DE4320715A1 - Ventil für geringe Durchflußraten in einem Flüssigkeitskanal - Google Patents
Ventil für geringe Durchflußraten in einem FlüssigkeitskanalInfo
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims abstract description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 239000004816 latex Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 claims 1
- 230000004071 biological effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002925 chemical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical compound FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
- F16K31/005—Piezoelectric benders
- F16K31/006—Piezoelectric benders having a free end
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Ventil für geringe
Durchflußraten in einem Flüssigkeitskanal, mit einem
Primärkanal und einem Sekundärkanal sowie einem beweglichen
Ventilkörper, der gegen einen Ventilsitz arbeitet, wobei der
Ventilsitz und der Ventilkörper zwischen Primärkanal und
Sekundärkanal angeordnet sind.
Es ist bekannt, Dosiervorgänge mittels Ventilen mit
elektromagnetischer bzw. motorischer Betätigung zu steuern.
Dafür ist aber elektrische Energie in einem Umfang nötig, daß
sich das bekannte Antriebsprinzip für miniaturisierte Ventile
nicht eignet, die mit dem Strom aus einer Batterie betreibbar
sein sollen. Ferner ist es in Kanälen sehr geringen
Querschnitts schwierig, ein herkömmliches, präzise
steuerbares Ventil anzuordnen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ventil für
geringe Durchflußraten zu schaffen, das sich besonders für
Batteriebetrieb und zur Steuerung geringer Durchflußraten,
vorzugsweise in kapillaren Volumenkammern, eignet.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die im Anspruch 1
aufgeführten Merkmale gelöst.
Die Erfindung weist gegenüber dem Bekannten die Vorteile auf,
daß das neue Ventil bei allen Arten von Flüssigkeiten
funktionsfähig ist. Wegen seiner geschlossenen Bauweise ist
das Ventil gegen Austrocknung der Flüssigkeiten sicher. Es
ist kompakt aufgebaut, und es ist eine präzise Dosierung
eines Volumenstroms in einer kapillaren Kammer möglich. Durch
Verwendung von Kunststoff ist das Ventil gegenüber
Umwelteinflüssen und mechanischen, chemischen und
biologischen Einwirkungen sicher.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus
den Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung
hervor.
Die Erfindung wird an einem Ausführungsbeispiel anhand von
Zeichnungen erläutert. Es zeigen
Fig. 1 einen Längsschnitt des erfindungsgemäßen Ventils mit
einem Piezo-Biegewandler und einem Ventilkörper sowie
schematisch eine elektronische Schaltung zur Ventilsteuerung,
Fig. 2 einen Teillängsschnitt des erfindungsgemäßen Ventils,
gegenüber der Darstellung in Fig. 1 in vergrößertem Maßstab,
Fig. 3 die elektronische Schaltung nach Fig. 1 im Detail.
Ein Ventil 1 (Fig. 1) umfaßt im wesentlichen ein Gehäuse 2
und einen Einsatz 3. Der Einsatz 3 befindet sich in einer
Aussparung 7 des Gehäuses 2 und umfaßt unter anderem einen
Grundkörper 28, einen Piezo-Biegewandler 31, einen
Ventilkörper 24 und eine Abdeckkappe 6 als Baueinheit. Mit
Hilfe an beiden Enden des Einsatzes 3 im Gehäuse 2
verankerter Schraubbolzen 4, 5 mit dazugehörigen Muttern 8, 9
wird die Abdeckkappe 6 für den Einsatz 3 gegen das Gehäuse 2
gedrückt.
Bei Anwendung des Ventils 1 gelangt eine Flüssigkeit aus
einem Reservoir 10 über eine Zulaufleitung 11 und einen
Zulauf 12 zu einem Primärkanal 13 des Ventils 1.
Im Ventil 1 arbeitet der Ventilkörper 24 gegen einen
Ventilsitz 22 in einem Ventilblock 21.
Der Ventilblock 21 ist durch ein mit TEFLON-Band gedichtetes
Feingewinde in seiner Lage im Gehäuse 2 des Ventils 1
justierbar. Der Ventilblock 21 verbindet den Primärkanal 13
fluidmäßig mit einem Sekundärkanal 15, der im Inneren des
Ventilblocks 21 vorgesehen ist. Der Sekundärkanal 15 ist
fluidmäßig mit einem Ablauf 14 des Ventils 1 verbunden.
Der Ventilkörper 24 (Fig. 1) wird über einen
elektromechanischen Antrieb zum Ventilsitz 22 hin bzw. von
ihm wegbewegt. Hierdurch schließt bzw. öffnet das Ventil 1.
Der Ventilkörper 24 umfaßt einen Kegel größeren Durchmessers
und einen daran angeformten Schaft 27 kleineren Durchmessers.
Zwischen Kegel und Schaft bildet der Kegel eine Schulter 17.
Der Schaft 27 hat ein Außengewinde, auf das eine Hülse 23
aufgeschraubt ist. Die Hülse 23 hat im Längsschnitt T-förmige
Gestalt. Mit ihrem schmalen Ende stützt sie sich an der
Schulter 17 des Kegels ab. Auf ihrem breiten Ende ist eine
als Druckfeder verwendete Feder 19 aufgesetzt, deren anderes
Ende sich an der Abdeckkappe 6 des Einsatzes 3 abstützt.
Ein flexibler Membranstreifen 18 ist zwischen Einsatz 3 und
Gehäuse 2 an den Enden des Grundkörpers 28 geklemmt. Der
Membranstreifen 18 dichtet die Fluidseite gegen die Seite der
Aussparung 7 des Gehäuses 2 ab.
Im Membranstreifen 18 ist eine Öffnung 16 zur Aufnahme des
Schafts 27 des Ventilkörpers 24 vorgesehen. Dabei liegt der
Membranstreifen 18 auf der Schulter 17 des Ventilkörpers 24
ringförmig auf und ist gegen die auf den Schaft 27
geschraubte Hülse 23 in der Weise geklemmt, daß die
Fluidseite gegenüber der Seite der Aussparung 7 des Gehäuses
2 abgedichtet ist.
Der Membranstreifen 18 ist bei diesem Ausführungsbeispiel aus
einer 0,05 mm starken LATEX-Folie hergestellt. Der
Membranstreifen 18 dient zum einen der elastischen Lagerung
des Ventilkörpers 24 und zum anderen der Abdichtung der
Aussparung 7 gegenüber der Fluidseite des Ventils 1.
Verbiegt sich der Piezo-Biegewandler 31, nachdem er mit
Spannung einer vorgegebenen Polarität beaufschlagt wurde, so
liegt der Ventilkörper 24 am Ventilsitz 22 an, das Ventil 1
ist geschlossen.
Durch die Kraft der Feder 19 wird der Ventilkörper 24
zusätzlich gegen den Ventilsitz 22 gedrückt. Die auf die
Hülse 23 bzw. den Ventilkörper 24 ausgeübte Druckkraft der
Feder 19, also die Schließkraft des Ventils 1, wird dadurch
eingestellt, daß der Ventilblock 21 mehr oder weniger weit in
das Gehäuse 2 des Ventils 1 eingedreht wird.
Eine aus einer Batterie 29 (Fig. 1, 3) mit elektrischem Strom
versorgte elektronische Schaltung 30 dient der Steuerung des
Ventils 1 über elektrische Leitungen 47, 48.
Der Piezo-Biegewandler 31 (Fig. 1, 2) ist an seinem einen
Ende am Einsatz 3 mittels einer aus leitendem Material
hergestellten Schraube 25 an dem Grundkörper 28 befestigt.
Die Schraube 25 durchdringt einen ebenfalls aus leitendem
Material hergestellten Bügel 26. Da der Bügel 26 auf einer
ersten Leitschicht 34 des Piezo-Biegewandlers 31 aufliegt,
und die Schraube 25 den Grundkörper 28 ebenfalls durchdringt,
besteht eine elektrische Verbindung zwischen der ersten
Leitschicht 34, einer zweiten Leitschicht 38 und dem
Grundkörper 28. Der Bügel 26 ist vorzugsweise aus Messing
hergestellt.
Das andere Ende des Piezo-Biegewandlers 31 greift mit einer
aufgeklebten Gabel 20 an der Hülse 23 an.
Zwischen Grundkörper 28 (Fig. 1, 2) und Piezo-Biegewandler 31
ist eine Scheibe 41 eingelegt, die aus elektrisch leitendem
Material besteht. Die Scheibe 41 dient einerseits dazu, den
Piezo-Biegewandler 31 und den Grundkörper 28 gegenseitig auf
Abstand zu halten und stellt andererseits eine galvanische
Verbindung zwischen der zweiten Leitschicht 38 (Fig. 3) und
dem Grundkörper 28 dar.
Der Piezo-Biegewandler 31 (Fig. 1, 2) hat insgesamt drei
Leitschichten 34, 38, 39. Die erste Leitschicht 34 ist mit
einem Anschluß 35 versehen, und eine dritte Leitschicht 39
mit einem Anschluß 36. Der eine Anschluß 35 ist mit der
Leitung 47, der andere Anschluß 36 mit der Leitung 48
galvanisch verbunden. Die Leitungen 47 und 48 führen zu der
elektronischen Schaltung 30 (Fig. 1, 3). Die zweite
Leitschicht 38 ist über die Scheibe 41, den Grundkörper 28,
die Schraube 25 und den Bügel 26 galvanisch mit der ersten
Leitschicht 34 verbunden.
Zur Ansteuerung des Piezo-Biegewandlers 31 wird eine hohe
Gleichspannung benötigt, die sich durch ein Logiksignal aus
einer Signalverarbeitungselektronik in ihrer Polarität
umschalten läßt. Hierzu dient die elektronische Schaltung 30
(Fig. 3).
Die Spannung der Batterie 29 (Fig. 3) wird mittels eines
Frequenzgenerators 50 auf eine Spannung von etwa 200 V
umgesetzt. Der Frequenzgenerator 50 arbeitet mit einem mit
etwa 10 kHz freischwingenden RC-Oszillator, der einen als
Schalttransistor verwendeten Transistor 51 mit einem
Rechtecksignal ansteuert. Während der Leitphase des
Transistors 51 wird in einer Spule 69 ein Strom aufgebaut,
der während der Sperrphase über einen als Speicherkondensator
wirkenden Kondensator 67 abgebaut wird und dessen Ladung
erhöht. Der Piezo-Biegewandler 31 ist an einer mit
Gleichspannung versorgten Brückenschaltung, die aus einem
Widerstand 61, einem weiteren Widerstand 64, einen Transistor
53 und einem weiteren Transistor 54 gebildet ist,
angeschlossen. Je nach Schaltsignalpegel wird jeweils einer
der beiden Transistoren 53 bzw. 54 angesteuert, so daß die
Polarität der Spannung am Piezo-Biegewandler 31 und damit
dessen Biegerichtung durch das Logiksignal bestimmt sind.
Die Widerstände 62 und 63 dienen der Begrenzung der
Basisströme der Transistoren 52 und 53, die durch ein über
eine Klemme 40 herangeführtes Schaltsignal zur Ansteuerung
des Ventils 1 initiiert werden.
Bei einem Ausführungsbeispiel der elektronischen Schaltung 30
wird als Frequenzgenerator 50 ein integrierter Schaltkreis
Typ NE 555 verwendet, wie in beispielsweise die Firmen
Siemens, Neumüller und andere herstellen.
Für die Transistoren 51, 53 und 54 wird der Typ BFN 26, für
den Transistor 52 der Typ BC 846, für eine Diode 55 der Typ
BAS 21 und für eine weitere Diode 56 der Typ BYM 10-100
verwendet. Ein Widerstand 57 hat 10 kΩ, ein Widerstand 58 hat
100 kΩ, ein Widerstand 59 hat 270 Ω, ein Widerstand 60 hat
560 Ω, die Widerstände 61 und 64 haben jeweils 10 MΩ, und die
Widerstände 62 und 63 haben jeweils 560 Ω. Die Kondensatoren
65 und 68 haben jeweils eine Kapazität von 820 pF, der
Kondensator 66 hat eine Kapazität von 0,1 µF, und der
Kondensator 67 eine solche von 1000 pF. Die Spule 69 hat
1,5 mH.
Das beschriebene Ventil kann beispielsweise bei
Plotterstiften zur Trennung des Tuschevorratsbehälters, bei
Registriergeräten, Medizingeräten oder Geräten in der
Prozeßtechnik zur Anwendung kommen.
Claims (26)
1. Ventil für geringe Durchflußraten in einem
Flüssigkeitskanal, mit einem Primärkanal und einem
Sekundärkanal sowie einem beweglichen Ventilkörper, der gegen
einen Ventilsitz arbeitet, wobei der Ventilsitz und der
Ventilkörper zwischen Primärkanal und Sekundärkanal
angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß als Antrieb für
den Ventilkörper (24) ein Piezo-Biegewandler (31) vorgesehen
ist.
2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Ventilkörper (24) bei geschlossenem Ventil mittels
Federdrucks gegen den Ventilsitz (22) gedrückt ist und in
funktionaler Verbindung mit dem Piezo-Biegewandler (31)
steht, der bei Beaufschlagung mit elektrischer Spannung den
Ventilkörper (24) vom Ventilsitz (22) abhebt.
3. Ventil nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Einsatz (3) zur Aufnahme des Piezo-
Biegewandlers (31) vorgesehen ist.
4. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Piezo-Biegewandler (31) mittels eines
Bügels (26) und einer ihn durchdringenden Schraube (25) an
einem Grundkörper (28) angebracht ist.
5. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schraube (25) den Bügel (26) und den Grundkörper (28) und
gleichzeitig eine erste Leitschicht (34) des Piezo-
Biegewandlers (31) mit einer zweiten Leitschicht (38)
elektrisch leitend miteinander verbindet.
6. Ventil nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet, daß eine dritte Leitschicht (39) des Piezo-
Biegewandlers (31) isolierend gegenüber der Schraube (25)
wirkt.
7. Ventil nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Leitschicht (34) mit einem
Anschluß (35) und einer Leitung (47) und die dritte
Leitschicht (39) mit einem anderen Anschluß (36) und einer
Leitung (48) versehen sind.
8. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen Grundkörper (28) und Piezo-
Biegeelement (31) eine Scheibe (41) aus leitendem Material
zur Beabstandung von Piezo-Biegewandler (31) und Grundkörper
(28) vorgesehen ist.
9. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
Bügel (26) elektrisch leitend ist.
10. Ventil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der
Bügel (26) aus Messing besteht.
11. Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schraube (25) elektrisch leitend ist.
12. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (24) aus einem Kegel
größeren Durchmessers und einen Schaft (27) kleineren
Durchmessers besteht.
13. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (24) aus nichtleitendem
Material besteht.
14. Ventil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der
Ventilkörper (24) aus Kunststoff besteht.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Grundplatte (28) unter Zwischenlegung
der Enden des flexibler Membranstreifens (18) gegen das
Gehäuse (2) des Ventils (1) gepreßt ist.
16. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß im Membranstreifen (18) eine Öffnung (16)
zur Aufnahme des Schafts (27) des Ventilkörpers (24)
vorgesehen ist.
17. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß der Schaft (27) den Membranstreifen (18)
durchdringt, und der Membranstreifen (18) auf der Schulter
(17) des Ventilkörpers (24) aufliegt.
18. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch
gekennzeichnet, daß der auf der Schulter (17) des
Ventilkörpers (24) aufliegende Membranstreifen (18) durch
eine auf den Schaft (27) aufgeschraubte Hülse (23) gegen die
Schulter (17) gedrückt ist.
19. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, daß der Membranstreifen (18) aus LATEX
besteht.
20. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch
gekennzeichnet, daß die Hülse (23) im Längsschnitt T-förmig
gestaltet ist und sich auf ihrem breiten Ende eine als
Druckfeder verwendete Feder (19) abstützt.
21. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch
gekennzeichnet, daß der Einsatz (3) den Piezo-Biegewandler
(31), den Grundkörper (28) und eine Abdeckkappe (6) umfaßt.
22. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch
gekennzeichnet, daß der Einsatz (3) mittels am Gehäuse (2)
verankerter lösbarer Schraubbolzen (4, 5) sowie lösbarer
Muttern (8, 9) mit dem Gehäuse (2) verbunden ist.
23. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch
gekennzeichnet, daß der Einsatz (3) in einer Aussparung (7)
des Gehäuses (2) angeordnet ist.
24. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch
gekennzeichnet, daß eine elektronische Schaltung (30) für den
Piezo-Biegewandler (31) vorgesehen ist.
25. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch
gekennzeichnet, daß die elektronische Schaltung (30) einen
Frequenzgenerator (50) umfaßt.
26. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch
gekennzeichnet, daß je nach gewünschter Biegerichtung des
Piezo-Biegewandlers (31) mittels entsprechenden
Schaltsignalpegels einer der beiden Transistoren (53, 54)
durchgesteuert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934320715 DE4320715A1 (de) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | Ventil für geringe Durchflußraten in einem Flüssigkeitskanal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934320715 DE4320715A1 (de) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | Ventil für geringe Durchflußraten in einem Flüssigkeitskanal |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4320715A1 true DE4320715A1 (de) | 1995-01-05 |
Family
ID=6490942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934320715 Ceased DE4320715A1 (de) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | Ventil für geringe Durchflußraten in einem Flüssigkeitskanal |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4320715A1 (de) |
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1993
- 1993-06-23 DE DE19934320715 patent/DE4320715A1/de not_active Ceased
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Date | Code | Title | Description |
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8131 | Rejection |