DE4438014A1 - Vorrichtung zur Messung der Länge von bewegten Teilen - Google Patents
Vorrichtung zur Messung der Länge von bewegten TeilenInfo
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- G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur genauen Messung
der Länge von längs einer geraden Bahn bewegten Teilen, deren
Länge näherungsweise bekannt ist.
Hochgenauen Verfahren zur Messung der Dimensionen von Teilen
beruhen in der Regel darauf, daß die Kanten des zu
vermessenden Teiles in Ruhe mechanisch oder optisch abgetastet
werden. Daraus wird der zwischen den Meßpunkten liegende Weg
möglichst genau bestimmt.
Es ist auch bekannt, bewegte Teile mittels einer Lichtschranke
zu vermessen. Die Teile werden durch die Lichtschranke mit
konstanter, bekannter Geschwindigkeit hindurchbewegt. Die
Lichtschranke signalisiert den Eintritt der Vorderkante in die
Lichtschranke und die Freigabe der Lichtschranke durch die
Hinterkante des durchlaufenden Teils. Die Zeit zwischen diesen
Ereignissen wird gemessen. Die Genauigkeit dieser Messung
hängt von der Genauigkeit und Konstanz der Geschwindigkeit ab,
mit der die Teile durch die Lichtschranke hindurchlaufen. An
die Geschwindigkeit werden dabei die gleichen Anforderungen
hinsichtlich Genauigkeit und Konstanz über die Meßdauer hinweg
gestellt wie an die Genauigkeit der Längenmessung. Das ist
schwer zu realisieren.
Das zu vermessende Teil kann auch von einem bildauflösenden
Sensor als Ganzes erfaßt werden. Nach genauer Eichung des
Bildmaßstabes kann daraus Länge und Breite ermittelt werden.
Bei schnell bewegten Teilen bietet das schon wegen der
Bewegungsunschärfe erhebliche Probleme.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Länge von
schnell bewegten Teilen mit hoher Genauigkeit zu messen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß
- (a) über der Bahn der Teile zwei bildauflösende Sensormittel mit einer linearen Anordnung von Detektorelementen vorgesehen sind,
- (b) die Sensormittel einen der näherungsweise bekannten Länge der zu vermessenden Teile entsprechenden Abstand in Bewegungsrichtung der Teile gegeneinander versetzte Bereiche erfassen,
- (c) die Sensormittel synchronisiert auslesbar sind,
- (d) die Signale der Sensormittel, die bei jeder Auslesung in Abhängigkeit von der Lage des jeweiligen Detektorelements ein hohes Signalniveau, ein niedriges Signalniveau und dazwischen sich von Detektorelement zu Detektorelement zwischen den hohen und niedrigen Signalniveaus quasi-stetig variierende Werte aufweisen auf Bildverarbeitungsmittel aufgeschaltet sind, welche durch Interpolation daraus eine genaue Position der Ränder des Teiles bestimmen und
- (e) wobei Längenrechenmittel aus den Kantenlagen des Teiles relativ zu dem von den Sensormitteln erfaßten Bereich und dem Abstand der die vordere und die hintere Kante des Teils enthaltenden Bereiche die Länge des Teiles in der Bewegungsrichtung bestimmen.
Die Messung erfolgt somit mit zwei Bereichen der Sensormittel,
z. B. mit zwei Zeilenkameras. Das sind Sensoren mit zeilenartig
angeordneten Detektorelementen, wobei ein langgestreckter
Bereich des Gesichtsfeldes auf diesen Detektorelementen
abgebildet wird. Die eine Zeilenkamera erfaßt die Vorderkante,
die andere Zeilenkamera erfaßt gleichzeitig die Hinterkante
des zu vermessenden Teils.
Ein Teil der Detektorelemente "sieht" den Untergrund vor bzw.
hinter dem zu vermessenden Teil. Ein anderer Teil der
Detektorelemente "sieht" die Oberfläche des zu vermessenden
Teils. Wegen der Bewegung des zu vermessenden Teils werden
während des Zeitintervalls zwischen aufeinanderfolgenden
Auslesungen der Zeilenkameras die Detektorelemente in
Bewegungsrichtung hinteren Zeilenkamera in einem mittleren
Bereich der Zeile zunächst den Untergrund sehen und dann nach
Vorbeigehen der Vorderkante während des restlichen
Zeitintervalls die Oberfläche des zu vermessenden Teils.
Entsprechend werden während des Zeitintervalls zwischen
aufeinanderfolgenden Auslesungen der Zeilenkameras die
Detektorelemente in Bewegungsrichtung vorderen Zeilenkamera in
einem mittleren Bereich der Zeile zunächst die Oberfläche des
zu vermessenden Teils sehen und dann nach Vorbeigehen der
Hinterkante während des restlichen Zeitintervalls den
Untergrund. Dabei erfassen einige Detektorelemente während des
Zeitintervalls zwischen zwei Auslesungen nur kurze Zeit die
Oberfläche des zu vermessenden Teils. Andere Detektorelemente
"sehen" diese Oberfläche während eines längeren Abschnitts
oder fast während des gesamten Zeitintervalls. Ausgelesen wird
die über das Zeitintervall zwischen den Auslesungen
integrierte Helligkeit. Bei einer Abfrage werden daher beim
Durchgang der Kanten durch die Gesichtsfelder der
Zeilenkameras an einem Ende der Reihe von Detektorelementen
Signale auftreten, die der ständigen Beobachtung der
Oberfläche des zu vermessenden Teils entsprechen, also z. B.
relativ niedrig sind, wenn die Oberfläche dunkel ist. Am
anderen Ende der Reihe sind Detektorelemente, deren Signal
einer ständigen Beobachtung des Untergrundes entsprechen, also
relativ hoch sind, wenn der Untergrund hell ist. Die ersteren
Signale stellen das niedrige Signalniveau dar, die letzteren
Signale das hohe Signalniveau. Dazwischen treten Signale an
den verschiedenen Detektorelementen auf, die sich von einem
Detektorelement zum nächsten Detektorelement in im
wesentlichen kleinen Schritten ändern. Trägt man die
Signalhöhe bei der Auslesung der Detektorelemente der
Zeilenkamera als Funktion der Position oder laufenden Nummer
der Detektorelemente auf, dann erhält man ein Diagramm mit
zwei unterschiedlichen Niveaus, die durch eine Schräge
miteinander verbunden sind. Das Bild der Kante ist
verschmiert, ähnlich wie eine Verschmierung eines
photographischen Bildes bei einer im Vergleich zu der
Geschwindigkeit der Bewegung langen Belichtungszeit eintritt.
Bei der nächsten Auslesung ergibt sich eine ähnliche
Verteilung der Signalhöhen, jedoch ist die Schräge in
Bewegungsrichtung der zu vermessenden Teile gewandert.
Die Auslesung erfolgt für die beiden Bereiche (Zeilenkameras)
genau synchron. Die Bildverarbeitungsmittel werten die
erhaltene Signalverteilung aus. Die Lagen vergleichbarer
Punkte der Schrägen im Gesichtsfeld der Zeilenkameras werden
bestimmt. Daraus kann eine Längendifferenz ermittelt werden.
Diese Längendifferenz wird durch Längenrechnermittel dem
bekannten, in Bewegungsrichtung der Teile gemessenen Abstand
der Bereiche überlagert und liefert die Länge des zu
vermessenden Teils.
Die Längendifferenz kann aus dem Verlauf der Signalverteilung
mit Subpixel-Genauigkeit bestimmt werden, also auf weniger als
den Abstand der Bildelemente, die durch benachbarte
Detektorelemente bestimmt sind. Der Abstand der Zeilenkameras
kann z. B. mittels eines Glasmaßstabs sehr genau bestimmt
werden. Es ergibt sich in der Praxis eine hohe Genauigkeit der
Messung auch bei hoher Geschwindigkeit der durchlaufenden, zu
vermessenden Teile.
Die Erfindung ermöglicht es nicht nur, Teile in der Bewegung
zu vermessen. Die durch die Bewegung der Teile hervorgerufene
"Verschmierung" der Kanten ermöglicht sogar eine Erhöhung der
Genauigkeit auf "Subpixel-Genauigkeit".
Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der
Unteransprüche.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachstehend unter
Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 ist eine schematische Seitenansicht eines bewegten
Teils und der Zeilenkameras zur Messung der Länge der
Teile.
Fig. 2 ist eine zugehörige Draufsicht.
Fig. 3 zeigt schematisch eine Einzelheit der Anordnung von
Fig. 2.
Fig. 4 zeigt die Signalverteilungskurve bei der Zeilenkamera
von Fig. 3.
Fig. 5 zeigt eine abgewandelte Ausführung.
In Fig. 1 ist mit 10 ein zu vermessendes Teil bezeichnet. Es
kann sich dabei um ein rechteckiges Blech handeln. Das Teil 10
bewegt sich auf (nicht dargestellten) Transportmitteln in
Richtung des Pfeiles 12. Die Länge des Teils 10 ist
näherungsweise bekannt und entspricht etwa dem Abstand "a" in
Fig. 1. In diesem Abstand "a" sind über der Bahn des Teils 10
in Bewegungsrichtung des Teils 10 gegeneinander versetzt zwei
Zeilenkameras 14 und 16 angeordnet. Die Zeilenkameras 14 und
16 weisen jeweils eine lineare oder zeilenförmige Anordnung
von Detektorelementen 18 auf, wie in Fig. 3 schematisch
dargestellt ist. Die Detektorelemente 18 sind längs einer
geraden Strecke 20 angeordnet, die sich in Bewegungsrichtung
des Teils 10 erstreckt. Die Zeilenkameras definieren eine
Referenzrichtung 22 bzw. 24, die z. B. durch die Mitte der
zeilenförmigen Anordnung von Detektorelementen 18 verläuft.
Der Abstand der die Referenzrichtungen 22 und 24 bestimmenden
Geraden ist "a".
Die Detektorelemente 18 der Zeilenkameras 14 und 16 werden
genau synchron in einem Takt ausgelesen, der durch einen
Taktgenerator 26 bestimmt ist. Die bei der Auslesung in den
einzelnen Detektorelementen 18 erhaltenen Signale bilden eine
Signalverteilung. Eine solche Signalverteilung für eine
bestimmte Abtastung ist in Fig. 4 dargestellt und generell mit
28 bezeichnet. Die Signalverteilung 28 zeigt die Hohe der von
den einzelnen Detektorelementen bei der Abtastung gelieferten
Signale als Funktion des Ortes des Detektorelements längs der
Strecke 20.
Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, ergibt sich ein relativ hohes
mittleres Signalniveau 30 für einen Bereich von
eintrittseitigen Detektorelementen, also Detektorelementen,
welche ein einlaufendes Teil 10 zuerst erfassen. Dieses
mittlere Signalniveau 30 ist in Fig. 4 durch eine gestrichelte
Linie angedeutet. Weiterhin ergibt sich ein relativ niedriges
mittleres Signalniveau 32 für einen Bereich von
austrittseitigen Detektorelementen, d. h. Detektorelementen,
welche das einlaufende Teil erst später "sehen". Dazwischen
ist eine Schräge 34, welche diese beiden Signalniveaus
verbindet.
Fig. 3 zeigt die dazugehörigen relativen Positionen von zu
vermessendem Teil 10 und Zeilenkamera 14.
Der Untergrund ist relativ hell. Die Oberfläche des zu
vermessenden Teils ist relativ hoch. Die Detektorelemente am
rechten Ende der Zeile in Fig. 3 "sehen" während des ganzen
Zeitintervalls zwischen aufeinanderfolgenden Auslesung der
Zeilenkamera das Teil 10. Die Signale dieser Detektorelemente
sind daher niedrig und bilden das niedrige Signalniveau 32.
Die Detektorelemente am linken Ende der Zeile in Fig. 3 sehen
während des gesamten Zeitintervalls den hellen Untergrund. Die
Signale sind daher relativ hoch und bilden das hohe
Signalniveau 30. Dazwischen liegen Detektorelemente, die
zunächst den Untergrund gesehen haben, bei denen aber bei der
Bewegung des Teils 10 von links nach rechts zu einem Zeitpunkt
innerhalb des Zeitintervalls zwischen den Auslesungen der
helle Untergrund freigegeben wurde. Solche Detektorelemente
sehen während eines ersten Abschnitts des Zeitintervalls
"dunkel" und während eines zweiten Abschnitts "hell". Bei der
Auslesung der Detektorelemente wird über das Zeitintervall
integriert. Es wird daher ein Signal ausgelesen, das zwischen
dem hohen und dem niedrigen Signalniveau liegt. Liegt das
Detektorelement ziemlich weit links, dann wird es schon kurz
nach der vorhergehenden Auslesung freigegeben. Dieses
Detektorelement "sieht" während des größten Teils des
Zeitintervalls hellen Untergrund. Das ausgelesene Signal liegt
nahe dem hohen Signalniveau. Liegt das Detektorelement
ziemlich weit rechts, dann wird es erst kurz vor der aktuellen
Auslesung freigegeben. Dieses Detektorelement "sieht" während
des größten Teils des Zeitintervalls dunkeles Teil 10. Das
ausgelesene Signal liegt nahe dem niedrigen Signalniveau. Die
Schräge 34 ist im wesentlichen linear.
Bildverarbeitungsmittel 36 bestimmen aus den - genau synchron
gewonnenen - Signalverteilungen der Zeilenkameras 14 und 16
Punkte, die in beiden Signalverteilungen einander entsprechen.
Das kann mit "Subpixel-Genauigkeit" geschehen. Die einander
entsprechenden Punkte liegen rechts oder links von der
Referenzrichtung 22 bzw. 24 und liefern positive oder negative
Längenwerte. Längenrechnermittel 38 bilden die Differenz
dieser Längenwerte. Diese Differenz wird dem Abstand "a" der
beiden Zeilenkameras 14 und 16 überlagert. Die Summe dieser
Größen wird als Länge des Teils 10 an einem Ausgang 40
ausgegeben.
Bei einem Durchgang des Teils 10 unter den Zeilenkameras 14
und 16 hindurch wird in mehreren Zeitintervallen und
Auslesungen der Detektorelemente eine Mehrzahl von
Signalverteilungen nach Art von Fig. 4 erhalten. Aus jeder
dieser Signalverteilungen wird ein Längenmeßwert gewonnen. Die
so erhaltenen Längenmeßwerte werden gemittelt. Auf diese Weise
wird die Genauigkeit der Messung weiter erhöht.
Fig. 5 zeigt eine Abwandlung der Vorrichtung. In Fig. 5 sind die
Zeilenkameras nur durch die geraden Strecken dargestellt,
längs derer die Detektorelemente angeordnet sind, bzw. durch
die Streifen im Gesichtsfeld der Zeilenkameras, die von den
Detektorelementen erfaßt werden. Bei der Ausführung von Fig. 5
sind insgesamt vier Zeilenkameras 42, 44, 46 und 48
vorgesehen. Die Zeilen der Zeilenkameras bilden mit der
Bewegungsrichtung des Teils 10 einen Winkel, z. B. von 45°. Die
Zeilenkameras 42, 44, 46 und 48 sind in den Ecken eines im
wesentlichen den Abmessungen des zu vermessenden Teiles 10
entsprechenden Rechteckes so angeordnet, daß während des
Meßvorganges die von den Detektorelementen erfaßten
langgestreckten Bereiche sich schräg über die Ecken des Teils
10 erstrecken. Die Signalverteilung liefert dadurch zusätzlich
zu der von den Vorder- bzw. Hinterkanten der Teile 10
hervorgerufenen Schrägen auch noch Stufen, die von den
Seitenkanten der Teile 10 verursacht sind. Dadurch können
einmal Verkantungen des Teils 10 gegenüber der
Bewegungsrichtung erfaßt werden. Eine Verkantung bewirkt eine
seitliche Verlagerung der Stufen. Außerdem ist es möglich, die
Breite des Teils 10 zu bestimmen.
Statt der vier Zeilenkameras können ggf. auch nur zwei
Zeilenkameras, z. B. 42 und 46, vorgesehen sein, die diagonal
gegenüberliegend angeordnet sind. Bei Verwendung von vier
Zeilenkameras 42 bis 48 wird die Information redundant
erhalten.
Die Zeilenkameras 14 und 16 in Fig. 1 können relativ zueinander
verschiebbar auf einer gemeinsamen Halterung angebracht sein.
Dabei kann die Position der Zeilenkameras auf der Halterung
durch Stellmotore einstellbar sein.
In einer weiteren Abwandlung können die Sensormittel von einer
einzigen Zeilenkamera mit zwei räumlich getrennten Bereichen
von Detektorelementen gebildet sein.
Die Längen der zu vermessenden Teile können in der
beschriebenen Weise in der Bewegung im Verlauf eines
Produktionsprozesses mit hoher Genauigkeit berührungslos
gemessen werden. Ein Anwendungsbeispiel ist die Vermessung von
sog. Platinen zur Karosserieherstellung, die mit einer
Geschwindigkeit von 5 m/s bewegt werden. Solche Platinen haben
eine Länge von etwa 4 m. Diese Länge muß auf 0,1 mm genau
gemessen werden. Das ist mit einer Anordnung der beschriebenen
Art möglich.
Hierbei sind zwei Zeilenkameras 14 und 16 mit je 2048
Detektorelementen vorgesehen. Die Zeilenkameras 14 und 16 sind
in einer Höhe von 4 m über einem Transportband justiert. Die
Optik zur Abbildung der Kanten auf den Detektorelementen ist
so gewählt, daß ein Bereich von 50 mm füllend auf den
Detektorelementen abgebildet wird. Die beiden Zeilenkameras 14
und 16 werden genau synchron betrieben. Sie arbeiten mit einer
Aufnahmefrequenz von 2,5 kHz. Die Belichtungszeit, das
Zeitintervall zwischen zwei Auslesungen, entspricht dieser
Aufnahmefrequenz und beträgt somit 1/2500 sec. Während der
Belichtungszeit legt das Teil 10 eine Strecke von 2 mm zurück.
Das entspricht etwa 82 Detektorelementen. Die Kanten werden
also über 82 Bildelemente verschmiert. Da die Zeilenkameras 14
und 16 in ununterbrochener Folge Bilder aufnehmen, entstehen
beim Durchgang der Kante durch das Gesichtsfeld der
Zeilenkamera 14 oder 16 etwa 25 solche Bilder, die jeweils um
82 Bildpunkte gegeneinander verschoben sind. Damit kann die
relative Lage der Kanten auf besser als ± 7 µm bestimmt
werden. Die relative Lage der Zeilenkameras 14 und 16 kann
z. B. durch Glasmaßstäbe auf ± 20 µm genau bestimmt werden.
Damit ergibt sich für die Bestimmung der Gesamtlänge eine
Genauigkeit von besser als ± 0,050 mm. Das ist eine
Genauigkeit von besser als 20 000 : 1.
Claims (11)
1. Vorrichtung zur genauen Messung der Länge von längs einer
geraden Bahn bewegten Teilen, deren Länge näherungsweise
bekannt ist, dadurch gekennzeichnet, daß
- (a) über der Bahn der Teile (10) zwei bildauflösende Sensormittel (14, 16) mit einer linearen Anordnung von Detektorelementen vorgesehen sind,
- (b) die Sensormittel (14, 16) einen der näherungsweise bekannten Länge der zu vermessenden Teile (10) entsprechenden Abstand ("a") in Bewegungsrichtung der Teile (10) gegeneinander versetzte Bereiche erfassen,
- (c) die Sensormittel (14, 16) synchronisiert auslesbar sind,
- (d) die Signale der Sensormittel (14, 16), die bei jeder Auslesung in Abhängigkeit von der Lage des jeweiligen Detektorelements ein hohes Signalniveau (30), ein niedriges Signalniveau (32) und dazwischen sich von Detektorelement zu Detektorelement zwischen den hohen und niedrigen Signalniveaus quasi-stetig variierende Werte aufweisen auf Bildverarbeitungsmittel (36) aufgeschaltet sind, welche daraus eine genaue relative Position der Kanten des Teiles (10) bestimmen und
- (e) wobei Längenrechenmittel (38) aus den relativen Kanten lagen und dem Abstand der die vordere und die hintere Kante des Teils (10) enthaltenden Bereiche die Länge des Teiles (10) in der Bewegungsrichtung (12) bestimmen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß
- (a) die Frequenz der Auslesung so hoch gewählt ist, daß beim Durchgang einer Kante des Teils (10) mehrere Auslesungen der Detektorelemente der Sensormittel (14, 16) erfolgen,
- (b) durch die Bildverarbeitungsmittel (36) die relative Lage der Kanten nach jeder Auslesung bestimmbar und durch die Längenrechenmittel (38) nach jeder Bestimmung der Kantenlagen die Länge des Teils (10) bestimmbar ist und
- (c) als Meßwert für die Länge des Teils ein Mittelwert der so bestimmten Längen ausgebbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß durch die Bildverarbeitungsmittel (36)
die relative Lage der Kanten des Teils durch lineare
Interpolation zwischen dem hohen und dem niedrigen
Signalniveau (30, 32) bestimmbar ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß
- (a) die Detektorelemente (18) der Sensormittel (42, 44, 46, 48) längs einer geraden Strecke (20) angeordnet sind und
- (b) die Sensormittel (42, 44, 46, 48) so angeordnet sind, daß der dann von den Detektorelementen (18) erfaßte gerade Streifen des Gesichtsfeldes unter einem Winkel zur Bewegungsrichtung (12) des Teils (10) so verläuft, daß er sich auch über eine Seitenkante des Teils (10) erstreckt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
- (a) zwei Zeilen der Sensormittel (42, 46 bzw. 44, 48) diagonal in bezug auf die Teile (10) angeordnet sind,
- (b) die Bildverarbeitungsmittel (36) zur Bestimmung von Verkantungen der Teile (10) relativ zu der Bewegungsrichtung (12) aus den von den Vorder- bzw. Hinterkanten und den Seitenkanten erhaltenen Signalstufen eingerichtet sind und
- (c) die Längenrechenmittel (38) zur Berechnung der Länge der Teile (10) unter Berücksichtigung von festgestellten Verkantungen programmiert sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Längenrechenmittel (38) zur
Bestimmung der Breite des Teils (10) aus den durch die
Seitenkanten des Teils hervorgerufenen Signalstufen
programmiert ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß
- (a) vier Zeilen von Detektorelementen der Sensormittel (42, 44, 46, 48) so angeordnet sind, daß sie die davon erfaßten Streifen des Gesichtsfeldes sich bei der Messung schräg zur Bewegungsrichtung über die vier Ecken eines durchlaufenden Teils (10) von rechteckiger Grundform erstrecken und
- (b) durch die Bildverarbeitungs- und Längenrechenmittel (36, 38) aus den von den Sensormitteln (42, 44, 46, 48) beobachteten Signalstufen Länge und Breite des Teils (10) redundant bestimmbar sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Sensormittel von Zeilenkameras
(14, 16) gebildet sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die Zeilenkameras (14, 16) relativ zueinander verschiebbar
auf einer gemeinsamen Halterung angebracht sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
die Position der Zeilenkameras (14, 16) auf der Halterung
durch Stellmotore einstellbar ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
die Sensormittel von einer einzigen Zeilenkamera mit zwei
räumlich getrennten Bereichen von Detektorelementen
gebildet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944438014 DE4438014C2 (de) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | Vorrichtung zur Messung der Länge von bewegten Teilen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944438014 DE4438014C2 (de) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | Vorrichtung zur Messung der Länge von bewegten Teilen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4438014A1 true DE4438014A1 (de) | 1996-05-02 |
DE4438014C2 DE4438014C2 (de) | 1997-07-31 |
Family
ID=6531587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944438014 Expired - Fee Related DE4438014C2 (de) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | Vorrichtung zur Messung der Länge von bewegten Teilen |
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