DE4327655A1 - Meßvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung nach dem Ober­ begriff des Anspruchs 1.

Aus der EP 0 433 535 A1 ist eine Mehrkomponenten-Meßan­ ordnung ohne Meßplatte bekannt, bei der eine oder mehrere von einander unabhängige Mehrkomponenten-Kraftaufnehmer in Aussparungen in einem oder mehreren Kaschinenteilen ohne Trennebene oder in einer Nut zwischen zwei Maschi­ nenteilen untergebracht sind. Der oder die Kraftaufnehmer liegen an der Wand der Aussparung oder der Nut unmittel­ bar oder über eine Distanzscheibe an und sind gegen die andere Wand mittels einer Spannvorrichtung verspannt.

Im Falle der Unterbringung in einer oder mehrerer Ausspa­ rungen handelt es sich um taschenförmige Aussparungen, die bei bestehenden Werkzeugen und Maschinen speziell zur Unterbringung der Kraftaufnehmer nachträglich anzuferti­ gen sind. Da die relevanten Maschinenteile, an denen sol­ che Messungen durchgeführt werden können, in der Regel gehärtet sind, ist die nachträgliche Fertigung einer ta­ schenförmigen Aussparung äußerst aufwendig. Sie kann näm­ lich nicht mit üblichen spanabhebenden Fertigungsmetho­ den, wie Bohren oder Fräsen hergestellt werden, sondern erfordert den Einsatz von Einsatz von Spezialwerkzeugen.

Taschenförmige Aussparungen der bekannten Art lassen sich aus technischen und wirtschaftlichen Gründen auch nur in äußeren Bereichen von Maschinenteilen realisieren. Dage­ gen ist die Herstellung von Aussparungen in zentralen Be­ reichen, die für Messungen von besonderem Interesse wä­ ren, wegen der erforderlichen Tiefe und geometrischen Form der Aussparung nicht mit vertretbarem Aufwand durch­ führbar.

Aus rechtlichen und technischen Erwägungen ist aber bis­ weilen gar nicht zulässig, derartige taschenförmige Aus­ sparungen herzustellen, z. B. bei neuen Maschinen während der Garantiezeit, bei gemieteten oder geleasten Maschi­ nen, die im ursprünglichen Zustand nach Ablauf der Miet- oder Leasingdauer zurückgegeben werden müssen oder im Falle einer nicht aus zuschließenden mechanischen Schwä­ chung der betroffenen Maschinenteile.

Bei der anderen Alternative, nämlich der Unterbringung in einer Nut zwischen zwei Maschinenteilen ist man darauf angewiesen, daß eine geeignete Nut überhaupt vorhanden ist und diese Nut zudem eine ausreichende Größe darbie­ tet, um den Kraftaufnehmer unterbringen zu können. Bei üblichen Fertigungsmaschinen sind derartige Nuten zwi­ schen zwei Maschinenteilen nicht gegeben, so daß diese Alternative für die Praxis keine Bedeutung hat. Reali­ stisch verbleibt daher nur die vorgenannte aufwendige Lö­ sungsmöglichkeit, taschenförmige Aussparung nachträglich anzubringen, sofern dies technisch und rechtlich möglich ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvor­ richtung der eingangs genannten Art dahingehend zu ver­ bessern, daß ihre Unterbringung ohne Veränderungen an einer Fertigungsmaschine ermöglicht wird, wobei die An­ bringungsorte variabel an die Meßerfordernisse angepaßt werden sollen und wobei eine einfache und sichere Montage und Demontage der Meßvorrichtung ermöglicht werden soll.

Diese Aufgabe wird bei einer Meßvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch die im Kennzeichen an­ gegebenen Merkmale gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung werden standard­ mäßig in dem Maschinenteil der Fertigungsmaschine vorhan­ dene Nuten als Ausnehmung für die Unterbringung der Spannvorrichtung genutzt. Derartige Nuten sind als T-Nu­ ten oder U-Nuten regelmäßig für genormte Spannsysteme vorhanden und dienen bestimmungsgemäß zur Fixierung der eingesetzten Werkzeuge oder zu bearbeitenden Werkstücke. Diese Nuten, die nicht zwischen zwei unterschiedlichen Maschinenteilen, sondern in einem Maschinenteil angeord­ net sind, sind in der Regel in gleichmäßigem Abstand über einer Werkstück- oder Werkzeugaufnahme verteilt, wobei jedoch nur ein Teil der Nuten zum Einsetzen von Pratzen benötigt wird, während die übrigen Nuten frei bleiben.

Indem in diese Nuten der Sensor mit der zugehörigen Spannvorrichtung eingesetzt und befestigt wird, besteht die Möglichkeit, ohne jede Vorbereitung und Änderung der Fertigungsmaschine einen Sensor prozeßnah in den Kraft­ fluß der Fertigungsmaschine zu integrieren. Diese Inte­ gration ist sogar während des Maschinenlaufs möglich. Durch Variieren der Position des Sensors innerhalb der Nut oder durch Auswahl einer von mehreren Nuten kann eine optimale Position für den Sensors erreicht werden.

Der Ein- und Ausbau des Sensors kann ohne Vorbereitungen an der Maschine oder dem Werkzeug bei bereits eingebauten Werkzeugen oder Werkstücken erfolgen. Nach der Einbrin­ gung zum gewünschten Einsatzort läßt sich der Sensor mit­ tels der Spannvorrichtung zwischen dem Nutgrund der ver­ wendeten Nut und dem Maschinenteil, Werkzeug oder Werk­ stück verspannen. Durch die kraftschlüssige Verspannung der Spannvorrichtung können auch Kraftflüsse in mehreren Achsen erfaßt werden. Wenn dies gewünscht ist, können mehrere Sensoren für die entsprechenden Achsen in der Spannvorrichtung angeordnet sein. Unter Sensoren werden insbesondere Meßaufnehmer für Kraft, Druck, Dehnung, Weg, Beschleunigung und Körperschall verstanden.

Die Spannvorrichtung kann mechanisch, hydraulisch, pneu­ matisch, elektrisch oder magnetisch verspannt sein.

Während die mechanische Ausgestaltung besonders einfach zu realisieren ist, aber zu ihrer Betätigung einen freien Zugang erfordert, ermöglichen die pneumatischen, hydrau­ lischen, elektrischen oder magnetischen Varianten eine ferngesteuerte Betätigung, so daß sich die Spannvorrich­ tung auch an schwer zugänglichen Stellen einsetzen und verspannen läßt.

Die Spannvorrichtung umfaßt ein Grundelement und eine Spannplatte. Für eine erste Ausführung als mechanische und eine weitere Ausführung als hydraulische oder pneuma­ tische sind zwei Alternativen angegeben.

Bei einer ersten Alternative ist die Spannplatte in an sich bekannter Weise als Spannkeil mit einer geneigten Fläche ausgebildet, die relativ zu einer ebenfalls ge­ neigten Fläche des Grundelements mittels einer Spann­ schraube verschiebbar ist. In Abhängigkeit der Lage des Spannkeils zum Grundelement ergibt sich eine Variation des Abstandes der Anlageflächen, so daß beim Auseinander­ drücken der Anlageflächen gegen den Nutgrund bzw. das weitere Maschinenteil, Werkzeug oder Werkstück die kraft­ schlüssige Verspannung herbeigeführt werden kann.

Gemäß einer zweiten Alternative ist vorgesehen, daß die Spannplatte als Stempel einer hydraulisch oder pneuma­ tisch betätigten Kolben-Druckzylinderanordnung ausge­ bildet ist. Hierbei wird die Spannkraft über ein Druck­ mittel aufgebracht, das innerhalb der Kolben-Druckzylin­ deranordnung wirkt und den Stempel mit einer Spannkraft beaufschlagt.

Bei einer dritten Alternative trägt die Spannplatte we­ nigstens ein mit einer Spannung beaufschlagbares Piezo­ element oder ist selbst als Piezoelement ausgebildet. Hierbei wird der Effekt ausgenutzt, daß sich das Piezo­ element bei Anlegen einer Spannung in Abhängigkeit der Spannung dehnt.

Eine Weiterbildung sieht vor, daß die Spannvorrichtung eine Querschnittsform aufweist, die an die genormte Quer­ schnittsform der standardmäßig vorhandenen Nuten angepaßt ist.

Die Spannvorrichtung ist in dieser Ausgestaltung beliebig zwischen unterschiedlichen Maschinen mit genormten Nuten austauschbar und wird durch die bündig Anlage an den Nut­ wänden seitlich fixiert und zwangsausgerichtet. Durch diese Vorfixierung wird das Verspannen wesentlich er­ leichtert. Dies ist besonders günstig, wenn Versuchsrei­ hen an Fertigungsmaschinen durchgeführt werden, bei der es auf eine schnelle Einrichtung und Umrüstung der Ma­ schinen ankommt.

Weiterhin ist vorgesehen, daß der Sensor in einer Aus­ nehmung des Grundelements befestigt ist.

Im Gegensatz zum Stand der Technik, bei dem sich der Sen­ sor stets lose innerhalb einer Ausnehmung des Maschinen­ teils oder einer Ausnehmung eines Grundelements befindet, stellt die erfindungsgemäße Ausgestaltung ein gemeinsames Element dar, so daß der Sensor gezielt auch an schwer zu­ gängliche Stellen eingeführt werden kann und dort eine definierte Lage erhält. Er ist auf diese Weise auch bes­ ser gegen Beschädigung und Überlastung geschützt.

Durch die Befestigung des Sensors an der Spannvorrichtung wird die Möglichkeit geschaffen, Sensoren unterschiedli­ cher Bauart und Geometrie uneingeschränkt verwenden zu können. Die Spannvorrichtung übernimmt dabei die Funktion eines Adapters zur Ankopplung des verwendeten Sensor an die Maschinenteile, Werkzeuge oder Werkstücke. Die Senso­ ren lassen sich also optimal nach Eignung zur Aufnahme der gewünschten Meßgrößen und Meßbereich auswählen und einsetzen. Demgegenüber erlaubt der Stand der Technik nur den Einsatz solcher Sensoren, die sich unmittelbar zwi­ schen zwei Teilen einspannen lassen.

Ein an der Spannvorrichtung angeordneter Sensor kann zu­ sätzlich mittels einer Druckplatte befestigt sein. Hier­ durch lassen sich Maßtoleranzen bei unterschiedlichen Abmessungen der Sensoren ausgleichen.

Hinsichtlich der Krafteinleitung sieht eine Ausgestaltung vor, daß der Sensor ausschließlich mittelbar über die Spannvorrichtung selbst kraftschlüssig mit dem Nutgrund der standardmäßig vorhandenen Nut einerseits und dem wei­ teren Maschinenteil oder dem Werkzeug oder dem Werkstück gekoppelt ist. Dabei wird also die zu messende Größe in das Grundelement eingeleitet und deren Verformung teilt sich dem Sensor mit, der sie dann erfaßt.

Bei einer anderen Variante ist der Sensor unmittelbar oder mittelbar über die Druckplatte kraftschlüssig mit dem Nutgrund der standardmäßig vorhandenen Nut einerseits und dem weiteren Maschinenteil oder dem Werkzeug oder dem Werkstück gekoppelt.

Hierbei bildet der Sensor einen Nebenschluß zum Grundele­ ment, so daß die Kraftmessung nicht über eine Verformung des Grundelements sondern durch direkte Einwirkung auf den Sensor gemessen wird.

Im Falle der Ausführung der Spannplatte als Stempel einer hydraulisch oder pneumatisch betätigten Kolben-Druckzy­ linderanordnung kann der Sensor oder ein weiterer Sensor einen Druckaufnehmer umfassen, der mit dem Druckmittel- System der Kolben-Druckzylinderanordnung gekoppelt ist.

Das Druckmittelsystem ist in diesem Fall Bestandteil des Sensors. Kräfte werden bei dieser Ausführung nicht über eine Verformung der Spannvorrichtung gemessen, sondern über die sich im Druckmittel der Kolben-Druckzylinderan­ ordnung ausbildenden Druckdifferenz bei konstantem Aus­ gangsdruckmittelvolumen.

Die Messung des Druckes kann als alleinige Messung oder auch in Kombination mit einem Sensor der vorbeschriebenen Ausführung angewandt werden.

Im Falle der Verwendung eines Piezoelements als Bestand­ teil der Spannvorrichtung kann dieses auch als Sensor dienen. Dabei wird die ein Meßsignal durch die Differenz zwischen der aktuellen Sensorspannung und der Speise­ spannung gewonnen. Die Ausnutzung des Piezoelements sowohl zum Spannen als auch zum Messen stellt eine beson­ ders ökonomische Lösung dar.

Bei einer praktischen Ausführung weist das Grundelement eine Gewindebohrung zur Befestigung einer Montagestange auf.

Hierdurch kann zur Montage und Demontage an schwer zu­ gänglichen Stellen innerhalb einer Nut das Grundelement mit einer Montagestange verbunden werden, mit der es ex­ akt an den vorgesehenen Montageort geschoben und später wieder herausgeholt werden kann.

Das Grundelement kann auch eine Kabeldurchführung aufwei­ sen. Es ist dann möglich, bei Anordnung mehrerer Meßvor­ richtungen in derselben Nut auch die nötigen Verbindungs­ kabel mit den Sensoren geschützt in dieser Nut zu ver­ legen und durch die Kabeldurchführungen benachbarter Grundelemente zu führen.

Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Er­ findung ergeben sich aus den Ansprüchen, der weiteren Be­ schreibung und der Zeichnung, anhand der Einführungsbei­ spiele der Erfindung erläutert werden.

In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Werkstück-Aufnahmetisches einer Fer­ tigungsmaschine mit einer erfindungs­ gemäßen Meßvorrichtung,

Fig. 2 eine Spannvorrichtung mit einem Sen­ sor gemäß einer ersten Ausgestaltung im Längsschnitt,

Fig. 3 die Spannvorrichtung gemäß Fig. 2 im Querschnitt,

Fig. 4 eine Spannvorrichtung mit einem Sen­ sor gemäß einer zweiten Ausgestaltung im Längsschnitt,

Fig. 5 eine Spannvorrichtung mit einem Sen­ sor gemäß einer dritten Ausgestaltung im Längsschnitt,

Fig. 6 eine Spannvorrichtung mit einem Sen­ sor gemäß einer vierten Ausgestaltung einer im Längsschnitt,

Fig. 7 die Spannvorrichtung gemäß Fig. 6 im Querschnitt und

Fig. 8 eine Spannvorrichtung mit einem Sen­ sor gemäß einer fünften Ausgestaltung im Längsschnitt.

Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Maschi­ nenteils 14, hier eines Werkstück-Aufnahmetisches einer Fertigungsmaschine. Das Maschinenteil 14 umfaßt mehrere Nuten 20, die das Maschinenteil 14 in Längsrichtung durchziehen. Drei dieser Nuten sind als T-Nuten ausgebil­ det, während eine Nut zur Veranschaulichung der anderen Variante als U-Nut ausgeführt ist. Die Ausgestaltung die­ ser Nuten ist üblicherweise normiert, wobei die T-Nuten der DIN 650 und die U-Nuten der DIN 69 638 genügen.

Auf dem Maschinenteil 14 befindet sich ein Werkstück 24, das mittels Pratzen 50 befestigt ist. Die Pratzen 50 sind dabei in die beiden äußeren Nuten 20 eingeschoben. In den beiden mittleren Nuten 20 befinden sich Spannvorrichtun­ gen 12, die jeweils aus einem Grundelement 16 und einer Spannplatte 18 bestehen. Die Spannvorrichtungen 12 nehmen jeweils einen Sensor auf, der in dieser Darstellung al­ lerdings nicht sichtbar ist. Die jeweilige Spannvorrich­ tung 12 ist zwischen dem Nutgrund 22 der standardmäßig vorhandenen Nut 20 einerseits und dem Werkstück 24 ande­ rerseits kraftschlüssig eingespannt.

Die Spannvorrichtungen 12 können innerhalb der Nuten 20 an beliebiger Stelle eingespannt werden und somit prozeß­ nah in den Kraftfluß der Fertigungsmaschine gebracht wer­ den. Die Meßkabel zu den Sensoren verlaufen geschützt in­ nerhalb der Nuten 20. Man erkennt, daß somit die ohnehin vorhandenen Nuten 20 zur Unterbringung der Spannvorrich­ tung mit den Sensoren und gleichzeitig zur Kabelführung dienen, so daß Veränderungen an der Fertigungsmaschine, die mir unter großem Aufwand nachträglich durchgeführt werden könnten und dabei gleichzeitig auch eine Schwä­ chung des Maschinenteils bewirken würden, unnötig sind.

Fig. 2 zeigt eine erste Ausgestaltung einer Spannvorrich­ tung 12. Hierbei umfaßt die Spannvorrichtung 12 ein Grun­ delement 16 für einen Sensor 10 und eine Spannplatte 18, die hier als Spannkeil 26 realisiert ist. Der Spannkeil 26 weist eine geneigte Fläche 28 auf, die relativ zu ei­ ner ebenfalls geneigten Fläche 30 des Grundelements 16 mittels einer Spannschraube 32 verschiebbar ist. Die Spannschraube 32 greift hier in eine Nase 52 des Grunde­ lements 16 ein. Zusätzlich kann auch eine Ausgleichsplat­ te 54 vorhanden sein, die auf die Spannplatte 18 aufge­ setzt wird. Alternativ wäre es auch möglich, Spannkeile 26 unterschiedlicher Höhe zu verwenden, um die Spannvor­ richtung 12 auch bei unterschiedlichen Abständen zwischen dem Nutgrund 22 und einem Werkstück 24 kraftschlüssig einzuspannen.

Auf der Unterseite des Grundelements 16 befindet sich eine Ausnehmung 38, in der der Sensor 10 mittels einer Befestigungsschraube 40 befestigt ist. Zwischen dem Kopf der Befestigungsschraube 40 und dem Sensor 10 ist eine Druckplatte 42 angeordnet. Bei Verwendung unterschiedli­ cher Sensoren 10 können unterschiedlich dicke Druck­ platten 42 verwendet werden, damit die untere Fläche der Druckplatte 42 bündig mit der Unterseite des Grundele­ ments 16 abschließt und Kräfte vom Nutgrund in den Sensor 10 eingeleitet werden können.

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch die in Fig. 2 darge­ stellte Spannvorrichtung. Hier ist zusätzlich eine Gewin­ debohrung 48 zur Befestigung einer Montagestange erkenn­ bar, mit deren Hilfe die Spannvorrichtung 12 auch in schwer zugängliche Bereiche einer Nut 20 hineingeschoben bzw. aus diesen herausgeholt werden kann.

Außerdem umfaßt das Grundelement 16 eine Kabeldurchfüh­ rung 60, durch die bei Einbau mehrerer Meßvorrichtungen in derselben Nut 20 auch die nötigen Verbindungskabel in dieser Nut ungehindert verlegt werden können.

Fig. 4 zeigt eine Spannvorrichtung 12 mit einem Sensor 10 in einer zweiten Ausgestaltung. Die Ausführung in Fig. 4 unterscheidet sich von derjenigen in Fig 3 durch die Ver­ wendung eines Sensors 10, der die Schwingungen des Grund­ elements 16 erfaßt. Über das Feder-Masse-System aus Sen­ sorkörper und Spannvorrichtung lassen sich mit dieser Anordnung Beschleunigungs- und Körperschallmeßwerte er­ fassen.

Bei der in Fig. 5 gezeigten dritten Ausführung einer Spannvorrichtung 12 mit einem Sensor 10 befindet sich der Sensor 10 in einer als Bohrung ausgebildeten Ausnehmung 58, die parallel zu den Anlageflächen der Spannvorrich­ tung 12 ausgerichtet ist. Ein Sensor derartiger Form wird auch als Dübelsensor bezeichnet. Er liegt bündig an der Wand der Bohrung an und erfaßt die Meßwerte mittelbar über eine Dehnung der Spannvorrichtung 12.

Fig. 6 zeigt im Längsschnitt eine vierte Ausgestaltung einer Spannvorrichtung 12. Die Spannplatte 18 ist hier als Stempel 34 einer hydraulisch oder pneumatisch betä­ tigten Kolben-Druckzylinderanordnung 36 ausgebildet. Die­ ser Kolben-Druckzylinderanordnung 36 wird Druckmittel über eine Druckleitung 46 zugeführt. Das kraftschlüssige Verspannen der Spannvorrichtung 12 erfolgt hier durch Einleitung eines Druckmittels in die Kolben-Druckzylin­ deranordnung 36 und die daraus resultierende Druckbeauf­ schlagung des Stempels 34. Mit dem Druckmittelsystem der Kolben-Druckzylinderanordnung 36 ist ein Druckaufnehmer 44 gekoppelt. Dieser mißt den Druck, der bei konstanter Druckmittelmenge ein Maß für die auf die Spannvorrichtung 12 wirkende Gegenkraft darstellt. Der Sensor ist bei die­ ser Ausführung durch die Kombination aus Druckmittelsys­ tem und Druckaufnehmer gebildet.

Zusätzlich weist diese Ausführung auch einen Sensor 10 auf, wie er bei der Ausführung gemäß Fig. 2 vorhanden ist. Die Kolben-Druckzylinderanordnung 36 ist relativ zum Grundelement 16 durch Gleitstifte 56 geführt.

Fig. 7 zeigt einen Querschnitt durch die in Fig. 6 darge­ stellte Spannvorrichtung. Auch hier ist wieder die Gewin­ debohrung 48 zur Befestigung einer Montagestange erkenn­ bar.

Fig. 8 zeigt schließlich eine Spannvorrichtung 12, bei der die Spannplatte 18 als Piezoelement 62 ausgebildet ist. Das Piezoelement 62 wird mit einer Speisespannung beaufschlagt und die daraus resultierende Dehnung führt zur Verspannung. Piezoelement 62 dient auch gleichzeitig als Sensor 10. Durch auf das Piezoelement 62 einwirkende Prozeßgrößen wird nämlich eine Spannung erzeugt, die sich der Speisespannung überlagert. Durch Auswertung der Dif­ ferenz zwischen der aktuellen Sensorspannung und der Speisespannung gelingt es, ein Meßsignal zu gewinnen, das ein Maß der einwirkenden Prozeßgrößen darstellt.

Mit der erfindungsgemäßen Maßvorrichtung gelingt es, eine prozeßnahe Messung von Prozeßgrößen im Kraftnebenschluß bei Fertigungsmaschinen durchzuführen. Die benötigten Sensoren 10 können dank der Einbaumöglichkeit der Spann­ vorrichtung 12 in Nuten 20 flexibel positioniert werden. Als Sensoren 10 eignen sich standardmäßig verfügbare Sen­ soren, z. B. Dehnungsmeßstreifen, piezoelektrische Senso­ ren, Piezofolien oder kapazitive Sensoren. Die Auswahl erfolgt nach den geometrischen Abmessungen der Nut sowie der notwendigen Empfindlichkeit des Sensors. Das Anwen­ dungsgebiet für derartige Sensoren sind Fertigungsmaschi­ nen in der Umformtechnik, z. B. der Blechverarbeitung, der Warm- und Kaltmassivumformung, sowie der Fertigungstech­ nik an Pressen, Stanzen und anderen, z. B. spanabhebenden Bearbeitungsmaschinen.

Claims (14)

1. Meßvorrichtung, bestehend aus wenigstens einem Sen­ sor (10), die mittels einer Spannvorrichtung (12) in ei­ ner Ausnehmung eines Maschinenteils (14) einer Ferti­ gungsmaschine lösbar befestigt ist, wobei die Spannvor­ richtung (12) aus einem Grundelement (16) und einer Spannplatte (18) besteht, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausnehmung eine standardmäßig in dem Maschinenteil (14) der Fertigungsmaschine vorhandene Nut (20) dient, inner­ halb der die Spannvorrichtung (12) wählbar positionierbar ist, daß der Sensor (10) mit der Spannvorrichtung (12) gekoppelt ist und daß die Spannvorrichtung (12) zwischen dem Nutgrund (22) der standardmäßig vorhandenen Nut (20) einerseits und einem weiteren Maschinenteil oder einem Werkzeug oder einem Werkstück (24) kraftschlüssig ver­ spannt ist.

2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Spannvorrichtung (12) mechanisch, hydrau­ lisch, pneumatisch, elektrisch oder magnetisch verspannt ist.

3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß bei mechanischer Verspannung die Spannplat­ te (18) als Spannkeil (26) mit einer geneigten Flä­ che (28) ausgebildet ist, die relativ zu einer ebenfalls geneigten Fläche (30) des Grundelements (16) mittels einer Spannschraube (32) verschiebbar ist.

4. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß bei hydraulischer oder pneumatischer Verspannung die Spannplatte (18) als Stempel (34) einer hydraulisch oder pneumatisch betätigbaren Kolben-Druckzylinderanord­ nung (36) ausgebildet ist.

5. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net′ daß bei elektrischer Verspannung die Spannplatte (18) wenigstens ein mit einer Speisespannung beaufschlag­ bares Piezoelement trägt oder als Piezoelement (62) aus­ gebildet ist.

6. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß die Spannvorrichtung (12) eine Querschnittsform aufweist, die an die genormte Quer­ schnittsform der standardmäßig vorhandenen Nuten (20) an­ gepaßt ist.

7. Meßvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprü­ che 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (10) in einer Ausnehmung (38, 58) der Spannvorrichtung (12) an dieser befestigt ist.

8. Meßvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich­ net, daß der Sensor (10) mittels einer Druckplatte (42) befestigt ist.

9. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß der Sensor (10) ausschließlich mittelbar über die Spannvorrichtung (12) kraftschlüssig mit dem Nutgrund (22) der standardmäßig vorhandenen Nut (20) einerseits und dem weiteren Maschinenteil oder dem Werkzeug oder dem Werkstück (24) gekoppelt ist.

10. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß der Sensor (10) unmittelbar oder mittelbar über die Druckplatte (42) kraftschlüssig mit dem Nutgrund (22) der standardmäßig vorhandenen Nut (20) einerseits und dem weiteren Maschinenteil oder dem Werkzeug oder dem Werkstück (24) gekoppelt ist.

11. Meßvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprü­ che 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (10) oder ein weiterer Sensor (10) einen Druckaufnehmer (44) umfaßt, der mit dem Druckmittelsystem der Kolben-Druck­ zylinderanordnung (36) gekoppelt ist.

12. Meßvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprü­ che 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (10) oder ein weiterer Sensor (10) durch das Piezoelement (62) gebildet ist, wobei ein Meßsignal durch die Differenz zwischen der aktuellen Sensorspannung und der Speise­ spannung gewonnen wird.

13. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Grundelement (16) eine Gewindebohrung (48) zur Befestigung einer Montagestange aufweist.

14. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Grundelement (16) eine Kabeldurchführung (60) aufweist.