DE4407518C2 - Verfahren zum berührungslosen Vermessen dreidimensionaler Objekte auf der Basis optischer Triangulation - Google Patents
Verfahren zum berührungslosen Vermessen dreidimensionaler Objekte auf der Basis optischer TriangulationInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum
berührungslosen Vermessen dreidimensionaler Objekte auf der
Basis optischer Triangulation.
Verfahren zum berührungslosen Vermessen der Außenkonturen von
dreidimensionalen Objekten mittels elektromagnetischer Strah
lung auf der Basis optischer Triangulation sind bekannt.
Hierbei befindet sich das Objekt auf einem Drehteller und
wird mittels einer Abtasteinheit, die relativ zum Drehteller
in x- und z-Richtung bewegbar ist und eine Strahlungsquelle
sowie Strahlungsdetektoren enthält, abgetastet. Bei derarti
gen Vorrichtungen wird der von der Abtasteinrichtung ausge
hende und am Objekt reflektierte Meßstrahl hinsichtlich des
Auftreffpunktes auf einen in der Abtasteinrichtung angeordne
ten Sensor untersucht, wobei das Sensorausgangssignal fit
einer Auswerteeinheit rechnergestützt weiterverarbeitet wird,
um entsprechende Informationen über die Objektentfernung, x-
und z-Lage der Abtasteinheit und der Drehlage des Drehtel
lers zu erfassen, um daraus wiederum dreidimensionale, digi
tale Daten zur Verfügung zu stellen.
Derartige Daten werden dann abgespeichert, um in einem soge
nannten CAD-System, z. B. zur Steuerung einer numerischen
Werkzeugmaschine zur Verfügung zu stehen.
Die Vermessung dreidimensionaler Objekte mittels optoelektro
nischer Sensorik und auf der Basis der Triangulation ermög
licht eine genaue Datenerfassung, welche schneller möglich
ist, als dies mit mechanischen Abtastvorrichtungen realisiert
werden kann.
Bei der aus der DE 39 10 855 C2 vorbekannten Vorrichtung zum
Vermessen dreidimensionaler Objekte soll der konstruktive
Aufwand, insbesondere zur Bewegung der Abtasteinheit in X-
und Z-Richtung vereinfacht werden. Gemäß der dortigen Lösung
wird ein handelsüblicher EDV-Plotter als X- und Z-Schlitten
für die Abtasteinheit verwendet, welcher auf einem L-förmigen
Grundgestell montiert ist. Der waagerechte Schenkel des L-
förmigen Grundgestells dient der Befestigung des Drehtellers,
wobei der vorerwähnte EDV-Plotter auf dem senkrechten Schen
kel des Grundgestells angeordnet ist.
Ein Problem ergibt sich dann, wenn mit der dort gezeigten
Vorrichtung Objekte vermessen werden sollen, die Hinter
schneidungen oder verdeckte Stellen aufweisen. In diesem
Falle muß nämlich die Meßeinheit zusätzlich in X-Richtung
verfahrbar sein. Eine derartige, in zwei Ebenen senkrecht zu
einanderstehende Verfahrbarkeit erhöht jedoch zum einen den
mechanisch konstruktiven Aufwand und führt zum anderen zu
einer Instabilität und mechanischen Schwingungen der gesamten
Meßeinheit. Darüberhinaus ist es außerordentlich schwierig,
in zwei Ebenen möglichst schnell mit hoher Dynamik Lageverän
derungen vorzunehmen, wobei zu bedenken ist, daß Ungenauig
keiten in der Positionierung der Abtasteinheit mit den Senso
ren bzw. der Strahlungsquelle eine erhebliche Verschlech
terung der Meßgenauigkeit nach sich ziehen.
Aus der DE 42 08 455 A1 ist ein Verfahren und eine Anordnung
zur berührungslosen dreidimensionalen Vermessung der Geometrie
komplizierter Meßobjekte nach dem Prinzip der optischen
Triangulation bekannt. Bei dem dort gezeigten Verfahren wird
ein Lichtstreifen erzeugt und auf einem zu untersuchenden
Objekt projiziert. Das erhaltene Lichtband wird mittels eines
optoelektronischen Detektors aufgenommen. Im Anschluß an einen
auf diese Weise geführten ersten Lichtschnitt wird das Meß
objekt verschoben und es werden weitere Lichtschnitte durch
geführt, bis das gesamte Objekt auf diese Weise abgescannt
wurde. In dem Falle, in dem Überschneidungen oder verdeckte
Kanten beim Meßobjekt vorhanden sind, erfolgt eine Kippung des
Meßträgers zur Erzeugung einer zusätzlichen Meßebene. Die in
dieser weiteren Meßebene erhaltenen Lichtschnittdaten werden in
den Auswertedatensatz einbezogen und bei der Geometriebe
stimmung berücksichtigt. Das Verfahren nach DE 42 08 455 A1
beruht, wie vorstehend kurz beschrieben, auf einem Licht
schnittverfahren, wobei der meßobjektbedingte seitliche Versatz
eines projizierten Lichtbandes oder Lichtstreifens bestimmt
wird. Dies unterscheidet sich jedoch grundsätzlich von einer
punktweisen Abtastung eines Meßobjektes.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum berüh
rungslosen Vermessen dreidimensionaler Objekte auf der Basis
optischer Triangulation anzugeben, welches es gestattet, ein
Objekt mit hoher Präzision und hoher Auflösung auch dann
vermessen zu können, wenn das Objekt Hinterschneidungen, ver
deckte Stellen, Sacklöcher oder ähnliches aufweist.
Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt mit einem Gegen
stand gemäß den Merkmalen des Patentanspruches 1, wobei die
Unteransprüche zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen
des Gegenstandes der Erfindung zeigen.
Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, einen Abtastkopf
auszubilden, welcher in vertikaler, d. h. in z-Richtung linear
bewegbar ist und der weiterhin eine Antriebseinheit aufweist,
welche ein vorgegebenes Verschwenken, Kippen, und/oder Drehen
des Abtastkopfes an einer jeweils vorgegebenen z-Position, d. h.
an einem Fixpunkt ermöglicht.
Gemäß einem weiteren Gedanken der Erfindung erfolgt die Bewe
gung des Drehtisches, welcher der Aufnahme des zu vermessenden
Objektes dient , quasi-kontinuierlich, wodurch unerwünschte
Schwingungen des Objektes oder der gesamten Vorrich
tung mit dem Nachteil geringer Meßgenauigkeit, wie dies bei
schrittweisem Drehantrieb gegeben ist, vermieden werden.
Das dreidimensionale Vermessen erfolgt dann dadurch, daß das
auf dem Drehteller bzw. Drehtisch befindliche Objekt auf
einer Umfangslinie, nämlich einem Ring, punktweise abgetastet
wird. Nach jeder Umdrehung des Drehtisches wird der Abtast
kopf in z-Richtung um einen vorgegebenen Schritt weitertrans
portiert. Anschließend erfolgt das Abtasten, eines nächsten
Ringes und die entsprechende Datenübertragung. Die vorste
hende Verfahrensweise wird so lange wiederholt, bis das ge
samte Objekt umfangsmäßig abgetastet ist. Die an eine nachge
ordnete Datenverarbeitungseinrichtung übertragenen Informa
tionen beschreiben demnach Punkte auf der Oberfläche des Ob
jekts als X-, Y-, Z-Koordinaten.
Die vorstehend beschriebene Abtastung wird mindestens in
einer vorgegebenen Winkelstellung des Abtastkopfes durchge
führt. Es hat sich herausgestellt, daß bei sehr ungleichmäßi
gen Objekten eine Mehrfachabtastung, quasi zur Bildung einer
Abtastpunktwolke, in unterschiedlichen Winkelstellungen
zweckmäßig ist. Mit Hilfe dieser Mehrfachabtastung wird ein
spezielles Abtastfenster gebildet, wobei die in diesem Fen
ster erhaltene Vielzahl von Informationen in der Datenverar
beitungseinheit zu einer eindeutigen Aussage über die Konfi
guration bzw. Oberflächengestaltung des Objektes eben an die
ser Stelle zusammengefügt wird.
Durch die Möglichkeit des Schwenkens der Blickrichtung des
Abtastkopfes um die Vertikalachse um einen bestimmten vor
wählbaren Winkel können unterschiedliche Blickrichtungen auf
das Objekt eingestellt werden. Hierdurch können in vorteil
hafter Weise verdeckte Oberflächenteile durch Messungen mit
Hintergriff erkannt werden. Damit können ansonsten nicht ein
sehbare Flächenstücke des Objektes, besonders bei mehrfach
zusammenhängenden Oberflächen, also z. B. Oberflächen mit
Durchgangslöchern, ausreichend genau abgescannt werden. Durch
eine Einstellung der Blickrichtung des Abtastkopfes durch
Kippen desselben um im wesentlichen 90° um die Rollachse der
Beobachtungsrichtung und Schwenken der Meßkopfblickrichtung
in der Neigungsachse um einen vorwählbaren Winkel können
schlecht vermeßbare Oberflächenstücke des Objektes, wie z. B.
achsennahe oder weitgehend horizontale bzw. waagerechte Ober
flächenbereiche erfaßt werden.
Durch mehrfach vorhandene Empfängerbaugruppen, d. h. Strah
lungsdetektoren und entsprechende Optiken, kann eine höhere
Signalwahrheit erreicht werden. Dies dient damit der Verbes
serung der Signalsicherheit bei Reflexionsfaktorproblemen
durch entsprechende logische Prüfalgorithmen. Letzendlich
wird hierdurch die horizontale Ortsgenauigkeit durch geome
trisches Ausschalten des Symmetriefehlers verbessert sowie
der Absolutfehler verringert.
Ein weiterer, wesentlicher Grundgedanke der Erfindung besteht
darin, eine dynamische Regelung der Lichtleistung der verwen
deten Strahlungsquelle, z. B. einer Laserdiode, vorzunehmen,
wodurch die Deutungswahrscheinlichkeit des reflektierten
Lichtsignals auf den Strahlungsdetektoren und damit die Meß
genauigkeit erhöht werden kann. Durch eine einfache, steuer
bare Verlängerung der Integrationszeit der als Strahlungsde
tektoren verwendeten CCD-Zeilen können auch weit entfernte,
winkelmäßig sehr ungünstige und/oder schwach reflektierende
Objekte sicher vermessen werden.
Die Gewinnung der Tiefeninformation aus dem erhaltenen Ge
samtsignal des CCD-Zeilensignals erfolgt mit einer Entfaltung
bzw. Teilentfaltung, z. B. durch entsprechende analoge Signal
verarbeitung, bei welcher zunächst hohe Frequenzen ausgefil
tert werden, differenziert, geglättet, nochmals differenziert
und dann von der geglätteten Ursprungsfunktion die gewichtete
zweite Ableitung subtrahiert wird. Alternativ kann eine digi
tale Entfaltung oder Defuzzyfizierung erfolgen.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die zugehörige Vorrichtung
sollen nunmehr anhand eines Ausführungsbeispieles und von
Figuren näher erläutert werden.
Hierbei zeigten:
Fig. 1 eine prinzipielle Darstellung des optischen Trian
gulationsverfahrens mit dem Ziel der Verdeutlichung
des Wirkungsprinzips des Abtastkopfes und
Fig. 2 den prinzipiellen Aufbau der Vorrichtung mit den
angedeuteten Möglichkeiten des Verschwenkens des Ab
tastkopfes.
Mit der Fig. 1 soll zunächst das Wirkungsprinzip des Abtast
kopfes und die damit realisierte optische Triangulation kurz
erläutert werden.
Zwei CCD-Zeilen 1 sind in vorgegebener Winkelposition im we
sentlichen symmetrisch zum Strahlengang eines als Strahlungs
quelle dienenden Lasers 2 angeordnet. Jeder CCD-Zeile 1 ist
ein entsprechendes Objektiv 3 zugeordnet. N, M und O sind
Meßpunkte des zu vermessenden Objektes und Sxm stellt die
Meßgröße, die mittels der CCD-Zeilen 1 gewonnen wird, dar.
Das vom Laser 2 ausgesandte gebündelte Licht wird von der
Oberfläche des abzutastenden Objektes reflektiert. Der Remis
sionsanteil wird innerhalb des Meßbereiches durch die Optik 3
erfaßt und als Meßgröße Sxm von den jeweiligen CCD-Zeilen 1
ausgewertet. Die auf der jeweiligen CCD-Zeile 1 ermittelte
Position wird als Maß für die Bestimmung der Entfernung des
abgetasteten Punktes auf der Oberfläche des dreidimensionalen
Körpers benutzt.
In einer Ausgestaltung der Erfindung sind die CCD-Zeilen 1
und/oder die Objektive 3 bewegbar. Die Strahlung des Lasers 2
wird mit einer nicht gezeigten automatischen Fokussierung dy
namisch fokussiert, um bei Objekten mit unterschiedlichem
Durchmesser die Meßgenauigkeit zu erhöhen.
Durch die mehrfach vorhandenen Empfängerbaugruppen bzw. CCD-
Zeile 1 mit den zugehörenden Objektiven 3 wird die Fehler
wahrscheinlichkeit durch das Ausschalten meßprinzipbedingter
Fehler verringert und Probleme bei unterschiedlich reflektie
renden Oberflächen oder Oberflächenteilen des Objektes ausge
schaltet.
Es liegt im Sinne der Erfindung, die Meßgenauigkeit durch
Meßwertakkumulation und Mittelwertbildung zu erhöhen und die
Auswirkungen von Rauschen zu minimieren.
Für quasidynamische bzw. zeitaufgelöste Messungen durch fort
laufende Wiederholungsmessungen mit außerordentlich schnellem
Meßwert- bzw. Datenfluß können auch einzelne Punkte, Ringe,
Spiralbahnen oder vertikale Linien als Quasiortsraum-Meßwert
fenster für die Analyse des Zeitverhaltens, z. B. für das Ei
genschwingverhalten, vorgewählt werden. Die CCD-Zeilen 1 sind
in jeweils drei Translations- und Rotationsrichtungen ju
stierbar (nicht gezeigt).
Die Meßgenauigkeit kann weiterhin dadurch erhöht werden, daß
eine speziell geformte, kombinierte Loch- und Ringblende bzw.
ein entsprechender Blendensatz so vorhanden und ausgestaltet
ist, daß sich als Superposition der Beugungserscheinungen die
weitgehend glatteste Hüllkurve der Lichtfleckstruktur auf dem
Objekt ergibt.
Die für den Laser 3 verwendete Mikrofokussoptik gestattet die
Ausbildung einer Beleuchtungsfläche am Objekt mit einem
Durchmesser kleiner gleich 0,2 mm. Die Auflage für die Objek
tive 3 ist bezogen auf die Anordnung der CCD-Zeilen 1 separat
und insgesamt quer schwenkbar für entsprechende Winkel gegen
über der Lichtwellenachse in einem Bereich von 5 bis 20°. An
stelle des verwendeten Lasers kann alternativ auch eine
Xenon-Hochdrucklampe mit einem entsprechenden Kollimator zur
Einstellung der Strahltaille und zur Bildung, einer Quasipunkt
lichtquelle eingesetzt werden.
Der Laser 2, der Kollimator und der Kollimatorantrieb sind
als einheitliche optische Fokussiereinheit ausgebildet. Die
zur Fokussierung erforderlichen, beweglichen Kollimatoren
elemente sind vollständig im Kollimatorantrieb aufgehangen.
Der eigentliche Kollimatorantrieb setzt sich aus der An
triebseinheit und der Kollimatoraufhängung zusammen, welche
im wesentlichen aus einer eine Gegenkraft erzeugenden Feder
einheit besteht. Die beweglichen Teile des Kollimatorantrie
bes und der Kollimatoraufhängung sind in Leichtbauweise, vor
zugsweise unter Verwendung von Kunststofflaminaten, ausge
führt. Mittels des speziellen Kollimatorantriebes kann die
Einstellung des Fokuspunktes auf dem Objekt durch den Kolli
mator und mit einer Dynamik bis hinein in den Kilohertzbe
reich erfolgen.
Die Antriebseinheit des Kollimators ist ein Linearantrieb mit
hohem Beschleunigungsvermögen durch geringe Masse bei hohen
Einstellgeschwindigkeiten. Der Antrieb selbst sitzt direkt
auf der optischen Achse, wodurch eine direkte Kraftübertra
gung und Minimierung sekundärer Bahnfehler erreicht wird.
Der Antrieb ist weiterhin als ein magnetisches Tauchspulen
system ausgebildet, wobei die Tauchspule eine angenähert
lineare Kennlinie aufweist. Der vorstehend erwähnte Antrieb
wird unter Vorlast betrieben. Dies erlaubt nach erfolgter
mechanischer Grundeinstellung der Fokussiereinheit, diese
elektrisch fein zu justieren und gegebenenfalls optimale Be
reiche des Zusammenwirkens der Vorspannfederkennlinie und der
Kennlinie des eigentlichen Antriebes auszuwählen.
Der Kollimatorantrieb wird elektrisch derart angesteuert, wo
bei sich der Ablenkstrom PID-artig aus einem Beschleuni
gungsstrompuls, dem eigentlichen Auslenkstrom und einem kur
zen Abbremsstrompuls, überlagert von einem ständig anliegen
den Justiergrundstrom zusammensetzt. Hierdurch kann äußerst
schnell und einfach justiert und fokussiert werden.
Die Bestimmung der Strommenge zur Magnetantriebssteuerung er
folgt durch Auswertung des Meßsignals eines optischen Entfer
nungsmessers und über Look-up-Tabellen und anschließende Be
rechnung mittels eines Einchip-Mikrorechners. Unter Beachtung
des Fokussierpunktverlaufes kann die Stromsignalbereitstel
lung für den Antrieb adaptiv oder auf Erfahrungswerten auf
bauend quasi fuzzylogisch bereitgestellt werden. Hierdurch
ist eine besonders schnelle, hoch dynamische Fokussierung
möglich.
Die Fig. 2 dient der Erläuterung der Vorrichtung zum Vermes
sen dreidimensionaler Objekte und zeigt ein im wesentlichen
L-förmiges Grundgestell 4, auf dessen waagerechten Teil ein
Drehteller 5 befestigt ist. Im waagerechten, fußförmigen Teil
4 befindet sich auch der Antrieb für den Drehteller 5. Ein
vertikaler, in z-Richtung gebildeter Schenkel 8 des Gestells
nimmt die Mittel zum Vertikalantrieb des Abtastkopfes 6, der
die Strahlungsquelle (Laser) 2 und die Empfänger (CCD-Zeilen)
I umfaßt, auf.
Der Abtastkopf 6 verfügt über einen im einzelnen nicht ge
zeigten Schwenkantrieb.
Die gesamte mechanische Grundkonstruktion ist mit schwin
gungsdämpfenden Mitteln versehen, die Stöße kleiner gleich 3g
vom Geräteinneren abhalten.
Der Vertikal- und Schwenkantrieb ist als Spindelantrieb aus
gelegt, wodurch eine Positionsgenauigkeit im Bereich von
kleiner gleich 15 µm erreicht werden kann. Der Antrieb des
Drehtellers 5 besteht aus einem Zahnriementrieb und einem
entsprechenden Motor, der über einen Taktgeber betrieben
wird. Die Winkelgenauigkeit beträgt 2048 Impulse je Umdre
hung. Die unterschiedlichen Möglichkeiten des Verschwenkens
sind in der Fig. 2 angedeutet. Zusätzlich besteht die Mög
lichkeit, daß der Abtastkopf 6 quasi in der Achse der Strah
lungsquelle 2 verdreht wird.
Die Kopfschwenkbarkeit in der y-Ebene beträgt bei einem Aus
führungsbeispiel ± 20°, die Kippbarkeit in der z-Ebene ± 10°.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können Objekte mit ei
nem Durchmesser von bis zu 300 mm abgetastet werden, wobei
das Abtastraster im Bereich von 0,05 bis 6,4 mm liegt. Die
Auflösung in Meßrichtung liegt im wesentlichen bei 50 µm. Die
Wellenlänge der verwendeten Strahlung beträgt 670 nm und die
Meßfrequenz 5 kHz.
Das Scannobjekt 7 wird mit nicht gezeigten Spannmitteln auf
dem Drehteller 5 befestigt. Mit Hilfe des Drehtellers 5 bzw.
des Drehtellerantriebes dreht sich das dreidimensionale Ob
jekt 7 am Abtastkopf 6 in waagerechter Richtung vorbei. Es
sei angemerkt, daß vorteilhafterweise zur Funktionsüber
wachung der Antriebe berührungslos arbeitende Positionssenso
ren vorgesehen sind. Der Abtastkopf 6 wird, wie bereits er
wähnt, von einem Vertikalantrieb in senkrechter Richtung am
Abtastobjekt 7 vorbeigeführt. Mit dem erwähnten Schwenkkipp
bzw. Drehantrieb sind unterschiedliche Winkellagen des
Abtastkopfes 6 hin zum Abtastobjekt 7 einstellbar. Hierdurch
gelingt es, auch in x-Richtung parallele Oberflächen zu scan
nen bzw. die Auswirkungen von Hinterschneidungen oder
Sacklochbohrungen oder ähnliches beim Scannen des Objektes zu
vermeiden.
Die Abtastung erfolgt mindestens in einer Winkelstellung des
Abtastkopfes 6. Bei sehr ungleichmäßigen Objekten wird zweck
mäßigerweise eine Mehrfachabtastung bei konstantem z-Fixpunkt
in unterschiedlichen Winkelstellungen des Abtastkopfes 6
durchgeführt.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem zugehörenden
Verfahren zum berührungslosen Vermessen dreidimensionaler Ob
jekte auf der Basis optischer Triangulation kann unter Anwen
dung spezieller Kinematiken auch die Konfiguration mehrfach
zusammenhängender Oberflächen bestimmt werden. Die kinemati
schen Parameter sind frei wählbar und können quasi kontinu
ierlich durchfahren werden. So ist die Drehung des Drehtel
lers, auf welchem das Objekt befindlich ist, beispielsweise
in Schritten von 0 bis 4 Umdrehungen je Sekunde einstellbar.
Zusätzlich kann eine Verschiebung des Drehtisches in Meßkopf
richtung vorgenommen werden. Ein Verschwenken und Kippen bzw.
Verdrehen des Abtastkopfes ermöglicht die Erfassung verdeck
ter Flächengebiete. Der Rasterabstand in Vertikal- und in Ob
jektumfangsrichtung liegt bei im wesentlichen 0,1 mm.
Alles in allem können mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
geometrisch komplizierte und mathematisch-schwer beschreib
bare Objekte, die über Hinterschneidungen, Sacklöcher und
dergleichen verfügen, mit geringem Aufwand räumlich erfaßt
werden, wobei die bereitgestellten 3D-Binärdaten von einer
nachgeordneten CAD-Workstation weiter verarbeitet werden kön
nen. Dadurch, daß nur ein einziger linearer, nämlich ein Ver
tikalantrieb verwendet werden muß und zusätzlich in konstruk
tiv einfacher Weise nur Schwenkkipp- bzw. Drehbewegungen ei
nes Abtastkopfes an einem jeweiligen vertikalen Fixpunkt aus
geführt werden, kann eine höhere Genauigkeit bei der Positio
nierung des Abtastkopfes, bezogen auf einen vorgegebenen
Punkt der Oberfläche des zu vermessenden Objektes, erfolgen.
Claims (7)
1. Verfahren zum berührungslosen Vermessen dreidimensionaler
Objekte auf der Basis optischer Triangulation, wobei die von
einer Strahlungsquelle im wesentlichen in,x-Richtung
ausgesendete, gebündelte Strahlung die Oberfläche des
Objektes punktweise mit dynamischer Nachstellung des Fokus
abtastet und von dieser reflektiert wird und die Remission
mittels Strahlungsdetektoren erfaßt wird, die
Strahlungsquelle sowie die Strahlungsdetektoren in einem in
z-Richtung vertikal linear bewegbaren sowie verschwenkbaren
Abtastkopf angeordnet sind mit folgenden Schritten:
- - Bestimmung des Ortes der reflektierten Strahlung auf mindestens einer als Strahlungsdetektor verwendeten CCD- Zeile zur Ermittlung des Maßes der Entfernung des abgetasteten Punktes auf der Oberfläche des Objektes;
- - Drehung des Objektes bei gleichem Objektabstand zum umfangsmäßigen, ringweisen oder spiralförmigen, waagrechten, in y-Richtung erfolgenden Abtasten des Objektes, wobei ein schrittweises oder fortlaufendes Verstellen des Abtastkopfes in z-Richtung und Abtasten des Objektes erfolgt und die derart gewonnenen Daten abgespeichert und zur dreidimensionalen Rekonstruktion des Objektes mittels einer Datenverarbeitungseinheit verwendet werden;
- - Wiederholung des ringweisen Abtastens bei einer z-Stellung des Abtastkopfes und unter unterschiedlichen Winkelstellungen des Abtastkopfes dann, wenn Auswirkungen von Hinterschneidungen, verdeckten Stellen oder y-parallelen Flächen des Objektes erkannt wurden;
- - Nachregeln der Strahlungsquelle mittels Gesamtlichtstrommessung derart, daß die Lichtsignaldynamik am Strahlungsdetektor nahezu gleichbleibend ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abtastkopf in der y-Ebene geschwenkt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abtastkopf in der z-Ebene gekippt wird.
4. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abtastkopf um eine vorgegebene Winkellage in der
x-Ebene gedreht wird.
5. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Bewegung des Abtastkopfes in vertikaler z-Richtung
kontinuierlich eingestellt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Datenverarbeitungseinheit dreidimensionale Daten des
Objektes derart bereitstellt, daß diese Daten über ein
Interface von einer Standard-CAD-Workstation weiter
verarbeitet werden können.
7. Verfahren nach Anspruch 1 oder 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangssignal der mindestens einen CCD-Zeile analog
oder digital entfaltet und eine Schwerpunktbestimmung zur
Meßsignalbewertung durchgeführt wird.
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