einer Senderöhre angebracht. Bei Röntgenröhren liegen jedoch die Verhältnisse anders, da die Anoden von Senderöhren nicht auf die zur restlosen Verdampfung nötigen Temperaturen gelangen. .,.,Attempts have been made to shorten the pumping process in the radio tubes and Incandescent lamp technology common methods of chemical or mechanical vacuum generation by a metal that absorbs gas at high temperature or by a so-called getter also on X-ray tubes to be used, but practical successes have not been achieved because of the high vapor pressure of the usual getter substances. The use of earth metals, such as. B. Zircon, which has a lower vapor pressure have already been proposed for high-voltage discharge vessels. Included the zircon is, as suggested, at the hottest point of the anode, for example attached to a transmitter tube. With X-ray tubes, however, the situation is different, because the anodes of the transmitter tubes do not reach the temperatures necessary for complete evaporation. .,.,

Auch wurde der Getter häufig unmittelbar im Glaskolben durch Erwärmung der Glaswand bzw. einer anderen Methode durch Erwärmung eines gläsernen Hilfsbehälters, der die Gettersubstanz enthielt, verdampft. Da hierbei naturgemäß die Erwärmungstemperatur des Getters durch den Schmelzpunkt des Glases begrenzt wurde, war die Verdampfung unvollkommen, da die Verdampfungstemperatur zweckmäßig möglichst hoch gewählt werden muß. Weiterhin kann die Kondensation des Getters nach dem Verdampfen an jeder Stelle der Glaswandung stattfinden, so daß dadurch eine erhebliche elektrische Beanspruchung der Glaswandung auftritt, wenn sich der dünne Metallbelag durch Streuelektronen auflädt. Ferner trat durch die innere Metallbelegung des Glaskolbens eine Verkürzung des Isolationsweges längs der Röhren-Oberfläche ein, die die Spannungssicherheit der Röntgenröhre herabsetzt.The getter was also often placed directly in the glass bulb by heating the glass wall or another method by heating a glass auxiliary container that contained the getter substance, evaporated. There naturally the heating temperature of the getter due to the melting point of the Glass was limited, evaporation was imperfect because of the evaporation temperature must be chosen expediently as high as possible. Furthermore, condensation of the getter can continue after evaporation take place at every point of the glass wall, so that a considerable electrical stress the glass wall occurs when the thin metal coating is caused by scattered electrons charges. Furthermore, the inner metal coating of the glass bulb resulted in a shortening the isolation path along the tube surface, which increases the voltage safety of the X-ray tube.

Nach der Erfindung wird der Getter in beliebiger Form, unmittelbar auf dem Brennfleck, also auf der am meisten dem Elektronenaufprall und somit der größten Erwärmung ausgesetzten Stelle der Anode aufgebracht. Als Gettermaterial wird ein solcher Stoff gewählt, der erst kurz unterhalb der normalen Betriebstemperatur im Brennfleck zur Verdampfung kommt. Man wird daher bei Materialuntersuchungsröhren mit Kupferanode ein anderes Gettermaterial wählen als in einer Therapieröhre mit Wolframanode, die bei Spannungen von etwa 200 KV arbeitet.According to the invention, the getter is in any form, directly on the focal point, so on the most of the electron impact and thus the greatest warming exposed point of the anode applied. The getter material chosen is a substance that is only just below the normal operating temperature in the focal spot for evaporation. One will therefore Select a different getter material for material test tubes with copper anodes than in a therapy tube with a tungsten anode that works at voltages of around 200 KV.

*) Von dem Patentsucher ist als der Erfinder angegeben worden:*) The patent seeker stated as the inventor:

Dr. Paul Vierkötter in Hamburg.Dr. Paul Vierkötter in Hamburg.

Claims (1)

Das Verfahren nach der Erfindung hat besondere Bedeutung, weil man mit seiner Hilfe die Fabrikation der Röntgenröhren vereinfachen und den erforderlichen Zeitaufwand wesentlich abkürzen kann. Während man bisher zur Entgasung der Anode eine Hochspannungsquelle benötigte 'und die Anode zur Erwärmung dem Elektronena'ufprall der Kathode aussetzte, ,genügt es nun, to wenn bei der Verwendung des Verfahrens nach der Erfindung die Anode durch Wirbelstromheizung im magnetischen Wechselfeld oder durch unmittelbar wirkende Wärmequellen ohne Verwendung von Hochspannung vorentgast wird. Die Anwendung solcher Mittel, die ohne Erhitzung der Kathode zu einer hinreichenden Vorentgasung der Anode führen, hat den bedeutenden Vorteil, daiß eine unnötige Belastung der Glühkathode vermieden wird. Um diese selbst zu entgasen, bedarf es nur eines kurzen Glühprozesses. In diesem vorentgasten Zustand, ■ bei dem der Getter naturgemäß noch nicht verdampft ist, wird die Röhre von der Pumpe abgeschmolzen. Wird jetzt die Röhre an Hochspannung gelegt und durch Heizung der Glühkathode die Anode mit Elektronen bombardiert, so erfolgt, sobald die Anodenvorderfläche 'eine bestimmte, im vorherigen Pumpprozeß nicht erreichte Temperatur angenommen hat, die Verdampfung des Getters. Die hierbei auftretende Bindung der unedlen Gase erzeugt ein Vakuum von einer Güte, wie es nach den gebräuchlichen Pumpverfahren erst nach mehrstündigem sorgfältigstem Pumpen erreicht wird.The method according to the invention is particularly important because one with his Help simplify the fabrication of the X-ray tubes and reduce the time required can shorten significantly. While you previously needed a high voltage source to degas the anode 'and the Exposed the anode to the electron impact of the cathode for heating purposes, it is now sufficient to when using the method according to the invention, the anode by eddy current heating Pre-degassed in a magnetic alternating field or by directly acting heat sources without the use of high voltage will. The use of such means, which without heating the cathode to a sufficient Lead pre-degassing of the anode has the significant advantage that it is unnecessary Loading of the hot cathode is avoided. In order to degas these yourself, only a short annealing process is required. In this pre-degassed state, ■ in which the getter has naturally not yet evaporated, the tube is melted by the pump. The tube is now connected to high voltage placed and bombarded the anode with electrons by heating the hot cathode, so takes place as soon as the anode front surface 'a certain, not in the previous pumping process reached temperature, the evaporation of the getter. The occurring here Binding of the base gases creates a vacuum of a quality as it is after the customary pumping process achieved only after several hours of careful pumping will. Der Getter kann in beliebiger Form, etwa als Blechkörper oder als Paste, die aus dem pulverförmigen Getter und einem Bindemittel, z. B. Alkohol, besteht, unmittelbar in den Brennfieck auf die Anode gebracht werden. Wie schon erwähnt, lassen sich entsprechend der verschiedenen .Beschaffenheit der Anoden in den verschiedenen Röhrenkonstruktionen eine ganze Anzahl von Metallen als1 Getter verwenden, wenn nur jeweils ihre Verdampfungstemperatur oberhalb der im normalen Betrieb auftretenden Erwärmung der Röhrenteile und kurz unterhalb der Betriebsitemperatur des Brennflecks 'und seiner Umgebung liegt. So kommen z. B. in Frage Metalle wie Nickel, Eisen, Molybdän u. a.The getter can be in any form, for example as a sheet metal body or as a paste, which consists of the powdery getter and a binder, e.g. B. alcohol, is to be brought directly into the focal point on the anode. As already mentioned, depending on the different properties of the anodes in the different tube constructions, a whole number of metals can be used as 1 getter, if only their evaporation temperature is above the heating of the tube parts during normal operation and just below the operating temperature of the focal spot its surroundings. So come z. B. in question metals such as nickel, iron, molybdenum and others In der beiliegenden Zeichnung sind zwei Röntgenröhren dargestellt, aus denen die Wirkungsweise der Erfindung ersichtlich ist. Abb. ι zeigt eine Röntgenröhre mit metallischem Mittelteil und Abb. 2 eine normale gläserne Röntgenröhre, bei der durch Anordnung von dünnen metallischen oder gläsernen Schirmflächen ein Niederschlag des Getters auf der Glaswandung verhindert wird. In Abb. ι dient der metallische Wändteil 1 der Röntgenröhre, der beispielsweise an beiden Seiten Glashälse 2 und 3 trägt, die wiederum die Anode 4 und die Kathode 5 tragen, als Kondensationsfläche für den auf der zweckmäßig aus Wolfram bestehenden Anodenvorderfläche 6 verdampfenden Getter 7. Der Getter 7 kann beispielsweise als Blechstückchen auf der Anode angeordnet oder auch in fein verteilter Form mit Alkohol oder mit einem anderen brauchbaren Bindemittel gemischt auf die Anodenvorderfläche 6 aufgeklebt sein. Die Metallteile der Röntgenröhre, also das Mittelteil 1, die Metallteile der Glühkathode 5 und die Anode 4 werden zweckmäßig ohne Verwendung von Hochspannung vorentgast. Nach dem Abschmelzen von der Pumpe wird zwischen Glühkathode 5 und Anode 4 Hochspannung gelegt, die die von der Glühkathode 8 emittierten Elektronen mit großer Geschwindigkeit auf die Anodenvorderfläche 6 bzw. Gettersubstanz 7 schleudert. Durch die dort auftretende örtliche Erwärmung verdampft das Gettermaterial und kondensiert sich durch die geradlinige Ausbreitung der Molekularstrahlung vorzugsweise an einer Ringfläche 9 im Innern des metallischen Wandteils 1.The accompanying drawing shows two X-ray tubes from which the Operation of the invention can be seen. Fig. Ι shows an X-ray tube with a metallic Middle part and Fig. 2 a normal glass X-ray tube, in which by arrangement a precipitation of the thin metallic or glass screen surfaces Getters on the glass wall is prevented. The metallic wall part 1 is used in Fig the X-ray tube, which for example has glass necks 2 and 3 on both sides, which in turn the anode 4 and the cathode 5 wear, as a condensation surface for the on the suitably consisting of tungsten Anode front surface 6 evaporating getter 7. The getter 7 can, for example, as Pieces of sheet metal arranged on the anode or in finely divided form with alcohol or mixed with another useful binder onto the anode front surface 6 be glued on. The metal parts of the X-ray tube, i.e. the middle part 1, the metal parts the hot cathode 5 and the anode 4 are expediently without the use of high voltage pre-degassed. After the pump has melted, high voltage is applied between the hot cathode 5 and the anode 4 of the hot cathode 8 emitted electrons at high speed onto the anode front surface 6 or getter substance 7 flings. Due to the local warming that occurs there the getter material evaporates and condenses due to the linear expansion of the molecular radiation preferably on an annular surface 9 in the interior of the metallic Wall part 1. In Abb. 2 sind innerhalb des gläsernen, Röhrenkörpers 10 die Anode 4 und die Kathode 5 angeordnet. Die Kathode 5 trägt einen Schirm 11, während ein Ringkörper 12 zweckmäßig mit der Anode 4 verbunden ist. Diese Anordnung verhindert das Niederschlagen des Gerbers auf der gläsernen Röhren.-wandung, da der Niederschlag an den Schirmflächen erfolgt, so daß dadurch die Spannungssicherheit der Röntgenröhre gewahrt bleibt.In Fig. 2 are within the glass, Tubular body 10, the anode 4 and the cathode 5 arranged. The cathode 5 carries a screen 11, while an annular body 12 is expediently connected to the anode 4. This arrangement prevents precipitation of the tanner on the glass tube wall, because the precipitation takes place on the screen surfaces, so that the voltage security the X-ray tube is preserved. .PATKNTANSJeRUCU :.PATKNTANSJeRUCU: Verfahren zur Erzeugung 'eines hohen Vakuums in Röntgenröhren, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallteile der Röhre durch an sich bekannte Mittel ohne Anlegen an Hochspannung vorentgast werden und daß hierauf durch Elektronenbombardement von der Kathode her ein Getter verdampft wird, der an der beim • Betrieb heißesten Stelle der Anode angebracht und dessen Dampfdruck so gewählt ist, daß er erst kurz unterhalb der normalen Betriebstemperatur im Brennfleck verdampft.Process for generating a high vacuum in X-ray tubes, characterized in that that the metal parts of the tube are pre-degassed by means known per se without the application of high voltage and that a getter is then evaporated by electron bombardment from the cathode, which is attached to the • Operation is attached to the hottest point of the anode and its vapor pressure is selected is that it only evaporates just below the normal operating temperature in the focal point. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE739183C (en) * 1934-09-15 1943-09-14 Aeg Process for gettering electrical discharge tubes with metallic walls

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