ATE400671T1 - Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung - Google Patents

Mehrplatz-beschichtungsvorrichtung und verfahren zur plasmabeschichtung

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ATE400671T1
ATE400671T1 AT03737973T AT03737973T ATE400671T1 AT E400671 T1 ATE400671 T1 AT E400671T1 AT 03737973 T AT03737973 T AT 03737973T AT 03737973 T AT03737973 T AT 03737973T AT E400671 T1 ATE400671 T1 AT E400671T1
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plasma
coating device
plasma coating
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Stephan Behle
Andreas Luettringhaus-Henkel
Gregor Arnold
Matthias Bicker
Marten Walther
Juergen Klein Dr
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Schott Ag
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