DE50310110D1 - Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung - Google Patents

Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung

Info

Publication number
DE50310110D1
DE50310110D1 DE50310110T DE50310110T DE50310110D1 DE 50310110 D1 DE50310110 D1 DE 50310110D1 DE 50310110 T DE50310110 T DE 50310110T DE 50310110 T DE50310110 T DE 50310110T DE 50310110 D1 DE50310110 D1 DE 50310110D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coating
multiplate
plasma
coating device
plasma coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE50310110T
Other languages
English (en)
Inventor
Stephan Behle
Andreas Luettringhaus-Henkel
Gregor Arnold
Matthias Bicker
Marten Walther
Klein Dr.Juergen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE10224395A external-priority patent/DE10224395A1/de
Priority claimed from DE2002125609 external-priority patent/DE10225609A1/de
Priority claimed from DE2002153512 external-priority patent/DE10253512A1/de
Priority claimed from DE2002153513 external-priority patent/DE10253513B4/de
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
Priority claimed from PCT/EP2003/005497 external-priority patent/WO2003100121A2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE50310110D1 publication Critical patent/DE50310110D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

DE50310110T 2002-05-24 2003-05-26 Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung Expired - Lifetime DE50310110D1 (de)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10223288 2002-05-24
DE10224395A DE10224395A1 (de) 2002-05-24 2002-06-01 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
DE10225607A DE10225607A1 (de) 2002-05-24 2002-06-07 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
DE2002125609 DE10225609A1 (de) 2002-06-07 2002-06-07 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
DE2002153512 DE10253512A1 (de) 2002-11-16 2002-11-16 Rundläufermaschine für CVD-Beschichtungen
DE2002153513 DE10253513B4 (de) 2002-11-16 2002-11-16 Mehrplatz-Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Plasmabeschichtung
PCT/EP2003/005497 WO2003100121A2 (de) 2002-05-24 2003-05-26 Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE50310110D1 true DE50310110D1 (de) 2008-08-21

Family

ID=39616395

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50310110T Expired - Lifetime DE50310110D1 (de) 2002-05-24 2003-05-26 Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung

Country Status (3)

Country Link
AT (1) ATE400671T1 (de)
DE (1) DE50310110D1 (de)
DK (1) DK1507887T3 (de)

Also Published As

Publication number Publication date
ATE400671T1 (de) 2008-07-15
DK1507887T3 (da) 2008-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60319294D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Substratbehandlung
DE60310291D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Gasphasenbeschichtung
DE60326361D1 (de) System und verfahren zur tcp- entlastung
EP1600270A4 (de) Vorrichtung und verfahren zur substrattrennung
DE50203544D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Drehbearbeitung
DE60326816D1 (de) Verfahren zur beschichtung medizinischer geräte
DE60318651D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur dynamischen Konfigurationsverwaltung
DE602004001273D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Identifiezierungsbasierten Verschlüsselung
DE50309503D1 (de) Verfahren und einrichtung zur objektdetektierung
DE60335527D1 (de) Cvd-vorrichtung und verfahren zur reinigung der cvd-vorrichtung
DE60221158D1 (de) Vorrichtung und verfahren für oberflächeneigenschaften
DE602005008201D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur druckreduzierung
DE60336111D1 (de) Informationsverarbeitungsgerät und Verfahren zur Steuerung desgleichen
DE60142605D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Plasma-Behandlung
DE60332664D1 (de) Spritzvorrichtung und verfahren zur wirbelschichtgranulation
DE60218573D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Mehrfachsendung
DE60114383D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur plasmabeschichtung
EP1688185A4 (de) Vorrichtung und verfahren zur spritzbeschichtung
DE60110510D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Substratbeschichtung
DE602004009522D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung einer Plasmaanzeige
DE60323590D1 (de) Kreuztischvorrichtung und Verfahren zur Steuerung derselben
DE50312128D1 (de) Lenkung und Verfahren zur Lenkung
DE60216907D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Wellenlängenbestimmung
DE60304909D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Grundfrequenzbestimmung
DE60330487D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum beschichten des auss

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition