DE4434321A1 - Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern und dessen Herstellungsverfahren - Google Patents
Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern und dessen HerstellungsverfahrenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft die Struktur eines optischen Wellenlei
ters, der einen geringen Verlust aufweist und stabil ist, unter Verwen
dung einer Polymersubstanz als Kern des optischen Wellenleiters und
dessen Herstellungsverfahren.
Um eine hohe Leistungsfähigkeit, eine hohe Integration und niedrige
Kosten einer optischen Vorrichtung bzw. eines optischen Bauelements zu
erreichen, ist die Erforschung und Entwicklung von optischen Vorrichtun
gen, die die Struktur eines optischen Wellenleiters aufweisen, aktiv
durchgeführt worden.
Als Substanzen für einen optischen Wellenleiter sind die folgenden
Substanzen auf ihre Verwendung hin untersucht worden: Halbleiter (Si,
GaAs, InP usw.), dielektrische Substanzen (ferroelektrische Substanzen
wie LiNbO₃, LiTaO₃; Gläser, wie die SiO₂-Glasgruppe, die Verbundglas
gruppe usw.; Polymere wie Polymethacrylsäuremethylester, Polystyrol,
Polycarbonat, Polyimid usw.). Beispielsweise wird SiO₂ in der japani
schen Patentanmeldung mit der Offenlegungsnr. 3-15880 (1991) als Sub
stanz für einen optischen Wellenleiter verwendet, und ein Polymer wie
ein Polyimid wird in der japanischen Patentanmeldung mit der Offenle
gungsnr. 3-188402 (1991) oder in der japanischen Patentanmeldung mit
der Offenlegungsnr. 4-9807 (1992) als Substanz für einen optischen
Wellenleiter verwendet.
Unter den oben erwähnten optischen Wellenleitern hat ein optischer
Wellenleiter; der aus einem Polymer hergestellt ist, kürzlich großes
Interesse gefunden, da er durch ein einfaches Verfahren und bei gerin
gen Kosten hergestellt werden kann. Daher haben die Erfinder der
vorliegenden Erfindung ein in der Fig. 8 dargestelltes Verfahren unter
sucht, um ein Verfahren zur Herstellung eines polymeren optischen
Wellenleiters zu entwickeln.
Zuerst wird eine aus einer Polymersubstanz bestehende Pufferschicht 2,
die einen niedrigen Brechungsindex (nb) aufweist, auf einer Si-Trägersub
stanz 1 bzw. eines Si-Substrates, wie in Fig. 8(a) dargestellt ist, gebildet.
Danach wird eine aus einer Polymersubstanz hergestellte Kernschicht 3
(Brechungsindex nw, nw < nb) auf der Polymer-Pufferschicht 2, wie in Fig.
8(b) dargestellt, gebildet.
Die Pufferschicht und die Kernschicht, die oben beschrieben sind, werden
gebildet, indem man die in einem Lösungsmittel gelösten Polymere mit
einem Rotationsbeschichtungsverfahren aufträgt.
Danach wird ein Photoresistfilm auf die Polymerkernschicht 3, wie in
Fig. 8(c) dargestellt, aufgetragen. Nach Erhitzen des Photoresistfilms
wird durch Bestrahlung mit ultraviolettem Licht durch eine Maske ein
Maskenmuster auf dem Photoresist erzeugt.
Als nächstes wird ein Photoresistmuster 4 auf der Polymerkernschicht 3
durch Entwicklung, Reinigung und Trocknung gebildet.
Danach wird die Polymerkernschicht 3 in einer annähernd rechteckigen
Form, wie in Fig. 8(d) dargestellt, durch ein Trockenätzverfahren gebil
det.
Das Trockenätzverfahren wird unter Verwendung von O₂-Gas oder von
O₂-Gas, das mit einer kleinen Menge CF₄ als Ätzgas gemischt ist,
durchgeführt.
Abschließend wird der in Fig. 8(e) dargestellte optische Wellenleiter
hergestellt, indem man eine Polymerüberzugsschicht 5 mit einem Bre
chungsindex von nc (nc = nb) auf der gesamten Oberfläche der Polymer
kernschicht 3 bildet.
Es hat sich jedoch herausgestellt, daß die folgenden Probleme bei der
Herstellung eines polymeren optischen Wellenleiters nach dem in Fig. 8
dargestellten Verfahren auftreten.
- (1) Um den in Fig. 8(e) dargestellten optischen Wellenleiter zu bilden, ist eine Dicke der Polymerpufferschicht 2 von mehr als 8 µm not wendig. Weiterhin ist eine Dicke des Polymerkerns 3 von einigen µm bis einigen zehn µm bei einem Einzelmode-Wellenleiter; und von zehn µm bis Dutzende µm bei einem Multimode-Wellenleiter notwendig. Bei dem in Fig. 8(b) dargestellten Verfahren wird jedoch nach Bildung der Polymerpufferschicht 2, die aus einem Polyimid besteht und eine Dicke von mehr als 8 µm besitzt, die Polymerlösung (Polymer; gelöst in einem Lösungsmittel) zur Bildung einer Polyimid-Polymerkernschicht 3 mit einer Dicke von mehr als 4 µm aufgetragen und 30 Minuten bei einer Temperatur von 90°C erhitzt, und das verbleibende Lösungsmittel wird entfernt. Wenn bei dem nächsten Schritt die Polymerlösung 30 Minuten bei einer Tem peratur von 200°C erhitzt wird, tritt eine Rißbildung in der Polymer kernschicht 3 auf. Es wurde eine Versuchsreihe durchgeführt, wobei die Erhitzungsdauer und die Erhitzungstemperatur verändert wurde. Eine Rißbildung trat in jedem Fall auf, wobei es Unterschiede in der Menge der gebildeten Risse gab. Eine Untersuchung der Ursa che ergab, daß, [1] da die Substanzen der Polymerpufferschicht 2 und der Polymerkernschicht 3 gleich sind und folglich die Adhäsion zwischen Filmen stark ist, die Stärke der Kontraktion der Polymer kernschicht 3 in radialer Richtung die Stärke der Kontraktion in Richtung der Dicke überschreitet, wodurch die Rißbildung hervor gerufen wird; [2] da die Dicke der Polymerkernschicht zu groß ist, die verbleibende Spannung zu groß wird, wodurch die Rißbildung hervorgerufen wird; [3] da das Lösungsmittel in dem Polymerkern 3 in die Polymerpufferschicht 2 eindringt, eine Rißbildung auf der Oberfläche oder im Inneren der Polymerpufferschicht 2 und außer dem im Inneren des Polymerkerns 3 hervorgerufen wird.
- (2) Optische Wellenleiter sind durch die Verfahren (c), (d) und (e) der Fig. 8 unter Verwendung des Polymerkerns, der die oben beschriebe ne Rißbildung aufwies, hergestellt worden. Das Resultat besteht darin, daß die optischen Wellenleiter einen hohen Streuverlust auf grund ihrer ungleichmäßigen Struktur aufweisen.
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen optischen Wellenleiter
mit einem Polymerkern bereitzustellen, dessen für den Kern, d. h. für den
Teil, durch den das Licht übertragen wird, verwendetes Polymer, keine
Rißbildung aufweist, gleichförmig ist, einen geringen Verlust aufweist und
eine niedrige Polarisationscharakteristik besitzt.
Das zweite Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen optischen
Wellenleiter mit einem Polymerkern bereitzustellen, der in der Lage ist,
eine hochintegrierte optische Wellenleiterschaltung zu bilden, die eine
passive optische Schaltung und eine aktive optische Schaltung enthält.
Das dritte Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines
optischen Wellenleiters mit einem Polymerkern, der eine hohe Maßgenau
igkeit besitzt, und ein Herstellungsverfahren dafür.
Um die obigen Ziele zu erreichen, ist der erfindungsgemäße optische
Wellenleiter mit einem Polymerkern dadurch gekennzeichnet, daß er eine
Trägersubstanz, eine auf der Oberfläche der Trägersubstanz gebildete
Pufferschicht, die aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y
0,25 und 0 < z 0,03 ist (diese Bereichsangaben gelten auch im
folgenden), mit einer gewünschten Dicke besteht und die einen Bre
chungsindex von nb aufweist, einen auf der Pufferschicht gebildeten,
annähernd rechteckig-geformten Kern, der aus einer Polymersubstanz
besteht und der einen Brechungsindex von nw (nw < nb) aufweist, und
eine die Oberfläche der Pufferschicht und die Oberfläche des Kerns
bedeckende Überzugsschicht, die einen Brechungsindex von nc (nc < nw)
aufweist, umfaßt.
Erfindungsgemäß ist der Polymerkern zwischen einer Pufferschicht und
einer Überzugsschicht, die aus SiOxNyHz-Filmen bestehen, eingeschoben.
Da die Polymerschichten nicht in Form einer dicken, vielschichtigen
Schicht wie bei üblichen Polymerschichten ausgebildet sind, tritt eine
Rißbildung in dem Polymerkern nicht auf. Sogar wenn Si als Trägersub
stanz verwendet wird und darauf eine aus einem SiOxNyHz-Film beste
hende Pufferschicht mit einer Dicke von mehreren µm bis mehreren
zehn µm gebildet wird, ist die Spannung in der Si-Trägersubstanz extrem
niedrig in der erfindungsgemäßen Struktur. Es tritt keine Rißbildung in
einer solchen, auf der Pufferschicht gebildeten Kernschicht auf. Der
Grund dafür ist im folgenden beschrieben. Wenn eine Polymerschicht
auf eine Polymerschicht laminiert wird, besteht eine ausgezeichnete
Adhäsion zwischen diesen Schichten und die Kontraktion in radialer
Richtung aufgrund der Verdampfung des Lösungsmittels beim Erhitzen ist
groß, wodurch eine Rißbildung verursacht wird. Wenn auf der anderen
Seite eine SiOxNyHz-Schicht an eine Polymerschicht adhäriert wird, wird
keine Rißbildung hervorgerufen, da die Adhäsion nicht so stark wie in
dem oben genannten Fall ist, und da die Spannungen nicht in der
SiOxNyHz-Schicht und in der Si-Schicht bleiben, weil der Film mit dem
Plasma-CVD-Verfahren gebildet wird.
Der Brechungsindex des SiOxNyHz-Films kann in Abhängigkeit von der
Menge des N-Gehaltes, wie in Fig. 2 dargestellt, leicht von 1,46 bis
nahezu 1,60 variiert werden. Das hier in der Fig. 2 dargestellte Ergeb
nis ist aufgrund eines Versuches erhalten worden, der von den Erfindern
der vorliegenden Erfindung durchgeführt wurde. Da die Brechungsindizes
der meisten Polymere (z. B. Polyimid) in dem Bereich von 1,48 bis 1,62
liegen, liegt der Brechungsindex von SiOxNyHz innerhalb eines geeigneten
Bereiches, wenn die Differenz der spezifischen Brechungsindizes als
Verhältniswerte von einigen Zehntel-Prozent zu einigen Prozent eingestellt
werden. Das heißt, wenn ein SiOxNyHz-Film für die Überzugs-(Puffer)-
Schicht für den Fall verwendet wird, daß ein Polymer als Kern ver
wendet wird, stellt SiOxNyHz eine der am besten geeigneten Substanzen
für einen optischen Wellenleiter dar.
Weiterhin ist es schwierig, die Kante des Kerns zu schneiden und zu
polieren, wenn ein Polymer als Kern verwendet wird, weil das Polymer
weich ist. Wenn der Polymerkern auf der anderen Seite zwischen den
SiOxNyHz-Schichten aus einer harten Substanz angeordnet wird, wird es
leicht, seine Kante zu schneiden und zu polieren und ihn mit einer
hohen Maßgenauigkeit zu bearbeiten.
Daneben kann die SiOxNyHz-Schicht leicht mit Hilfe des Plasma-CVD-
Verfahrens bei niedriger Temperatur (unterhalb von 300°C) gebildet
werden. Im anderen Fall wird eine zurückgesetzt ausgebildete Nut auf
einer Si-Trägersubstanz gebildet, und eine aus einem SiOxNyHz-Film
bestehende Pufferschicht wird auf der Oberfläche der zurückgesetzt
ausgebildeten Nut mit Hilfe des Plasma-CVD-Verfahrens gebildet.
Danach wird eine Polymerlösung in die zurückgesetzt ausgebildete Nut
gegossen, wodurch die zurückgesetzt ausgebildete Nut gefüllt wird.
Danach erhitzt man zur Härtung und um eine Polymerkernschicht 3 zu
bilden. Es ist daher erkennbar; daß man eine Polymerkernschicht mit
einer Kante von extrem niedriger Rauhigkeit erhält. Dies ist wirkungs
voll zur Verringerung des Verlustes in einem optischen Wellenleiter.
Da die Polymerkernschicht nicht die gesamte Oberfläche der SiOxNyHz-
Pufferschicht bedeckt, kann zusätzlich dazu der optische Wellenleiter in
einem Zustand niedriger Spannung hergestellt werden.
Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung tritt eine
Rißbildung, die auf das Bestehen einer Spannung zurückzuführen ist,
kaum auf, da sich die Kontaktoberfläche zwischen der Polymerkernschicht
und der Polymerüberzugsschicht nur auf der oberen Oberfläche der
Polymerkernschicht befindet. Weiterhin tritt eine Rißbildung, die auf
eine Spannung zurückzuführen ist, nicht auf, da der größte Teil der
Polymerüberzugsschicht im Kontakt mit der SiOxNyHz-Pufferschicht steht.
Gemäß einem noch weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung ist es
möglich, verschiedene Arten von Polymersubstanzen zu verwenden, wie
z. B. Polyimid, Polycarbonat, Polymethacrylsäuremethylester; Polystyrol usw.,
da der SiOxNyHz-Film ausreichend in der Lage ist, den Bereich der
Brechungsindizes der Polymere, die für die Pufferschicht und für die
Überzugsschicht verwendet werden, abzudecken.
Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung ist es
möglich, durch Verwendung einer geraden Linie, einer gekrümmten Linie,
einer S-förmigen gekrümmten Linie, einer ringförmigen Linie und par
allelen Linien als Kernmuster optische Schaltungen für eine optische
Verzweigungs-/Zusammenführungs-Schaltung, einen optischen Sternkoppler,
eine optische Multi-/Demultiplex-Schaltung, einen optischen Filter, eine
optische Abzweigung usw. zu erzeugen. Wenn, wie oben beschrieben, ein
Polymer für den Kern und ein SiOxNyHz-Film für die Überzugsschicht
verwendet wird, ist es möglich, die Größe des Wellenleiters klein zu
halten, weil der Unterschied der spezifischen Brechungsindizes auf einen
großen Wert eingestellt werden kann. Mit einem Wellenleiter, der eine
geringe Größe besitzt, kann eine hochintegrierte optische Schaltung auf
einer einzigen Trägersubstanz realisiert werden. Da die Größe des
Wellenleiters klein gehalten werden kann, verringert sich weiterhin der
Übertragungsverlust des Wellenleiters und die Herstellungskosten können
erniedrigt werden, indem man die Menge der zu verwendenden Sub
stanzen verringert.
Gemäß einem weiteren Merkmal der vorliegenden Erfindung ist es mög
lich, verschiedene Arten von Trägersubstanzen zu verwenden, da der
SiOxNyHz-Pufferfilm, der für die Pufferschicht und für die Überzugs
schicht verwendet wird, kompatibel mit Substanzen wie Halbleitern,
dielektrischen Substanzen, magnetischen Substanzen usw. ist. Damit ist
es möglich, optische Wellenleiterschaltungen zu realisieren, die nicht nur
passive optische Schaltungen, sondern auch aktive optische Schaltungen
enthalten, wie einen Halbleiter-Laser, ein optisches Empfängerelement,
einen optischen Verstärker, einen optischen Modulator, einen optischen
Schalter usw.
Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung, nämlich der
Bildung einer zweiten Überzugsschicht auf der Überzugsschicht, die aus
einer Substanz besteht, die ausgewählt ist unter SiO₂, und SiO₂, das
wenigstens eine Sorte von Additiven zum Steuern des Brechungsindex
enthält, dient die zweite Überzugsschicht als Schutzschicht, um die Erhö
hung des Verlustes in dem optischen Wellenleiter zu unterdrücken, sowie
als Schutzschicht gegen eine Deformation der Kante des Polymerkerns
aufgrund seiner Weichheit, wenn der optische Wellenleiter an der Kante
geschnitten und poliert wird. Da der Polymerkern mit harten Substanzen
der Trägersubstanz an der Unterseite und in der zweiten Überzugsschicht
geschützt ist, ist es leicht, die Kante des Polymerkerns zu schneiden und
zu polieren. Somit ist es möglich, die senkrechte Stellung der Kante des
optischen Wellenleiters reproduzierbar zu erzeugen.
Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung stellt ein Herstellungs
verfahren des optischen Wellenleiters mit einem Polymerkern dar. Das
Herstellungsverfahren des optischen Wellenleiters mit einem Polymerkern
ist dadurch gekennzeichnet, daß es ein Verfahren zur Bildung von
Schichten auf der Oberfläche einer Trägersubstanz in der Reihenfolge
einer Pufferschicht aus einem SiOxNyHz-Film, einer Kernschicht aus einer
Polymersubstanz und einer Maskenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, ein
Verfahren zur Bildung eines Photoresistmusters auf der SiOxNyHz-Mas
kenschicht durch ein Photolithographie-Verfahren, ein Verfahren zur
Erzeugung eines Musters auf der SiOxNyHz-Maskenschicht unter Ver
wendung des Photoresistmusters als Maske durch ein Trockenätzverfahren,
ein Verfahren zur Ätzung der Polymerschicht unter Verwendung des
SiOxNyHz-Maskenmusters als Maske durch ein Trockenätzverfahren, und
ein Verfahren zur Bedeckung der Oberflächen des trocken geätzten
Polymerkerns mit einer Überzugsschicht umfaßt.
Gemäß dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung dient die
SiOxNyHz-Maskenschicht als Maske, wenn die Polymerkernschicht trocken
geätzt wird, wodurch ein annähernd rechteckig-geformter Kern gebildet
wird, sowie als Schutzschicht, um eine Erhöhung des Verlustes aufgrund
einer Kontamination der Polymerkernschicht und der Rauhigkeit der
Polymerkernschicht zu unterdrücken. Weiterhin kann der Polymerkern in
einer ausgezeichneten senkrechten Stellung und mit einer hohen Maß
genauigkeit gebildet werden, da die Polymerkernschicht mit einem hohen
Selektivitätsverhältnis (Verhältnis der Ätzrate der Polymerkernschicht zur
Ätzrate der SiOxNyHz-Maske) geätzt werden kann.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegen
den Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von
Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeich
nung zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht, die eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines
polymeren optischen Wellenleiters erläutert,
Fig. 2 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen dem Brechungsindex
und der Stickstoff-Konzentration in dem in der vorliegenden
Erfindung verwendeten SiOxNyHz-Film zeigt (das Ergebnis, das
von den Erfindern der vorliegenden Erfindung experimentell
erhalten wurde),
Fig. 3 eine Ansicht, die eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines
polymeren optischen Wellenleiters erläutert,
Fig. 4 eine Ansicht, die eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines
polymeren optischen Wellenleiters erläutert,
Fig. 5 eine Ansicht, die eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines
polymeren optischen Wellenleiters erläutert,
Fig. 6 eine Ansicht, die ein erfindungsgemäßes Herstellungsverfahren
eines polymeren optischen Wellenleiters erläutert,
Fig. 7 ein Diagramm, das erfindungsgemäße Beispiele von Kernmustern
in dem optischen Wellenleiter mit einem Polymerkern zeigt,
Fig. 8 eine Ansicht, die ein übliches Herstellungsverfahren eines poly
meren optischen Wellenleiters, das von den Erfindern der vor
liegenden Erfindung untersucht wurde, erläutert.
Die vorliegende Erfindung wird im folgenden, unter Bezugnahme auf die
beigefügte Zeichnung, genau beschrieben.
Fig. 1 zeigt die erste erfindungsgemäße Ausführungsform eines polymeren
optischen Wellenleiters.
Als Substanzen für die Trägersubstanz 1 können die folgenden Substan
zen verwendet werden: Halbleiter (Si, GaAs, InP usw.), dielektrische
Substanzen (ferroelektrische Substanzen wie LiNbO₃, LiTaO₃, Gläser wie
die SiO₂-Glasgruppe, die Verbundglasgruppe usw.; Polymere wie ein
Epoxyharz, Polycarbonat, Polyimid, Teflon usw.). In der Ausführungsform
wird jedoch eine Si-Trägersubstanz verwendet. Eine aus einem SiOxNyHz-
Film bestehende Pufferschicht 6 wird auf der Oberfläche der Si-
Trägersubstanz 1 gebildet. Die SiOxNyHz-Pufferschicht 6 wird mit dem
Plasma-CVD-Verfahren gebildet. Anders ausgedrückt werden eine obere
Elektrode und eine untere Elektrode in eine Reaktionskammer gebracht,
die zur Erzeugung eines Vakuums evakuiert wird, die Si-Trägersubstanz
1 wird auf der unteren Elektrode plaziert und auf etwa 270°C erhitzt,
eine elektrische Hochfrequenzleistung wird den beiden Elektroden zu
geführt, wodurch ein Plasma hergestellt wird, und der SiOxNyHz-Film
wird gebildet, indem man ein Gasgemisch aus SiH₄, N₂O und N₂ in die
Plasmaumgebung fließen läßt. Der SiOxNyHz-Film wird so gebildet, daß
er eine Dicke von etwa 8 µm aufweist, und der Stickstoff-Gehalt wird so
gesteuert, daß er 18 Atom-% beträgt, so daß der Brechungsindex (der
Wert bei einer Wellenlänge von 0,63 µm) 1,5415 beträgt.
Da das Herstellungsverfahren dieses SiOxNyHz-Films detailliert in jeder
der folgenden Veröffentlichungen von einem Erfinder der vorliegenden
Erfindung beschrieben worden ist: TECHNICAL REPORT OF IEICE
OQE92-110 (1992-10) unter Bezugnahme auf Fig. 5 auf Seite 11, und
Materials in Microelectronic and Optoelectronic Packaging, Bd. 33 (1992-
11) unter Bezugnahme auf Fig. 13 auf Seite 52, wird die Erläuterung
davon hier weggelassen.
Die Verwölbung der Si-Trägersubstanz, auf der der SiOxNyHz-Film
gebildet wird, beträgt weniger als 7 µm für eine Trägersubstanz mit
einem Durchmesser von 3 Inch. Die Verwölbung weist einen sehr
kleinen Wert auf. Ein Polyimid (ein Film, der aus einem Gemisch der
Produkte mit den Nr. PIQ-W100 und PIQ-W200 besteht, die Produkte
von Hitachi Chemicals Co. sind) wird für die Polymerkernschicht 3 auf
der Pufferschicht verwendet. Die Polymerkernschicht 3 dieser Ausfüh
rungsform wird für einen Einzelmode-Kern und für eine Lichtwellenlänge
von 0,83 µm eingesetzt und besitzt einen Brechungsindex von 1,5560 (bei
einer Wellenlänge von 0,63 µm), eine Kernbreite von 5 µm und eine
Kerndicke von 3 µm. Das oben genannte Polyimid wird gebildet, indem
man PIQ-W100 und PIQ-W200, gelöst in einem Dimethylacetamid-Lö
sungsmittel, auf die Pufferschicht mit Hilfe eines Rotationsbeschichtungs
verfahrens aufträgt und danach 30 Minuten bei 90°C, 30 Minuten bei
200°C und eine Stunde bei 350°C erhitzt. Danach wird ein Photoresist
muster auf der Polyimidkernschicht mit Hilfe eines Photolithographie-
Verfahrens gebildet. Danach wird mit einem Trockenätzverfahren die
Trockenätzung in einer Plasmaumgebung unter Verwendung von O₂-Gas
als Ätzgas (reaktive Ionenätzung) durchgeführt, um eine annähernd recht
eckig-geformte Polymerkernschicht 3 zu erhalten. Abschließend wird eine
SiOxNyHz-Überzugsschicht 7 auf der Oberfläche unter Verwendung des
oben beschriebenen Plasma-CVD-Verfahrens gebildet, wodurch man einen
optischen Wellenleiter erhält. Die Dicke der SiOxNyHz-Überzugsschicht
7 beträgt 8 µm, und der Brechungsindex ist der gleiche wie der der
Pufferschicht.
Aufgrund des oben beschriebenen Verfahrens weist der Wellenleiter mit
einem Polymerkern keine Rißbildung auf. Das heißt, daß sich die
Verwölbung der Si-Trägersubstanz nach dem Schritt der Bildung der
Polyimidkernschicht kaum erhöht hat im Vergleich zum Schritt der
Bildung der SiOxNyHz-Überzugsschicht 7.
Fig. 3 zeigt die zweite erfindungsgemäße Ausführungsform eines optischen
Wellenleiters mit einem Polymerkern. Bei dieser Ausführungsform wird
ein zurückgesetzt ausgebildeter Abschnitt 8 zur Einbettung eines Kernmu
sters auf der Oberfläche der Si-Trägersubstanz 1 vorher bereitgestellt.
Nach Bildung einer SiOxNyHz-Pufferschicht 6 auf der Oberfläche der Si-
Trägersubstanz mit dem zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt 8 wird
eine Polyimidlösung in den zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt 8
gegossen und erhitzt, wodurch ein Polyimid gebildet wird, das in die Nut
des zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitts 8 eingebettet ist. Das Merk
mal dieses optischen Wellenleiters ist, daß die Rauhigkeit der seitlichen
Oberfläche des Kerns sehr klein gehalten werden kann, da kein Bedarf
besteht, die Polyimidkernschicht in annähernd rechtwinkliger Form durch
eine Trockenätzung zu bilden. Dadurch wird der Streuverlust des opti
schen Wellenleiters klein. Weiterhin besteht kein Bedarf, die gesamte
Oberfläche der SiOxNyHz-Pufferschicht mit der Polyimidkernschicht zu
bedecken, um die rechtwinklig-geformte Polymerkernschicht 3 zu erhalten.
Daher kann das Auftreten einer Spannung unterdrückt werden.
Weiterhin zeigt Fig. 4 die dritte erfindungsgemäße Ausführungsform eines
optischen Wellenleiters mit einem Polymerkern. Bei dieser Ausführungs
form wird eine Polymerüberzugsschicht 5 anstelle der in der Fig. 3
verwendeten SiOxNyHz-Überzugsschicht verwendet. Bei diesem Aufbau
findet eine Rißbildung, die auf das Auftreten einer Spannung zurückzu
führen ist, kaum statt, da die Polymerkernschicht 3 und die Polymerüber
zugsschicht 5 nicht weitflächig miteinander in Kontakt stehen.
Weiterhin zeigt Fig. 5 die vierte erfindungsgemäße Ausführungsform eines
optischen Wellenleiters mit einem Polymerkern. Bei dieser Ausführungs
form wird, wie oben beschrieben, eine zweite Überzugsschicht, die aus
einer Substanz besteht, die ausgewählt ist unter SiO₂ und SiO₂, das
wenigstens eine Sorte von Additiven zur Steuerung des Brechungsindex
enthält, auf der Überzugsschicht gebildet, wobei die zweite Überzugs
schicht als Schutzschicht, um eine Erhöhung des Verlustes in dem opti
schen Wellenleiter zu unterdrücken sowie als Schutzschicht gegen eine
Deformation an der Kante des Polymerkerns, die aufgrund seiner Weich
heit auftritt, wenn der optische Wellenleiter an der Kante geschnitten
und poliert wird, dient. Da der Polymerkern durch harte Substanzteile
der Trägersubstanz an der Unterseite und durch die zweite Überzugs
schicht geschützt ist, ist es einfach, die Kante des Polymerkerns zu
schneiden und zu polieren. Somit ist es möglich, eine senkrechte Struk
tur an der Kante des optischen Wellenleiter reproduzierbar zu erzeugen.
Vorzugsweise ist der Brechungsindex der zweiten Überzugsschicht 9 gleich
oder kleiner als der Brechungsindex der Polymerüberzugsschicht 5. Die
zweite Überzugsschicht 9 kann eine Glasplatte sein. In diesem Fall
können die Polymerüberzugsschicht 5 und die oben genannte Glasplatte
unter Verwendung eines Klebstoffs aneinander befestigt werden.
Fig. 6 zeigt eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines Herstellungs
verfahrens für einen optischen Wellenleiter mit einem Polymerkern. Das
Merkmal des Herstellungsverfahrens besteht darin, daß die SiOxNyHz-
Maskenschicht als Maske, wenn die Polymerkernschicht unter Verwendung
einer Trockenätzung geätzt wird, wodurch ein annähernd rechtwinklig-
geformter Kern gebildet wird, sowie als Schutzschicht dient, um eine
Erhöhung des Verlustes, der aufgrund einer Kontamination der Polymer
kernschicht auftritt, zu unterdrücken. Da die Polymerkernschicht mit
einem hohen Selektivitätsverhältnis geätzt werden kann, kann der Poly
merkern außerdem ausgezeichnet senkrecht und mit einer hohen Maß
genauigkeit gebildet werden. Das Herstellungsverfahren wird unter
Bezugnahme auf die Figur im folgenden beschrieben. Wie in Fig. 6(a)
dargestellt ist, wird zunächst eine Pufferschicht 6 aus einem SiOxNyHz-
Film auf der Oberfläche einer Trägersubstanz 1 gebildet. Diese SiOxNyHz-
Pufferschicht 6 kann mit Hilfe des Plasma-CVD-Verfahrens unter
Verwendung einer Metall-Alkoxid-Flüssigkeit (z. B. Si(OC₂H₅)₄), N₂O und
N2 oder mit Hilfe eines Elektronenstrahl-Aufdampf-Verfahrens unter
Verwendung eines Tablettengemisches von SiO₂ und Si₃N₄ oder mit
Hilfe eines anderen Verfahrens als dem Plasma-CVD-Verfahren unter
Verwendung des Gasgemisches aus SiH₄, N₂O und N₂, wie oben be
schrieben, hergestellt werden. Wie in Fig. 6(b) dargestellt ist, wird
danach eine Polymerkernschicht 3 auf der SiOxNyHz-Pufferschicht 6
gebildet. Wie in Fig. 6(c) dargestellt ist, wird danach eine SiOxNyHz-
Maskenschicht 10 auf der Polymerkernschicht 3 gebildet. Die SiOxNyHz-
Maskenschicht 10 dient später als Teil einer Überzugsschicht. Der
Brechungsindex der SiOxNyHz-Maskenschicht 10 wird gleich oder kleiner
als der Brechungsindex der SiOxNyHz-Überzugsschicht 7, die später
gebildet wird, gewählt. Die SiOxNyHz-Maskenschicht 10 wird auch mit
Hilfe des Plasma-CVD-Verfahrens bei niedriger Temperatur (niedriger als
300°C) gebildet. Auf dieser SiOxNyHz-Maskenschicht 10 wird ein Photo
resistmuster 4 mit Hilfe eines Photolithographie-Verfahrens, wie in Fig.
6(d) dargestellt, gebildet. Im folgenden wird auf der SiOxNyHz-Masken
schicht 10 unter Verwendung des Photoresistmusters 4 mit Hilfe eines
Trockenätzverfahrens ein Muster erzeugt, wie in Fig. 6(e) dargestellt.
Zu diesem Zeitpunkt wird CHF₃-Gas als Ätzgas verwendet, wobei die
Ätzung unter einem niedrigen Gasdruck von 0,05 bis 0,01 Torr durchge
führt wird. Danach wird die Trockenätzung der Polymerkernschicht 3
unter Verwendung der SiOxNyHz-Maskenschicht 10, wie in Fig. 6(f)
dargestellt ist, durchgeführt, um eine annähernd rechteckige Form zu
bilden. Zu diesem Zeitpunkt wird O₂-Gas oder CF₄-Gas, dem O₂
zugesetzt worden ist, als Ätzgas verwendet. Abschließend wird die in
Fig. 6(f) dargestellte gesamte, trocken geätzte Oberfläche mit einer SiOxNyHz-
Überzugsschicht 7 bedeckt, wie in Fig. 6(g) dargestellt. Auf diese
Weise ist ein optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern hergestellt
worden.
Obwohl Si als Trägersubstanz in der oben beschriebenen Ausführungs
form verwendet worden ist, ist die Substanz nicht auf Si beschränkt, und
es können verschiedene Sorten von Substanzen als Trägersubstanz, wie
oben beschrieben, verwendet werden. Weiterhin können verschiedene
Sorten von Polymersubstanzen, und zwar andere als ein Polyimid, als
Substanz für die Polymerkernschicht 3 verwendet werden.
Es ist klar, daß das in Fig. 6 dargestellte Herstellungsverfahren für einen
Polymerkern auf die in den Fig. 2 bis 5 dargestellten erfindungsgemäßen
Ausführungsformen angewendet werden kann.
Fig. 7 zeigt Beispiele für Kernmuster bei dem erfindungsgemäßen Wel
lenleiter mit einem Polymerkern. Wie in der Figur dargestellt ist, ist es
möglich, durch Verwendung einer geraden Linie, einer gekrümmten Linie,
einer S-förmigen gekrümmten Linie, einer ringförmigen Linie und par
allelen Linien als Kernmuster optische Schaltungen für eine optische
Verzweigungs-/Zusammenführungs-Schaltung, einen optischen Sternkoppler,
eine optische Multi-/Demultiplex-Schaltung, einen optischen Filter, eine
optische Abzweigung usw. zu erzeugen. Da bei dem erfindungsgemäßen
Wellenleiter mit einem Polymerkern ein SiOxNyHz-Film als Überzugs
schicht verwendet wird, ist es möglich, die Größe des Wellenleiters klein
zu halten, weil der Unterschied der spezifischen Brechungsindizes groß
gewählt werden kann. Mit einem Wellenleiter von geringer Größe kann
eine hochintegrierte optische Schaltung auf einer einzigen Trägersubstanz
erzeugt werden. Da die Größe des Wellenleiters klein gehalten werden
kann, verringert sich außerdem der Übertragungsverlust des Wellenleiters,
und die Herstellungskosten können durch Verringerung der verwendeten
Substanzmenge erniedrigt werden.
Da der für die Pufferschicht und die Überzugsschicht verwendete SiOxNyHz-
Film kompatibel mit Substanzen wie Halbleitern, dielektrischen
Substanzen, magnetischen Substanzen usw. ist, ist es möglich, verschiede
ne Sorten von Trägersubstanzen (Halbleiter, dielektrische Substanzen,
magnetische Substanzen usw.) zu verwenden. Somit ist es möglich,
optische Wellenleiterschaltungen zu erzeugen, die nicht nur passive
optische Schaltungen, sondern auch aktive optische Schaltungen, wie
einen Halbleiterlaser, ein optisches Empfängerelement, einen optischen
Verstärker, einen optischen Modulator, einen optischen Schalter usw.
beinhalten.
Wie oben beschrieben weisen der erfindungsgemäße optische Wellenleiter
mit einem Polymerkern und das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren
die folgenden Effekte auf.
- (1) Es ist möglich, einen optischen Wellenleiter mit einem Polymerkern zu erhalten, dessen für den Kern, d. h. für den Teil, durch den das Licht übertragen wird, verwendetes Polymer keine Rißbildung auf weist und gleichmäßig ist.
- (2) Es ist möglich, einen optischen Wellenleiter zu erhalten, der einen geringen Verlust und eine niedrige Polarisierungscharakteristik auf weist, da die in dem optischen Wellenleiter verbleibende Spannung extrem niedrig ist.
- (3) Da der SiOxNyHz-Film, der ausreichend geeignet ist zur Abdeckung des Brechungsindexbereiches der Polymere, für die Überzugsschicht (die Pufferschicht) verwendet wird, ist es möglich, verschiedene Sorten von Polymersubstanzen zu verwenden. Da der SiOxNyHz- Film im Vergleich zu den Polymersubstanzen eine harte Substanz ist, und da der Polymerkern von den harten Substanzen geschützt ist, ist es leicht, die Kante des Polymerkerns mit einer hohen Maßgenau igkeit zu schneiden und zu polieren.
- (4) Da nach der Bildung eines zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitts auf einer Trägersubstanz und der Bildung eines SiOxNyHz-Films auf dem zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt eine Polymerlösung in die Nut des zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitts 8 gegossen wird, wodurch ein rechteckig-geformter Polymerkern gebildet wird, kann die Rauhigkeit der seitlichen Oberfläche des Kerns klein gehalten werden. Es ist möglich, den Streuverlust des optischen Wellenleiters gering zu halten.
- (5) Die auf der Überzugsschicht gebildete zweite Überzugsschicht, die aus einer Substanz besteht, die ausgewählt ist unter SiO₂ und SiO₂, das wenigstens eine Sorte von Additiven zur Steuerung des Bre chungsindex enthält, dient als Schutzschicht, um eine Erhöhung des Verlustes in dem optischen Wellenleiter zu unterdrücken, sowie als Schutzschicht gegen eine Deformation der Kante des Polymerkerns, die aufgrund seiner Weichheit auftritt, wenn der optische Wellenlei ter an der Kante geschnitten und poliert wird. Da der Polymerkern von den harten Substanzen der Trägersubstanz an der Unterseite und von der zweiten Überzugsschicht geschützt ist, ist es einfach, die Kante des Polymerkerns zu schneiden und zu polieren. Somit ist es möglich, eine Senkrechtheit an der Kante des optischen Wel lenleiters reproduzierbar zu erzeugen.
- (6) Die SiOxNyHz-Maskenschicht dient als Maske, wenn die Polymer kernschicht durch eine Trockenätzung geätzt wird, wodurch ein annä hernd rechteckig-geformter Kern gebildet wird, sowie als Schutz schicht, um eine Erhöhung des Verlustes, die aufgrund einer Kon tamination der Polymerkernschicht hervorgerufen wird, zu unterdrüc ken. Außerdem kann der Polymerkern ausgezeichnet senkrecht und mit einer hohen Maßgenauigkeit gebildet werden, da der Polymer kern mit einem großen Selektivitätsverhältnis geätzt werden kann.
Claims (14)
1. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern, umfassend eine
Trägersubstanz, eine auf der Oberfläche der Trägersubstanz gebildete
Pufferschicht, die aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0
< y 0,25 und 0 < z 0,03, einer gewünschten Dicke mit einem
Brechungsindex nb besteht, einen auf der Pufferschicht gebildeten,
annähernd rechtwinklig geformten Kern, der aus einer Polymersub
stanz mit einem Brechungsindex nw (nw < nb) besteht und eine die
Oberflächen der Pufferschicht und des Kerns bedeckende Überzugs
schicht mit einem Brechungsindex nc (nc < nw).
2. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß Anspruch 1,
wobei die Überzugsschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, besteht.
3. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß Anspruch 1,
wobei die Überzugsschicht aus einer Polymersubstanz besteht.
4. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß Anspruch 1,
wobei ein dünner SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25
und 0 < z 0,03, zwischen der oberen Oberfläche des Kerns und
der Überzugsschicht gebildet ist.
5. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 3, wobei ein nahezu zurückgesetzt ausgebildeter
Abschnitt auf der Oberfläche der Trägersubstanz gebildet ist, eine
Pufferschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y
0,25 und 0 < z 0,03, auf der Oberfläche der Trägersubstanz
gebildet ist, ein Kern, der aus einer Polymersubstanz besteht, in den
zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt der Pufferschicht eingebettet
ist, und die Pufferschicht und die Oberfläche des Kerns mit einer
Überzugsschicht bedeckt sind.
6. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 4, wobei der Kern aus einer Polymersubstanz
besteht, die ausgewählt ist unter Polyimid, Polycarbonat, Polymeth
acrylsäuremethylester und Polystyrol.
7. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 4, wobei der annähernd rechteckig geformte Kern
wenigstens eines der Kernmuster aufweist, die ausgewählt sind unter
einer geraden Linie, einer gekrümmten Linie, einer S-förmigen
gekrümmten Linie, einer ringförmigen Linie und parallelen Linien.
8. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 4, wobei die Trägersubstanz aus einer Substanz
besteht, die ausgewählt ist unter einem Halbleiter, einer dielektri
schen Substanz und einer magnetischen Substanz.
9. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 4, wobei die Trägersubstanz aus einer Substanz
hergestellt ist, die ausgewählt ist unter einem Halbleiter, einer
dielektrischen Substanz, einer magnetischen Substanz, wobei eine
passive optische Schaltung und eine aktive optische Schaltung unter
Verwendung des annähernd rechteckig-geformten Kerns gebildet sind.
10. Optischer Wellenleiter mit einem Polymerkern gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 7, umfassend eine zweite Überzugsschicht auf der
Überzugsschicht, bestehend aus einer Substanz, die ausgewählt ist
unter SiO₂-Glas und SiO₂-Glas, das wenigstens eine Sorte von
Zusätzen zur Steuerung des Brechungsindexes enthält.
11. Herstellungsverfahren eines optischen Wellenleiters mit einem Poly
merkern, umfassend:
ein Verfahren zur Bildung von Schichten auf der Oberfläche einer Trägersubstanz in der Reihenfolge einer Pufferschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, einer Kernschicht aus einer Polymersubstanz, und einer Mas kenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03,
ein Verfahren zur Bildung eines Photoresistmusters auf der Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03 mittels eines Photolithographieverfahrens,
ein Verfahren, um die Maskenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1,0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, unter Ver wendung des Photoresistmusters als Maske mittels eines Trocken ätzverfahrens mit einem Muster zu versehen,
ein Verfahren zur Ätzung der Polymerschicht unter Verwendung des SiOxNyHz-Maskenmusters, worin 0,72 x < 1, 0 < y 025 und 0 < z 0,03, als Maske mittels eines Trockenätzverfahrens,
ein Verfahren zur Bedeckung der Oberfläche des trocken geätzten Polymerkerns mit einer Überzugsschicht.
ein Verfahren zur Bildung von Schichten auf der Oberfläche einer Trägersubstanz in der Reihenfolge einer Pufferschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, einer Kernschicht aus einer Polymersubstanz, und einer Mas kenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03,
ein Verfahren zur Bildung eines Photoresistmusters auf der Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03 mittels eines Photolithographieverfahrens,
ein Verfahren, um die Maskenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1,0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, unter Ver wendung des Photoresistmusters als Maske mittels eines Trocken ätzverfahrens mit einem Muster zu versehen,
ein Verfahren zur Ätzung der Polymerschicht unter Verwendung des SiOxNyHz-Maskenmusters, worin 0,72 x < 1, 0 < y 025 und 0 < z 0,03, als Maske mittels eines Trockenätzverfahrens,
ein Verfahren zur Bedeckung der Oberfläche des trocken geätzten Polymerkerns mit einer Überzugsschicht.
12. Herstellungsverfahren eines optischen Wellenleiters mit einem Poly
merkern, umfassend:
ein Verfahren zur Bildung eines zurückgesetzt ausgebildeten Ab schnitts auf der Oberfläche einer Trägersubstanz,
ein Verfahren zur Bildung einer Pufferschicht aus einem SiOxNyHz- Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, auf der Trägersubstanz,
ein Verfahren zur Bildung einer Kernschicht aus einer Polymersub stanz in dem zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt, der dem zurück gesetzt ausgebildeten Abschnitt der Pufferschicht entspricht,
ein Verfahren zur Bildung einer Maskenschicht aus einem SiOxNyHz- Film, 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, auf der Pufferschicht und der Oberfläche des Kerns, wobei die Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, als Teil einer Überzugsschicht dient,
ein Verfahren zur Bildung eines Photoresistmusters auf der Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, mittels eines Photolithographieverfahrens,
ein Verfahren, um die Maskenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, unter Ver wendung des Photoresistmusters als Maske mittels eines Trockenätz verfahrens mit einem Muster zu versehen,
ein Verfahren zur Ätzung der Polymerschicht unter Verwendung des SiOxNyHz-Maskenmusters, worin 0,72 x < 1,0 < y 025 und 0 < z 0,03, als Maske mittels eines Trockenätzverfahrens,
ein Verfahren zur Bedeckung der Oberfläche des trocken geätzten Polymerkerns mit einer Überzugsschicht.
ein Verfahren zur Bildung eines zurückgesetzt ausgebildeten Ab schnitts auf der Oberfläche einer Trägersubstanz,
ein Verfahren zur Bildung einer Pufferschicht aus einem SiOxNyHz- Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, auf der Trägersubstanz,
ein Verfahren zur Bildung einer Kernschicht aus einer Polymersub stanz in dem zurückgesetzt ausgebildeten Abschnitt, der dem zurück gesetzt ausgebildeten Abschnitt der Pufferschicht entspricht,
ein Verfahren zur Bildung einer Maskenschicht aus einem SiOxNyHz- Film, 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, auf der Pufferschicht und der Oberfläche des Kerns, wobei die Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, als Teil einer Überzugsschicht dient,
ein Verfahren zur Bildung eines Photoresistmusters auf der Masken schicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, mittels eines Photolithographieverfahrens,
ein Verfahren, um die Maskenschicht aus einem SiOxNyHz-Film, worin 0,72 x < 1, 0 < y 0,25 und 0 < z 0,03, unter Ver wendung des Photoresistmusters als Maske mittels eines Trockenätz verfahrens mit einem Muster zu versehen,
ein Verfahren zur Ätzung der Polymerschicht unter Verwendung des SiOxNyHz-Maskenmusters, worin 0,72 x < 1,0 < y 025 und 0 < z 0,03, als Maske mittels eines Trockenätzverfahrens,
ein Verfahren zur Bedeckung der Oberfläche des trocken geätzten Polymerkerns mit einer Überzugsschicht.
13. Herstellungsverfahren eines optischen Wellenleiters mit einem Poly
merkern gemäß Anspruch 11 oder Anspruch 12, umfassend ein
Verfahren zur Bildung einer zweiten Überzugsschicht auf der Über
zugsschicht, besteht aus einer Substanz, die ausgewählt ist unter SiO₂
und SiO₂, das wenigstens eine Sorte von Zusätzen zur Steuerung des
Brechungsindex enthält.
14. Herstellungsverfahren eines optischen Wellenleiters mit einem Poly
merkern gemäß Anspruch 11 oder Anspruch 12, wobei der Kern
wenigstens eines der Kernmuster enthält, die ausgewählt sind unter
einer geraden Linie, einer gekrümmten Linie, einer S-förmig ge
krümmten Linie, einer ringförmigen Linie und parallelen Linien.
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