DE4308796C2 - Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung und Diagnose schwingungserregter Bauteile - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung und Diagnose schwingungserregter Bauteile

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Überwachung und Diagnose schwingungserregter Bauteile mit einem Schwin­ gungsaufnehmer, einem diesem nachgeschalteten Verstärker und einer dem Verstärker nachgeschalteten Einrichtung zur Filterung und Demodulierung des auf genommenen Schwingungs­ signals des jeweiligen schwingungserregten Bauteils sowie mit einem der Einrichtung zur Filterung und Demodulierung nachgeschalteten Frequenzanalysator. Außerdem betrifft sie ein Verfahren zur Überwachung und Diagnose schwingungser­ regter Bauteile mit einer vorgenannten Vorrichtung, bei welchem das Schwingungssignal des jeweiligen schwingungser­ regten Bauteils zeitabhängig von einem Schwingungsaufnehmer aufgenommen wird, wobei anschließend dieses Schwingungssig­ nal verstärkt und einer Filterung unterzogen, nachfolgend demoduliert und anschließend das demodulierte Signal von einem Frequenzanalysator vom Zeitbereich in den Frequenz­ bereich transformiert wird und ausgewertet wird.
Eine solche Vorrichtung und ein solches Verfahren sind aus der DE 41 16 345 A1 bekannt.
Die Schwingungsanalyse findet schon seit langem Anwendung bei der Schadensdiagnose an Maschinen. Zur Erkennung von Maschinenschäden ist in den meisten Fällen die reine Beur­ teilung der Schwingstärke nicht aussagekräftig. Insbeson­ dere bei komplexen Maschinen läßt sich ein Schaden weder im Zeitsignal noch im Frequenzspektrum eindeutig diagnosti­ zieren.
Bei einem Wälzlager beispielsweise erzeugen diskrete Fehler in den verschiedenen Elementen bei ihrer Überrollung eine periodische Folge von Einzelstößen. Diese Stoßimpulse regen Strukturresonanzen des Lagers oder angrenzender Maschinen­ teile an. Im Schwingungsbild tritt demnach eine regelmäßige Folge von angestoßenen Schwingungen auf, die bis zum näch­ sten Anstoß teilweise oder vollständig ausgeschwungen sind.
Die Impulsfolgefrequenz ist spezifisch für den Wälzlager­ schaden und läßt sich bei Kenntnis der Geometrie des Lagers sowie der Drehzahl ermitteln. Je nach Schadensort, bei­ spielsweise Außenring, Innenring, Wälzkörper, ergeben sich unterschiedliche Impulsfolgefrequenzen, die als kinemati­ sche Lagerfrequenzen bezeichnet werden. Im Zeit- und Fre­ quenzbereich sind sie nur schwer erkennbar, insbesondere, wenn der Schaden sich im Frühstadium befindet oder Stör­ signale dominieren.
Aus diesem Grunde ist es bereits bekannt geworden, bessere Informationen über diese Impulsfolgefrequenzen durch die Analyse der Einhüllenden des Zeitsignals zu erhalten. Diese Hüllkurvenbildung ist ein Verfahren, um ein amplitudenmodu­ liertes Signal zu demodulieren. Die periodische Anregung der Strukturresonanzen der an der Signalübertragung be­ teiligten Komponenten (Lager, Gehäuse, Aufnehmer) kann als eine Art Amplitudenmodulation aufgefaßt werden, wobei die Strukturresonanzen als Trägerfrequenzen und die Impulsfol­ gefrequenz als Modulationsfrequenz aufgefaßt werden. Dabei kann die Hüllkurve des Zeitsignals entweder durch Gleich­ richtung mit nachfolgender Tiefpaßfilterung oder über die sogenannte Hilberttransformation gebildet werden. Im Scha­ densfall tauchen für die kinematischen Lagerfrequenzen und deren Harmonischen erhöhte Amplituden im Frequenzspektrum des Hüllkurvensignals auf. Durch Trendbeobachtung oder Grenzwertbetrachtung der jeweiligen kinematischen Lager­ frequenz können damit Lagerschäden diagnostiziert werden.
Für diese Art der Diagnose ist allerdings die Kenntnis von Drehzahl und Geometrie des zu überwachenden Lagers nötig. Die Interpretation des Hüllkurvenspektrums ist somit re­ lativ aufwendig. Aus diesem Grunde wurden Kennwerte für die Schadensdiagnose an Lagern eingeführt. Es hat sich jedoch herausgestellt, daß mit diesen Kennwerten nur sehr bedingt eine Schadensfrühdiagnose durchgeführt werden kann.
Zur Durchführung dieser bekannten Überwachungs- und Diagno­ severfahren sind Überwachungsvorrichtungen bekannt, die die Hüllkurvenanalyse nutzen. Diese Überwachungsvorrichtungen nehmen mechanische Schwingungen von Maschinen mittels hoch­ wertiger teurer Aufnehmer (meist Beschleunigungssensoren mit linearem Frequenzgang) auf. In einer nachfolgenden Elektronik wird deren elektrisches Signal bandpaßgefiltert, gleichgerichtet und tiefpaßgefiltert. Das entsprechend ge­ filterte und demodulierte Signal kann dann weiter ausge­ wertet werden, um die vorerwähnten Kennwerte zu bilden.
Nachteilig bei diesen bekannten Überwachungsvorrichtungen ist ihr relativ hoher Preis und die nur begrenzte Aussage­ fähigkeit der verwendeten Kennwerte. Dabei resultieren die hohen Kosten aus der Verwendung hochwertiger, industrie­ tauglicher Beschleunigungssensoren (Größenordnung 500,- bis 1.500,- DM). Die auf dem Hüllkurvensignal aufbauenden Kennwerte zur Wälzlagerdiagnose sind meist extrem dreh­ zahlabhängig. Bei niedrigen Drehzahlen ist damit überhaupt keine Diagnose möglich.
Ausgehend von einer Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und einem Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 3 ist es die Aufgabe der Erfindung, diese derart weiterzubilden, daß auch bei niedrigen Dreh­ zahlen und Wiederholungsfrequenzen eine zuverlässige, ein­ wandfreie Signalaufnahme und Demodulation bei geringem apparativen Aufwand möglich ist und zum anderen unabhängig von den Drehzahlbereichen eine zuverlässige Schadensdiag­ nose, insbesondere Schadensfrühdiagnose, durchgeführt wer­ den kann.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs be­ zeichneten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Schwingungsaufnehmer von einem Klopfsensor mit im über­ wachten Frequenzbereich nicht-linearer Frequenzkennlinie gebildet ist und daß die Einrichtung zur Filterung und De­ modulierung wenigstens einen dem Verstärker nachgeschalte­ ten Gleichrichter zur Hüllkurvenbildung und einen weiteren Filter aufweist.
Es hat sich überraschend herausgestellt, daß in Verbindung mit den weiteren Elementen ein derartiger, an sich bekann­ ter Klopfsensor mit im überwachten Frequenzbereich nicht linearer Frequenzkennlinie (Firmenprospekt der Firma Bosch KH/VDT-03/91-De, Nr. 1987720535, "Sensoren", Seiten 16, 17) geeignet ist, auch bei niedrigen Frequenzen zuverlässig und einwand­ frei die erforderlichen Schwingungssignale aufzunehmen, wo­ bei überraschend auch ein solcher einfacher Klopfsensor mit im überwachten Frequenzbereich nicht linearer Frequenzkenn­ linie keine entscheidenden, nachteiligen Auswirkungen auf das anzuwendende Hüllkurven- bzw. Demodulationsverfahren hat. Dies liegt in der Tatsache begründet, daß die Träger­ frequenzen nicht betriebspunktabhängig sind, somit also trotz einer nicht-linearen Frequenzkennlinie immer mit dem gleichen Empfindlichkeitswert bewertet werden. Da aber nun die interessierenden Modulationsfrequenzen über diese Trä­ gerfrequenzen übertragen werden, spielt die Nichtlinearität des Aufnehmers für die Aussagefähigkeit bezüglich der Amplitudenbewertung nahezu keine Rolle. Diese Tatsache wird bei den bisherigen, aufwendigen Verfahren nicht berücksich­ tigt. Die Demodulation erfolgt auf einfache Weise mittels der dem Klopfsensor nachgeschalteten Filter und Gleichrich­ ter. Ein solcher Klopfsensor mit im überwachten Frequenzbe­ reich nicht linearer Frequenzkennlinie stellt ein extrem preiswertes, industrietaugliches Element dar, welches ein hochpaßgefiltertes Signal liefert. Derartige Klopfsensoren werden bisher weitgehend nur an Otto-Motoren eingesetzt und registrieren dort unerwünschte Schwingungen des Motor­ blocks, sogenanntes Klopfen, welche durch unkontrollierte Selbstzündungen des Kraftstoff-Luftgemisches verursacht werden. Mit dieser Information kann dann der Zündzeitpunkt über das Gemisch reguliert werden. Gegenüber bisher für die Hüllkurvenanalyse verwendeten Überwachungssensoren liegen die Kosten für den erfindungsgemäß eingesetzten Sensor nur im Bereich von etwa 5%.
Die eingangs gestellte Aufgabe wird mit einem Verfahren ge­ mäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 3 dadurch gelöst, daß das Schwingungssignal von einem Klopf­ sensor mit im überwachten Frequenzbereich nicht linearer Frequenzlinie aufgenommen und zur Hüllkurvenbildung gleich­ gerichtet wird, das demodulierte Schwingungssignal zur Eliminierung bauteilungspezifischer Frequenzbereiche einer weiteren Filterung unterzogen und zur Signalauswertung im Frequenzspektrum eine Leistungsbestimmung durchgeführt wird.
Es wird somit ausgehend von einem Zeitsignal eines Klopfsensors mit im überwachten Frequenzbereich nicht linearer Frequenzkennlinie eine geeignete Filterung des Signals vorgenommen, um Strukturresonanzen der zu über­ wachenden Maschine oder des Meßsystems hervorzuheben. Dies kann in einzelnen Fällen von wichtiger Bedeutung sein, da die Informationen zur Bewertung des zu diagnostizierenden Bauteils als eine Art Amplitudenmodulation in diesen Fre­ quenzbereichen enthalten sind. Es wird dann anschließend durch ein geeignetes Demodulationsverfahren (z. B. Hilbert­ transformation) die Hüllkurve gebildet, die in den folgen­ den Schritten das Erkennen von Impulsfolgefrequenzen er­ möglicht. Dieses derart aufbereitete Zeitsignal wird er­ findungsgemäß anschließend mittels eines geeigneten, an sich bekannten Verfahrens in den Frequenzbereich transfor­ miert. Das dann vorliegende Frequenzspektrum ermöglicht unabhängig vom Frequenzbereich zuverlässig das Erkennen von Schädigungen bis hin zur Angabe des von der Schädigung be­ troffenen Einzelbauteils. Dabei wird die Filterung des Zeitsignals nach der Demodulation zusätzlich durchgeführt, um nur die Frequenzanteile der nachfolgenden Auswertung und Kennwertbildung zugänglich zu machen, die zur Zustandsbe­ urteilung des Bauteils charakteristisch sind. Im Falle eine Wälzlagers sind diese z. B. die kinematischen Frequenzen und deren Harmonische.
Da die kinematischen Informationen in der Regel sehr de­ tailliert sind, lassen sich aus den vorliegenden Frequenz­ signalen geeignete Kennwerte zur Informationsverdichtung bilden. So wird anschließend eine Leistungsbestimmung im Frequenzspektrum durchgeführt, selbstverständlich im scha­ densrelevanten Frequenzbereich. So kann die Leistung des Frequenzspektrums in schadensrelevanten Frequenzbereichen beispielsweise mittels Integration des Frequenzspektrums ermittelt werden. Es besteht dann die weitere Möglichkeit, durch die Integration die Leistung des Signals in verschie­ denen, bauteilspezifischen Frequenzbereichen gleichzeitig zu überwachen. Auf Basis einer solchen Kenngröße lassen sich dann weitere definieren, indem der jeweilige Kennwert auf Referenzgrößen im Zeit- oder Frequenzbereich normiert oder mit diesen in geeigneter Weise verglichen wird.
In Ausgestaltung ist es dabei grundsätzlich möglich, daß die weitere Filterung nach der Demodulation des Zeitsignals vor oder nach der Transformation in den Frequenzbereich durchgeführt wird.
Es hat sich bei Untersuchungen herausgestellt, daß in di­ rektem Vergleich mit herkömmlichen Untersuchungsverfahren zur Wälzlagerdiagnose der mit dem erfindungsgemäßen Verfah­ ren ermittelte Kennwert eine wesentlich höhere Empfindlich­ keit in breiten Frequenzbereichen aufweist, so daß mit dem erfindungsgemäß ermittelten Kennwert Lagerschäden unter den unterschiedlichsten Betriebsbedingungen eindeutig erkannt werden können, was mit bisher bekannten Verfahren bisher nicht möglich ist.
Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung bei­ spielsweise näher erläutert. Diese zeigt in
Fig. 1 in vereinfachter Darstellung eine Vorrichtung nach der Erfindung mit Auswerteinheit,
Fig. 2 ein vereinfachtes Schwingungssignal in Zeitab­ hängigkeit und in Frequenzabhängigkeit,
Fig. 3 die Hüllkurve des Schwingungssignals nach Fig. 2 in Zeit- und Frequenzabhängigkeit und
Fig. 4 bis 7 Ablaufdiagramme des Ver­ fahrens nach der Erfindung in unterschiedlichen Ausgestaltungen.
In Fig. 1 ist zunächst vereinfacht eine Vorrichtung zur Überwachung und Diagnose schwingungserreg­ ter Bauteile dargestellt. Wesentlicher Bestandteil dieser Vorrichtung ist ein extrem preiswerter, industrietauglicher Klopfsensor (Weg-, Geschwindigkeits- oder Beschleunigungs­ aufnehmer) mit im überwachten Frequenzbereich nicht linea­ rer Frequenzkennlinie, der ein hochpaßgefiltertes Signal liefert und am oder in der Nähe eines zu überwachenden Bau­ teils, beispielsweise eines Wälzlagers, angeordnet wird. Ein derartiger Klopfsensor dieser Art wird ursprünglich in bzw. an Otto-Motoren eingesetzt. Dort registriert er uner­ wünschte Schwingungen des Motorblocks, das sogenannte Klopfen, welches durch unkontrollierte Selbstzündungen des Kraftstoff-Luftgemisches verursacht wird.
Dem Klopfsensor nachgeschaltet ist bevorzugt ein Ladungs­ verstärker mit einem nachgeschalteten Bandpaßfilter zur Bandpaßbegrenzung auf die interessierenden Frequenzberei­ che. Dem Bandpaßfilter nachgeschaltet ist ein Gleichrichter sowie diesem ein Tief-/Bandpaßfilter, wobei in diesen bei­ den Elementen eine Gleichrichtung mit Tiefpaß-/Bandpaßfil­ terung in Analogtechnik erfolgt.
Eine solche Vorrichtung liefert ein Hüll­ kurvensignal des aufgenommenen zeitabhängigen Schwingungs­ signals.
Beispielhaft ist in Fig. 2 ein vereinfachtes Schwingungs­ signal (Zeitsignal und Frequenzspektrum) eines Wälzlagers bei einer Überrollung eines diskreten Fehlers dargestellt. Derartige diskrete Fehler in den verschiedenen Elementen eines Wälzlagers erzeugen bei einer Überrollung eine periodische Folge von Einzelstößen. Diese Stoßimpulse regen Strukturresonanzen des Lagers, angrenzender Maschinenteile und des Aufnehmers an. Im Schwingungsbild tritt demnach eine regelmäßige Folge von angestoßenen Schwingungen auf, die bis zum nächsten Anstoß teilweise oder vollständig aus­ geschwungen sind.
Die Impulsfolgefrequenz ist spezifisch für den Wälzlager­ schaden und läßt sich bei Kenntnis der Geometrie des Lagers sowie der Drehzahl ermitteln. Je nach Schadensort, bei­ spielsweise Außenring, Innenring, Wälzkörper, ergeben sich unterschiedliche Impulsfolgefrequenzen, die als kinemati­ sche Lagerfrequenzen bezeichnet werden. Im Zeit- und Fre­ quenzbereich sind sie nur schwer erkennbar, insbesondere, wenn der Schaden sich im Frühstadium befindet oder Störsig­ nale dominieren.
Aus diesem Grunde versucht man bessere Informationen über diese Impulsfolgefrequenzen durch die Analyse der Einhül­ lenden des Zeitsignals zu erhalten. Diese Hüllkurvenbildung ist ein Verfahren, um ein amplitudenmoduliertes Signal zu demodulieren. Die periodische Anregung der Strukturresonan­ zen kann als eine Art Amplitudenmodulation aufgefaßt wer­ den, wobei die Strukturresonanzen die Trägerfrequenz und die Impulsfolgefrequenz die Modulationsfrequenz darstellen.
In der Fig. 3 ist die Hüllkurve und ihr Frequenzspektrum des in Fig. 2 dargestellten Schwingungssignals dargestellt. Ein entsprechendes Signal wird von der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach dem Austritt aus dem Tief-/Bandpaßfilter zur Verfügung gestellt. Das Hüllkurvensignal kann entweder analog weiterverarbeitet werden, beispielsweise zu einem Kennwert, basierend auf dem Leistungsgehalt des Hüllkurvensignals oder es wird digitalisiert und mit einem Rechner ausgewertet, was vereinfacht in Fig. 1 durch das mit Auswerteeinheit bezeichnete Element angedeutet ist, welches der Vorrichtung nachgeschaltet ist.
Da das derart gewonnene Hüllkurvensignal sehr viel nie­ derfrequenter als das Zeitsignal ist, ergeben sich folgende entscheidende Vorteile:
Durch die niedrige Abtastrate können Daten über einen längeren Zeitraum bei gleicher Speichertiefe der A/D-Karte gesammelt werden. Dadurch können auch Maschinen mit sehr niedrigen Drehzahlen überwacht werden. Die niedrige Ab­ tastrate ermöglicht auch die Verwendung einer extrem preis­ werten A/D-Wandlerkarte, Größenordnung Faktor 10 preiswer­ ter.
In den Fig. 4 bis 7 sind verschiedene Ausgestaltungen des Verfahrens zur Überwachung und Diagnose schwingungserregter Bauteile dargestellt. Gemäß der Verfah­ rensführung nach Fig. 4 wird zunächst das Zeitsignal (Fig. 2) geeignet gefiltert, um die Strukturresonanzen der zu überwachenden Maschine oder des Meßsystems hervorzuheben. Dies kann im Einzelfall von entscheidender Bedeutung sein, da die Informationen zur Bewertung des zu diagnostizieren­ den Bauteils als eine Art Amplitudenmodulation in diesen Frequenzbereichen enthalten sind.
Anschließend wird durch ein geeignetes Demodulationsverfah­ ren (z. B. Hilberttransformation) die Hüllkurve gebildet (Fig. 3), die in den folgenden Schritten das Erkennen von Impulsfolgefrequenzen ermöglicht. Dieses Zeitsignal wird anschließend erneut gefiltert, um nur die Frequenzanteile der nachfolgenden Auswertung zugänglich zu machen, die zur Zustandsbeurteilung des Bauteils charakteristisch sind. Im Falle eines Wälzlagers sind dies z. B. die kinematischen Frequenzen.
Ein derart aufbereitetes Zeitsignal, das beispielsweise von der Vorrichtung nach Fig. 1 geliefert wird, wird anschließend in einer Auswerteeinheit mit einem geeigneten Verfahren z. B. FFT (Fast Fourier Transformation′) in den Frequenzbereich transformiert.
Das jetzt vorliegende Frequenzspektrum ermöglicht das Er­ kennen von Schädigungen bis hin zur Angabe der von der Schädigung betroffenen Einzelbauteile. Da diese Informatio­ nen in der Regel zu detailliert sind, lassen sich aus dem vorliegenden Frequenzsignal geeignete Kennwerte zur Infor­ mationsverdichtung bilden.
Dazu wird mittels Integration des Leistungsdichtespektrums der vorher ermittelten Hüllkurve die Leistung des demodu­ lierten Zeitsignals (Ldz) in schadensrelevanten Frequenz­ bereichen ermittelt. Hier besteht insbesondere die Möglichkeit, durch die Integration die Leistung des Signals in verschiedenen bauteilspezifischen Frequenzbereichen gleichzeitig zu überwachen. Auf Basis dieser Kenngröße lassen sich weitere definieren, indem der Kennwert auf Referenzgrößen im Zeit- oder Frequenzbereich normiert oder mit diesen in geeigneter Form verglichen wird.
Es hat sich herausgestellt, daß im Vergleich mit bekannten Untersuchungsverfahren zur Wälzlagerdiagnose der nach dem vorbeschriebenen Verfahren ermittelte Kennwert LdZ eine wesentlich höhere Empfindlichkeit aufweist. Mit diesem LdZ- Kennwert können Lagerschäden unter den unterschiedlichsten Betriebsbedingungen eindeutig erkannt werden. Insbesondere eignet sich das Verfahren auch zum Detektieren von Schädigungen bei geringen Drehzahlen bzw. geringer Wie­ derholfrequenz von Ereignissen.
In Fig. 5 ist eine abgewandelte Verfahrensführung darge­ stellt. Nach der Demodulation erfolgt bei dieser Verfah­ rensführung zunächst die Transformation in den Frequenzbe­ reich, anschließend wird erst im Frequenzbereich die Filte­ rung zur Eliminierung bauteilunspezifischer Frequenzberei­ che vorgenommen.
Gemäß den Verfahrensbeispielen nach Fig. 6 und 7 wird al­ ternativ vor der Demodulation des Zeitsignals keine Filte­ rung zur Hervorhebung von Strukturresonanzen vorgenommen, dies ist in bestimmten Anwendungsfällen günstig. Dabei un­ terscheiden sich die Verfahrensführungen gemäß Fig. 6 und 7 dadurch, daß bei der Verfahrensführung gemäß Fig. 6 die Filterung des demodulierten Signals im Zeitbereich erfolgt, während diese Filterung bei der Verfahrensführung nach Fig. 7 im Frequenzbereich vorgenommen wird, d. h. nach der Trans­ formation.
Natürlich eignet sich die Vorrichtung nach der Erfindung und das Verfahren nach der Erfindung nicht nur zur Überwachung und Diagnose an Wälzlagern, sondern prinzipiell für jegli­ che Art von schwingungserregten Bauteilen.

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Überwachung und Diagnose schwingungserreg­ ter Bauteile mit einem Schwingungsaufnehmer, einem diesem nachgeschalteten Verstärker und einer dem Verstärker nach­ geschalteten Einrichtung zur Filterung und Demodulierung des aufgenommenen Schwingungssignals des jeweiligen schwin­ gungserregten Bauteils sowie mit einem der Einrichtung zur Filterung und Demodulierung nachgeschalteten Frequenzanaly­ sator, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingungsaufnehmer von einem Klopfsensor mit im überwachten Frequenzbereich nicht-linearer Frequenzkenn­ linie gebildet ist und daß die Einrichtung zur Filterung und Demodulierung wenigstens einen dem Verstärker nachge­ schalteten Gleichrichter zur Hüllkurvenbildung und einen weiteren Filter aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zwischen dem Verstärker und dem Gleichrichter vorgesehene weitere Filter als Bandpaßfilter ausgebildet ist.
3. Verfahren zur Überwachung und Diagnose schwingungserregter Bauteile mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem das Schwingungssignal des jeweiligen schwingungser­ regten Bauteils zeitabhängig von einem Schwingungsaufnehmer aufgenommen wird, wobei anschließend dieses Schwingungssig­ nal verstärkt und einer Filterung unterzogen, nachfolgend demoduliert und anschließend das demodulierte Signal von einem Frequenzanalysator vom Zeitbereich in den Frequenz­ bereich transformiert wird und ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingungssignal von einem Klopfsensor mit im überwachten Frequenzbereich nicht linearer Frequenzkenn­ linie aufgenommen und zur Hüllkurvenbildung gleichgerichtet wird, das demodulierte Schwingungssignal zur Eliminierung bauteilunspezifischer Frequenzbereiche einer weiteren Fil­ terung unterzogen und zur Signalauswertung im Frequenz­ spektrum eine Leistungsbestimmung durchgeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Filterung vor der Transformation in den Frequenzbereich durchgeführt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Filterung nach der Transformation in den Frequenzbereich durchgeführt wird.
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