DE2611494A1 - Druck- oder kraftwandler - Google Patents
Druck- oder kraftwandlerInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen auf Druck oder Kraft ansprechenden Wandler, dehe Druck- oder Kraftwandler, mit einer
um ihren Umfang herum starr festgelegten bzw., verspannten,
flexiblen Membran, an die ein Druck oder eine Kraft anlegbar ist«,
Vorrichtungen zur Bestimmung eines angelegten Drucks oder einer einwirkenden Kraft werden vielfach benötigte Eine köglichkeit
für eine solche Druck- oder Kraftbestimmung besteht in der Verwendung von (mechanischen) Spannungsmessern, doho
Dehnungsmeßstreifen, die beispielsweise durch Ablagerung nach einem Dünnfilmverfahren mit einer Fläche der Membran
verbunden und als die Arme oder Zweige einer Wheatstoneschen Brücke geschaltet sind,, Derartige Wandler werden als
"Dehnungsmeßwandler" bezeichneto
Wenn auf die Membran eines solchen Wandlers ein Druck oder eine Kraft einwirkt, wird die Membran ausgelenkt und in
ihr ein Spannungs-/Dehnungszustand eingeleitete Die von der
Ke/Bi/ro
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Auslenkung herrührende Dehnung wird dabei durch die Dehnungsmeßstreifen gemessen, die mithin ein ausgangssignal liefern,
das von dem auf die Membran einwirkenden Druck bzw» der Kraft abhängt«, In der Praxis sind zwei der vier die Wheats tone sehe
Brücke bildenden Dehnungsmeßstreifen in einem Bereich der Zugspannungsbelastung angeordnet, während die beiden anderen
in einem Druckspannungsbereich angeordnet sind, so daß eine Brücke mit vier aktiven Armen gebildet wird0 Bei einer üblichen
flachen Membran liegt der Zugspannungsbereich im Mittelteil der Membran, während sich der Druckspannungsbereich am
iJmfangsrand der Membran befindete
Zur Verhinderung einer bleibenden Beschädigung sowohl der Membran als auch der Dehnungsmeßstreifen z.B. bei Einwirkungübermäßiger
oder Überlastdrücke sollte die Auslenkung der Membran begrenzt werden,,
Die bekannten Überlast- oder Überdruckschutzvorrichtungen verwenden
zeitweilig verschiedene Arten mechanischer Anschläge, die eine Auslenkung der Membran über eine vorbestimmte Grenze
hinaus verhindern. Ein solcher mechanischer Anschlag kann dabei die Form einer Schraube besitzen, die in das Wandlergehäuse
eingebaut ist und eine in einem vorbestimmten Abstand von der Membran angeordnete Anschlagfläche aufweist, so daß
die Membran dann, wenn ein Überlastdruck auf den Wandler einwirkt, ausgelenkt wird, bis sie sich an die eine weitere Auslenkung
verhindernde Anschlagfläche anlegtβ Diese Anordnung
läßt sich zur Änderung der Auslenkgrenze der Membran ohne weiteres einstellen»
Die bekannten Anordnungen mit solchen Schutzvorrichtungen sind jedoch mit verschiedenen Mangeln behaftet» Bei einer flachen
Membran liegt z0BQ der Punkt größter Auslenkung im Mittelpunkt,
weshalb auch der Überdruckanschlag an dieser Stelle angeordnet isto Dies wirft aber zwei Probleme aufo Einmal
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befindet sich die Stelle größter Belastung oder Spannung am Umfangsrand, wobei ein am Mittelpunkt vorgesehener Überdruckansehlag
die beim Auftreten eines Überdrucks am Umfangsrand entwickelten Spannungen oder Beanspruchungen nicht vollständig
zu begrenzen vermag, nachdem die Auslenkung des Mittelteils durch diesen Anschlag begrenzt worden ist. Zum zweiten
ist bereits erwähnt worden, daß bei einem Wandler mit einer flachen Membran die Dehnungsmeßstreifen am oder dicht am Mittelpunkt
der Membran liegen sollten«, Zur Vermeidung einer Berührung mit den Dehnungsmeßstreifen und einer Beschädigung
derselben muß daher die Fläche desjenigen Teils des Anschlags, welcher beim Auftreten eines Überdrucks mit der Membran in
Berührung gelangt, im Vergleich zum Durchmesser der Membran klein seine Wenn die Membran unter dem Einfluß eines sich
ständig vergrößernden Drucks ausgelenkt wird, kommt sie daher
schließlich in Anlage an den Überdruckanschlage Da die Membran jedoch äußerst flexibel bzwo biegsam ausgelegt ist, führen der
sich erhöhende Druck und die davon herrührende weitere Auslenkung zu einer Verformung der Membran in deren ringförmigem
Bereich zwischen dem Umfangsrand und dem Überdruckanschlag, wobei eine Stelle hoher Belastung oder Beanspruchung um den
Umfangsrand des Überdruckanschlags herum entsteht. Wenn diese beiden Wirkungen groß sind, können sie einen bleibenden Schaden
der Membran zur Folge haben«, Außerdem wird durch diese Anordnung die Länge des Wandlers möglicherweise wesentlich
vergrößert, was in gewissen Anwendungsfällen problematisch
sein kanne
Es wurde bereits ein Wandler vorgeschlagen, der mit einem Überdruckanschlag versehen werden kann und bei dem eine
kreisförmige Membran mit einem vergleichsweise steifen, mittig angeordneten, zylindrischen Ansatz versehen ist, um den
herum eine flexible Ringfläche der Membran festgelegt wird. Die Dehnungsmeßstreifen sind dabei im Bereich dieser flexiblen
Ringflache angeordnet, nämlich die Zugdehnungsstreifen
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an der Innenkante und die Druckdehnungsstreifen an der Außenkante
ο Der mechanische Anschlag, der - wie erwähnt - die Form
einer Schraube besitzen kann, ist mit seiner Anschlagfläche so angeordnet, daß unter Überdruckbedingungen der steife,
zentrale zylindrische Ansatz in Anlage an die Anschlagfläche gelangt,. Dieser Ansatz trägt allerdings beträchtlich zur Gesamtmasse
der Membran bei, was einen nachteiligen Einfluß auf die Meßergebnisse haben kann, wenn der Wandler im Betrieb
Beschleunigungs- oder Schwingungskräften unterworfen ist„
Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines verbesserten Druck- oder Kraftwandlers, mit dem die genannten Nachteile
vermieden werden, und der insbesondere aufgrund einer speziellen Membranausbildung praktisch völlig betriebssicher ist.
Diese Aufgabe wird bei einem auf Druck oder Kraft ansprechenden Wandler mit einer um den Umfangsrand eines aktiven Abschnitts
derselben starr verspannten Membran, mit Mitteln, die im Betrieb einen Druck oder eine Kraft an die eine Fläche
der Membran anlegen,und mit auf die resultierende Auslenkung der Membran ansprechenden Mitteln zur Lieferung einer Anzeige
des einwirkenden Drucks bzw, der anliegenden Kraft erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Membran mit einem konzentrisch
in ihr ausgebildeten, napfförmigen Abschnitt versehen ist0
Mit der Erfindung wird also ein auf Druck oder Kraft ansprechender
Wandler geschaffen, der eine um den Umfang ihres aktiven Abschnitts herum starr verspannte Membran mit einem konzentrisch
in ihr ausgebildeten, napfförmigen Abschnitt, Mittel, die im Betrieb einen Druck oder eine Kraft auf die eine
Fläche der Membran ausüben, und auf die resultierende Auslenkung der Membran ansprechende Mittel zur Lieferung einer
Anzeige des angelegten Drucks bzwe der Kraft aufweiste
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Ein vorteilhaftes Merkmal besteht dabei darin, daß sowohl der Umfangsrand des aktiven Abschnitts als auch der napfförmige
Abschnitt kreisförmig sind, so daß zwischen dem Umfangsrand und dem napfförmigen Abschnitt ein Ringteil der Membran
festgelegt ist0
Vorzugsweise ist das Oberflächenverhältnis zwischen dem napfförmigen
Abschnitt und dem aktiven Abschnitt so groß wie praktisch nur irgend möglich.
Vorteilhaft stellt der napfförmige Abschnitt einen Teil der einen Fläche dar, während er an der anderen Fläche der Membran
offen ist.
Der erfindungsgemäße Wandler kennzeichnet sich weiterhin dadurch,
daß er ein Überlastschutzelement mit einer in einem vorbestimmten Abstand von der inneren Grundfläche des napfförmigen
Abschnitts angeordneten Anschlagfläche zur Begrenzung der Auslenkung der Membran gegen das Überlastschutzelement
auf die diesem Abstand entsprechende Strecke aufweist,, Dabei ist es vorteilhaft möglich, daß das Überlastschutzelement
so angeordnet ist, daß der Abstand zwischen der Anschlagfläche und der inneren Grundfläche des napfförmigen Abschnitts
einstellbar ist. Der erfindungsgemäße Wandler kann mithin mit
einem einfachen und kompakt gebauten Überdruckanschlag versehen s ein β
Im folgenden ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung
anhand der beigefügten Zeichnung näher erläuterte Es zeigen:
Fig«, 1a und 1b eine Aufsicht bzwe eine Querschnittsansicht
einer Membran, die starr an einem Teil des Gehäuses eines Wandlers mit Merkmalen nach der Erfindung verspannt
1st,
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Fig« 2 eine in vergrößertem Maßstab und teilweise im Schnitt
gehaltene Seitenansicht eines Wandlers gemäß der Erfindung mit einer Membran nach Fige 1,
Fig» 3 eine Fig0 1 ähnelnde Ansicht, welche die typischen
Abmessungen der Membran angibt, und
Figo 4 einen Schnitt durch die erfindungsgemäße Membran,
welcher in strichpunktierten Linien das Profil der Membran unter Belastung zeigto
In den Figuren ist ein Druckwandler 10 mit einer Membran 12 dargestellt, die um ihren Umfang herum starr an einer Wand
14a verspannt ist, die einen Teil des Gehäuses 14 des Wandlers
bildet. Die Membran 12 weist einen konzentrisch in ihr
ausgebildeten flachen, napfförmigen Abschnitt 16 in Form eines
geraden Kreiszylinders auf, der von einem Ringteil bzw0 einer
Ringfläche 12a umschlossen iste Die Membran 12 kann z.B. durch
Schweißen starr mit der Wand 14a verbunden sein, oder Membran und Wand können aus einem Stück gefertigt werden,, Bei einer
Membran der dargestellten Form ist der Ringteil 12a flexibler biegsamer als der napfförmige Abschnitt 16O
Die Membran 12 bildet eine Trennwand zwischen zwei Kammern 18a, 18b im Gehäuse 14, wobei der napfförmige Abschnitt 12
in die Kammer 18a hineinragte Ein Strömungsmittel, dessen Druck bestimmt werden soll, kann über einen Zulaß 20 in die
Kammer 18a eingelassen werden, so daß der Druckunterschied in den Kammern 18a und 18b zu einer Auslenkung der Membran
12 führte Die Kammer 18b kann dabei an Atmosphärendruck oder an einem beliebigen anderen vorbestimmten Druck liegen, doch
ist sie so ausgelegt, daß der in der Kammer 18a herrschende Druck gleich groß oder größer ist als der Druck in der Kammer
18b, so daß die eine Fläche der Membran, doho gemäß Fig„ 2
die Unterseite, von einem Druck beaufschlagt wird, der gleich groß oder größer ist als der an der anderen Fläche anliegende
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Druck, so daß die Membran in einer Richtung, d.h. gemäß Fig. 2 nach oben, ausgelenkt wird.
In bevorzugter Ausführungsform bildet der napfförmige
Abschnitt 16 der Membran 12 einen Hohlraum 16a, der sich
zur Kammer i8b, d.h. gemäß Pig. 2^ nach oben öffnet.
Der napfförmige Abschnitt 16 kann mit einem Boden 16b
und einer geradzylindrischen Seitenwand 16c versehen
sein, die sich konzentrisch vom Innenumfang der Ringfläche 12a zum Außenumfang des Bodens i6b nach unten erstreckt.
Der Boden i6b des napfförmigen Abschnitts 16 liegt in
einer Ebene, die praktisch parallel zu derjenigen der Ringfläche 12a liegt, wenn kein Druckunterschied zwischen den
Kammern i8a und
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I8b besteht. Dieser Boden i6b verschließt die Unterseite der
Seitenwand 16c, wodurch die Membran 12 vervollständigt ist. In spezieller Ausführungsform braucht der Boden *6b nicht
das äußerste Ende der Membran 12 in Richtung auf den Zulaß 20 zu bilden.
Bei dieser Konstruktion sind auf die Auslenkung der Membran ansprechende Mittel in Form von Dehnungsmeßstreifen 22, 24
vorgesehen, die nach Dünnfilmverfahren auf die genannte andere, doho gemäß Figo 1b obere Seite der Membran in der dargestellten
Weise aufgebracht worden sein können,» Dabei sprechen die Dehnungsmeßstreifen 22 hauptsächlich auf Zugspannungen und
die Dehnungsmeßstreifen 24 auf Druckspannungen an. Im Betrieb sind diese Dehnungsmeßstreifen in an sich bekannter Weise so
geschaltet, daß sie die Arme einer Wheatstoneseheη Brücke
bilden«.
Eine weitere, parallel auf Abstand zur Membran 12 angeordnete Wand 14b des Gehäuses 14 weist einen konzentrisch zum napfförmigen
Abschnitt 16 ausgebildeten, abstehenden Teil 26 aufe
Der Durchmesser dieses abstehenden Teils bzw«, Vorsprungs 26 ist etwas kleiner als der Innendurchmesser des napfförmigen
Abschnitts 16, weil er dem Hohlraum 16a zugewandt ist und
sich, wie dargestellt, ein kleines Stück in diesen Hohlraum hineinerstrecken kann« Der Vorsprung 26 ist mit einer axialen
Gewindebohrung versehen, in die ein Gewindeelement 28 eingeschraubt
ist, das an seinem Ende mit einem scheibenförmigen Kopf 30 versehen ist, welcher mit einem vorbestimmten Abstand
parallel zur inneren Grundfläche 16b des napfförmigen Abschnitts 16 liegt«, Die der Grundfläche 16b des Hohlraums zugewandte
Fläche 30a des Kopfes 30 wirkt als Anschlagfläche für die Grundfläche des napfförmigen Abschnitts, so daß sie eine
Auslenkung der Membran auf einen vorbestimmten Betrag begrenzte Mittels des Gewindeelements 28 kann der Abstand bzw<>
die Strecke zwischen der Scheibe 30 und der Grundfläche 16b des
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Hohlraums I6a je nach der höchstzulässigen Auslenkung der
Membran eingestellt werden. Ein in einer Wandausnehmung 34
■befindlicher Sicherungsring bzw, eine Kontermutter 32 ist
auf das Gewindeelement 28 aufgeschraubt und sichert dessen stellung nach der Einsteilung„ Die Kombination aus den Elementen
28, 30 und 32 bildet mithin einen Überdruckanschlag für den Wandler, Durch Anordnung des Gewindeelements 28 und
des Sicherungsrings 32 im vorspringenden Wandteil 26, der
bei der dargestellten Ausführungsform mit einer Ausnehmung
34 versehen ist, kann somit ein Wandler mit einem einfachen und kompakt gebauten Überdruckanschlag gebildet werden, welcher
die Gesamtabmessungen des Wandlers nur wenig oder gar nicht vergrößerte Fallsein einstellbarer Überdruckanschlag
nicht erforderlich ist, kann selbstverständlich auch eine einfachere Anordnung gewählt werden«, Beispielsweise könnte
der Vorsprung 26 so bemessen werden, daß er den Überdruckanschlag bildet. Wahlweise kann dieser Anschlag überhaupt weggelassen
werden»
Wie erwähnt, ist der napfförmige Abschnitt 16 der Membran
steifer als der Ringteil 12a, auch wenn dieser Abschnitt vergleichsweise dünnwandig ist«, Die Querschnittsdarstellung von
Figo 4 veranschaulicht in ausgezogenen Linien die Membran gemäß
Figg 1 und in strichpunktierten Linien bei 17 in etwas
übertriebener Darstellung das Profil dieser Membran, wenn sie belastet ist0 Typische Abmessungen für eine für den Be-
trieb in einem Normaldruckbereich von etwa 35»2 kg/cm vorgesehene
Membran sind in Fige 3 angegebene Hieraus ist ersichtlich,
daß vergrößerte Steifigkeit im Zentrum gegenüber dem Ringteil mit nur einer sehr geringen Vergrößerung der Masse
der Membran erreicht wirdo
Die Auslenkung der Membran unter dem auf sie einwirkenden Druck sowie die davon herrührenden Beanspruchungs- und
Spannungspegel im vergleichsweise flexiblen Ringteil beruhen
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auf zwei Faktoren, nämlich dem Druck und der resultierenden Kraft, welche den Zentralbereich beaufschlagen, sowie dem
auf den Ringteil bzwo die Ringfläche einwirkenden Drucke Vor
der Begrenzung der Membranauslenkung durch den Überdruckanschlag ist daher die Größe der Zunahme von Beanspruchung und
Spannung bei ansteigendem Druck die Summe dieser beiden Faktoren« Wenn der Überdruckanschlag jedoch die weitere Auslenkung
beendet, doh„ wenn die Membran 12 durch den sie beaufschlagenden
Druck bis zur Anlage an die Fläche 30a des Überdruckanschlags ausgelenkt worden ist, beruht dagegen die
Größe der Beanspruchungs- und Spannungszunähme mit dem Anstieg
des anliegenden Drucks nur noch auf dem zweitgenannten Faktoro
Da der Mittelteil, wie in Fig0 4 gezeigt, nicht starr ist,
tritt ein Zwischenzustand zuerst zu dem Zeitpunkt ein, an welchem die Membran erstmalig die Anschlagfläche berührt, wobei
die Wirkung aufgrund des erstgenannten Faktors schnell abnimmt, während sich die Wirkung aufgrund des zweitgenannten
Faktors schnell vergrößerte Wenn die Membran daher so ausgelegt und ausgebildet ist, daß der Einfluß des erstgenannten
Faktors erheblich größer ist als derjenige des zweitgenannten Faktors (d#h„ wenn die Oberfläche des napfförmigen Abschnitts
im Vergleich zum flexibleren Ringteil groß ist), kann die Membran einem mehrfachen Überdruck des Normaldrucks
(many times range overpressure) ausgesetzt werden, ohne daß ein bleibender Schaden an der Membran oder an den Dehnungsmeßstreifen
auftrittο
Vorzugsweise ist das Oberflächenverhältnis zwischen den napfförmigen
Abschnitten 16 und der Ringfläche 12$. so groß wie in der Praxis nur irgend möglich, und dieses Verhältnis beträgt
mindestens 1:2. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3
beträgt dieses Verhältnis etwa J>-A. Hierdurch wird die Größe
des Überdrucks, dem.der Wandler ausgesetzt werden kann, erheblich
erhöht.
Beispielsweise wurde ein Wandler mit den Abmessungen gemäß
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Pig· 3i dessen Überdruckanschlag auf das 1,5-fache des
Nenn- oder Normaldrucks eingestellt war, ohne bleibenden Schaden am Wandler dem 5-fachen Normaldruck ausgesetzt.
Ein zweckmäßiger Werkstoff für die Membran 12 und die Wand 14a ist rostfreier Stahl (Sorte 17-4PH) der Firma
ARMCO Steel Corporation, Middletown, Ohio/USA. Dieser
rostfreie Stahl besitzt folgende Zusammensetzung:
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Chrom | 15,5 - 17,5% |
Nickel | 3 - % |
Kupfer | 3 - 5% |
Silizium | höchstens V/o |
Mangan | höchstens V/o |
Columbium und/oder | |
Tantal | 0,25 - 0,45% |
Eisen | Rest |
Das äußere Gehäuse des Wandlers 10 kann aus einem rostfreien Stahl, Z0B0 der Sorte 18-8 der Firma Firth Brown Limited,
bestehen«,
Einige Vorteile eines erfindungsgemäßen Wandlers mit der
vorstehend beschriebenen Membran lassen sich wie folgt zusammenfassen:
1. Nachteilige Auswirkungen ständiger Beschleunigung und
Schwingung sind erheblich geringer als bei einem Wandler mit einer einen starren zentralen Ansatz aufweisenden
Membran. Bei einem für einen Nenndruck von 35,2 kg/cm (500 psi) ausgelegten Wandler mit einer Membran mit den
Abmessungen gemäß Fig. 3 wurde beispielsweise die Ausgangssignaleinheit (unit output) infolge linearer Beschleunigung
längs der Hauptachse mit nur 0,006% des normalen vollen (Meß-)Bereichausgangssignals pro Beschleunigungseinheit
(in G) ermittelt,,
2ο Der Wandler ermöglicht die Verwendung einer zwangsläufig
wirkenden, kompakt gebauten und wirkungsvollen bzw« wirtschaftlichen Überlastschutzvorrichtung, wobei die Gesamtvergrößerung
der Wandlerlänge infolge der Anordnung dieser Schutzvorrichtung erheblich kleiner ist als bei den bekannten
Ausführungsformen solcher Überdruckschutzvorrichtungen»
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Obgleich vorstehend eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Wandlers beschrieben ist, bei dem der napfförmige Abschnitt
16 ein gerader Kreiszylinder ist, kann dieser Abschnitt selbstverständlich auch eine andere Form, Z0B0 eine
Glocken- oder Kegelstumpfform, besitzen.
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Claims (1)
- 261U94PatentansprücheAuf Druck oder Kraft ansprechender Wandler mit einer um den Umfangsrand eines aktiven Abschnitts derselben starr verspannten Membran, mit Mitteln, die im Betrieb einen Druck oder eine Kraft an die eine Fläche der Membran anlegen, und mit auf die resultierende Auslenkung der Membran ansprechenden Mitteln zur Lieferung einer Anzeige des einwirkenden Drucks bzw«, der anliegenden Kraft, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (12) mit einem konzentrisch in ihr ausgebildeten, napfförmigen Abschnitt (16) versehen ist.2, Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Umfangsrand des aktiven Abschnitts (12a) als auch der napfförmige Abschnitt (16) kreisförmig sind, so daß zwischen dem Umfangsrand und dem napfförmigen Abschnitt (16) ein Ringteil der Membran (12) festgelegt ist»3. Wandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Oberflächenverhältnis zwischen dem napfförmigen Abschnitt (16) und dem aktiven Abschnitt (12a) so groß wie praktisch möglich gewählt istoWandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Oberflächenverhältnis mindestens etwa 1:2 beträgto5β Wandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der napfförmige Abschnitt (16) einen Teil der einen Membranfläche bildet und an der anderen Membranfläche offen ist«,6β Wandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß er ein Überlastschutzelement (30) mit einer in einem vorbe-609841/0715261H94stimmten Abstand von der inneren Grundfläche (i6b) des napfförmigen Abschnitts (16) angeordneten Anschlagfläche (30a) zur Begrenzung der Auslenkung der Membran (12) gegen das Überlastschutzelement (30) auf die diesem Abstand entsprechende Strecke aufweist»7c Wandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Überlastschutzelement (30) so angeordnet ist, daß der Abstand zwischen der Anschlagfläche (30a) und der inneren Grundfläche (16b) des napfförmigen Abschnitts (16) einstellbar ist«8ο Wandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der napfförmige Abschnitt (16) ein ge~ rader Kreiszylinder ist0Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der napfförmige Abschnitt (16) glockenförmig ist«,10e Wandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7» dadurch gekennzeichnet, daß der napfförmige Abschnitt (16) kegelstumpfförmig ist„β Wandler nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die auf die Auslenkung ansprechenden Mittel Dehnungsmeßstreifen (22, 24) sind«,609841/0715Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
GB11297/75A GB1540716A (en) | 1975-03-18 | 1975-03-18 | Pressure or force transducers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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DE (1) | DE2611494A1 (de) |
GB (1) | GB1540716A (de) |
NL (1) | NL7602853A (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0094446A1 (de) * | 1982-05-19 | 1983-11-23 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Druckaufnehmer mit einer Membran und einem Überlastanschlag |
DE3818458A1 (de) * | 1988-05-31 | 1989-12-07 | Moto Meter Ag | Vorrichtung zur messung des druckes fluessiger oder gasfoermiger medien |
DE19716521A1 (de) * | 1997-04-19 | 1998-10-22 | Bosch Gmbh Robert | Kraftsensor in LTCC-Technologie |
DE10221219A1 (de) * | 2002-05-13 | 2003-12-04 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
DE102010063723A1 (de) | 2010-12-21 | 2012-06-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramischer Drucksensor mit Überlastschutz |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5524423A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-21 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
JPS5550131A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-11 | Hitachi Ltd | Electronic transmitter |
JPS5595373A (en) * | 1979-01-11 | 1980-07-19 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
DE3919411A1 (de) * | 1989-03-07 | 1990-12-20 | Pfister Gmbh | Drucksensor und zugehoeriges herstellverfahren |
DE4026044A1 (de) * | 1990-08-17 | 1992-02-20 | Pfister Gmbh | Keramische hohlkoerper und verfahren zu deren herstellung |
JPH03211434A (ja) * | 1990-01-17 | 1991-09-17 | Nissan Motor Co Ltd | ダイアフラム型圧力センサ |
JP2503290B2 (ja) * | 1990-05-21 | 1996-06-05 | 株式会社日立製作所 | 半導体圧力・差圧測定ダイヤフラム |
US5360331A (en) * | 1993-01-05 | 1994-11-01 | Dynisco, Inc. | Injection molding machine pressure transducer |
US5602339A (en) * | 1994-03-24 | 1997-02-11 | Dynisco, Inc. | Injection molding machine pressure transducer with trapezoidal cavity |
US6247364B1 (en) * | 1997-10-27 | 2001-06-19 | Thomas P. Kicher & Co. | Acceleration transducer and method |
US6957588B1 (en) | 1999-06-28 | 2005-10-25 | Thomas P. Kicher & Co. | Fluid measuring device and method |
US20040129078A1 (en) * | 2001-06-18 | 2004-07-08 | Kicher Thomas P. | Acceleration transducer and method |
US7210362B2 (en) * | 2002-11-05 | 2007-05-01 | Tanita Corporation | Diaphragm type load detection sensor, load detection unit and electronic scale using same |
US8365605B2 (en) * | 2009-02-12 | 2013-02-05 | Continental Automotive Systems, Inc. | Jointless pressure sensor port |
JP2011220927A (ja) * | 2010-04-13 | 2011-11-04 | Yamatake Corp | 圧力センサ |
US9121781B2 (en) * | 2012-03-28 | 2015-09-01 | Compression Matters Corporation | Force gauge for pliable material |
NO339004B1 (no) * | 2012-05-13 | 2016-11-07 | Electrical Subsea & Drilling As | Sensorhode for måling av trykk |
US9410861B2 (en) * | 2014-03-25 | 2016-08-09 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor with overpressure protection |
US11408788B2 (en) * | 2020-03-31 | 2022-08-09 | Toyota Research Institute, Inc. | Variable geometry and stiffness control for fluid filled sensor |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2398372A (en) * | 1944-01-11 | 1946-04-16 | Curtiss Wright Corp | Device and system for pressure measurement |
US2942219A (en) * | 1958-10-28 | 1960-06-21 | Baldwin Lima Hamilton Corp | Pressure cell |
US3335381A (en) * | 1965-07-06 | 1967-08-08 | Stratham Instr Inc | Duplex flexure for force transducer |
US3537318A (en) * | 1968-11-21 | 1970-11-03 | Statham Instrument Inc | Transducer overload protection means |
-
1975
- 1975-03-18 GB GB11297/75A patent/GB1540716A/en not_active Expired
-
1976
- 1976-03-15 US US05/666,627 patent/US4102210A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-03-18 DE DE19762611494 patent/DE2611494A1/de not_active Withdrawn
- 1976-03-18 NL NL7602853A patent/NL7602853A/xx unknown
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0094446A1 (de) * | 1982-05-19 | 1983-11-23 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Druckaufnehmer mit einer Membran und einem Überlastanschlag |
DE3818458A1 (de) * | 1988-05-31 | 1989-12-07 | Moto Meter Ag | Vorrichtung zur messung des druckes fluessiger oder gasfoermiger medien |
DE19716521A1 (de) * | 1997-04-19 | 1998-10-22 | Bosch Gmbh Robert | Kraftsensor in LTCC-Technologie |
DE19716521C2 (de) * | 1997-04-19 | 2001-03-01 | Bosch Gmbh Robert | Kraftsensor in LTCC-Technologie |
DE10221219A1 (de) * | 2002-05-13 | 2003-12-04 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
DE10221219B4 (de) * | 2002-05-13 | 2007-06-28 | Ifm Electronic Gmbh | Drucksensor |
DE102010063723A1 (de) | 2010-12-21 | 2012-06-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramischer Drucksensor mit Überlastschutz |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1540716A (en) | 1979-02-14 |
NL7602853A (nl) | 1976-09-21 |
US4102210A (en) | 1978-07-25 |
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