DE4206792A1 - Deformierbarer spiegel - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen deformierbaren Spiegel gemäß
dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein derartiger Spiegel ist aus der US-PS 46 79 915 bekannt.
Er dient der gezielten Beeinflussung der Fokussierung eines
Hochenergie-Laserstrahles, wobei bei diesem bekannten
Spiegel die Befestigung der Aktuatoren an dem
entsprechenden, von der Rückenfläche des Spiegels
wegstehenden Zapfen mittels eines geeigneten Klebers
erfolgt.
In der GB-A 21 62 713 ist ein deformierbarer Spiegel
offenbart, der zur Verfolgung eines Zielobjektes vorgesehen
ist, und der zu diesem Zweck mittels einer geeigneten
Regeleinrichtung fein einstellbar ist.
Ein deformierbarer Spiegel, bei dem die Befestigungsorgane
der Aktuatoren mit von der Rückenfläche der Spiegelplatte
wegstehenden Zapfen verschraubt sind, ist aus der
DE-OS 35 02 024 bekannt.
Eine Einrichtung zur Strahlführung bei einer Laser-
Werkstückbearbeitung ist in der DE-OS 39 16 264
beschrieben.
Bei allen diesen deformierbaren Spiegeln kann es sich um
sogenannte einkanalige deformierbare Spiegel handeln, bei
denen lediglich das Zentrum der Spiegelplatte und folglich
das Zentrum der Spiegelfläche infolge einer entsprechenden
Längenänderung des mit der Spiegelplatte verbundenen
Aktuators zur Fokusbeeinflussung durch Strahlaufweitung
mehr oder weniger stark ausgewölbt wird. Selbstverständlich
kann es sich bei einem solchen deformierbaren Spiegel auch
um einen mehr- bzw. vielkanaligen deformierbaren Spiegel
handeln, bei welchem verschiedene Bereiche der
Spiegelfläche wunschgemäß unterschiedlich deformiert
werden, um über den Querschnitt des am Spiegel
reflektierten Strahles, insbesondere Laserstrahles, infolge
Überlagerung unterschiedlicher Laufzeiteffekte im
Wirkungsort bestimmte Energieverteilungen hervorzurufen. Im
zuletzt genannten Falle können die unterschiedlichen
Deformationsorte eine Kennung durch eine- der Auslenk-
Information überlagerte Dither-Frequenz erfahren, in dem
mit dem entsprechenden Aktuator ein Modulator in Serie
geschaltet ist, wie in der oben erwähnten US-PS 46 79 915
beschrieben ist, oder indem im Strahlengang zusätzlich ein
Modulierspiegel vorgesehen ist, wie in der DE-OS 38 08 150
offenbart wird.
Es hat sich gezeigt, daß bei derartigen deformierbaren
Spiegeln der mindestens eine Aktuator insbesondere nach
einer langen Verwendungsdauer einer Materialermündung
unterliegt, was bedeutet, daß der mindestens eine Aktuator
im Extremfall ausgetauscht, d. h. durch einen ungebrauchten
neuen Aktuator ersetzt werden muß. Das ist bei
deformierbaren Spiegeln, bei denen das mindestens eine
Befestigungsorgan mit dem zugehörigen, von der Rückenfläche
der Spiegelplatte wegstehenden, Zapfen verklebt ist, nur
mit erheblichem Aufwand möglich. Die selben Überlegungen
gelten, wenn das/jedes Befestigungsorgan mit dem
zugehörigen Zapfen verschraubt ist, wobei bei einer
Schraubverbindung außerdem zu berücksichtigen ist, daß zur
Realisierung einer zuverlässigen Schraubverbindung ein
definiertes Anzugdrehmoment erforderlich ist, durch welches
eine ungewollte Verformung der Spiegelplatte und somit der
Spiegelfläche des deformierbaren Spiegels nicht zuverlässig
zu vermeiden ist. Derartige Verformungen der Spiegelfläche
müssen aufwendig beseitigt werden, was sich auf die
Herstellungskosten eines solchen deformierbaren Spiegels
nachteilig auswirkt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
deformierbaren Spiegel der eingangs genannten Art zu
schaffen, bei welchem der Austausch des mindestens einen
Aktuators einfach, problemlos und zeitsparend möglich und
der Spiegel folglich leicht zu einer universell
einsetzbaren funktionstüchtigen Einheit komplettierbar aber
ebenso leicht auch wieder demontierbar ist.
Diese Aufgabe wird bei einem Spiegel der eingangs genannten
Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden
Teiles des Anspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen
des erfindungsgemäßen deformierbaren Spiegels sind in den
Unteransprüchen gekennzeichnet.
Durch die Ausbildung des/jedes Befestigungselementes aus
einer geeigneten Formgedächtnislegierung, die bei normaler
Betriebstemperatur das Befestigungsorgan am zugehörigen,
von der Rückenfläche der Spiegelplatte wegstehenden Zapfen
durch radial wirkende Druckkraft fixiert bzw. bei einer
unter der normalen Betriebstemperatur liegenden zweiten
Temperatur die besagte Fixierung aufhebt und bei einer über
der normalen Betriebstemperatur liegenden dritten
Temperatur die besagte Fixierung wieder bewirkt, ist es
durch entsprechende Temperatureinwirkung auf das besagte
Befestigungselement auf einfache Weise möglich, die
mechanische Verbindung zwischen Zapfen und zugehörigem
Befestigungsorgan zu lösen, um z. B. einen
materialermündeten Aktuator durch einen ungebrauchten neuen
Aktuator zu ersetzen, ohne daß hierbei eine Beschädigung
der Spiegelplatte zu befürchten ist.
Als zweckmäßig hat es sich hierbei erwiesen, wenn das/jedes
Befestigungselement als offener Ring bzw. als offene Kammer
aus einer geeigneten Formgedächtnislegierung ausgebildet
ist. Derartige Formgedächtnislegierungen sind:
beispielsweise in der DE-Z "Magazin neue Wirkstoffe" 1/87,
Seiten 20 bis 22, in der Zeitschrift "JEE", February 1984,
Seiten 96 ff oder in der Firmenzeitschrift der Firma G. Rau
GmbH & Co. "Gedächtnis-Effekt und technisch anwendbare
Legierungen" beschrieben, so daß es entbehrlich ist,
hierauf detaillierter einzugehen. Die besagten
Formgedächtnislegierungen ergeben aufgrund einer
thermoelastischen Gefügeumwandlung zwischen austenitischem
und martensitischem Gefüge nach einer entsprechenden
mechanischen Behandlung eine entsprechende
temperaturabhängige Gestaltsänderung. Durch eine
entsprechende Temperaturänderung kann folglich zwischen
zwei unterschiedlichen Formzuständen des entsprechenden
Befestigungselementes hin- und hergeschaltet werden. Zur
mechanischen Fixierung des Befestigungsorgans am
zugehörigen Zapfen der Spiegelplatte wird hierbei das
sogenannte unterdrückte Formgedächtnis (constrained
recovery) ausgenutzt. Wird eine im martensitischen Zustand
verformtes Befestigungselement daran gehindert, bei einer
Erwärmung über die sogenannte Austenit-Starttemperatur in
ihre ursprüngliche Gestalt zurückzukehren, so spricht man
von dem oben erwähnten unterdrücken Formgedächtnis.
Insbesondere bei einem Befestigungselement aus einer NiTi-
Legierung hat sich hierbei gezeigt, daß durch das besagte
unterdrückte Formgedächtnis eine erhebliche Fixierkraft
erzeugt werden kann.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich
aus der nachfolgenden Beschreibung eines in der Zeichnung
dargestellten Ausführungsbeispieles des erfindungsgemäßen
deformierbaren Spiegels. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen sogenannten
einkanaligen deformierbaren Spiegel,
Fig. 2 das Detail II in Fig. 1 halbseitig
geschnitten, wobei der Aktuator abschnittweise
gezeichnet ist und auf die Darstellung des von
der Rückenfläche der Spiegelplatte wegstehenden
Zapfens und auf die Darstellung der Hülse des
Aktuators verzichtet worden ist,
Fig. 3 eine Ansicht des Befestigungsorganes und des
Befestigungselementes in Blickrichtung des
Pfeiles III gem. Fig. 2 von unten,
Fig. 4 eine Diagrammdarstellung der Abhängigkeit des
Durchmessers des Befestigungselementes aus
einer geeigneten Formgedächtnislegierung in
Abhängigkeit von der Temperatur T der
Formgedächtnislegierung,
Fig. 5 eine Seitenansicht der Hülse eines Aktuators,
wobei eine die Hülse umgebende Umhüllung nur
abschnittweise angedeutet ist,
Fig. 6 einen Schnitt entlang der Schnittlinie VI-VI in
Fig. 5,
Fig. 7 einen Schnitt entlang der Schnittlinie VII-VII
in Fig. 5, und
Fig. 8 einen Längsschnitt durch die Hülse gem. Fig. 5,
wobei die die Hülse abdichtend umgebende
Umhüllung wiederum nur abschnittweise
gezeichnet ist.
Fig. 1 zeigt in einem Längsschnitt einen deformierbaren
Spiegel 10 mit einer Spiegelplatte 12, die mit ihrem
Umfangsrand 14 an einem Gehäuse 16 festgelegt ist. Das
Gehäuse 16 ist auf der von der Spiegelplatte 12 entfernten
Seite mittels eines Deckels 18 verschlossen.
Die Spiegelplatte 12 ist auf ihrer von der stirnseitigen
Spiegelfläche 20 abgewandten Rückenfläche 22 mit mindestens
einem Zapfen 24 ausgebildet, der von der Rückenfläche 22
der Spiegelplatte 12 einstückig wegsteht.
Im Gehäuse 16 ist mindestens ein Aktuator 26 vorgesehen,
der mit der Spiegelplatte 12 wirkverbunden ist, um die
Spiegelplatte 12 wunschgemäß zu verwölben und auf diese
Weise eine Strahlbeeinflussung des an der Spiegelfläche 20
reflektierten Strahles, insbes. Laserstrahles, zu
bewerkstelligen. Der/jeder Aktuator 26 weist eine Vielzahl
ringförmiger Piezoelemente auf, die zu einer Säule 30
übereinandergestapelt und elektrisch parallel geschaltet
sind, was durch die Bögen 32 schematisch angedeutet ist.
Wird an die Piezoelemente 28 eine entsprechende elektrische
Spannung angelegt, so ergibt sich eine entsprechende
Dickenänderung der Piezoelemente 28 und somit eine Änderung
der axialen Abmessung der Säule 30, die zwischen einem
Widerlagerelement 34 des Deckels 18 und einem an den Zapfen
24 formmäßig angepaßten Befestigungsorgan 36 angeordnet ist.
Durch die ringförmigen Piezoelemente 28 wird zwischen dem
Widerlagerelement 34 und dem Befestigungsorgan 36 ein
zentraler Hohlraum 38 festgelegt, in den ein zentrales
Kühlrohr 40 hineinsteht, das sich durch das
Widerlagerelement 34 und durch den Deckel 18 aus dem
deformierbaren Spiegel 10 herauserstreckt. Durch das
besagte zentrale Kühlrohr 40 wird ein Abflußkanal 42 für
ein Kühlmedium gebildet. Das Widerlagerelement 34 ist
außerdem mit einem Zuflußkanal 44 für das Kühlmedium
ausgebildet, der in dem in Fig. 1 gezeichneten
Ausführungsbeispiel des deformierbaren Spiegels 10 in den
zentralen Hohlraum 38 einmündet. Durch den Zuflußkanal 44
kann in den zentralen Hohlraum 38 z. B. flüssiger Stickstoff
eingeleitet werden, was in Fig. 1 durch den Pfeil 46
angedeutet ist. Das Kühlmedium füllt den zentralen Hohlraum
38 und strömt durch das zentrale Kühlrohr 40, d. h. durch
den Abflußkanal 42 wieder aus dem deformierbaren Spiegel 10
aus, was in Fig. 1 durch den Pfeil 48 angedeutet ist. Sinn
und Zweck des Kühlmediums wird weiter unten in Verbindung
auch mit den Fig. 2, 3 und 4 beschrieben.
Das Befestigungsorgan 36 weist einen Boden 50 und einen vom
Boden 50 einteilig wegstehenden geschlitzten Kragen 52 auf,
wobei der Innendurchmesser des Kragens 52 an den
Außendurchmesser des von der Rückenfläche 22 der
Spiegelplatte 12 wegstehenden Zapfens 24 angepaßt ist. Auf
der Außenseite des geschlitzten Kragens 52 ist ein
Befestigungselement 54 angeordnet, das aus einer geeigneten
Formgedächtnislegierung besteht und als offener Ring
ausgebildet ist, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist. Aus Fig.
3 ist auch der mit Schlitzen 56 ausgebildete Kragen 52
ersichtlich.
Die Wirkungsweise des als offener Ring bzw. als offene
Klammer ausgebildeten Befestigungselementes 54 aus einer
geeigneten Formgedächtnislegierung wird weiter unten in
Verbindung mit Fig. 4 erläutert.
Fig. 1 und insbesondere Fig. 2 verdeutlichen die
Ausbildung des Befestigungselementes 54 mit einer
elektrischen Widerstandsheizung 58, die mit
Anschlußleitungen 60 verbunden ist, wobei die
Anschlußleitungen 60 - wie aus Fig. 1 zu erkennen ist -
mit aus dem Deckel 18 vorstehenden Kontaktelementen 62
elektrisch leitend verbunden sind. Mit Hilfe der
elektrischen Widerstandsheizung 58 ist es möglich, daß
einseitig offene Befestigungselemente 54 auf eine über
Raumtemperatur TR liegende zweite Temperatur T2,1 bzw. T2,2
zu erhitzen (sh. Fig. 4). T2,1 bezeichnet die Temperatur,
bei welcher das Metallgefüge der Formgedächtnislegierung
des Befestigungselementes 54 austenitisch zu werden
beginnt. T2,2 bezeichnet die Temperatur, bei welcher das
gesamte Gefüge der Formgedächtnislegierung austenitisch
ist. T3,1 bezeichnet in Fig. 4 eine unter der
Raumtemperatur TR liegende dritte Temperatur, bei welcher
das Kristallgefüge der Formgedächtnislegierung des
Befestigungselementes 54 beginnt martensitisch zu werden,
und T3,2 bezeichnet die dritte Temperatur unter der
Raumtemperatur TR, bei welcher das gesamte Kristallgefüge
der Formgedächtnislegierung des Befestigungselementes 54
martensitisch ist. Aus Fig. 4 wird deutlich, daß es durch
die Einwirkung einer entsprechenden Temperatur T einfach
möglich ist, den Durchmesser D des Befestigungselementes 54
zwischen einem Durchmesser D1 und einem im Vergleich hierzu
kleineren Durchmesser D2 hin- und herzuschalten.
Um das Befestigungsorgan 36 (sh. Fig. 1), d. h. seinen
geschlitzten Kragen 52 an dem von der Spiegelplatte 12
wegstehenden Zapfen 24 zu fixieren, wird das einseitig
offene Befestigungselement 54, das bei Raumtemperatur TR
den Durchmesser D1 (sh. Fig. 4) aufweist, mit Hilfe der
elektrischen Widerstandsheizung 58 auf die Temperatur T2,2
erhitzt, so daß sich der Durchmesser des
Befestigungselementes 54 auf den Wert D2 reduziert. Für
eine NiTt-Formgedächtnislegierung beträgt die Temperatur
T2,2 ca. 160°C. Durch die kurzzeitige Erhitzung des
Befestigungselementes 54 auf die Temperatur T2,2 ergibt
sich also eine Verkleinerung des Durchmessers D des
Befestigungselementes auf den Wert D2 bis die Abmessungs-
bzw. Passungstoleranzen zwischen dem Zapfen 24 und dem
geschlitzten Kragen 52 überbrückt bzw. eliminiert sind. Die
Fixierung zwischen geschlitztem Kragen 52 des
Befestigungsorganes 36 und dem Zapfen 24 mittels des
Befestigungselementes 54 wird dabei durch Unterdrückung der
Formänderung bewirkt. Bei einer Abkühlung des
Befestigungselementes 54 von der Temperatur T2,2 auf
Raumtemperatur TR, d. h. bei einer Abkühlung auf die normale
Betriebstemperatur des deformierbaren Spiegels 10 wird der
reduzierte verkleinerte Durchmesser D2 aufrechterhalten und
die durch diese Schrumpfung bedingte radiale Druckkraft vom
Befestigungselement 54 auf den geschlitzten Kragen 52 und
den Zapfen 24 übertragen, so daß das Befestigungsorgan 36
am Zapfen 24 fixiert ist.
Wenn ein Aktuator 26 durch einen ungebrauchten neuen
Aktuator 26 ersetzt werden soll, wird das
Befestigungselement 54 von Raumtemperatur TR auf die
Temperatur T3,1 (sh. Fig. 4) abgekühlt, die für eine NiTi-
Gedächtnislegierung bei Größenordnungsmäßig minus 60°C
liegt. Bei dieser Temperatur T3,1 beginnt die
Gefügeumwandlung zum martensitischen Gefüge und die
Aufhebung der Fixierungskraft zwischen dem
Befestigungsorgan 36 und dem Zapfen 24. Wird das
Befestigungselement 54 weiter auf die Temperatur T3,2
abgekühlt, die für die besagte NiTi-Gedächtnislegierung bei
ca. -150°C liegt, so erfolgt eine Vergrößerung des
Durchmessers des Befestigungselementes von D2 auf D1, d. h.
eine vollständige Öffnung des Befestigungselementes 54 und
eine Eliminierung der radial wirkenden Druckkraft vom
Befestigungselement 54 über den geschlitzen Kragen 52 zum
Zapfen 24, so daß der Aktuator 26 problemlos vom Zapfen 24
entfernt werden kann. Die Abkühlung des
Befestigungselementes 54 auf die Temperatur T3,1 bzw. T3,2
erfolgt durch Einleiten flüssigen Stickstoffs (Pfeil 46 in
Fig. 1) in den zentralen Hohlraum 38, wobei durch das
Befestigungsorgan 36 eine entsprechende Kälteleitung zum
Befestigungselement 54 erfolgt. Auf diese Weise wird
gleichzeitig eine Beschädigung des Befestigungselementes 54
bzw. der an ihm vorgesehenen elektrischen
Widerstandsheizung 58 durch Kälteschock vermieden.
Der/jeder Aktuator 26 ist mit einer Hülse 64 ausgebildet,
welche die Säule 30 aus Piezoelementen 28 umgibt. Die Hülse
64 ist mit ihrem einen Endabschnitt am Widerlagerkörper 34
und mit ihrem zweiten Endabschnitt am Befestigungsorgan 36
festgelegt. Aus den Fig. 5 bis 8 ist zu ersehen, daß die
Hülse 64 mit Querschlitzen 66 und 68 ausgebildet und auf
diese Weise in ihrer axialen Abmessung entsprechend der
jeweiligen axialen Abmessung der Säule 30 aus
Piezoelementen 28 veränderbar ist. Die Querschlitze 66 und
die Querschlitze 68 sind in Umfangsrichtung der Hülse 64
gegeneinander um 90 Winkelgrad versetzt. Um eine derartige,
in ihrer axialen Abmessung veränderbare Hülse 64
abzudichten, ist sie von einer nachgiebigen dichten
Umhüllung 68 bedeckt, die am ersten und zweiten
Endabschnitt der Hülse 64 eng und abdichtend anliegt. Bei
dieser Umhüllung 68 handelt es sich beispielsweise um einen
handelsüblichen Schrumpfschlauch. Eine solche Hülse 64 mit
Umhüllung 68 dient nicht nur zum Schutz der Säule 30 aus
Piezoelementen 28 gegen mechanische Beschädigungen od.
dgl., sondern auch dazu, den Aktuator 26 nach außen hin
abzudichten und dadurch zuverlässig zu verhindern, daß
Kühlmedium ungewollt aus dem Aktuator 26 in den durch das
Gehäuse 16 und die Spiegelplatte 12 sowie den Deckel 18
umschlossenen Innenraum 70 des deformierbaren Spiegels 10
eindringt.
Fig. 2 zeigt ein am Befestigungselement 54 vorgesehenes
Thermoelement 72, von dem Anschlußleitungen 74 wegstehen,
die wie die Anschlußleitungen 60 der elektrischen
Widerstandsheizung 58 mit aus dem Deckel 18 vorstehenden,
(nicht dargestellten) Anschlußleitungen ähnlich den
Anschlußleitungen 62 verbunden sind. Das Thermoelement 72
dient zur Bestimmung der jeweiligen Temperatur T des
Befestigungselementes 54 und somit zur Bestimmung des
Dimensions-Zustandes desselben.
In den Figuren sind gleiche Einzelheiten jeweils mit den
selben Bezugsziffern bezeichnet, so daß es sich erübrigt,
in Verbindung mit den einzelnen Figuren alle Einzelheiten
jeweils detailliert zu beschreiben.
Claims (10)
1. Deformierbarer Spiegel mit einer Spiegelplatte (12),
von deren Rückenfläche (22) mindestens ein Zapfen
(24) zur Befestigung eines zugehörigen Aktuators (26)
wegsteht, der mit einem an den Zapfen (24) formmäßig
angepaßten Befestigungsorgan (36) ausgebildet zur
wunschgemäßen Wölbung der Spiegelplatte (12)
vorgesehen ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß am Befestigungsorgan (36) des/jedes Aktuators
(26) ein Befestigungselement (54) aus einer
geeigneten Formgedächtnislegierung vorgesehen ist,
wobei das Befestigungselement (54) bei normaler
Betriebstemperatur (TR) das Befestigungsorgan (36) am
zugehörigen Zapfen (24) durch radial wirkende
Druckkraft fixiert bzw. bei einer zweiten Temperatur
(T3,1; T3,2) unter der normalen Betriebstemperatur
die besagte Fixierung aufgehoben und bei einer über
der normalen Betriebstemperatur (TR) liegenden
dritten Temperatur (T2,1; T2,2) die besagte Fixierung
gegeben ist.
2. Spiegel nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das/jedes Befestigungselement (54) ein offener
Ring bzw. eine offene Klammer aus einer
Zweiwegeffekt-Formgedächtnislegierung ist.
3. Spiegel nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß das/jedes Befestigungselement (54) aus einer
NITI-Legierung besteht.
4. Spiegel nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das/jedes Befestigungselement (54) zum Erhitzen
auf die dritte Temperatur (T2,1; T2,2) mit einer
elektrischen Widerstandsheizung (58) versehen ist.
5. Spiegel nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Widerstandsheizung (58) als Heizfolie
ausgebildet ist, die am Befestigungselement (54)
flächig festgelegt ist.
6. Spiegel nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der/jeder Aktuator (26) eine Anzahl Piezoelemente
(28) aufweist, die zu einer Säule (30)
übereinstandergestapelt und elektrisch parallel
geschaltet sind, wobei die Piezoelement-Säule (30)
zwischen einem Widerlagerelement (34) und dem
Befestigungsorgan (36) vorgesehen ist.
7. Spiegel nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Widerlagerelement (34) mit einem Zufluß- und
einen Abflußkanal (44, 42) für ein zum Abkühlen des
Befestigungsorganes (54) auf eine die Fixierung
aufhebende zweite Temperatur (T3,1; T3,2)
vorgesehenes Kühlmedium ausgebildet ist.
8. Spiegel nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Piezoelemente-Säule (30) von einer in ihrer
Hülse (64) umgeben ist, die mit ihrem einen
Endabschnitt am Widerlagerelement (34) und mit ihrem
davon entfernten zweiten Endabschnitt am
Befestigungsorgan (36) festgelegt ist.
9. Spiegel nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hülse (64) mit axial voneinander
beabstandeten Querschlitzen (66, 67) ausgebildet ist,
wobei benachbarte Querschlitze (66, 67) gegeneinander
in Umfangsrichtung der Hülse (64) versetzt sind.
10. Spiegel nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hülse (64) von einer nachgiebigen dichten
Umhüllung (68) umgeben ist, die am ersten und zweiten
Endabschnitt der Hülle (64) abdichtend anliegt.
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