DE4313556C2 - Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an Wellen - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an WellenInfo
- Publication number
- DE4313556C2 DE4313556C2 DE4313556A DE4313556A DE4313556C2 DE 4313556 C2 DE4313556 C2 DE 4313556C2 DE 4313556 A DE4313556 A DE 4313556A DE 4313556 A DE4313556 A DE 4313556A DE 4313556 C2 DE4313556 C2 DE 4313556C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic field
- yoke
- coil
- field
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/025—Compensating stray fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/102—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving magnetostrictive means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/105—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving inductive means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/07—Hall effect devices
Description
In der amerikanischen Patentschrift US 4364278 ist ein Beispiel für einen magneto
striktiven Drehmomentsensor beschrieben, bei dem das magnetische Feld mittels auf
dem Hall-Effekt basierenden Magnetfeldsensoren erfaßt wird. Weitere Beispiele sind
u. a. in der DE-AS 11 15 051, der EP 103354 A2 und der US 5351555 beschrieben.
Bei allen bisher bekannten berührungslosen Drehmomentsensoren, welche die Welle
ganz oder zum größten Teil umfassen, besteht das Problem, daß die Veränderung der
Permeabilität der Schicht auf der Welle aufgrund des Drehmomentes eine deutlich
geringere Veränderung der Flußdichte im Luftspalt bzw. der Induktivität bewirkt als
die Schwankung der Luftspaltbreite aufgrund der Exzentrizität der Welle bei wech
selndem Drehmoment.
Die hier vorgeschlagene und in der Beschreibung beispielhaft dargestellte Lösung des
Problems ist insbesondere für die Realisierung als mikromechanisches Bauelement
auf Halbleiterbasis geeignet, da die analoge und digitale Sensorelektronik, welche die
Schwankung der Luftspaltbreite und die Empfindlichkeitsdrift der Magnetfeldsenso
ren kompensiert, zusammen mit den Spulen, dem Joch und den Magnetfeldsensoren
auf einem Chip integriert werden kann.
Die nachfolgende Beschreibung gliedert sich in drei Teile. Im ersten werden die tech
nologischen. Schritte zur Realisierung des integrierten mikromechanischen Drehmo
mentsensors dargelegt. Der zweite Teil geht auf die Kompensation der schwankenden
Luftspaltbreite ein. Im dritten Teil wird die Kompensation der Empfindlichkeitsdrift
der der Magnetfeldsensoren erklärt.
Der mikromechanische Drehmoment-Sensor kann auf einem doppelseitig, evtl. auch
einseitig polierten Siliziumwafer realisiert werden.
Der Wafer muß eine Kristallorientierung in <100< Richtung besitzen und kann ent
weder schwach p- oder n-dotiert (20-30 Ωcm) sein.
Ein Querschnitt durch den Sensor zeigt Fig. 1a, die Aufsicht auf die Oberseite des
Wafers zeigt Fig. 1b. Auf eine polierte Waferseite kann eine Epitaxieschicht von et
wa 6-10 µm Dicke abgeschieden werden, deren Dotierstoffkonzentration durch einen
spezifische Widerstand von 10-30 Ωcm gekennzeichnet ist. Der Dotierstoff der Epita
xieschicht muß vom umgekehrten Leitfähigkeitstyp sein wie der des Wafers.
In die Epitaxieschicht können auf dem Hall-Effekt beruhende Sensorelemente und
weitere elektrische Bauelemente zur Signalverarbeitung mit einem MOS bzw. CMOS-
Prozeß hergestellt werden.
Es kann auch direkt auf einem Wafer ein Bipolar- bzw. BICMOS-Prozeß für die
Sensor- bzw. Schaltungselemente benutzt werden.
Auf der Rückseite des Wafers werden anschließend eine oder mehrere Spulen bei
spielsweise durch galvanische Abscheidung von Gold aufgebracht.
Dazu muß zunächst die Waferrückseite eine aus dem vorhergegangenen Standardpro
zeß erzeugte Siliziumdioxidschicht von mindestens 100 nm besitzen. Darauf wird ein
Chromhaftschicht (Dicke: 50 nm) und Goldstartschicht (Dicke: 100 nm) aufgedampft.
Die Waferseite mit den Spulen wird mit einer KOH (Kalilauge) resistenten Schicht
abgedeckt. Diese Schicht wird für die Erzeugung von Gruben strukturiert. Die Gru
ben werden nun mittels anisotropen KOH-Ätzverfahren erzeugt, wobei man den p
n-Übergang Epitaxieschicht-Bulk als elektrochemischen Ätzstop verwendet. Dann
erhält man eine Membran in Dicke der Epitaxieschicht.
Die Maskierung für die KOH-Ätzung muß nun entfernt werden.
Die Spule und die Grube müssen elektrisch passiviert werden, z. B. mit Siliziumdioxid.
Auf das Siliziumdioxid wird eine ferromagnetische Schicht, z. B. NiFe (Dicke: 50-
100 nm) als Startschicht für die Galvanik aufgesputtert. Dann erfolgt ein Photolito
graphieschritt zur Strukturierung des bzw. der Joche. Das Jochmaterial (NiFe) kann
nun galvanisch abgeschieden werden (Dicke: 8-15 µm). Der Photolack und die frei
liegende Startschicht werden entfernt.
Für die Dimensionierung des Sensors insgesamt und die geeignete Plazierung der
Kernfeld- und Streufeldsensoren wird ein kommerziell erhältliches 3D-Feldberech
nungsprogramm verwendet. Mit dem Programm werden die Feldverläufe bei Gleich-
bzw. Gegentaktanregung berechnet.
Bei Gleichtaktanregung schneiden die Flußdichtelinien die Symmetrieebene YY' senk
recht, wie in Fig. 2a schematisch dargestellt. Den Feldverlauf bei Gegentaktanregung
zeigt schematisch Fig. 2b.
Von besonderem Interesse ist die Komponente der Flußdichte, welche die Grenz
fläche zwischen Epi-Schicht und Luftspalt senkrecht durchschneidet, weil sie der
Definition des Bereiches des sogenannten homogenen Feldverlaufs und des inhomo
genen Feldverlaufs dient. Unterhalb der Pole des Jochs ist das Feld nahezu homo
gen, d. h. die Flußdichtelinien verlaufen parallel, im Randbereich neben den Polen ist
das Feld inhomogen. Als Flußdichtesensor wird eine Zusammenschaltung bestehend
aus zwei komplementären Split-Drain-MOS-Feldeffekttransistoren (MAGFET) ein
gesetzt. Die MAGFET-Brücken sind nur sensitiv gegenüber Feldkomponenten senk
recht zur Chipebene.
Mit Hilfe der 3D-Magnetfeldsimulation ist es möglich, den Streufeldsensor so zu pla
zieren, daß der Quotient aus Streufelddichte-Meßwert zu Kernfelddichte-Meßwert
über den gesamten Meßbereich des Drehmomentes bis auf eine Abweichung von 0,05%
unabhängig von dem anliegenden Drehmoment ist. Wenn die Auswertung der Meß
ergebnisse mit einem Digitalrechner erfolgt, dann ist die Plazierung der Streufeldsen
soren unkritisch.
Die Ergebnisse bzw. die Auswertung der 3D-Feldsimulation des hier in der Beschrei
bung exemplarisch dargestellten Sensors zeigen die Fig. 3a bis 3f.
Aus Fig. 3c ist zu entnehmen, daß das Verhältnis aus Streuflußdichte BS zu Kern
flußdichte BK nahezu unabhängig von der Permeabiltät µr der Schicht auf der Welle,
d. h. unabhängig vom Drehmoment ist, und nur von der Luftspaltbreite d abhängt.
Für die Sensorsignalverarbeitung müssen die gemessenen Spannungen UK und US
noch durch die Empfindlichkeiten der MAGFET-Brücken SK (Kernfeld) bzw.
SS (Streufeld) dividiert werden. Aus Fig. 3d wird für den Quotienten BS/BK im
interessierenden Meßbereich folgende Gleichung abgeleitet:
mit den Systemkonstanten r1 und r2.
Mit den Simulationsergebnissen aus Fig. 3a und Fig. 3b kann eine Gleichung für
BK mit den Systemkonstanten r3, r4, r5 und r6 aufgestellt werden:
Um die relative Permeabilität µr und damit auch indirekt das Drehmoment zu be
stimmen, muß man BS und BK messen, die Messwerte US und UK durch die Emp
findlichkeiten der MAGFET-Brücken dividieren, diese in Gleichung (1) einsetzen,
Gleichung (1) nach d auflößen, die Luftspaltbreite d in Gleichung (2) einsetzen und
Gleichung (2) nach µr auflösen.
Die Vorgehensweise zur Berechnung von µr wird im Blockschaltbild in Fig. 4 gezeigt.
Es ist erkennbar, daß der Algorithmus für eine Implementierung in einer analogen Re
chenschaltung geeignet ist.
Die Genauigkeit der Berechnung von µr und d hängt vom Offset und der Empfindlich
keitsdrift der MAGFET-Brücken ab. Der Nullpunktoffset sowie das niederfrequente
Rauschen (z. B. 1/f-Rauschen) der MAGFET-Sensorbrücken kann durch periodi
sches Ein- und Ausschalten des Magnetfeldes und Einsatz der bekannten Autozero
technik eleminiert werden. Die Empfindlichkeitsdrift kann durch Anwendung einer
sog. Selbstkalibrierung während des Betriebs kontinuierlich ausgeglichen werden.
Magnetfeldsensoren, deren Wirkungsprinzip auf dem Hall-Effekt beruht, sind durch
eine besonders gute Linearität gekennzeichnet. Ein Nachteil jedoch ist die Empfind
lichkeitsdrift, die u. a. von Temperaturschwankungen herrührt. Deshalb muß ein Ver
fahren gefunden werden, das eine selbsttätige Eliminierung der Empfindlichkeitsdrift
der Sensorelemente ermöglicht. Zunächst werden die Grundüberlegungen, die zur Er
findung führten, dargelegt.
Gleichung (1) und (2) stellen ein Gleichungssystem mit den 2 Unbekannten d und
µr dar, das die eindeutige Bestimmung von d und µr ermöglicht, wenn SK und SS
bekannt sind. Wenn die Empfindlichkeit SS und SK ebenfalls unbekannt anzunehmen
sind, werden mindestens zwei weitere Gleichungen mit den Unbekannten SS, SK, d
und µr benötigt. Erfüllt wird diese Forderung durch den Einsatz von ein und dem
selben Kernfeld- bzw. Streufeldsensor in unterschiedlichen Sensorgeometrien (Feld
verläufen), jedoch bei gleichem µr und gleichem d.
In der Erfindung wird diese Anforderung nach unterschiedlichen Sensorgeometrien
(Feldverläufen) durch eine Veränderung des qualitativen und quantitativen Magnet
feldverlaufs erreicht, indem die zwei Spulen bzw. die in Reihe geschalteten Teilspulen
der Spule mit Mittenanzapfung wechselweise im Gleichtakt- und Gegentaktmodus
betrieben werden. Die Stromflußrichtung, die prinzipielle Anordnung der Kern- und
Streufeldsensoren sowie den grob schematisch angedeuteten Verlauf der Flußlinien
zeigt für Gleichtaktbetrieb die Fig. 2a, für den Gegentaktbetrieb die Fig. 2b.
Die zwei unterschiedlichen Verläufe der magnetischen Flußdichtelinien, die aus den
beiden Betriebsmodi resultieren, implizieren zwei unterschiedliche Sensorgeometrien
mit gleichem µr und d.
Man geht von insgesamt 4 Gleichungen mit den eindeutig bestimmbaren Unbekannten
µr, d, SS und SK aus:
Die Indizes gl und gg steht für Gleichtakt- bzw. Gegentaktbetrieb. k1 bis kn sind
Systemkonstanten, die während des Betriebes des Drehmomentsensors konstant sind.
Die Gleichungen (3) und (4) für sich ermöglichen bei bekanntem SK und SS die
eindeutige Bestimmung von µr und d, wie dies schon in Teil 2 der Beschreibung gezeigt
wurde. Für die Gleichungen (5) und (6) gilt sinngemäß das gleiche. Die Gleichungen
(3) und (5) sowie (4) und (6) sind paarweise so voneinander unabhängig, daß wenn
µr und d bekannt wären, man SK und SS bestimmen könnte.
Insgesamt steht ein Gleichungssystem zur Verfügung, das nicht nur die Berechnung
des Drehmomentes mittels der Veränderung der relativen Permeabilität µr gestattet,
sondern auch die Bestimmung der Luftspaltbreite d und der Empfindlichkeiten SK
und SS der Flußdichtesensoren ermöglicht.
Als Beispiel für die Berechnung der vier Unbekannten soll der in dieser Beschreibung
dargestellte mikromechanische Sensor dienen.
Man geht von den Gleichungen (1) und (2) aus, die sowohl für Gleichtaktbetrieb mit
den Systemkonstanten r11 bis r16 als auch für Gegentaktbetrieb mit den Systemkon
stanten r21 bis r26 aufgestellt werden.
Diese Gleichungen können nach den vier Unbekannten µr, d, SS und SK aufgelöst
werden. Löst man beispielsweise die Gleichungen (7) und (9) nach den Quotienten
SS/SK auf und eleminiert diesen durch Gleichsetzen von (7) und (9), so erhält man
eine Gleichung für den Abstand d:
Aus den Gleichungen (8) und (10) kann die Unbekannte SK eleminiert werden und
man erhält eine Gleichung für die Permeabilität µr, mit dem Abstand d als Variable:
Wenn man die Gleichung für den Abstand (11) in die Gleichung (12) einsetzt, dann
erhält man eine eindeutige Beziehung für die Permeabilität µr.
Anhand dieses Beispiels wurde gezeigt, daß die Berechnung der Permeabilität aus
dem System der vier Gleichungen analytisch möglich ist und daß keine numerische
Nullstellenbestimmung erforderlich ist. Daher kann der Algorithmus als analoge Re
chenschaltung implementiert werden.
In der Beschreibung wurde gezeigt, wie ein integrierter mikromechanischer Drehmo
mentsensor realisiert werden kann:
- - Durch den Einsatz von Streufeldsensoren wird das Problem der Schwankung der Spaltbreite zwischen Pol und Welle gelöst.
- - Der Nullpunktoffset und das niederfrequente Rauschen der Magnetfeldsensoren wird durch periodisches Aus-/Einschalten des Magnetfeldes und Einsatz der bekannten Autozerotechnik eliminiert.
- - Der Betrieb zweier Feldspulen im Gleich- und Gegentaktbetrieb bewirkt eine qualitative Veränderung des Magnetfeldes, wodurch die Empfindlichkeit der Magnetfeldsensoren kalibriert werden kann.
- - Die Streufeldmessung und die Kalibrierung der Empfindlichkeit der Magnet feldsensoren ermöglichen eine genaue Bestimmung des Drehmomentes.
Es folgen fünf Seiten mit Zeichnungen:
Fig. 1a: Querschnitt durch den mikromechanischen Drehmomentsensor.
Fig. 1b: Aufsicht auf Oberseite mit Gruben, Joch und darunterliegende Spulen.
Fig. 2a: Wirkungsprinzip im Gleichtaktbetrieb
Fig. 2b: Wirkungsprinzip im Gegentaktbetrieb
Fig. 3a: Kennfeld der Kernflußdichte bei Gleichtaktanregung (BKgl = f(µr, d))
Fig. 3b: Kennfeld der Streuflußdichte bei Gleichtaktanregung (BSgl = f(µr, d))
Fig. 3c: Änderung der relativen Streuflußdichte (BSgl/BKgl = f(µr, d))
Fig. 3d: relative Flußdichte über den Abstand (BSgl/BKgl = f(d))
Fig. 3e: Kennfeld der Kernflußdichte bei Gegentaktanregung (BKgg = f(µr, d))
Fig. 3f: Kennfeld der Streuflußdichte bei Gegentaktanregung (BSgg = f(µr, d))
Fig. 4: Blockschaltbild für die Eleminierung des Abstandes
aus der Gleichung für µr
Claims (8)
1. Berührungsloser magnetostriktiver Drehmomentsensor,
bestehend aus mindestens einem magnetischen Kreis, der
durch mindestens eine Spule, mindestens ein
ferromagnetisches Joch sowie eine ferromagnetische Welle
oder eine ferromagnetische Schicht auf einer Welle mit
einer vom anliegenden Drehmoment abhängigen relativen
Permeabilität gebildet wird, wobei wenigstens zwei
Magnetfeldsensoren vorhanden sind, wobei ein erster
Magnetfeldsensor das magnetische Feld im Bereich des nahezu
homogenen Feldverlaufs zwischen Joch und Welle und ein
zweiter Magnetfeldsensor das magnetische Feld in einem
Bereich des inhomogenen Feldverlaufs zwischen Joch und
Welle erfaßt.
2. Drehmomentsensor nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Magnetfelderzeugung wenigstens zwei
unabhängig ansteuerbare Spulen oder eine Spule mit
Mittenanzapfung vorhanden sind.
3. Drehmomentsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Spule, das
wenigstens eine Joch und die Magnetfeldsensoren auf einem
Halbleiter-Chip mit Methoden der Mikromechanik und
Dünnschichttechnik ausgebildet sind.
4. Drehmonentsensor nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Spulen und Joch auf
der Rückseite und die Magnetfeldsensoren auf der
Vorderseite des Halbleiter-Chip angeordnet sind.
5. Drehmonentsensor nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
Magnetfeldsensoren auf dem Hall-Effekt basieren.
6. Verfahren zur magnetostriktiven Drehmomentmessung, wobei
mittels wenigstens einer Spule ein magnetisches Feld
erzeugt wird und mittels eines ersten Magnetfeldsensors das
Feld im Bereich des nahezu homogenen Feldverlaufs zwischen
einem ferromagnetischen Joch und einer ferromagnetischen
Welle oder einer ferromagnetischen Schicht auf einer Welle
mit einer vom anliegenden Drehmoment abhängigen relativen
Permeabilität gemessen wird und mittels eines zweiten
Magnetfeldsensors das magnetische Feld im Bereich des
inhomogene Feldverlaufs zwischen dem ferromagnetischen Joch
und der Welle oder der Schicht auf der Welle gemessen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
je zwei Spulen oder eine Spule mit Mittenanzapfung
abwechselnd gleichsinnig und gegensinnig geschaltet werden,
um eine Kalibrierung der Empfindlichkeiten der
Magnetfeldsensoren durchzuführen.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf des Feldes durch
mindestens einen Spulenstrom oder Teilspulenstrom verändert
wird, um eine Kalibrierung der Empfindlichkeiten der
Magnetfeldsensoren durchzuführen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4313556A DE4313556C2 (de) | 1993-03-24 | 1993-04-26 | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an Wellen |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9304629U DE9304629U1 (de) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | Berührungsloser magnetischer Drehmomentsensor |
DE4313556A DE4313556C2 (de) | 1993-03-24 | 1993-04-26 | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an Wellen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4313556A1 DE4313556A1 (de) | 1994-09-29 |
DE4313556C2 true DE4313556C2 (de) | 1999-09-16 |
Family
ID=6891264
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE9304629U Expired - Lifetime DE9304629U1 (de) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | Berührungsloser magnetischer Drehmomentsensor |
DE4313556A Expired - Fee Related DE4313556C2 (de) | 1993-03-24 | 1993-04-26 | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an Wellen |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE9304629U Expired - Lifetime DE9304629U1 (de) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | Berührungsloser magnetischer Drehmomentsensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE9304629U1 (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19854959A1 (de) * | 1998-11-28 | 2000-05-31 | Heinrich Acker | Sensor zur berührungslosen Messung von Drehmomenten, insbesondere an rotierenden Wellen |
GB2383417B (en) | 2001-12-20 | 2005-10-05 | Weston Aerospace | Sensing method and apparatus |
DE102011081869A1 (de) * | 2011-08-31 | 2013-02-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Messkopf für einen magnetoelastischen Sensor |
EP2615439A1 (de) | 2012-01-13 | 2013-07-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetoelastischer Kraftsensor und Verfahren zum Kompensieren einer Abstandsabhängigkeit in einem Messsignal eines derartigen Sensors |
DE102015116303A1 (de) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Methode Electronics Malta Ltd. | Vorrichtung zur Kompensation externer magnetischer Streufelder bzw. zum Kompensieren des Einflusses eines Magnetfeldgradienten auf einen Magnetfeldsensor |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1115051B (de) * | 1957-03-30 | 1961-10-12 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Ermittlung des in einer rotierenden Welle uebertragenen Drehmomentes |
US4364278A (en) * | 1979-09-29 | 1982-12-21 | Zahnradfabrik Friedrichshafen Aktiengesellschaft | Assembly for monitoring torsional loading of a drive shaft |
EP0103354A2 (de) * | 1982-06-16 | 1984-03-21 | Gkn Technology Limited | Drehmomentmessinstrument |
DE3326476A1 (de) * | 1983-07-22 | 1985-02-14 | Telefunken electronic GmbH, 7100 Heilbronn | Anordnung zur bestimmung der position, der geometrischen abmessungen oder der bewegungsgroessen eines gegenstandes |
DE3421242A1 (de) * | 1984-06-07 | 1985-12-12 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Messsonde fuer magnetfelder |
US4572005A (en) * | 1983-10-19 | 1986-02-25 | Nissan Motor Company, Limited | Magnetostriction torque sensor |
EP0238922A1 (de) * | 1986-03-27 | 1987-09-30 | Vacuumschmelze GmbH | Magnetischer Wegsensor |
EP0271633A2 (de) * | 1986-12-17 | 1988-06-22 | Atsugi Motor Parts Co. Ltd. | Drehmomentsensor |
DE3738455C2 (de) * | 1986-11-25 | 1990-02-08 | Lgz Landis & Gyr Zug Ag, Zug, Ch | |
DE4011766A1 (de) * | 1989-04-22 | 1990-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | Spannungsmessfuehler |
DE4120984A1 (de) * | 1990-06-26 | 1992-01-09 | Mazda Motor | Sensor mit einem magnetfilm und verfahren zu dessen herstellung |
GB2255183A (en) * | 1991-04-15 | 1992-10-28 | David Alick Burgoyne | Torque sensor |
DE4118255A1 (de) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Monolithisch integrierter sensorschaltkreis in cmos-technik |
EP0525551A2 (de) * | 1991-07-29 | 1993-02-03 | Magnetoelastic Devices Inc. | Berührungsfreie kreisförmig magnetisierter Drehmomentsensor und Drehmomentmessverfahren damit |
DE4306655A1 (en) * | 1992-03-04 | 1993-09-09 | Toshiba Kawasaki Kk | Prodn. of planar induction element - by forming planar coil, forming magnetic layer on substrate, and connecting coil and substrate |
-
1993
- 1993-03-24 DE DE9304629U patent/DE9304629U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-04-26 DE DE4313556A patent/DE4313556C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1115051B (de) * | 1957-03-30 | 1961-10-12 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Ermittlung des in einer rotierenden Welle uebertragenen Drehmomentes |
US4364278A (en) * | 1979-09-29 | 1982-12-21 | Zahnradfabrik Friedrichshafen Aktiengesellschaft | Assembly for monitoring torsional loading of a drive shaft |
EP0103354A2 (de) * | 1982-06-16 | 1984-03-21 | Gkn Technology Limited | Drehmomentmessinstrument |
DE3326476A1 (de) * | 1983-07-22 | 1985-02-14 | Telefunken electronic GmbH, 7100 Heilbronn | Anordnung zur bestimmung der position, der geometrischen abmessungen oder der bewegungsgroessen eines gegenstandes |
US4572005A (en) * | 1983-10-19 | 1986-02-25 | Nissan Motor Company, Limited | Magnetostriction torque sensor |
DE3421242A1 (de) * | 1984-06-07 | 1985-12-12 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Messsonde fuer magnetfelder |
EP0238922A1 (de) * | 1986-03-27 | 1987-09-30 | Vacuumschmelze GmbH | Magnetischer Wegsensor |
DE3738455C2 (de) * | 1986-11-25 | 1990-02-08 | Lgz Landis & Gyr Zug Ag, Zug, Ch | |
EP0271633A2 (de) * | 1986-12-17 | 1988-06-22 | Atsugi Motor Parts Co. Ltd. | Drehmomentsensor |
DE4011766A1 (de) * | 1989-04-22 | 1990-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | Spannungsmessfuehler |
DE4120984A1 (de) * | 1990-06-26 | 1992-01-09 | Mazda Motor | Sensor mit einem magnetfilm und verfahren zu dessen herstellung |
GB2255183A (en) * | 1991-04-15 | 1992-10-28 | David Alick Burgoyne | Torque sensor |
DE4118255A1 (de) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Monolithisch integrierter sensorschaltkreis in cmos-technik |
EP0525551A2 (de) * | 1991-07-29 | 1993-02-03 | Magnetoelastic Devices Inc. | Berührungsfreie kreisförmig magnetisierter Drehmomentsensor und Drehmomentmessverfahren damit |
US5351555A (en) * | 1991-07-29 | 1994-10-04 | Magnetoelastic Devices, Inc. | Circularly magnetized non-contact torque sensor and method for measuring torque using same |
DE4306655A1 (en) * | 1992-03-04 | 1993-09-09 | Toshiba Kawasaki Kk | Prodn. of planar induction element - by forming planar coil, forming magnetic layer on substrate, and connecting coil and substrate |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
59- 9528 A., P- 272,May 8,1984,Vol. 8,No. 97 * |
JP Patents Abstracts of Japan: 62-206421 A., P- 671,Feb. 27,1988,Vol.12,No. 66 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4313556A1 (de) | 1994-09-29 |
DE9304629U1 (de) | 1993-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1438755B1 (de) | Vertikaler hall-sensor | |
DE69932942T2 (de) | Integrierte Hall-Einrichtung | |
EP2396666B1 (de) | Anordnung zur messung mindestens einer komponente eines magnetfeldes | |
EP3025162B1 (de) | Mehrkomponenten-magnetfeldsensor | |
DE4300028C2 (de) | Bewegungserkenner | |
DE102016113207B4 (de) | Rotationserkennungsvorrichtung | |
EP1668378A1 (de) | Sensor f r die detektion der richtung eines magnetfeldes in einer ebene | |
DE19543564A1 (de) | Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements | |
DE19850677A1 (de) | Magnetfelddetektor | |
EP2546670A2 (de) | Hallsensor | |
EP1114325B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur strommessung | |
DE102008042800A1 (de) | Vorrichtung zur Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes | |
DE19850460B4 (de) | Magnetfelddetektor | |
DE102012209232A1 (de) | Magnetfeldsensor | |
DE102005008724B4 (de) | Sensor zum Messen eines Magnetfeldes | |
DE4313556C2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung von Drehmomenten an Wellen | |
DE4233331C2 (de) | Anordnung zur Bestimmung von Positionen | |
DE3929452A1 (de) | Strom-messeinrichtung | |
EP1319934A2 (de) | Magnetostriktiver Drehmomentsensor | |
DE102004063245B4 (de) | Magnetischer Detektor | |
EP2174146B1 (de) | Anordnung und verfahren zur messung eines in einem elektrischen leiter fliessenden stroms | |
DE102014003408B4 (de) | Messvorrichtung zur Bestimmung einer Winkelposition | |
EP1406067B1 (de) | Hochgenauer Hall-Sensor mit mehreren Kontaktpaaren | |
DE102017123772B4 (de) | Elektromagnetisches Messsystem für die Erfassung von Länge und Winkel basierend auf dem Magnetoimpedanzeffekt | |
EP1327891B1 (de) | Vorrichtung zur Messung eines Magnetfeldes, Magnetfeldsensor und Strommesser |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8122 | Nonbinding interest in granting licences declared | ||
8101 | Request for examination as to novelty | ||
8105 | Search report available | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |