DE4227390A1 - Strahlpositioniereinrichtung für ein ophthalmologisches Gerät - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Strahlpositioniereinrichtung für ein ophthalmologisches Gerät nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Zur Behandlung von Netzhautschäden sind sogenannte Laserspaltlampen bekannt, bei denen ein Behandlungs- Laserstrahl zwischen die beiden Beobachtungsstrahlengänge einer Spaltlampe eingekoppelt wird. Zur exakten Positionierung des Laserstrahles auf der Netzhaut ist es hierbei üblich, den Laserstrahl über ein Umlenkelement, z. B. einen Spiegel oder ein Prisma, einzukoppeln. Das jeweils verwendete Umlenkelement kann in seiner Winkelposition zur optischen Achse mittels eines bekannten Mikromanipulators verstellt werden. Eine derartige Vorrichtung wird beispielsweise in der Deutschen Offenlegungsschrift DE 36 08 287 beschrieben. Dort erfolgt eine definierte Positionierung des Laserstrahles durch die Kopplung der Auslenkungen des Umlenkelementes und eines Umlenkprismas mit aufgekittetem Fokussierelement. Insgesamt resultiert in dieser Anordnung eine aufwendige Mechanik, um eine definiertes Positionieren des Laserstrahles auf der Netzhaut zu gewährleisten.

Aus dem Deutschen Gebrauchsmuster G 86 01 287.8 der Anmelderin ist eine weitere Möglichkeit zur Positionierung des Laserstrahles auf der Netzhaut bekannt. Dort wird zunächst in den Spaltprojektions-Strahlengang der Behandlungslaser-Strahlengang über ein erstes Umlenkelement eingekoppelt und anschließend die koaxialen Laser- und Spaltprojektions-Strahlengänge mit dem Strahlengang eines weiteren Ziel-Lasers über ein zweites Umlenkelement koaxial vereinigt. Die Positionierung des Auftreffpunktes des Behandlungslasers auf der Netzhaut erfolgt durch definiertes Verschieben eines optischen Fokussierelementes in einer horizontalen Ebene, wobei dieses optische Fokussierelement zwischen dem ersten und zweiten Umlenkelement angeordnet ist. Demzufolge wird beim Verschieben des optischen Fokussierelementes gleichzeitig der abzubildende Spalt und der Auftreffpunkt des Laserstrahles auf der Netzhaut im Auge verschoben, was bei verschiedenen Untersuchungsarten nicht gewünscht wird. Ferner ist eine derartige Anordnung nicht geeignet, eine herkömmliche Spaltlampe nachträglich mit einem entsprechenden Laser-Aufsatz nachzurüsten.

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Strahlpositioniereinrichtung für ein ophthalmologisches Gerät zu schaffen, das einen möglichst einfachen Aufbau aufweist und zur Nachrüstung derartiger Geräte verwendet werden kann. Hierbei soll insbesondere die Positionierung eines Spaltes als auch die Positionierung eines Laser­ strahles in einer Zielebene unabhängig voneinander möglich sein. Wünschenswert ist weiterhin eine einfache und sichere Handhabung einer derartigen Strahlpositioniereinrichtung.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Strahlpositionierein­ richtung mit den Merkmalen des Anspruches 1. Im Gegensatz zum zitierten Stand der Technik erfolgt die Positionierung eines Laserstrahles in der Zielebene über eine Verstelleinrichtung, die lediglich ein definiertes Versetzen von mindestens einem optischen Element, vorzugsweise des Fokussierobjektives, im Strahlungsquellen- Strahlengang ermöglicht. Hierdurch entfällt eine aufwendige mechanische Kopplung zwischen den Auslenkbewegungen von Umlenkelement und Fokussierelement wie in der oben erwähnten DE 36 08 287. Ferner ist im Gegensatz zum zi­ tierten Gebrauchsmuster G 86 07 287.8 eine unabhängige Positionierung des Spaltbildes in der Zielebene möglich.

Durch die erfindungsgemäße Orientierung der Beobachtungs-, Behandlungs- und Spaltprojektions-Strahlengänge ist außerdem eine einfache Nachrüstung von ophthalmologischen Geräten, beispielsweise herkömmlichen Spaltlampen, mit einem Laser-Aufsatz möglich.

Als optische Beobachtungseinheit dient vorteilhafterweise ein Stereo-Mikroskop mit zwei Beobachtungs-Strahlengängen in einer horizontalen Ebene.

Die Umlenkelemente für Spaltprojektions- und Strahlungsquellen-Strahlengang zur Umlenkung dieser Strahlengänge in die Zielebene sind bevorzugterweise zentral zwischen den Beobachtungsstrahlengängen angeordnet, wobei das Umlenkelement für den Spaltprojektions- Strahlengang die koaxiale Einkopplung des Strahlungsquellen-Strahlenganges ermöglicht. Ferner sind optische Elemente im Spaltprojektions-Strahlengang vorgesehen, die unterschiedliche optische Weglängen kompensieren, die Teilstrahlenbündel durchlaufen, wenn sie an einem zweiteiligen Umlenkelement in Richtung Zielebene umgelenkt werden.

In einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt die Verstelleinrichtung zur definierten Positionierung des Fokussierobjektives ferner ein Bedienelement, mit dem der jeweilige Benutzer eine gewünschte Auslenkung des Laserstrahles in einer Zielebene bewirken kann. Dabei ist das zu positionierende Fokussierobjektiv mit einem Anlenkelement verbunden, das geeignet beweglich gelagert ist und mittels des Bedienelementes definiert in einer Ebene positionierbar ist, die senkrecht zum Strahlungsquellen-Strahlengang orientiert ist. Weiterhin ist in einer vorteilhaften Ausführungsform eine Einstell-Einheit in der Verstelleinrichtung angeordnet, die ein definiertes Justieren einer Nullposition des Anlenkelementes und somit die Festlegung einer entsprechend beaufschlagten Position in der Zielebene ermöglicht. Diese Einstell-Einheit ist hierbei relativ zum Anlenkelement innerhalb gewisser Toleranzen beweglich und kann mittels Fixierelementen in einer gewünschen Relativposition zum Anlenkelement durch den Benutzer fixiert werden. Möglich ist weiterhin, elastische Elemente innerhalb der Einstell-Einheit vorzusehen, die ein selbsttätiges Zurückkehren des Anlenkelementes zu einer definierten Null­ position nach einer Auslenkung gewährleisten.

Die durch die elastischen Elemente bewirkte Kraft auf das Anlenkelement kann desweiteren mittels Justier-Elementen definiert eingestellt werden und demzufolge auch die auf das Anlenkelement wirkende Kraft völlig vom Anlenkelement entkoppelt werden. Damit wird wahlweise das selbsttätige Zurückkehren in eine definierte Nullposition aufgehoben. Ebenfalls möglich ist die Anordnung von ein oder mehreren Arretier-Elementen innerhalb der Verstelleinrichtung, die ein Fixieren der Verstelleinrichtung in einer eingestellten Position ermöglichen und ein versehentliches Verstellen des Strahles in der Zielebene verhindern.

Eine für die sichere Handhabung der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung vorteilhafte Ausgestaltung der Verstelleinrichtung sieht vor, den Umlenkpunkt des Anlenkelementes in einer Längsführung, in der sich das Anlenkelement bewegt, gerätefest geeignet zu wählen, um so die die stets seitenrichtige Verschiebung des Laserstrahl- Auftreffpunktes in der Zielebene bei einer entsprechenden Auslenkung des Bedienelementes zu gewährleisten.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zweier Ausführungsbeispiele anhand der Fig. 1-3.

Hierbei zeigt

Fig. 1 eine schematische Schnitt-Darstellung des optischen Aufbaus der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung;

Fig. 2 eine Seitenansicht eines ersten Ausführungsbei­ spieles, wobei die erfindungsgemäße Strahlpositioniereinrichtung in einer Spaltlampe integriert ist;

Fig. 3 eine seitliche Teil-Schnittdarstellung eines zweiten Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung innerhalb einer Spaltlampe.

Anhand von Fig. 1 wird im folgenden der prinzipielle optische Aufbau der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung beschrieben. Als optische Beobachtungseinheit dient im dargestellten Ausführungsbeispiel ein Stereo-Mikroskop mit zwei Be­ obachtungs-Strahlengängen (6) in einer horizontalen Ebene, von denen in dieser seitlichen Darstellung lediglich ein Beobachtungs-Strahlengang sichtbar ist. In Fig. 1 sind vom Stereo-Mikroskop als wesentliche Elemente ein Hauptobjektiv (4), eine Vergrößerungswechsel-Einrichtung (1) und ein Schutzfilter (5) dargestellt, das den Beobachter vor reflektierter evtl. schädlicher Strahlung schützt. Je nach eingesetzter Behandlungs-Wellenlänge ist kann dieses Schutzfilter fest eingebaut oder aber motorisch einschwenkbar sein. Die Vergrößerungswechsel-Einrichtung (1) umfaßt wahlweise einschwenkbare optische Systeme (2a, 2b; 3a, 3b) unterschiedlicher Vergrößerung. Dem Schutzfilter (5) ist ein üblicher - nicht dargestellter - Binokulartubus nachgeordnet. Senkrecht zum dargestellten Beobachtungs-Strahlengang (6) ist der Spaltprojektions- Strahlengang (7) orientiert. Dieser umfaßt eine - ebenfalls nicht dargestellte - Lichtquelle mit vorgeordneter Spaltinende und nachfolgenden optischen Elementen zur Projektion der Spaltblende in die Zielebene (18), wobei von diesen optischen Elementen lediglich ein erster Achromat (9) sowie weitere Achromate (10a, 10b) und ein Abdeckglas (21) dargestellt sind. Zur Spaltblenden-Projektion können ferner Vorrichtungen verwendet werden, die das wahlweise Projizieren von verschiedensten Spaltformen unterschied­ licher Größe erlauben. Die Funktion bzw. Vorteile der gleichbrennweitigen Achromate (10a, 10b) im Spaltprojektions-Strahlengang (7) werden im weiteren Verlauf der Beschreibung noch näher erläutert. Senkrecht zu den beiden Beobachtungs-Strahlengängen (6), jedoch entgegengesetzt zum Spaltprojektions-Strahlengang (7), ist der Strahlungsquellen-Strahlengang (8) orientiert. Hierzu wird vorzugsweise Strahlung eines - nicht dargestellten - Lasers über einen Lichtwellenleiter (11) und eine Auskoppellinse (12) in ein optisches System eingekoppelt, das aus mehreren optischen Elementen zur Strahldimensionierung und Fokussierung in eine Zielebene (18) besteht. Dieses optische System umfaßt diverse optische Elemente wie etwa einen bekannten Galilei- Strahlaufweiter (13, 14, 15) zur Dimensionierung des Strahldurchmessers in der Zielebene (18) sowie ein zweiteiliges Fokussier-Objektiv (17) zur Fokussierung des Strahles in die Zielebene (18). Der Strahlungsquellen- Strahlengang (8) wird über ein erstes, gerätefest mon­ tiertes Umlenkelement (19), beispielsweise ein Spiegel oder ein Prisma, in Richtung der Beobachtungs-Strahlengänge (6) d. h. in Richtung Zielebene (18) umgelenkt. Über ein weiteres, zweites Umlenkelement (20a, 20b) erfolgt die Umlenkung des Spaltprojektions-Strahlenganges (7) in Richtung Zielebene (18). Die Umlenkung des Spaltprojektions-Strahlenganges (7) erfolgt im dargestellten Ausführungsbeispiel in Richtung der Strahlausbreitung erst nach der Umlenkung des Strahlungsquellen-Strahlenganges (8). Das verwendete zweite Umlenkelement (20a, 20b) besteht deshalb im dargestellten Ausführungsbeispiel aus zwei einzelnen Spiegeln, zwischen denen koaxial die Einkopplung des Strahlungsquellen- Strahlenganges (8) erfolgt. Da im Spaltprojektions- Strahlengang (7) Teilstrahlenbündel (70a, 70b) durch die beiden einzelnen Spiegel des zweiten Umlenkelementes (20a, 20b) in Richtung Zielebene (18) umgelenkt werden, weisen diese Teilstrahlenbündel (70a, 70b) unterschiedliche optische Weglängen auf, d. h. die Brennpunkte der Teilstrahlenbündel (70a, 70b) liegen ohne geeignete Korrekturmaßnahmen nicht beide in der Zielebene (18). Diese unterschiedlichen optischen Weglängen der Teilstrahlen­ bündel (70a, 70b) werden deshalb durch entsprechende Positionierung der bereits erwähnten Achromate gleicher Brennweite (10a, 10b) im Spaltprojektions-Strahlengang (7) kompensiert, so daß die Brennpunkte beider Teilstrahlenbündel (70a, 70b) jeweils in der Zielebene (18) liegen.

Um nun in der Zielebene (18) ein definiertes Positionieren des Laserstrahles zu ermöglichen, muß die optische Achse des Strahlungsquellen-Strahlenganges (8) zumindest teilweise relativ zum ersten Umlenkelement (19) versetzt werden. Dabei erfolgt die Versetzung senkrecht zum Strahlungsquellen-Strahlengang, z. B. in einer Ebene parallel zur Ebene der Beobachtungsstrahlengänge (6), d. h. im dargestellten Ausführungsbeispiel senkrecht zur Zeichenebene in einer horizontalen Ebene. Hierfür wird vorzugsweise das Fokussier-Objektiv (17) versetzt. Eine geeignete Verstelleinrichtung wird anhand der Fig. 2 und 3 näher erläutert.

Fig. 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Strahlpositioniereinrichtung in Verbindung mit einer Spaltprojektionseinrichtung (32) und einem Stereo-Mikroskop (31) in einer Seitenansicht. An einem Tragarm (30) ist hierbei ein Stereo-Mikroskop (31) angeordnet, von dem in dieser Darstellung lediglich der Mikroskop-Körper ohne Binokulartubus erkennbar ist. Die beiden Beobachtungs-Strahlengänge definieren eine horizontale Ebene, die senkrecht zur Zeichenebene orientiert ist. Vor dem Tragarm (30) ist die Spaltpro­ jektions-Einrichtung (32) an einem weiteren Tragarm (41) mit den entsprechenden optischen Elementen wie in Fig. 1 dargestellt angeordnet, d. h. der Spaltprojektions- Strahlengang ist senkrecht zu den beiden Beobachtungs- Strahlengängen orientiert. Der Spaltprojektions- Strahlengang kann wie üblich relativ zur Zielebene (37) um eine Achse geschwenkt werden. Entgegengesetzt orientiert hierzu ist der Strahlungsquellen-Strahlengang, welcher durch die einem Lichtleiter (33) nachgeordneten optischen Elemente definiert wird, die sich in einem Aufsatzteil (34) auf dem Stereo-Mikroskop (31) befinden und in dieser Darstellung nicht sichtbar sind. In den Lichtleiter (33) wird vorzugsweise die Strahlung eines - nicht dargestellten - Lasers, beispielsweise eines Argon-Lasers, eingekoppelt. Über zwei Umlenkelemente (35, 36a, 36b) werden Strah­ lungsquellen-Strahlengang und Spaltprojektions-Strahlengang in die Ebene der beiden Beobachtungs-Strahlengänge, d. h. in Richtung Zielebene (37) umgelenkt. Die beiden Umlenkelemente (35, 36a, 36b) sind jeweils zentral zwischen den beiden Beobachtungs-Strahlengängen des Stereo- Mikroskops (31) angeordnet. Hierbei ist insbesondere auf deren Ausdehnung in Richtung der Stereo-Basis zu achten, wobei diese Ausdehnung nicht zu groß werden darf, um unakzeptable Vignettierungen in den Beobachtungs- Strahlengängen zu vermeiden. Als Umlenkelement (35) für den Strahlungsquellen-Strahlengang ist ein fest angeordneter Spiegel vorgesehen, der in einem 45°-Winkel zur optischen Achse des Strahlungsquellen-Strahlenganges und zu den Beobachtungs-Strahlengängen angeordnet ist, so daß eine 90°-Ablenkung des Laserstrahles in Richtung Zielebene (37) erfolgt. Alternativ hierzu ist selbstverständlich auch ein geeignetes Prisma zu verwenden. In Richtung der Strahlausbreitung folgt das auf der Spaltprojektions- Einrichtung (32) fest angeordnete zweite Umlenkelement (36a, 36b), bestehend aus zwei einzelnen Spiegeln, die eine 90°-Ablenkung des Spaltprojektions-Strahlenganges in Richtung Zielebene (37) bewirken. Um das koaxiale Einkoppeln des Laser-Strahlenganges zu ermöglichen, ist dieses Umlenkelement (36a, 36b) zweiteilig aufgebaut. Zwischen die beiden einzelnen Spiegel (36a, 36b) wird der Strahlungsquellen-Strahlengang eingekoppelt.

Die Verstelleinrichtung, die ein Versetzen des Fokussier- Objektives (38) senkrecht zum Strahlungsquellen-Strahlen­ gang, d. h. im dargestellten Ausführungsbeispiel in einer Ebene parallel zu den Beobachtungs-Strahlengängen bewirkt, umfaßt neben einem beweglich gelagerten Anlenkelement u. a. eine Einstell-Einheit, die in dieser Darstellung jedoch durch eine Abdeckung (39) verdeckt wird, sowie ein Bedienelement (40), das ein feinfühliges Positionieren des Anlenkelementes in einer horizontalen Ebene durch den je­ weiligen Benutzer ermöglicht. Durch Verschieben des Anlen­ kelementes bzw. des damit verbundenen Fokussier-Objektives (38) in dieser horizontalen Ebene wird eine Ablenkung des Strahlungsquellen-Strahlenganges in der hierzu senkrechten Zielebene bewirkt. Das Bedienelement (40) ist im dargestellten Ausführungsbeispiel nicht zentral zwischen den beiden Beobachtungs-Strahlengängen angeordnet, vielmehr wird es seitlich am Mikroskop-Körper (311) vorbei nach unten geführt. Weiterhin erkennbar ist in der Darstellung von Fig. 2 ein Arretier-Element (42), das das beweglich gelagerte Anlenkelement der Verstelleinrichtung in einer einmal eingestellten Position fixiert und ein eventuell versehentliches Versetzen aus dieser Position verhindert. Weitere Details zur Verstelleinrichtung werden anhand des zweiten Ausführungsbeispieles in Fig. 3 im folgenden näher erläutert.

Hierbei zeigt Fig. 3 einen Schnitt durch einen Teil einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung, anhand der insbesondere die Verstelleinrichtung zum Versetzen des Fokussier-Objektives (56) detailiert beschrieben wird. Im dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt das Versetzen des Fokussierobjektives senkrecht zum Strahlungsquellen-Strahlengang wieder in einer horizontalen Ebene, die parallel-zu den Beobachtungs-Strahlengängen orientiert ist. Erneut ist ein Stereo-Mikroskop (50) an einem entsprechenden Tragarm (51) angeordnet, wobei die Mikroskop-Beobachtungs-Strahlengänge eine horizontale Ebene definieren. Jeweils entgegengesetzt senkrecht zu dieser Ebene sind die Spaltprojektions-Einrichtung (52) sowie ein Aufsatz (53) zum Einkoppeln eines Strahlungsquellen- Strahlenganges vorgesehen. Als geeignete Strahlungsquelle dient erneut ein Laser, dessen Strahlung über einen - nicht dargestellten - Lichtleiter in den Aufsatz mit den optischen Elementen zur Strahldimensionierung und - fokussierung eingekoppelt wird. Die Umlenkung von Spaltprojektions- Strahlengang und Strahlungsquellen- Strahlengang erfolgt wie im Ausführungsbeispiel von Fig. 2 mittels zweier Umlenkelemente (54, 55a, 55b), von denen dasjenige für den Spaltprojektions-Strahlengang wieder zweiteilig ausgeführt ist, um ein koaxiales Einkoppeln des Laser-Strahlenganges zu ermöglichen. Zur horizontalen Versetzung des Fokussier-Objektives (56), um eine definierte Positionierung des Laserstrahles in der Zielebene (57) zu bewirken, ist das Fokussier-Objektiv (56) fest mit einem Anlenkelement (58) verbunden. Dieses Anlenkelement (58) ist in einem oder mehreren Lagern (59), vorzugsweise kardanischen Lagern, beweglich gelagert. Über dieses Lager (59) mit dem Anlenkelement (58) verbunden ist ein Bedienelement (60), das in diesem Ausführungsbeispiel zentral zwischen den beiden Beobachtungs-Strahlengängen nach unten geführt ist. Durch Auslenken dieses Bedienele­ mentes (60), das wiederum in einem weiteren - vorzugsweise kardanischen - Lager (61) gelagert ist, resultiert ein Ver­ setzen des Anlenkelementes (58) bzw. des Fokussier- Objektives (56) in einer horizontalen Ebene. Eine längliche Führung (62) im Anlenkelement (58) in Beobachtungsrichtung, in die ein mit dem Mikroskop-Körper verbundener Stift (63) ragt, sorgt für die Führung des Anlenkelementes (58) auf der gerätefesten Auflagefläche (64). Dieser Stift (63), der ein geführtes Versetzen des Anlenkelementes (58) in einer Ebene bewirkt, dient ferner als Umlenkpunkt für die über das Bedienelement (60) wirkende Kraft und sorgt für die jeweils seitenrichtige Auslenkung des Auftreffpunktes in der Zielebene (57) bei entsprechender Auslenkung des Bedienelementes (60). Der Stift (63), der in die Führung (62) des Anlenkelementes (58) ragt, erlaubt somit lediglich ein Versetzen des Anlenkelementes (58) bzw. des Fokussier- Objektives (56) in Richtung Zielebene (57) und zurück sowie eine horizontale Rotation um diesen Stift (63).

Die gerätefeste Auflagefläche (64) des Anlenkelementes (58) weist ferner eine muldenförmige Vertiefung (65) auf, in die innerhalb einer Einstell-Einheit (66) über eine Feder (67) eine kleine Kugel (68) gedrückt wird. Die Einstell-Einheit (66) ist horizontal relativ zum Mikroskopkörper innerhalb einer gewissen Toleranz frei beweglich und mittels Justier- Schrauben (69a, 69b) in einer gewünschten Position relativ zum Anlenkelement (58) fixierbar. Da die Feder (67) nach unten auf die Kugel (68) drückt, ist somit eine gewünschte Nullposition des Anlenkelementes (58), d. h. der Auftreffpunkt in der Zielebene (57), reproduzierbar einstellbar. Nach einer eventuellen Auslenkung aus dieser Nullposition wird das Anlenkelement (59) aufgrund der wirkenden Federkraft wieder in diese Nullposition, d. h. die tiefste Stelle der muldenförmigen Vertiefung (65) zurückgedrängt. Ist ein derartiges Zurückkehren in eine bestimmte Nullposition nicht gewünscht, so kann mittels der auf die Feder (67) drückenden Stellschraube (70) die Feder (67) vollkommen entlastet werden, wodurch dann auch kein selbsttätiges Zurückkehren in eine Nullposition nach einer Auslenkung resultiert. Die Federkraft auf die Kugel (68) kann ferner mittels der Stellschraube (70), die auf die Feder (68) drückt, definiert eingestellt werden. Somit ist auch eine Einstellung der erforderlichen Auslenkkraft für das Bedienelement über diese Einstell-Einheit (66) möglich.

Claims (13)

1. Strahlpositioniereinrichtung für ein ophthalmologisches Gerät, bestehend aus

• - einem Strahlungsquellen-Strahlengang (8) mit einer Strahlungsquelle, vorzugsweise einem Laser, und ein oder mehreren nachgeordneten optischen Elementen (13, 14, 15, 17; 38; 56) zur Strahldimensionierung und/oder zur Fokussierung und einem ersten Umlenkelement (19, 35, 54) zum Ablenken des Strahlungsquellen- Strahlenganges (8) in eine Zielebene (18, 37, 57),
• - einer optischen Beobachtungseinheit zum Betrachten einer Zielebene (18, 37, 57) mit einem oder mehreren Beobachtungs-Strahlengängen (6),
• - einem Spaltprojektions-Strahlengang (7) mit mehreren optischen Elementen (9, 10a, 10b) sowie einem zweiten Umlenkelement (20a, 20b, 36a, 36b, 55a, 55b) das den Spaltprojektions-Strahlengang (7) in die Zielebene (18, 37, 57) umlenkt,
• - sowie einer Verstelleinrichtung, die ein definiertes Versetzen mindestens eines optischen Elementes im Strahlungsquellen-Strahlengang (8) relativ zum ersten Umlenkelement (19, 35, 54) senkrecht zum Strahlungsquellen-Strahlengang (8) ermöglicht, wobei eine derartige Versetzung den Spaltprojektions- Strahlengang (7) unbeeinflußt läßt.

2. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spaltprojektions- (7) und Strahlungsquellen-Strahlengänge (8) vor den Umlenkelementen (19, 35, 54, 20a, 20b, 36a, 36b, 55a, 55b) jeweils entgegengesetzt senkrecht zu dem oder den Beobachtungsstrahlengängen (6) orientiert sind und mindestens ein optisches Element im Strahlungsquellen- Strahlengang (8) mittels der Verstelleinrichtung parallel zu dem oder den Beobachtungs-Strahlengängen (6) versetzbar ist.

3. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als optische Beobachtungseinheit ein Stereo-Mikroskop (31) mit zwei Beobachtungs- Strahlengängen in einer horizontalen Ebene vorgesehen ist.

4. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Umlenkelement (19, 35, 54) für den Strahlungsquellen-Strahlengang (8) als starr angeordneter Spiegel ausgeführt ist, der einen 45°-Winkel zu den Beobachtungs-Strahlengängen (6) sowie zur Ausbreitungsrichtung des Strahlungsquellen- Strahlenganges (8) einnimmt und in der Mitte der beiden Beobachtungsstrahlengänge (6) angeordnet ist.

5. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das im Spaltprojektions- Strahlengang (7) angeordnete zweite Umlenkelement (20a, 20b, 36a, 36b, 55a, 55b) aus zwei einzelnen Spiegeln besteht, zwischen denen eine koaxiale Einkopplung des Strahlungsquellen-Strahlenganges (8) möglich ist sowie optische Elemente (10a, 10b) gleicher Brennweite im Spaltprojektions-Strahlengang (7) angeordnet sind, die die unterschiedlichen optischen Weglängen der Teilstrahlenbündel (70a, 70b) durch eine entsprechende Positionierung im Spaltprojektions-Strahlengang kompensieren.

6. Strahlpositioniereinrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstelleinrichtung ein Anlenkelement (58) umfaßt, das mit mindestens einem vom Strahlungsquellen- Strahlengang (8) durchsetzten optischen Element, vorzugsweise dem Fokussierobjektiv (17, 38, 56), verbunden ist, wobei das Anlenkelement (58) in einem oder mehreren Lagern (59, 61) beweglich gelagert ist und mittels eines damit verbundenen Bedienelementes (40, 60) definiert in einer horizontalen Ebene positionierbar ist.

7. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Anlenkelement (58) in ein oder mehreren kardanischen Lagern (59, 61) beweglich gelagert ist.

8. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstelleinrichtung eine Einstell-Einheit (66) umfaßt, die ein hochpräzises Justieren des Strahlungsquellen-Strahlenganges (8), insbesondere die Einstellung einer reproduzierbaren Nullposition des Anlenkelementes (58) ermöglicht.

9. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstell-Einheit (66) innerhalb gewisser Toleranzen relativ zum Anlenkelement (56) beweglich ist und mittels Fixierelementen (69a, 69b) in einer gewünschten Relativposition fixierbar ist.

10. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstell-Einheit (66) ein oder mehrere elastische Elemente (67) aufweist, die ein selbsttätiges Zurückkehren des Anlenkelementes (58) in die Nullposition nach einer beliebigen Auslenkung bewirken.

11. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstell-Einheit (66) ein oder mehrere auf das oder die elastischen Elemente (67) einwirkende Justier-Elemente (70) umfaßt, mit denen die Einstellung der von den elastischen Elementen auf das Anlenkelement (58) bewirkten Kraft möglich ist.

12. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstelleinrichtung ein oder mehrere Arretier-Elemente (42) zum Fixieren des beweglich gelagerten Anlenkelementes (58) aufweist.

13. Strahlpositioniereinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Anlenkelement (58) eine Längsführung (62) in Beobachtungsrichtung aufweist, die eine Relativbewegung in einer horizontalen Ebene um einen gerätefesten Umlenkpunkt (62) ermöglicht.