DE4222841C1 - Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen - Google Patents
Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für WerkstückspanneinrichtungenInfo
- Publication number
- DE4222841C1 DE4222841C1 DE19924222841 DE4222841A DE4222841C1 DE 4222841 C1 DE4222841 C1 DE 4222841C1 DE 19924222841 DE19924222841 DE 19924222841 DE 4222841 A DE4222841 A DE 4222841A DE 4222841 C1 DE4222841 C1 DE 4222841C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- housing
- positioning
- position sensor
- insert
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/006—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating the presence of a work or tool in its holder
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen kapazitiv/konduktiven Positionsauf
nehmer vorzugsweise für Werkstückspannein
richtungen, insbesondere für automatische Fertigungseinrichtungen
der metallverarbeitenden Industrie.
Bekannt ist eine technische Lösung gemäß der Beschreibung in
einem Prospekt der Firma BAEWERT GmbH (Karl-Schiefer-Str. 60,
O-9612 Meerane) . Hierbei wird ein Positionsaufnehmer beschrieben,
in dessen Positionierfläche eine Meß- bzw. Positionierelektrode
integriert ist, die zugleich den Träger einer Elektronikbaugruppe
aufnimmt.
Diese Lösung hat den Nachteil, daß mechanische und thermische
Spannungen an den mit Gießharz vergossenen Trennfugen zwischen
der Positionierelektrode und dem Aufnehmergehäuse zu Rißbildungen
führen können. Durch diese Risse können fluidische Hilfsstoffe
eindringen und die erforderliche sichere elektrische Trennung
zwischen Positionierelektrode und Aufnehmergehäuse derart stören,
daß infolge elektrischen Kontaktes die Funktionssicherheit des
Positionsaufnehmers nicht mehr gewährleistet ist.
In DE 37 42 154 A1 und DE 34 31 523 C2 werden Positionsauf
nehmer beschrieben, die zum Schutz vor Verschmutzung des
Meßkopfes mit einem Faltenbalg bzw. einer Gummimanschette
versehen sind.
Alle o. g. Lösungen haben außerdem den Nachteil, daß Störungen beim Positio
nieren bzw. Bestimmen der Lage des Werkstückes, die infolge vor
handener Verunreinigungen, z. B. Metallspäne, an der Positionier
fläche zwischen Positionierelektrode und Werkstück auftreten
können, nicht erkannt werden und damit eine fehlerhafte Positio
nierung des Werkstückes und unter Umständen auch eine Zerstörung
des Positionsaufnehmers zur Folge haben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiv/konduk
tiven Positionsaufnehmer vorzugsweise für Vorrichtungen bzw.
Werkstückspanneinrichtungen zu schaffen, mit dem eine funktions
sichere Arbeitsweise z. B. beim Einsatz fluidischer Hilfsmittel
gewährleistet wird und bei dem Verunreinigungen der Positio
nierelektrode, insbesondere durch Metallspäne beim Positionieren
sofort erkannt werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem kapazitiv/konduktiven
Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen mit den
Merkmalen des 1. Patentanspruches gelöst. Dabei ist
im Positionsaufnehmer in die Positionierfläche
eine Positionierelektrode integriert, die zu
gleich Träger der Elektronikbaugruppe ist.
Die Positionierelektrode ist über einen Isolierkörper mechanisch fest
jedoch elektrisch getrennt mit einem Kopfeinsatz verbunden.
Dieser ist über einen Faltenbalg hermetisch dicht derart mit
einem Basiseinsatz verbunden, daß eine axiale Beweglichkeit der
aus Positionierelektrode, Isolierkörper, Kopfeinsatz, einer
Distanzhülse, einer ersten Elektronikbaugruppe und einer Gegen
elektrode bestehenden Baugruppe gewährleistet wird.
Im Störfall tritt eine Krafteinwirkung auf die die Positionier
fläche mit ausbildenden Elemente Positionierelektrode, Isolier
körper und Kopfeinsatz auf, wobei eines oder mehrere dieser
Elemente zugleich davon betroffen sein können.
Diese Krafteinwirkung bewirkt infolge der axialen Beweglichkeit
der belasteten Baugruppe eine Abstandsänderung der Gegenelektrode
zu einer Überwachungselektrode.
Im Gehäuse wird, vorzugsweise in seiner Symmetrieachse, ein Ab
gleichkondensator angeordnet.
Der Isolierkörper als Bestandteil der Positionierfläche des Posi
tionsaufnehmers ist vorzugsweise konzentrisch zur Symmetrieachse
des Gehäuses angeordnet.
Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel
anhand einer Zeichnung näher erläutert werden.
Die Zeichnung zeigt eine Schnittdarstellung des kapazitiv/konduk
tiven Positionsaufnehmers mit Störungsüberwachung.
Eine Positionierelektrode 6 ist über einen Isolierkörper 9 mit
einem Kopfeinsatz 15 mechanisch fest, jedoch elektrisch getrennt
verbunden. Die Positionierelektrode 6 trägt rückseitig eine erste
Elektronikbaugruppe 13, die über einen Träger 13a befestigt ist,
sowie über eine Distanzhülse 4 eine gegenüber der Positionier
elektrode 6 elektrisch isolierte Gegenelektrode 7. Die vorgenann
ten Elemente bilden zusammen eine mechanisch miteinander verbun
dene Baugruppe, die über einen Faltenbalg 8 axial beweglich, zu
gleich verdrehsicher und hermetisch dicht mit einem Basiseinsatz
16 verbunden ist. Dieser Basiseinsatz 16 trägt außerdem über eine
Distanzbuchse 5 eine Überwachungselektrode 10 mit einer rücksei
tig montierten zweiten Elektronikbaugruppe 14.
Der Basiseinsatz 16 mit den daran befindlichen Elementen und die
über den Faltenbalg 8 verbundene axial bewegliche Baugruppe
werden gemeinsam in ein Gehäuse 1 eingesetzt, welches in seiner
Positionierfläche durch einen Gehäuseeinsatz 11 abgeschlossen
wird. Der Gehäuseeinsatz 11 gewährleistet zugleich die axiale
Wegbegrenzung für die bewegliche Baugruppe, die durch ein Feder
element 12 einer Rückstellkraft ausgesetzt ist. In Gegenrichtung
zu dieser Rückstellkraft begrenzt das Dickenmaß des Feder
elementes 12 den axialen Stellweg s.
Dieser axiale Stellweg s ermöglicht eine Abstandsänderung zwi
schen der Überwachungselektrode 10 und der Gegenelektrode 7. Der
axiale Stellweg s wird kleiner gewählt, als der Grundabstand a
zwischen der Überwachungselektrode 10 und der Gegenelektrode 7.
Das Gehäuse 1 ist mit einer Kabeldurchführung 17 für die Strom
versorgung und die Weiterleitung der Meßsignale des Positionsauf
nehmers versehen.
Im Gehäuse 1 ist weiterhin ein Abgleichkondensator 2 unterge
bracht, dessen Befestigungsbohrung durch eine Verschlußschraube 3
nach außen abgedichtet wird.
Der vorstehend beschriebene kapazitiv/konduktive Positionsauf
nehmer kann in beliebiger Raumlage in Vorrichtungen bzw. Werk
stückspanneinrichtungen zur definierten Fixierung bestimmter
Freiheitsgrade eines - im allgemeinen elektrisch leitenden -
Werkstückes angebracht werden.
Nach Montage der Positionierelektrode 6 und des Isolierkörpers 9
mit Kopfeinsatz 15 im Gehäuse 1 mit Gehäuseeinsatz 11 wird deren
gemeinsame nach außen gerichtete Stirnfläche so bearbeitet, daß
eine zur Gehäuseauflagefläche planparallele ebene Fläche ent
steht, die als Bestimm- bzw. Positionierfläche PF des kapazitiv/
konduktiven Positionsaufnehmers dient und für ein Werkstück eine
Anlagefläche darstellt.
Wird ein Werkstück in eine Vorrichtung bzw. Werkstückspannein
richtung eingebracht, die mit einem oder mehreren erfindungsge
mäßen kapazitiv/konduktiven Positionsaufnehmern mit Störungsüber
wachung ausgerüstet ist, so bildet sich an der gemeinsamen Be
stimm- bzw. Positionierfläche des Werkstückes mit der Anlageflä
che des Positionsaufnehmers ein mehr oder weniger ausgeprägter
elektrischer Kontakt aus, den das Werkstück zwischen dem Gehäuse
1 mit Gehäuseeinsatz 11 und der Positionierelektrode 6 herstellt.
Die Intensität dieser elektrischen Kontaktgabe wird wesentlich
durch die Oberflächenbeschaffenheit des Werkstückes und dessen
Form- und Lagegenauigkeit bestimmt.
Im allgemeinen Fall wird, insbesondere bei vorhandenen Ober
flächen-, Form- oder Lagefehlern des Werkstückes ein Spalt an der
gemeinsamen Anlagefläche sich ausbilden - der auch mit flui
dischen Hilfsstoffen ausgefüllt sein kann - wodurch ein inniger
elektrischer Kontakt (galvanischer Kontakt) verhindert wird. In
diesem Fall wirkt die Anlagefläche des metallisch leitenden Werk
stückes als kapazitive Gegenelektrode zur Positionierelektrode 6,
so daß die interne erste Elektronikbaugruppe 13 ein für den vor
liegenden Spalt äquivalentes Meßsignal bereitstellt. Die Größe
dieses Meßsignales liegt zwischen einem definierten elektrischen
Nullpunkt und einem Maximalwert, der bei galvanischem Kontakt der
Positionierelektrode 6 mit dem Werkstück und gleichzeitigen
Kontakt des Werkstückes mit dem Gehäuse 1 mit Gehäuseeinsatz 11
erreicht wird. Bei galvanischem Kontakt des Werkstückes mit der
Positionierfläche PF des Positionsaufnehmers wird dieser Maximal
wert des Meßsignales erreicht und damit die konduktive Komponente
des angewendeten Meßprinzipes wirksam.
Andernfalls wird bei auftretendem Spalt an der Werkstückanlage
zur Positionierfläche die kapazitive Komponente des angewendeten
Meßprinzipes wirksam.
Auf diese beschriebene Weise kann eine Werkstückanlage mit Hilfe
des kapazitiv/konduktiven Positionsaufnehmers differenziert nach
den konkret vorherrschenden Anlagebedingungen qualitativ und
quantitativ bewertet werden.
Dabei repräsentiert die konduktive Erfassung des galvanischen
Kontaktes zwischen Werkstück und Positionierfläche PF des Posi
tionsaufnehmers die Soll-Lage (Sollposition) des Werkstückes. In
allen anderen Fällen entspricht die kapazitive Erfassung eines
auftretenden Spaltes zwischen Werkstück und Positionierfläche des
Positionsaufnehmers einer Lageabweichung des Werkstückes von
seiner Sollposition. Auf diese beschriebene Weise kann mit Hilfe
des erfindungsgemäßen Positionsaufnehmers die Istposition eines
Werkstückes in der Vorrichtung identifiziert werden.
Die vorstehend beschriebene normale Funktionsweise wird nicht
mehr gewährleistet, wenn elektrisch leitende Fremdkörper, z. B.
Metallspäne, die Positionierelektrode 6 in der Positionierfläche
verunreinigen. In diesem Fall erzeugen die Metallspäne den galva
nischen Kontakt zum Werkstück, ohne daß die geforderte exakte
Position des Werkstückes eingenommen wurde. Das nachfolgende Auf
bringen der Spannkraft führt mit großer Wahrscheinlichkeit zu
einer Zerstörung des Positionsaufnehmers.
Um diesen Fall auszuschließen, muß ein Alarmsignal gewonnen
werden, welches das weitere Aufbringen der Spannkraft verhindert.
Dieses Alarmsignal wird erzeugt, wenn vom Werkstück eine Kraft
einwirkung auf Fremdkörper, z. B. Metallspäne, erfolgt und diese
über die Positionierelektrode 6 bzw. über den Isolierkörper 9
und/oder den Kopfeinsatz 15 eine Axialbewegung der gesamten be
weglichen Baugruppe erzeugt. Diese Axialbewegung bewirkt eine Ab
standsänderung zwischen der Überwachungselektrode 10 und der Ge
genelektrode 7, die mittels der zweiten Elektronikbaugruppe 14 in
ein elektrisches Alarmsignal umgewandelt wird. Vorzugsweise er
folgt diese Signalwandlung nach dem kapazitiven Wirkprinzip.
Dieses Alarmsignal wird dem eigentlichen Meßsignal aus der ersten
Elektronikbaugruppe 13 überlagert und hat diesem gegenüber
Priorität.
Mit dieser erfindungsgemäßen Lösung können sowohl elektrisch
leitende, als auch nichtleitende Fremdkörper, die die Positio
nierfläche verunreinigen, als Störung erkannt werden.
Das Meß- bzw. Alarmsignal kann von beiden Elektronikbaugruppen
13; 14 sowohl als analoger Spannungswert, als auch als
tastverhältnismoduliertes Impulssignal bereitgestellt werden. Der
elektrische Nullpunkt des Meßsignales der ersten Elektronikbau
gruppe 13 kann durch den Abgleichkondensator 2 eingestellt bzw.
korrigiert werden.
Der kapazitiv/konduktive Positionsaufnehmer mit Störungsüber
wachung ermöglicht für höchste Genauigkeitsansprüche (Mikrometer
bereich) die Überwachung von Positioniervorgängen in Vorrich
tungen, Werkstückspanneinrichtungen und anderen Einrichtungen zum
Werkstückhandling. Es ist möglich, das Positionieren in eine vor
gegebene Werkstückposition oder deren Beibehaltung zu kontrollie
ren/überwachen.
Darüber hinaus werden störende Einflüsse auf den Positioniervor
gang, wie z. B. Späne und ähnliche Verunreinigungen, durch ein
intern ausgelöstes Alarmsignal so rechtzeitig erkannt, daß die
Möglichkeit einer automatischen Prozeßbeeinflussung besteht. So
kann z. B. das Aufbringen der Spannkraft verhindert und/oder die
Maschine stillgesetzt werden. Ein besonderer Vorzug der erfin
dungsgemäßen Lösung ist dabei, daß eine Zerstörung des Positions
aufnehmers durch die genannten Fehlereinflüsse verhindert wird.
Der Positionsaufnehmer kann zugleich als vorrichtungstypischer
Positionierbolzen (Bestimmbolzen) ausgebildet werden. Bei Einsatz
mehrerer Positionsaufnehmer in einer Ebene können diese nach der
Montage in der Vorrichtung zur Schaffung einer exakten Bestimm-
bzw. Positionierfläche gemeinsam überschliffen werden.
Durch die erfindungsgemäße Lösung wird es möglich, die automa
tische Steuerung/Überwachung von Vorrichtungen bzw. Werkstück
spanneinrichtungen in die automatische Steuerung/Überwachung des
gesamten Fertigungsprozesses über die Fertigungseinrichtung zu
integrieren und damit CIM-Strukturen zu realisieren.
Aufstellung der verwendeten Bezugszeichen
1 Gehäuse
2 Abgleichkondensator
3 Verschlußschraube
4 Distanzhülse
5 Distanzbuchse
6 Positionierelektrode
7 Gegenelektrode
8 Faltenbalg
9 Isolierkörper
10 Überwachungselektrode
11 Gehäuseeinsatz
12 Federelement
13 erste Elektronikbaugruppe
13a Träger der ersten Elektronikbaugruppe
14 zweite Elektronikbaugruppe
15 Kopfeinsatz
16 Basiseinsatz
17 Kabeldurchführung
a Grundabstand zwischen Gegenelektrode (7) und Überwachungs elektrode (10)
s Stellweg
PF Positionierfläche
2 Abgleichkondensator
3 Verschlußschraube
4 Distanzhülse
5 Distanzbuchse
6 Positionierelektrode
7 Gegenelektrode
8 Faltenbalg
9 Isolierkörper
10 Überwachungselektrode
11 Gehäuseeinsatz
12 Federelement
13 erste Elektronikbaugruppe
13a Träger der ersten Elektronikbaugruppe
14 zweite Elektronikbaugruppe
15 Kopfeinsatz
16 Basiseinsatz
17 Kabeldurchführung
a Grundabstand zwischen Gegenelektrode (7) und Überwachungs elektrode (10)
s Stellweg
PF Positionierfläche
Claims (5)
1. Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer, vorzugsweise für
Werkstückspanneinrichtungen, bestehend aus
einer in einem Gehäuse (1) angeordneten Positionierelektrode (6), die
an ihrer einer Positionierfläche (PF) gegenüberliegenden Seite
eine Elektronikbaugruppe (13) trägt, wobei die Positionierelektrode (6)
über einen Isolierkörper (9) von den Baugruppen des Gehäuses elek
trisch getrennt ist, mit den Merkmalen, daß der die Posi
tionierelektrode (6) ringförmig mechanisch fest umschließende
Isolierkörper (9) in einem Kopfeinsatz (15) angeordnet ist,
der über einen Faltenbalg (8) hermetisch dicht und verdrehsicher,
jedoch axial beweglich mit einem im Gehäuse (1) fest ange
ordneten Basiseinsatz (16) verbunden ist, wodurch die axiale
Beweglichkeit der Positionierelektrode (6) gewährleistet wird,
daß weiterhin im hermetisch abgedichteten Innenraum von Posi
tionierelektrode (6), Kopfeinsatz (15), Faltenbalg (8) und
Basiseinsatz (16) ein zusätzliches Elektrodenpaar in Form
einer Gegenelektrode (7) und einer Überwachungselektrode (10)
angeordnet ist, wobei die Gegenelektrode (7) über eine elek
trisch isolierende Distanzhülse (4) und einen Träger der
ersten Elektronikbaugruppe (13 a) an der Innenfläche der Posi
tionierelektrode (6) befestigt ist, während die Überwachungs
elektrode (10) im Basiseinsatz (16) fest montiert ist, so daß
im Störfall bei Krafteinwirkung auf die bewegliche
Positionierelektrode (6), den beweglichen Isolierkörper (9) oder den
beweglichen Kopfeinsatz (15) der Faltenbalg (8) zusammengedrückt wird und
eine Verringerung des Abstandes (a) zwischen Gegenelektrode
(7) und Überwachungselektrode (10) erfolgt.
2. Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß zur Rückstellung der beweglichen
Elemente in die Ausgangslage zwischen Gehäuse (1) und Kopf
einsatz (15) ein Federelement (12) angeordnet ist.
3. Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer nach Anspruch 1 oder
2, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (9) aus einem
hydrophob wirkenden Material besteht.
4. Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (9) in der
Positionierfläche (PF) des Positionsaufnehmers
konzentrisch zur Symmetrieachse des Gehäuses (1) angeordnet
ist.
5. Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer nach einem Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gehäuse (1) ein Ab
gleichkondensator (2) in der Symmetrieachse des
Gehäuses (1) angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924222841 DE4222841C1 (de) | 1992-07-11 | 1992-07-11 | Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924222841 DE4222841C1 (de) | 1992-07-11 | 1992-07-11 | Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4222841C1 true DE4222841C1 (de) | 1994-03-24 |
Family
ID=6462991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19924222841 Expired - Fee Related DE4222841C1 (de) | 1992-07-11 | 1992-07-11 | Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4222841C1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011011552B3 (de) * | 2011-02-17 | 2012-05-16 | Hohenstein Vorrichtungsbau Und Spannsysteme Gmbh | Werkstück-Auflagekontrolle in Spannvorrichtungen |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3431523C2 (de) * | 1984-08-28 | 1988-07-21 | Oelsch Kg, 1000 Berlin, De | |
DE3742154A1 (de) * | 1987-12-10 | 1989-06-22 | Licentia Gmbh | Gelenkmesskopf |
-
1992
- 1992-07-11 DE DE19924222841 patent/DE4222841C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3431523C2 (de) * | 1984-08-28 | 1988-07-21 | Oelsch Kg, 1000 Berlin, De | |
DE3742154A1 (de) * | 1987-12-10 | 1989-06-22 | Licentia Gmbh | Gelenkmesskopf |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
DE-Firmenschrift der Präzisionsmeßtechnik Baewert GmbH, Meerane: Kapazitive Vorrichtungs- sensorik KVS1 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011011552B3 (de) * | 2011-02-17 | 2012-05-16 | Hohenstein Vorrichtungsbau Und Spannsysteme Gmbh | Werkstück-Auflagekontrolle in Spannvorrichtungen |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2084897B1 (de) | Kamerasystem zum überwachen eines raumbereichs | |
DE4143414C2 (de) | Werkzeugkopf mit automatisch verstellbarer Fokussierungsoptik | |
DE3321454C2 (de) | ||
EP2687823B1 (de) | Vorrichtung zur Erfassung und Verarbeitung von Sensormesswerten und/oder zur Steuerung von Aktuatoren | |
DE2906407C2 (de) | Piezoelektrisches Wandlerelement zum Einbau in Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer | |
DE10135568A1 (de) | Drucksensor | |
EP2123023B1 (de) | Kameraeinheit zum überwachen eines raumbereichs, insbesondere als teil einer mitlaufenden schutzeinrichtung an einem bewegten maschinenteil | |
EP0546355A1 (de) | Sensorkopf für einen Magnetfeldgeber | |
WO2018073012A1 (de) | Kraft- und momentensensor, kraftaufnehmermodul für einen solchen kraft- und momentensensor und roboter mit einem solchen kraft- und momentensensor | |
DE4109567C3 (de) | Einrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe eines Laserstrahls | |
DE4201634A1 (de) | Halbleiter-druckaufnahmevorrichtung | |
DE102015113583A1 (de) | Positioniereinrichtung | |
DE4222841C1 (de) | Kapazitiv/konduktiver Positionsaufnehmer vorzugsweise für Werkstückspanneinrichtungen | |
WO2017021544A1 (de) | Messeinrichtung für automatisierte schweisseinrichtungen, insbesondere für roboter-schweisszangen | |
DE212004000016U1 (de) | Nahtverfolgungssensor für Schweißroboter | |
DE3437246A1 (de) | Sensor zur messung einer schnittkraftkomponente in einer werkzeugmaschine | |
DE3908175C2 (de) | Belastungs-Detektorvorrichtung | |
DE19738096A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Werkzeugs | |
EP0074524B1 (de) | Vorrichtung zum Messen der Spannkraft | |
DE102018125840A1 (de) | Tool Center Point | |
EP3001675B1 (de) | Kameraeinheit zum überwachen eines raumbereichs | |
DE102016203428B3 (de) | Drucksensor | |
EP1211020A1 (de) | Bearbeitungswerkzeugs-Abstands-Messsensor | |
DE10000868C2 (de) | Presswerkzeug und Verfahren zum Eichen eines Presswerkzeuges | |
DE1236827C2 (de) | Piezoelektrischer Druckwandler sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Montage |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |