DE4202944A1 - Verfahren und vorrichtung zum erwaermen eines materials - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum erwaermen eines materialsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erwärmen eines Materials, das für
Lichtwellenlängen im Wellenlängenbereich unterhalb 2500 nm eine relativ
niedrige Absorption und im Wellenlängenbereich von oberhalb 2500 nm Bereiche
mit relativ hoher Absorption aufweist, mittels mindestens eines Heizstrahlers,
wobei die vom Heizstrahler ausgehende Primärstrahlung auf das zu erwarmende
Material gerichtet und der darin nicht absorbierte Anteil als Reststrahlung
zum Erwärmen des Materials nutzbar gemacht wird.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des
Verfahrens, bei der zum Erwärmen eines Materials, das für Lichtwellenlängen im
Wellenlängenbereich unterhalb 2500 Nm eine relativ niedrige Absorption und im
Wellenlängenbereich oberhalb 2500 nm Bereiche mit relativ hoher Absorption
aufweist, mit mindestens einem Heizstrahler und mit mindestens einem, in
Hauptabstrahlrichtung der vom Heizstrahler ausgehenden Strahlung gesehen, dem
Heizstrahl er nachgeordneten und von diesem beabstandeten, großflächig
ausgebildeten Sekundärstrahler.
Ein derartiges Verfahren sowie eine Vorrichtung zu seiner Durchführung sind
beispielsweise aus der OS-PS 47 89 771 bekannt. Bei der bekannten Vorrichtung
handelt es sich um einen aus oberer und unterer Kammer bestehenden Reaktor zur
axial-symmetrischen Beschichtung von Substraten unter Wärmeeinwirkung. Als
Wärmequellen sind innerhalb des Reaktors mehrere, parallel zueinander
verlaufende Heizstrahler-Röhren angeordnet. Zur Erzielung einer gleichmäßigen
Temperatur-Beaufschlagung des zu erwärmenden Substrates innerhalb des Reaktors
sind die Reaktorinnenwände mit einer reflektierenden Beschichtung versehen.
Die Deckenfläche und die Bodenfläche des Reaktors sind mit einer diffus
reflektierenden Schicht, deren Reflektivität im Bereich um 0,95 liegt und die
Seitenwände des Reaktors mit einer diffus- oder mit einer spiegelnd
reflektierenden Schicht, wobei die Reflektivität der zuletzt genannten Schicht
größer als 0,95 ist, beschichtet. Als beispielhafte Ausführungsform wird ein
Reaktor beschrieben, bei dem in der oberen Kammer Heizstrahler vorgesehen
sind, die das zu erwärmende Substrat erwärmen, wobei die vom Substrat nicht
absorbierte Strahlung in der unteren Kammer reflektiert wird. Hierfür ist im
Bodenbereich der unteren Kammer eine kreisförmige, diffus reflektierende
Fläche, mit einer Reflektivität um 0,8, vorgesehen. Durch die Ausbildung des
Reaktors mit reflektierenden Innenflächen wird erreicht, daß die von den
Heizstrahlern ausgehende und zur Erwärmung des Substrates nicht genutzte
Strahlung reflektiert und so zur weiteren Erwärmung des Substrates wieder
nutzbar gemacht wird. Durch die diffuse Reflexion wird eine punktförmige oder
eine andere bevorzugte Erhitzung von Bereichen innerhalb des Reaktors
vermieden und die Strahlungsenergie im Innenraum des Reaktors gleichmäßig
verteilt.
Aus der EP-A2 1 33 847 ist ein Durchlaufofen zum kontinuierlichen Erwärmen von
Material bekannt, bei dem in einer Reflektoreinheit einer Vielzahl
rohrförmiger, parallel zueinander verlaufender Heizstrahler ein
plattenförmiger Reflektor, auf ihrer, der Hauptabstrahlrichtung abgewandten
Seite zugeordnet ist. Der Reflektor, der aus keramischen Fasermaterial
besteht, und eine Reflektivität von ca. 85% aufweist, wirkt dabei
selbstreinigend, indem auf der erhitzten Reflektoroberfläche vorhandene
Verunreinigungen verbrannt werden. Der bekannte Durchlaufofen weist zwei
derartige, sich parallel gegenüberstehende Reflektoreinheiten auf, zwischen
denen ein im rechten Winkel zu den Reflektoreinheiten verlaufendes
Transportband mit dem zu erwärmenden Gut angeordnet ist.
Beim Erwärmen eines Materials, das im Wellenlängenbereich bis 2500 nm eine
relativ niedrige Absorption aufweist, stellt sich das Problem der Anpassung
der Strahlungs- Wellenlänge des verwendeten Heizstrahlers an das
Absorptionsverhalten des zu erhitzenden Materials. Wird ein an die Absorption
des zu erwärmenden Materials angepaßter Heizstrahler eingesetzt, dessen
Strahlung eine Hauptwellenlänge im Bereich oberhalb von 2500 nm aufweist, dann
absorbiert zwar das zu erwärmende Material die Strahlung und erwärmt sich
dadurch, andererseits ist das Aufheiz- und Abkühlverhalten derartiger Strahler
Jedoch sehr langsam, so daß schnelle Temperaturwechsel damit nicht zu
bewerkstelligen sind. So liegen beispielsweise bei den sogenannten
"langwelligen Strahlern", deren Strahlung eine Hauptwellenlänge im Bereich
oberhalb von 2800 nm aufweist, die Aufheiz- und Abkühlraten im Minutenbereich.
Wegen des daraus resultierenden trägen Temperaturwechselverhaltens sind
insbesondere beim Erwärmen temperaturempfindlicher Materialien, beispielsweise
einer Folienbahn, in einem Durchlaufofen, sehr aufwendige Schutzmaßnahmen
erforderlich, die es bei einem unerwarteten Stillstand des Transportbandes
bzw. der Folienbahn ermöglichen, das temperaturempfindliche Material vor der
weiteren Einwirkung des Heizstrahlers zu schützen. Bei dem Durchlaufofen gemäß
der EP-A2 01 33 847 ist zu diesem Zweck ein Schwenkmechanismus vorgesehen, der
es erlaubt, die mit den Heizstrahlern bestückten Reflektoreinheiten des
Durchlaufofens von dem zu erwärmenden Material zu entfernen.
Wird dagegen ein Strahler eingesetzt, der zwar ein schnelles Aufheizen und
Abkühlen ermöglicht, beispielsweise ein sogenannter "kurzwelliger Strahler",
dessen Strahlungs-Wellenlänge aber üblicherweise um 1200 nm und damit
außerhalb des Wellenlängenbereiches liegt, in dem das zu erhitzenden Material
eine relativ hohe Absorption aufweist, so erweist sich der Wirkungsgrad der
vom Strahler abgegebenen zu der vom Material aufgenommenen und zur Erhitzung
bei tragenden Energie als relativ niedrig. Die verschlechterte
Energieausnutzung erfordert wiederum längere Aufheizzeiten, so daß
beispielsweise bei einem Durchlaufofen entweder die Durchlaufgeschwindigkeit
des zu erwärmenden Materials durch den Ofen verlangsamt oder der Ofen
entsprechend verlängert werden muß. Durch die Ausbildung des Durchlaufofens
mit reflektierenden Innenflächen kann zwar die nicht absorbierte Strahlung
mehrmals auf das zu erwärmende Material reflektiert und so erneut für das
Aufheizen des Materials nutzbar gemacht werden; die Herstellung und die
Wartung derartiger Kammern mit reflektierenden Innenwänden ist zudem sehr
aufwendig. Außerdem werden sämtliche Begrenzungswände unvermeidlich
miterwärmt, so daß die gesamte Heizeinrichtung relativ träge auf
Temperaturwechsel reagiert.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs angegebene
Verfahren so zu verbessern, daß bei einem guten Wirkungsgrad schnelle
Temperaturwechsel ermöglicht werden und, ausgehend von der gattungsgemäßen
Vorrichtung, eine einfache und kompakte Vorrichtung zur Durchführung des
Verfahrens anzugeben.
Die Aufgabe wird hinsichtlich des Verfahrens dadurch gelöst, daß die
Reststrahlung von einem, eine niedrige Wärmekapazität aufweisenden
Strahlungswandler absorbiert und aus dem Strahlungswandler eine
Sekundärstrahlung mit einem Wellenlängenbereich emittiert wird, der gegenüber
dem der Primärstrahlung verschoben ist und der durch Anpassen der Temperatur
des Strahlungswandlers so eingestellt wird, daß er mit einem Bereich relativ
hoher Absorption des zu erwärmenden Materials überlappt. Durch die Absorption
der Reststrahlung im Strahlungswandler nimmt dessen Energiegehalt zu. Dabei
ist die Energieausbeute umso besser, je vollständiger die Absorption für die
Rest- bzw. für die Primärstrahlung ist. Der Strahlungswandler erwärmt sich
dadurch und emittiert seinerseits eine Sekundärstrahlung mit einem
Wellenlängenbereich, der gegenüber demjenigen der Reststrahlung zu längeren
Wellenlängen hin verschoben ist. Durch die Emission der Sekundärstrahlung
nimmt der Energiegehalt des Strahlungswandlers ab. Im Gleichgewicht zwischen
Absorption der Restrahlung und Emission der Sekundärstrahlung stellt sich auf
der Oberfläche des Strahlungswandlers eine Gleichgewichtstemperatur ein, die
den emittierten Wellenlängenbereich der Sekundärstrahlen maßgeblich bestimmt.
Durch Verändern der Temperatur des Strahlungswandlers ist es möglich, den
Wellenlängenbereich der Sekundärstrahlung so einzustellen, daß er mit einem
Wellenlängenbereich relativ hoher Absorption des zu erhitzenden Materials
überlappt. Hierdurch ist es somit möglich, den Energiegehalt der vom
Heizstrahler emittierten Primärstrahlung, die von dem zu erwärmenden Material
nicht oder nur wenig absorbiert wird, in eine Sekundärstrahlung umzuwandeln,
deren Wellenlängenbereich an das Absorptionsverhalten des zu erwärmenden
Materials angepaßt ist und dadurch im zu erwärmenden Material besser
absorbiert wird als der Wellenlängenbereich der Primärstrahlung.
Die vom Strahlungswandler speicherbare Strahlungsenergie ist umso geringer, je
niedriger die Wärmekapazität des Strahlungswandlers ist. Ein Strahlungswandler
mit niedriger Wärmekapazität kühlt deshalb relativ schnell ab, sobald die
Absorption der Reststrahlung, beispielweise durch ein Abschalten des
Heizstrahlers, unterbrochen wird. Umgekehrt heizt er sich, sobald die
Absorption einsetzt, schnell auf. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren sind
daher schnelle Temperaturwechselvorgänge realisierbar. Je niedriger die
Wärmekapazität des Strahlungswandlers ist, umso schneller kann bei ansonsten
gleichen Bedingungen ein Temperaturwechsel erfolgen. Eine niedrige
Wärmekapazität kann durch den Einsatz eines Materials mit niedriger
spezifischer Wärmekapazität und/oder durch ein geringes Volumen des
Strahlungswandlers erreicht werden.
Hinsichtlich eines guten Wirkungsgrades des Verfahrens hat es sich bewährt,
die Temperatur des Strahlungswandlers zu regeln. Dabei hat es sich als
vorteilhaft erwiesen, die Temperatur des Strahlungswandlers im Gleichgewicht
zwischen der Energieaufnahme durch die Absorption der Reststrahlung im
Strahlungswandler und der Energieabgabe durch die Emission der Wärmestrahlung,
einzustellen. Besonders einfach gestaltet sich ein Verfahren, bei dem die
Temperatur des Strahlungswandlers durch Verändern der Energie der
Primärstrahlung eingestellt wird. Dabei kann die Temperatur des
Strahlungswandlers gemessen und die gemessene Abweichung von der
Solltemperatur als Regelparameter für die Leistung der Heizstrahlers verwendet
werden. Dadurch ist es möglich den Wellenlängenbereich der Sekundärstrahlung
konstant zu halten, was sich insbesondere beim Erwärmen von Material, das in
einem nur schmalen Wellenlängenbereich oberhalb von 1500 nm ausreichend
absorbiert, bewährt hat.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, ein Material für den Strahlungswandler
zu wählen, das für die Reststrahlung einen Absorptionskoeffizienten von mehr
als 0,5, insbesondere zwischen 0,8 und 1 aufweist.
Für das erfindungsgemäße Verfahren hat es sich als besonders günstig erwiesen,
als Primärstrahlung eine Strahlung auszuwählen, deren Hauptwellenlänge im
Bereich zwischen 500 nm und 2800 nm, insbesondere eine kurzwellige Strahlung
mit einer Hauptwellenlänge im Bereich zwischen 1000 nm und 2000 nm auszuwählen.
Eine derartige Primärstrahlung zeichnet sich insbesondere durch eine sehr
schnelle Aufheiz- und Abkühlcharakteristik aus, so daß damit schnelle
Temperaturwechselvorgänge realisierbar sind.
Hinsichtlich der Vorrichtung wird die oben angegebene Aufgabe, ausgehend von
der bekannten Vorrichtung, dadurch gelöst, daß der Sekundärstrahler als
Strahlungswandler ausgebildet ist, in dem die Wellenlänge der vom Heizstrahler
ausgehenden Strahlung absorbiert und von dem eine Sekundärstrahlung emittiert
wird, deren Wellenlängenbereich mit einem Bereich relativ hoher Absorption des
zu erwärmenden Materials überlappt.
Durch die Ausbildung des Sekundärstrahlers als Strahlungswandler, in dem die
Wellenlänge der vom Heizstrahler ausgehenden Strahlung in einen
Wellenlängenbereich verschoben wird, der mit einem Bereich relativ hoher
Absorption des zu erhitzenden Materials überlappt, wird, und zwar im
wesentlichen unabhängig von der Wellenlänge der vom Heizstrahler ausgehenden
Strahlung, eine Umwandlung der vom Heizstrahler abgegebenen und nicht oder nur
wenig absorbierbaren Strahlung in eine von dem zu erwärmenden Material
absorbierbare Strahlung erreicht. Dadurch wird die vom Heizstrahler abgebene
Strahlungsenergie besser ausgenutzt und der Wirkungsgrad erhöht. Der
Wellenlängenbereich, der vom Strahlungswandler abgegebenen Sekundärstrahlung
ist unabhängig vom Wellenlängenbereich der vom Heizstrahler abgegebenen
Strahlung und hängt nur von der Temperatur der Oberfläche des
Strahlungswandlers ab. Infolgedessen sind als Heizstrahler auch solche
Heizstrahler einsetzbar, deren Strahlung einen Wellenlängenbereich aufweist,
der vom zu erwärmenden Material nicht absorbiert wird. Der Heizstrahler muß
daher nicht im Hinblick auf die Absorption des zu erwärmenden Materials
ausgewählt werden, sondern kann hinsichtlich anderer Eigenschaften
beispielsweise seines Aufheiz- oder Abkühlverhaltens optimiert werden.
Dadurch, daß der Sekundärstrahler dem Heizstrahler in Hauptabstrahlrichtung
nachgeordnet und von diesem beabstandet ist, wird erreicht, daß das zwischen
dem Heizstrahler und dem Strahlungswandler befindlichen Material von der vom
Heizstrahler ausgehenden Strahlung erwärmt wird, wobei jedoch, je nach
Absorptionsgrad ein Teil der Strahlung durch das Material hindurch tritt und
auf den Strahlungswandler trifft. Dieser wiederum heizt sich durch die
Absorption der vom Heizstrahler ausgehenden Strahlung auf und emittiert eine
Sekundärstrahlung, deren Wellenlängenbereich mit einem Bereich relativ hoher
Absorption des zu erwärmenden Materials überlappt.
Besonders geeignet zur Ausbildung des Strahlungswandlers sind Materialien,
deren Absorptionskoeffizient für die vom Strahler ausgehende Strahlung
zwischen 0,5 und 1, insbesondere zwischen 0,8 und 1 liegt. Es haben sich
hierbei insbesondere Strahlungswandler bewährt, deren Oberfläche schwarz
eingefärbtes Aluminium oder miteinander vernetzte oder verfilzte keramische
Fasern aufweist. Dabei handelt es sich um Materialien, die für sichtbare
Strahlung oder für Strahlung aus dem infraroten Bereich undurchlässig sind und
die eine gute Absorption für Strahlung aus diesen Wellenlängenbereichen
aufweisen. Weiterhin zeichnen sich die Materialien durch eine hohe
Temperaturwechselbeständigkeit aus, so daß die Haltbarkeit des
Strahlungswandlers auch bei häufigen Temperaturwechseln gewährleistet wird.
Insbesondere im Hinblick auf schnelle Temperaturwechsel wird eine Vorrichtung
bevorzugt, bei der der Strahlungswandler aus einem Material besteht, dessen
spezifische Wärmekapazität niedrig ist.
Als besonders vorteilhaft haben sich Strahlungswandler mit einer unebenen
Oberfläche, insbesondere solche mit einer geprägten Oberfläche erwiesen.
Derartig ausgebildete Strahlungswandler-Oberflächen behindern insbesondere die
Gasströmung entlang dieser Oberflächen, vermindern die Konvektions-Kühlung der
Oberflächen und erhöhen damit den Wirkungsgrad des Strahlungswandlers.
Als besonders vorteilhaft haben sich Strahlungswandler erwiesen, die mit einer
Temperaturmeßvorrichtung versehen sind. Dadurch ist es möglich, die Temperatur
des Strahlungswandlers während des Betriebes der Vorrichtung ständig zu
kontrollieren und gegebenenfalls bei einer Abweichung von der Soll-Temperatur
zu korrigieren. Dies gewährleistet die Einhaltung der vom Strahlungswandler
abzugebenden Strahlungs-Wellenlänge und kann eine Verschlechterung des
Wirkungsgrades während des Betriebes der Vorrichtung verhindern. Insbesondere
ist hierfür ein Strahlungswandler vorteilhaft, der mit einer Regelvorrichtung
versehen ist. Die Regelvorrichtung kann eine Einrichtung zur kontinuierlichen
Messung des Strahlungswandlers, beispielsweise ein Thermoelement oder ein
Pyrometer umfassen, mit dem die Abweichung der Ist-Temperatur des
Strahlungswandlers von der Soll-Temperatur ständig erfaßt und die als
Regelparameter für die Energiezufuhr für den oder die Heizstrahler verwendet
wird. Dadurch läßt sich die Temperatur und damit der vom Strahlungswandler als
Sekundärstrahlung emittierte Wellenlängenbereich besonders genau einstellen
und einhalten. Dies ist besonders vorteilhaft bei Materialien, die im
betreffenden Wellenlängenbereich nur einen schmalen Absorptions-Peak aufweisen.
Es hat sich als günstig erwiesen, die Vorrichtung mit einem dünnwandigen
Strahlungswandler auszubilden. Hierbei haben sich insbesondere
Strahlungswandler mit einer Wandstärke zwischen 0,05 mm und 3 mm bewährt.
Durch die dünnwandige Ausbildung wird eine möglichst geringe Wärmekapazität
des Strahlungswandlers angestrebt, so daß von ihm nur eine geringe Wärmemenge
speicherbar ist, beziehungsweise abgegeben werden kann. Dies ermöglicht ein
schnelles Aufheizen bzw. ein rasches Abkühlen des Strahlungswandlers. Dabei
gestaltet sich eine Vorrichtung mit einem plattenförmigen Strahlungswandler
als besonders einfach.
Hinsichtlich eines möglichst großen Wirkungsgrades der Vorrichtung wird eine
Ausbildung der Vorrichtung bevorzugt, bei der die Projektionsfläche des
Strahlungswandlers entgegen der Hauptabstrahlrichtung der vom Heizstrahler
ausgehenden Strahlung, auf eine senkrecht zur Hauptabstrahlrichtung
verlaufende Ebene, die Projektionsfläche des Heizstrahlers auf diese Ebene
umfaßt. Hierdurch wird erreicht, daß mindestens die in Hauptabstrahlrichtung
vom Heizstrahler ausgehende Strahlung auf die Oberfläche des
Strahlungswandlers trifft, sofern sie nicht vom zu erwärmenden Material
absorbiert oder abgelenkt wird.
Weiterhin wird eine Ausführungsform der Vorrichtung bevorzugt, bei der der
Heizstrahler ein kurzwelliger Strahler ist, dessen Strahlung eine
Hauptwellenlänge im Bereich zwischen 1000 nm und 2000 nm aufweist. Kurzwellige
Strahler weisen eine schnelle Aufheiz- und Abkühl-Charakteristik auf, so daß
mit einer Ausbildung der Vorrichtung mit einem derartigen Strahler oder mit
mehreren derartigen Strahlern schnelle Temperaturwechsel möglich sind. Mit
kurzwelligen Strahlern ist zudem ein höherer Wirkungsgrad erreichbar, da sie
relativ viel Strahlung und relativ wenig konvektive Wärme abgeben. Typische
Werte sind 90% Strahlungsenergie und nur 10% Erwärmung der umgebenden
Atmosphäre.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung zur Durchführung des
Verfahrens werden nachfolgend anhand einer Zeichnung beispielhaft erläutert.
Die einzige Figur der Zeichnung zeigt in schematischer Darstellung eine
Vorrichtung zum Aushärten einer Folienbahn.
In der Figur ist mit der Bezugsziffer 1 ein kurzwelliger Infrarotstrahler
bezeichnet, der eine Strahlung mit einer Hauptwellenlänge um 1200 nm abgibt
und der mehrere parallel zueinander verlaufende Strahlerröhren 2 aufweist. Die
Strahlerröhren 2 sind als Zwillingsrohrstrahler ausgebildet und an einer als
Reflektor dienenden Gehäusewand 8 des Infrarotstrahlers 1 befestigt. In
Hauptabstrahlrichtung der Strahlerröhren 2, die mit dem Richtungspfeil 3
gekennzeichnet ist, ist dem Infrarotstrahler 1 ein Strahlungswandler 4
nachgeordnet, der aus miteinander verfilzten Keramikfasern besteht. Dabei
umfaßt die Projektionsfläche des Strahlungswandlers 4 entgegen der
Hauptabstrahlrichtung 3 auf eine senkrecht zur Hauptabstrahlrichtung 3
verlaufende Ebene, die Projektionsfläche des Infrarotstrahlers 1 auf diese
Ebene. Die Temperatur des Strahlungswandlers 4, wird mittels eines
Thermoelementes 5 erfaßt, das sich von der dem Infrarotstrahler 1 abgewandten
Seite des Strahlungswandlers 4 in eine Bohrung bis nahe an die bestrahlte
Oberfläche des Strahlungswandlers 4 erstreckt. Die vom Thermoelement 5
gemessene Temperatur wird in einer Regelvorrichtung 9 mit dem eingestellten
Sollwert verglichen und die Abweichung als Regelparameter für die dem
Infrarotstrahler 1 zuzuführende elektrische Energie verwendet.
Zwischen dem Infrarotstrahler 1 und dem Strahlungswandler 4 befindet sich eine
zu erwärmende Folienbahn 6, die in Richtung des Pfeiles 7 und parallel zur
Oberfläche des Strahlungswandlers 4 verlaufend, zwischen dem
Infrarotstrahler 1 und dem Strahlungswandler 4 hindurchgezogen wird.
Die von dem Infrarotstrahler 1 ausgehende Primärstrahlung mit einer
Hauptwellenlänge um 1200 nm wird in der Folienbahn 6 nur zu einem geringen
Teil absorbiert. Die in der Folienbahn 6 nicht absorbierte Reststrahlung
trifft auf den Strahlungswandler 4, der für diese Strahlung einen
Absorptions-Koeffizienten von ca. 0,95 aufweist und wird dort fast vollständig
absorbiert. Dadurch heizt sich der Strahlungswandler 4 auf und emittiert
seinerseits in Abhängigkeit von seiner Oberflächentemperatur eine
Sekundärstrahlung, deren Wellenlängenbereich gegenüber dem der Primärstrahlung
zu längeren Wellenlängen hin verschoben ist. Dabei wird die Temperatur des
Strahlungswandlers 4 durch die Erwärmung aufgrund der vom Infrarotstrahler l
ausgehenden Strahlung so eingestellt, daß die vom Strahlungswandler 4
emittierte Sekundärstrahlung einen Wellenlängenbereich aufweist, der von der
Folienbahn 6 gut absorbiert wird. Da einerseits als Heizquelle ein
kurzwelliger Infrarotstrahler 1 vorgesehen ist, andererseits der
Strahlungswandler 4 dünnwandig ausgebildet ist und eine geringe spezifische
Wärmekapazität aufweist, sind mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung sehr
schnelle Temperaturwechsel realisierbar.
Weitere Erläuterungen des erfindungsgemäßen Verfahrens und der
erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie einige daraus resultierende Vorzüge können
den nachfolgend dargestellten Meßergebnissen, die Vergleiche zu den bekannten
Verfahren und Vorrichtungen beeinhalten, entnommen werden. Die dabei
verwendeten Bezugsziffern bezeichnen die gleichen Teile, wie sie oben und in
der Figur anhand der entsprechenden Bezugsziffern erläutert sind oder dazu
äquivalente Teile.
Es wurde ein kurzwelliger Infrarotstrahler 1 mit einer Leistung von
108 kW/m2 eingesetzt, dessen Primärstrahlung eine Hauptwellenlänge von etwa
1100 nm aufweist. Der Infrarotstrahler 1 wurde in einem Abstand von 100 mm zu
dem zu erwärmenden Objekt, in diesem Fall einer 1 mm dicken Glasplatte
positioniert. Als Werkstoff für den Strahlungswandler 4 wurde ein
handelsübliches, keramisches Fasermaterial (Handelsname "Kapyrock") gewählt,
das eine rauhe Oberfläche aufweist und das die vom Infrarotstrahler l
abgegebene Strahlung gut absorbiert. Die Messung der Aufheizraten ohne
Strahlungswandler 4 und′ mit verschieden eingefärbten Strahlungswandlern 4
erbrachte das in Tabelle 1 dargestellte Ergebnis. In der Tabelle 1 bedeutet
A: Die Art des eingesetzten Strahlungswandlers
B: Die Temperatur des Strahlungswandlers 4 im Gleichgewicht zwischen absorbierter und emittierter Energie
C: Die Hauptwellenlänge der vom Strahlungswandler 4 emittierten Sekundärstrahlung
D: Die vom Strahlungswandler 4 im Gleichgewicht abgegebene Flächenleistung
E: Die Aufheizrate der Glasplatte bis zu einer Temperatur von 150°C
A: Die Art des eingesetzten Strahlungswandlers
B: Die Temperatur des Strahlungswandlers 4 im Gleichgewicht zwischen absorbierter und emittierter Energie
C: Die Hauptwellenlänge der vom Strahlungswandler 4 emittierten Sekundärstrahlung
D: Die vom Strahlungswandler 4 im Gleichgewicht abgegebene Flächenleistung
E: Die Aufheizrate der Glasplatte bis zu einer Temperatur von 150°C
In einem weiteren Vergleich wurde das zu erwärmende Objekt, nämlich wiederum eine 1 mm dicke Glasscheibe, zum einen beidseitig mit Heizstrahlern, und zwar
mittelwelligen Infrarotstrahlern 1 mit einer Flächenleistung von 36 kW/m2
und einer Hauptwellenlänge von 2600 nm, die mit einem Abstand von 100 mm zu
der Glasplatte angeordnet waren, erwärmt. Zum Vergleich wurde die gleiche
Glasplatte einseitig mit einem kurzwelligen Infrarotstrahler 1, der eine
Flächenleistung von 72 kW/m2 mit einer Hauptwellenlänge von 1600 nm aufweist
und der ebenfalls in einem Abstand von 100 mm zu der Glasplatte angeordnet
war, erwärmt, während auf der gegenüberliegenden Seite der Platte ein
Strahlungswandler 4, nämlich eine Platte aus geschwärzter Mineralwolle,
angeordnet war.
Tabelle 11 zeigt die aus dieser Versuchsanordnung resultierenden Ergebnisse im
Vergleich. Dabei symbolisieren die Großbuchstaben A bis E die gleichen
Parameter wie in der Tabelle I.
Die Ergebnisse der Tabelle I und der Tabelle II belegen, daß beim Erwärmen von
Materialien, wie der im Vergleich verwendeten Glasplatte, die im
Wellenlängenbereich bis 2500 nm eine relativ niedrige Absorption und im
Wellenlängenbereich oberhalb 2500 nm Bereiche mit relativ hoher Absorption
aufweisen, die Kombination eines kurzwelligen Infrarotstrahlers 1 mit einem
Strahlungswandler 4 hinsichtlich der Aufheizgeschwindigkeit des zu erwärmenden
Materials einer Kombination zweier mittelwelliger Infrarotstrahler 1 überlegen
ist.
Weiterhin wurde die Abkühlgeschwindigkeit des bestrahlten Objektes in
Verbindung mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem
Strahlungswandler 4 gemessen. Hierbei wurde als Heizstrahler ein kurzwelliger
Infrarotstrahler 1 mit einer Flächenleistung von 108 kW/m2 in 100 mm Abstand
zu dem Objekt angeordnet. Auf der gegenüberliegenden Seite des zu erwärmenden
Objektes, einer 1 mm starken Glasplatte, in einem Abstand von 100 mm wurde der
Strahlungswandler 4 angeordnet. Die Glasplatte wurde mit dieser Anordnung auf
eine Temperatur von 250°C erwärmt und daraufhin der Infrarotstrahler l
abgeschaltet. Es zeigte sich, daß die anfängliche Abkühlgeschwindigkeit der
Glasplatte bei dieser Anordnung 6,7 K/sek betrug. Dies zeigt, daß mit dem
erfindungsgemäßen Verfallen sowie der Vorrichtung zur Durchführung des
Verfahrens auf einfache Weise sehr hohe Abkühlraten zu erzielen sind.
Claims (22)
1. Verfahren zum Erwärmen eines Materials, das für Lichtwellenlängen im
Wellenlängenbereich unterhalb 2500 nm eine relativ niedrige Absorption
und im Wellenlängenbereich von oberhalb 2500 nm Bereiche mit relativ
hoher Absorption aufweist, mittels mindestens eines Heizstrahlers, wobei
die vom Heizstrahler ausgehende Primärstrahlung auf das zu erwärmende
Material gerichtet und der darin nicht absorbierte Anteil als
Reststrahlung zum Erwärmen des Materials nutzbar gemacht wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die Reststrahlung von einem Strahlungswandler (4)
absorbiert und aus dem Strahlungswandler (4) eine Sekundärstrahlung mit
einem Wellenlängenbereich emittiert wird, der gegenüber dem der
Primärstrahlung verschoben ist und der durch Anpassen der Temperatur des
Strahlungswandlers (4) so eingestellt wird, daß er mit einem Bereich
relativ hoher Absorption des zu erwärmenden Materials (6) überlappt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des
Strahlungswandlers (4) im Gleichgewicht zwischen der Energieaufnahme
durch die Absorption der Primärstrahlung und die Energieabgabe durch die
Emission der Sekundärstrahlung eingestellt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Temperatur des Strahlungswandlers (4) geregelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des
Strahlungswandlers (4) durch Verändern der Strahlungsleistung der
Primärstrahlung eingestellt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß
für den Strahlungswandler (4) ein Material gewählt wird, das für die
Reststrahlung einen Absorptionskoeffizienten zwischen 0,5 und 1 aufweist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß für den
Strahlungswandler (4) ein Material gewählt wird, das für die
Reststrahlung einen Absorptionskoeffizienten zwischen 0,8 und 1 aufweist.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Strahlungswandler (4) mit einer niedrigen Wärmekapazität eingesetzt
wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß
als Primärstrahlung eine Stahlung mit einer Hauptwellenlänge im Bereich
zwischen 500 nm und 2800 nm gewählt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als
Primärstrahlung kurzwellige Strahlung mit einer Hauptwellenlänge im
Bereich zwischen 1000 nm und 2000 nm gewählt wird.
10. Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials, das für Lichtwellenlängen im
Wellenlängenbereich unterhalb 2500 nm eine relativ niedrige Absorption
und im Wellenlängenbereich oberhalb 2500 nm Bereiche mit relativ hoher
Absorption aufweist, mit mindestens einem Heizstrahler und mit mindestens
einem, in Hauptabstrahlrichtung der vom Heizstrahler ausgehenden
Strahlung gesehen, dem Heizstrahler nachgeordneten und von
diesem beabstandeten, großflächig ausgebildeten Sekundärstrahler, dadurch
gekennzeichnet, daß der Sekundärstrahler als Strahlungswandler (4)
ausgebildet ist, in dem die Wellenlänge der vom Heizstrahler (1)
ausgehenden Strahlung absorbiert, und von dem eine Sekundärstrahlung
emittiert wird, deren Wellenlängenbereich mit einem Bereich relativ hoher
Absorption des zu erwärmenden Materials (6) überlappt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungswandler (4) aus einem Material besteht, dessen
Absorptionskoeffizient für die vom Heizstrahler (1) ausgehende Strahlung
zwischen 0,5 und 1 beträgt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungswandler (4) ein Material mit niedriger spezifischer
Wärmekapazität enthält.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) eine Oberfläche mit schwarz eingefärbtem
Aluminium aufweist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) eine Oberfläche aufweist, die keramische
Fasern enthält.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die keramischen
Fasern miteinander vernetzt oder verfilzt sind.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) mit einer unebenen Oberfläche, insbesondere
mit einer geprägten Oberfläche ausgebildet ist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) mit einer Temperaturmeßvorrichtung (5)
versehen ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungswandler (4) mit einer Regelvorrichtung (5;9) verbunden ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) dünnwandig, insbesondere mit einer
Wandstärke zwischen 0,05 mm und 3 mm, ausgebildet ist.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 19, dadurch gekennzeichnet,
daß der Strahlungswandler (4) plattenförmig ausgebildet ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 20, dadurch gekennzeichnet,
daß die Projektionsfläche des Strahlungswandlers (4) entgegen der
Hauptabstrahlrichtung (3) der vom Heizstrahler (1) ausgehenden Strahlung,
auf eine senkrecht zur Hauptabstrahlrichtung (3) verlaufende Ebene, die
Projektionsfläche des Heizstrahlers (1) auf diese Ebene umfaßt.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet,
daß der Heizstrahler (1) ein kurzwelliger Strahler ist, dessen Strahlung
eine Hauptwellenlänge im Bereich zwischen 500 nm und 2800 nm aufweist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4202944A DE4202944C2 (de) | 1992-02-01 | 1992-02-01 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
DE59209217T DE59209217D1 (de) | 1992-02-01 | 1992-12-02 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
EP92120535A EP0554538B1 (de) | 1992-02-01 | 1992-12-02 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4202944A DE4202944C2 (de) | 1992-02-01 | 1992-02-01 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4202944A1 true DE4202944A1 (de) | 1993-08-05 |
DE4202944C2 DE4202944C2 (de) | 1994-07-14 |
Family
ID=6450808
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4202944A Expired - Lifetime DE4202944C2 (de) | 1992-02-01 | 1992-02-01 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
DE59209217T Expired - Lifetime DE59209217D1 (de) | 1992-02-01 | 1992-12-02 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59209217T Expired - Lifetime DE59209217D1 (de) | 1992-02-01 | 1992-12-02 | Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen eines Materials |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0554538B1 (de) |
DE (2) | DE4202944C2 (de) |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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R071 | Expiry of right |