DE4416978C2 - Drucksensor - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor, mit einem zylinderförmigen Gehäuse, einer zylinderförmigen Druckmeßzelle, einem Abstützring und einer Dichtung, wobei die Druckmeßzelle in dem Gehäuse vorgesehen ist und einen Grundkörper und eine Membran aufweist, die Membran mit einem Druckmedium beaufschlagbar ist und in dem mit dem Druckmedium beaufschlagten Zustand eine Durchbiegung aufweist, der Grundkörper auf der nicht beaufschlagbaren Seite der Membran vorgesehen ist, auf seiner der Membran abgewandten Seite an dem Abstützring anliegt und in dem mit dem Druckmedium beaufschlagten Zustand eine Durchbiegung aufweist, der Ab­ stützring an dem Gehäuse befestigt ist und an seinem Umfang angeordnete, durch Zwischenräume voneinander getrennte beinförmige Bereiche aufweist und die Dich­ tung zwischen dem Druckmedium und dem Innenraum des Gehäuses angeordnet ist.

Ein solches Druckmeßgerät ist z. B. aus der US 46 17 607 bekannt. Ähnliche, z. B. als kapazitive oder induktive Drucksensoren ausgebildete Druckmeßgeräte sind ferner unter anderem aus den Schriften DE 27 09 945, DE 39 09 185, DE 39 10 646, DE 39 12 217, DE 39 42 047, DE 39 43 475 und DE 42 44 450 bekannt. Auch bestimmte Typen von Druckmeßgeräten mit Dehnmeßstreifen arbeiten in der oben genannten Weise, wobei der Grundkörper unter Umständen entfallen kann.

Aus der Patentschrift US 46 17 607 ist ein Drucksensor mit einer kapazitiven Druck­ meßzelle aus Aluminiumoxid bekannt, die einen Grundkörper und eine Membran aufweist. Die Rückseite des Grundkörpers drückt dabei über einen Abstandshalter aus rostfreiem Stahl gegen einen ein Gewinde aufweisenden Stützring, der mit dem Gehäuse verschraubt wird. Auf der Rückseite des Grundkörpers sind eine Leiterplatte sowie Anschlüsse vorgesehen, die von den im Inneren der Druckmeßzelle liegenden Elektroden herkommen. Die drei Ausnehmungen des Abstandhalters sind groß genug, so daß kein elektrischer Kontakt zwischen den drei Anschlüssen und dem elektrisch leitenden Abstandshalter auftritt. Aufgrund seiner Ausbildung als durchgängiger Halbkreis und durch die innenliegende sichtbare segmentartige Verstärkung des Ab­ standhalters ist dieser sehr steif und führt bei einer Druckmeßzelle, deren Grundkörper sich bei einer Druckbelastung durchbiegt, zu Problemen.

Je nach Druckbelastung und Konstruktion der Druckmeßzelle kommt es neben der Verformung der Membran auch zu einer mehr oder weniger großen Verformung des Grundkörpers infolge der ringförmigen Verbindungsfläche zwischen der Membran und dem Grundkörper. Die Verformung ist aber im Verhältnis zur Verformung der Membran bei kleinen oder mittleren Drücken sehr gering.

Sollen hohe Drücke gemessen werden, so müssen besonders die großen Zug-, Scher- und Druckkräfte berücksichtigt werden, die im Verbindungsbereich zwischen Mem­ bran und Grundkörper auftreten, und die Verformung der Membran im äußeren Randbereich muß klein gehalten werden. Aus diesem Grunde ist es notwendig, daß der Grundkörper so dimensioniert wird, daß auch er sich bei Druckbelastung definiert durchbiegt.

Eine Durchbiegung infolge Druckbelastung verursacht eine Durchmesserverkleine­ rung auf der Seite des Grundkörpers, die der Membran zugewandt ist, und eine Durchmesservergrößerung auf der Seite des Grundkörpers, die der Membran abge­ wandt ist. Dies führt zu einer Relativbewegung zwischen Grundkörperoberfläche und dem abstützenden Teil, auf das der Grundkörper drückt. Die somit erzeugte Rei­ bung wirkt sich nachteilig aus, weil sie eine stetige Verformung der Druckmeßzelle bei stetiger Druckänderung verhindert und die Verformungsbehinderung eine nicht re­ produzierbare Hysterese des Druckmeßwertes erzeugt.

Ein weiterer Nachteil liegt in den unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Grundkörpermaterials (meist Aluminiumoxidkeramik) und des Materials des Ab­ stützringes, das meistens aus Stahl ist. Die aus der Temperaturänderung resultierende Durchmesser- bzw. Längenänderung überlagert den oben genannten Effekt.

Eine bekannte Lösung besteht im Einfügen eines dünnen Teflon-Kunststoffringes, der auch bei Druckbelastung ein fast reibungsfreies Gleiten zwischen Grundkörper und Abstützring ermöglicht. Nachteilig ist, daß der Druckbereich durch die Festigkeit des Materials des Kunststoffringes nach oben hin begrenzt ist.

Der Erfindung liegt demzufolge die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor anzuge­ ben, der ohne einen Kunststoffring auskommt, auch für hohe Drücke geeignet ist und bei dem es trotz Durchbiegung des Grundkörpers zu keiner oder nur einer sehr gerin­ gen Beeinflussung der Kennlinie des Drucksensors durch Reibung mit dem Abstütz­ ring kommt.

Der erfindungsgemäße Drucksensor, mit dem die oben aufgezeigte und hergeleitete Aufgabe gelöst ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß die beinförmigen Bereiche des Abstützrings am Grundkörper anliegen, den Grundkörper abstützen und in radialer Richtung des Gehäuses federelastisch ausgebildet sind, so daß bei Druckbeaufschla­ gung der Druckmeßzelle praktisch keine Relativbewegung zwischen dem Grundkör­ per und den an diesem anliegenden Enden der beinförmigen Bereiche auftritt.

Bei Belastung der Druckmeßzelle führt die Durchbiegung des Grundkörpers zu einer Verformung der elastischen Bereiche. Die Wirkungsweise entspricht in etwa derjeni­ gen eines einseitig eingespannten Biegebalkens. Diese elastische Verformung verhin­ dert weitestgehend eine Relativbewegung zwischen der Grundkörperoberfläche und dem Teil, das den Grundkörper gegen das Gehäuse abstützt. Vorteilhafterweise ist das Ende des elastischen Bereiches, das mit der Grundkörperoberfläche oder dem steifen Bereich des Abstützringes in Verbindung steht, radial nach außen und/oder innen verbreitert (z. B. T-förmig). Diese Maßnahme hat unter anderem den Vorteil, daß die Kantenpressung, also die Kraft, die normalerweise auf eine sehr schmale kreisringför­ mige Fläche wirkt und deshalb z. B. bei Keramik zu Rissen oder zum Bruch führen kann, auf eine größere Fläche verteilt wird. Auch ist es dadurch möglich, eine Ab­ schirmfolie (z. B. flexibles Leiterplattenmaterial) zwischen Grundkörper und den ela­ stischen Bereichen als elektromagnetische oder elektrische Abschirmung zu legen oder zu kleben, ohne daß diese durch die Bewegungen des Grundkörpers oder der Enden der elastischen Bereiche beschädigt wird.

Ein nichtverbreiterter Fuß hat mit der Grundkörperoberfläche eine Berührungsfläche, deren Position sich nach Druckbelastung und Durchbiegung des elastischen Berei­ ches ändern kann. Durch einen verbreiterten elastischen Fuß bleibt die Größe und die Lage der Berührungsfläche, also auch die Krafteinleitungsfläche bzw. -linie, konstant. Außerdem paßt sich bei geeigneter Dimensionierung des Fußes dessen Grundflächen­ verlauf dem veränderlichen Verlauf der Oberfläche des Grundkörpers an.

Auch die anderen Enden der elastischen Bereiche, die mit dem Abstützring in Verbin­ dung stehen, können verbreitert ausgeführt werden. Hierdurch läßt sich die Gefahr des Entstehens kritischer Zug- oder Druckspannungen verringern.

Die elastischen Bereiche haben die Form von Beinen, deren Elastizität dem zu mes­ senden Druckbereich angepaßt ist. Die Elastizität wird durch die Form, die geometri­ schen Abmessungen und das Material bestimmt.

Unter anderem aus Kostengründen ist es vorteilhaft, wenn der Abstützring und die elastischen Bereiche einstückig ausgebildet sind. Die Länge der elastischen Bereiche sollte möglichst gering gewählt werden, um eine kurze Baulänge des Gerätes realisie­ ren zu können.

Die elastischen Bereiche sind durch Zwischenräume voneinander getrennt und ent­ sprechend der Form des Abstützringes und des Grundkörpers zylinderförmig ange­ ordnet. Der Durchmesser dieser zylinderförmigen Anordnung wird in der Regel nur geringfügig kleiner gewählt als der Durchmesser des Abstützringes bzw. des Grund­ körpers. Insbesondere für kapazitive Druckmeßgeräte erweist es sich aufgrund der Zahl und der Position von notwendigen Anschlüssen, die durch den Grundkörper nach außen geführt werden müssen, sowie aus verfahrenstechnischen und Elastizi­ tätsgründen als günstig, vier Zwischenräume vorzusehen, die z. B. den gleichen Ab­ stand voneinander und die gleiche Breite und Tiefe haben können. Eine größere Ela­ stizität wird mit acht Zwischenräumen erreicht, wobei vorzugsweise zwischen je zwei breiten ein schmaler Zwischenraum angeordnet ist und die elastischen Bereiche alle die gleiche Querschnittsfläche aufweisen.

Die Schmalseiten der elastischen Bereiche liegen vorzugsweise parallel zueinander. Aus fertigungstechnischen Gründen ist die Breite der Zwischenräume vom Grund­ körper bis zum steifen Bereich des Abstützringes vorzugsweise konstant.

Der Abstützring ist kraftschlüssig über die Schmalseite (z. B. Gewinde) oder die Breit­ seite (Stirnseite) mit dem Gehäuse verbunden. Die Längsachse der elastischen Berei­ che weist in Richtung dieser kraftschlüssigen Verbindung. Im erstgenannten Fall ist der Winkel zwischen Längsachse und Grundkörperoberfläche größer bzw. kleiner als 90 Grad, im zweiten Fall vorzugsweise genau 90 Grad. Weisen die Schmalseite des Abstützringes und die Innenseite des Gehäuses jeweils ein Gewinde auf, so sollte ein sägezahnförmiges Gewinde Anwendung finden, das zu keinem oder sehr geringem Abrieb führt.

Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, den erfindungsgemäßen Drucksensor auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird einerseits auf die dem Pa­ tentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfol­ gende Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezug­ nahme auf die Zeichnung verwiesen. In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 eine Längsschnittdarstellung eines Drucksensors gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 2 eine Querschnittdarstellung des Drucksensors gemäß dem ersten bevor­ zugten Ausführungsbeispiel der Erfindung in der in Fig. 1 mit Pfeilen an­ gedeuteten Ebene der elastischen Bereiche,

Fig. 3 ein Längsschnittdarstellung eines Teilbereichs eines Drucksensors gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 4 eine Längsschnittdarstellung eines Drucksensors gemäß einem dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung und

Fig. 5 eine Querschnittdarstellung des Drucksensors gemäß dem dritten bevor­ zugten Ausführungsbeispiel der Erfindung in der in Fig. 4 mit Pfeilen angedeuteten Ebene der elastischen Bereiche.

Aus Fig. 1 ist der grundsätzliche Aufbau des Drucksensors gemäß dem ersten bevor­ zugten Ausführungsbeispiel der Erfindung ersichtlich. Der aus Fig. 1 ersichtliche Drucksensor weist ein Gehäuse 2 auf, in dessen Innenraum 2d eine kapazitive Druckmeßzelle 3 vorgesehen ist, die eine keramische Membran 3c (z. B. aus Alumini­ umoxidkeramik), einen Abstandshalter 3b (z. B. Glaslot), einen keramischen Grund­ körper 3a (z. B. Aluminiumoxidkeramik) und nicht dargestellten Elektroden im Innenraum der Druckmeßzelle 3 aufweist.

Das Druckmedium 4 in der Bohrung wirkt auf die Membran 3c ein und verursacht eine relativ starke Durchbiegung der Membran 3c und eine relativ geringe Durchbie­ gung des Grundkörpers 3a (siehe auch Fig. 3). Eine elastische Dichtung 5 (z. B. ein O-Ring) verhindert, daß das Druckmedium 4 in den Innenraum 2d des Gehäuses 2 gelangen kann. Durch ein im unteren Teil des Gehäuses 2 vorgesehenes Gewinde 2b kann das Druckmeßgerät z. B. in einen Druckbehälter eingeschraubt werden.

Ein Abstützring 1 ist in das Gehäuse 2 eingeschraubt und stützt somit die Druckmeß­ zelle 3 über ein Gewinde seitlich gegen das Gehäuse 2 ab. Die Durchbiegung des Grundkörpers bei Druckbelastung führt zu einer nur in Fig. 3 dargestellten Vergröße­ rung der Oberfläche des Grundkörpers 3, die dem Druckmedium 4 abgewandt ist. Um die Relativbewegung zwischen Abstützring 1 und dieser Oberfläche des Grundkör­ pers zu vermeiden bzw. auf ein Minimum zu reduzieren, weist der Abstützring 1 acht elastische Bereiche 1a in Form von Beinen auf, die durch Zwischenräume 1b vonein­ ander getrennt sind. Bei Druckbelastung kommt es zu einer elastischen Verformung ohne großen Kraftaufwand senkrecht zur Längsachse der elastischen Bereiche 1a, d. h. in radialer Richtung des Gehäuses 2. Die elastischen Bereiche 1a und der Abstütz­ ring 1 sind vorzugsweise einstückig ausgebildet.

Das Gehäuseoberteil 6 weist eine hier nicht dargestellte Auswerteelektronik und An­ zeigevorrichtungen auf. Gehäuseoberteil 6 und das Gehäuse 2 sind fest miteinander verbunden, z. B. miteinander verschraubt.

Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch den Drucksensor gemäß Fig. 1 in der in Fig. 1 mit Pfeilen angedeuteten Ebene. Die elastischen Bereiche 1a sind zylinderförmig ange­ ordnet. Der Durchmesser dieses Zylinders ist etwas kleiner als der Durchmesser des Grundkörpers 3a. Die Querschnittsflächen der elastischen Bereiche 1a sind gleich groß und annähernd kreisringsegmentförmig. Auch die Zwischenräume 1b sind gleich groß.

Unter Umständen kann es auch günstig sein, vier große Zwischenräume 1b und vier kleine Zwischenräume 1b vorzusehen, wobei gleich große Zwischenräume 1b einander diametral gegenüberliegen.

Bei Druckerhöhung erfolgt eine Bewegung der elastischen Bereiche 1a in radialer Richtung R des Gehäuses 2 entsprechend der Durchmesservergrößerung des Grund­ körpers 3a. Bei Druckverringerung erfolgt eine Bewegung in entgegengesetzte Rich­ tung. Eine Relativbewegung zwischen dieser Seite des Grundkörpers 3a und dem Abstützring 1 bzw. den elastischen Bereichen 1a wird somit verhindert. Das Funkti­ onsprinzip der elastischen Bereiche 1a entspricht ungefähr dem von einseitig einge­ spannten Biegebalken.

Fig. 3 zeigt ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Es sind nur der rechte Teil der Druckmeßzelle 3, des Abstützringes 1 mit elastischen Bereichen 1a und des Gehäuses 2 dargestellt. Die gestrichelten Linien zeigen die Lage der Teile im drucklosen Zustand, die durchgehenden Linien die Lage der Teile bei Maximaldruck. Die normalerweise geringen Differenzen in der Lage der Teile sind hier der Übersicht­ lichkeit wegen übertrieben dargestellt.

Die Oberseite 3d des nichtdruckbelasteten Grundkörpers 3a erstreckt sich in x-Rich­ tung. Die nichtdargestellten Längsachsen des Abstützringes 1 und des Gehäuses 2 verlaufen in Richtung der y-Achse, die im Winkel von 90 Grad zur x-Achse steht. Die Längsachse 1i des elastischen Bereichs 1a ist gegenüber der y-Achse geneigt, weil der Abstützring 1 an seiner Schmalseite ein Außengewinde 1c aufweist und die kraft­ schlüssige Verbindung zwischen dem Abstützring 1 und dem Gehäuse 2 über ein sä­ gezahnförmiges Gewinde (Innengewinde 2a und Außengewinde 1c) erfolgt, das ins­ besondere für hohe Druckbereiche geeignet ist. Die steilen Bereiche 1k und 2c liegen senkrecht zur geneigten Längsachse 1i der elastischen Bereiche 1a. Der steife Bereich 1d des Abstützringes 1 hat Kreisringform und besteht ebenso wie die elastischen Be­ reiche 1a aus Buntmetall, z. B. Messing. In diesem Fall entspricht die Länge des elasti­ schen Bereichs 1a etwa der Höhe des Abstützringes 1 und der Durchmesser des Ab­ stützringes 1 etwa dem 2- bis 3-fachen der Höhe des Abstützringes 1 (einschließlich des elastischen Bereichs 1a).

Wie bereits erwähnt, kann die kraftschlüssige Verbindung auch über die Oberseite des Abstützringes 1 erfolgen. Die Längsachse der elastischen Bereiche 1a liegt dann vorzugsweise parallel zur y-Achse (Fig. 4).

Die Druckmeßzelle weist einen Grundkörper 3a der Dicke f (z. B. 3-5 mm) und eine Membran 3c der Dicke c (z. B. 1-2,5 mm) aus Aluminiumoxidkeramik mit 96% Rein­ heit auf, die durch einen Abstandshalter 3b aus einem Glaslot (z. B. Borosilikatglas) getrennt sind, dessen Dicke im wesentlichen den Abstand e zwischen Membran 3c und Grundkörper 3a bestimmt. Auf der Innenseite der Membran 3c und des Grund­ körpers 3a sind einander gegenüberliegende, nicht dargestellte Elektroden in Dick- oder Dünnschichttechnik aufgebracht, die einen oder mehrere Kondensatoren bilden. Bei Druckänderung erfolgt eine Änderung des Elektrodenabstandes (etwa 5-20 Mi­ krometer) und somit eine auswertbare Kapazitätsänderung. Bei Druckvergrößerung um etwa 400-600 bar erfolgt eine maximale Radiusänderung a (Verringerung) von etwa 3 Mikrometern und eine maximale Radiusänderung a (Vergrößerung) der Ober­ seite 3d des Grundkörpers 3a von etwa 3 Mikrometern bei einem Grundkörper­ durchmesser j von 21,4 mm. Die maximale Durchbiegung des Grundkörpers g beträgt etwa 6-8 Mikrometer. Der Fuß 1e des elastischen Bereichs 1a ist T-förmig radial nach innen und außen auf etwa das 1,5- bis 3-fache der normalen Querschnittsfläche ver­ breitert. Vorzugsweise ist der Fuß 1e annähernd symmetrisch nach beiden Seiten ver­ breitert.

Fig. 4 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel einen Längsschnitt durch den Abstütz­ ring 1 mit vier elastischen Bereichen 1a, deren Längsachsen senkrecht auf der Ober­ seite 3d des Grundkörpers 3a stehen. Diese Anordnung ist vorzugsweise anwendbar, wenn die kraftschlüssige Verbindung zwischen Abstützring 1 und Gehäuse 2 über die Oberseite 1g des Abstützringes 1 erfolgen soll.

Fig. 5 zeigt einen Querschnitt der Anordnung gemäß Fig. 4 in der mit Pfeilen ange­ deuteten Ebene der elastischen Bereiche 1a. Es ist deutlich zu erkennen, daß die Fuß­ grundflächen 1f der elastischen Bereiche 1a radial T-förmig verbreitert sind. Vorzugs­ weise beträgt die Fußgrundfläche 1f das 1,5- bis 3-fache der Querschnittsfläche des nichtverbreiterten elastischen Bereichs 1a. Alle vier Fußgrundflächen 1f sind gleich groß und haben die gleiche Form. Die Breite b aller vier Zwischenräume 1b ist in der Ebene der Fußgrundfläche 1b und von der Grundfläche bis in den steifen Bereich 1d des Abstützringes 1 hinein konstant. Die Schmalseiten h benachbarter Fußgrundflä­ chen 1f sind parallel zueinander und die Schmalseiten h einer Fußgrundfläche 1f stehen im rechten Winkel zueinander. Der Durchmesser j des Grundkörpers 3a könnte z. B. für kapazitive Hochdruckmeßzellen aus Aluminiumoxidkeramik etwa 2-3 cm betra­ gen. Der Durchmesser j der zylinderförmig angeordneten elastischen Bereiche 1a ist sowohl in den mittleren Bereichen als auch in der Ebene der Fußgrundfläche 1f nur wenig kleiner als der Durchmesser j des Grundkörpers 3a. Die Erfindung ist auch an­ wendbar auf Druckmeßzellen ohne Grundkörper 3a (z. B. Membran 3c mit Dehnmeß­ streifen). In diesem Fall würden die Füße 1e direkt auf die Rückseite der Membran 3c drücken.

Claims (20)

1. Drucksensor, mit einem zylinderförmigen Gehäuse (2), einer zylinderförmigen Druckmeßzelle (3), einem Abstützring (1) und einer Dichtung (5), wobei die Druck­ meßzelle (3) in dem Gehäuse (2) vorgesehen ist und einen Grundkörper (3a) und eine Membran (3c) aufweist, die Membran (3c) mit einem Druckmedium (4) beaufschlag­ bar ist und in dem mit dem Druckmedium (4) beaufschlagten Zustand eine Durchbie­ gung aufweist, der Grundkörper (3a) auf der nicht beaufschlagbaren Seite der Mem­ bran (3c) vorgesehen ist, auf seiner der Membran (3c) abgewandten Seite an dem Ab­ stützring (1) anliegt und in dem mit dem Druckmedium (4) beaufschlagten Zustand eine Durchbiegung aufweist, der Abstützring (1) an dem Gehäuse (2) befestigt ist und an seinem Umfang angeordnete, durch Zwischenräume (1b) voneinander getrennte beinförmige Bereiche (1a) aufweist und die Dichtung (5) zwischen dem Druckmedium (4) und dem Innenraum (2d) des Gehäuses (2) angeordnet ist, dadurch gekennzeich­ net, daß die beinförmigen Bereiche (1a) des Abstützrings (1) am Grundkörper (3a) an­ liegen, den Grundkörper (3a) abstützen und in radialer Richtung des Gehäuses (2) fe­ derelastisch ausgebildet sind, so daß bei Druckbeaufschlagung der Druckmeßzelle (3) praktisch keine Relativbewegung zwischen dem Grundkörper (3a) und den an die­ sem anliegenden Enden der beinförmigen Bereiche (1a) auftritt.

2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckmeßzelle (3) kapazitiv arbeitet und der Grundkörper (3a) der Druckmeßzelle (3) aus Keramik - vor­ zugsweise Aluminiumoxidkeramik - besteht.

3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Quer­ schnitt der beinförmigen Bereiche (1a) jeweils kreisringsegmentförmig ist.

4. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Füße (1e) der beinförmigen Bereiche (1a) verbreitert sind.

5. Drucksensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Füße (1e) der beinförmigen Bereiche (1a) radial T-förmig verbreitert sind.

6. Drucksensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundflächen (1f) der Füße (1e) annähernd kreisringsegmentförmig sind.

7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß einander benachbarte Schmalseiten (h) der Fußgrundflächen (1f) parallel zueinander verlaufen.

8. Drucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Breiten (b) der Zwischenräume (1b) in der Ebene der Fußgrundflächen (1f) konstant sind.

9. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Breiten (b) der Zwischenräume (1b) von den Fußgrundflächen (1f) bis zu den steifen Bereichen (1d) des Abstützringes (1) konstant sind.

10. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstützring (1) vier - vorzugsweise im gleichen Abstand voneinander angeordnete - Zwischenräume (1b) aufweist.

11. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstützring (1) acht Zwischenräume (1b) aufweist.

12. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmalseite (1h) des Abstützrings (1) kraftschlüssig mit dem Gehäuse (2) verbunden ist.

13. Drucksensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmalseite (1h) und das Gehäuse (2) kraftaufnehmende Gewinde (1c, 2a) aufweisen.

14. Drucksensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmalseite (1h) und das Gehäuse (2) sägezahnförmige Gewinde (1c, 2a) aufweisen.

15. Drucksensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die steilen Bereiche (1k, 2e) der Gewinde (1c, 2c) senkrecht zur Längsachse (1i) der beinförmigen Bereiche (1a) verlaufen.

16. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei überwiegender Kraftübertragung über die Oberseite (1g) des Abstützrings (1) die Längsachse (1i) der beinförmigen Bereiche (1a) parallel zur y-Achse liegt.

17. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß bei überwiegender Kraftübertragung über die Schmalseite (1h) des Abstützrings (1) die Längsachse (1i) der beinförmigen Bereiche (1a) gegen die y-Achse geneigt ist.

18. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstützring (1) und die beinförmigen Bereiche (1a) einstückig ausgebildet sind.

19. Drucksensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstützring (1) und die federelastischen Bereiche (1a) aus Buntmetall bestehen.

20. Drucksensor nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstützring (1) und die federelastischen Bereiche (1a) aus Messing bestehen.