DE50310110D1 - Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung - Google Patents
Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtungInfo
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Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE10223288 | 2002-05-24 | ||
DE10224395A DE10224395A1 (de) | 2002-05-24 | 2002-06-01 | Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken |
DE10225607A DE10225607A1 (de) | 2002-05-24 | 2002-06-07 | Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken |
DE2002125609 DE10225609A1 (de) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken |
DE2002153512 DE10253512A1 (de) | 2002-11-16 | 2002-11-16 | Rundläufermaschine für CVD-Beschichtungen |
DE2002153513 DE10253513B4 (de) | 2002-11-16 | 2002-11-16 | Mehrplatz-Beschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Plasmabeschichtung |
PCT/EP2003/005497 WO2003100121A2 (de) | 2002-05-24 | 2003-05-26 | Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE50310110D1 true DE50310110D1 (de) | 2008-08-21 |
Family
ID=39616395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE50310110T Expired - Lifetime DE50310110D1 (de) | 2002-05-24 | 2003-05-26 | Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | ATE400671T1 (de) |
DE (1) | DE50310110D1 (de) |
DK (1) | DK1507887T3 (de) |
-
2003
- 2003-05-26 DK DK03737973T patent/DK1507887T3/da active
- 2003-05-26 AT AT03737973T patent/ATE400671T1/de not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
ATE400671T1 (de) | 2008-07-15 |
DK1507887T3 (da) | 2008-10-27 |
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