DE4130628C2 - Verfahren zur optimalen Ausnützung des Dynamikbereichs von mit Lichtquellen beleuchteten Photodiodenarrays - Google Patents
Verfahren zur optimalen Ausnützung des Dynamikbereichs von mit Lichtquellen beleuchteten PhotodiodenarraysInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optimalen Ausnützung
des Dynamikbereichs von Photodiodenarrays in einem Spektro
meter während der Beleuchtung durch eine Lichtquelle.
Zweck eines derartigen Verfahrens ist es, die spektrale Inten
sitätsverteilung des auf das Array einfallenden Lichtes zu
messen.
Das über einen bestimmten Wellenlängenbereich emittierte Spek
trum von Lampen weist oft eine große Dynamik zwischen klein
ster und größter Intensität auf. Wird dieses Licht auf ein
Spektrometer mit einem lichtempfindlichen Array gegeben und es
so ausgesteuert, daß die stärkste Linie noch keine Übersteue
rung des Arrays bewirkt, dann gehen die schwachen Linien im
Rauschen unter.
Bei einer Absorptionsmessung als ein weiteres Beispiel wird
das Emissionsspektrum einer Lampe durch ein Referenzspektrum
dividiert, um so eine Grundlinie für die Absorptionsmessung zu
bekommen. Wegen der sehr unterschiedlichen Aussteuerung des
Arrays hat dies ein spektralabhängiges Rauschen zur Folge.
Der Dynamikbereich solcher Arrays läßt sich bekannterweise
z. B. durch eine variable Integrationszeit besser ausnützen.
Theoretisch behandelt wird ein solches Verfahren in "Applied
Optics", Vol. 19, Number 9, 1. May 1980 auf den Seiten 1401 ff.
unter dem Titel "Self-Scanned photodiode array:a multichannel
spectrometric detector" von Yair Talmi et al. Auf der Seite
1410 unter C. Variable Integration Time (VIT) und Fig. 9 wird
insbesondere die Anwendung dieser Methode auf ein simuliertes
Spektrum großer Dynamik vorgestellt. Daraus wird ersichtlich,
daß selbst schwache Linien noch detektiert werden können.
Untermauert wird die Theorie durch die Anwendung des Verfah
rens, wie in "Applied Spectroscopy, Volume 36, Number 1, 1982
auf den Seiten 1 ff. unter dem Titel "Spectrophotometry and
Spektrofluorometry with the Self-Sacanned Photodiode Array"
von Yair Talmi beschrieben. Wesentlich für das Verfahren sind
insbesondere die Seiten 6 bis 9. Das Emissionsspektrum einer
Quecksilberniederdrucklampe wird durch unterschiedlich lange
Bestrahlung eines Photodioden-Arrays gemessen. Während bei der
kürzesten Bestrahlungsdauer praktisch nur die stärkste Linie
sichtbar ist, sieht man bei einer längeren Bestrahlungsdauer
auch noch zahlreiche schwächere Linien. Die stärksten Linien
übersteuern in diesem Fall allerdings das Array. Das wahre
Spektrum wird bei diesem Verfahren durch Zusammenfügen der
nicht übersteuerten Spektralbereiche aller Aufnahmen unter
schiedlicher Bestrahlungsdauer erreicht.
In der US 4,158,505 ist ein Verfahren beschrieben, das eine
Verbesserung des Dynamikbereichs von Photodiodenarrays be
wirkt. Hierzu müssen die Lampenspannung und die Filtertrans
mission variiert werden. Damit wird aber der Bereich zwischen
zwei Wellenlängen nur einmal während dreier Messungen ausge
nutzt, wenn die beiden Parameter darauf eingestellt sind. Wei
terhin setzt das Verfahren ein Zweistrahlverfahren voraus, um
die Verschiebung des Emissionsspektrums der Lampe bei unter
schiedlicher Betriebsspannung zu kompensieren.
Diese Verfahren können allerdings nur auf Lampen angewendet
werden, die kontinuierlich brennen, wie z. B. Halogen-, Deu
terium-, Quecksilber- oder Xenon-Kurzbogen-Lampen. Leider
weisen gerade diese Lampen nur eine geringe Lebensdauer oder
nur ein Linienspektrum auf. Gerade für die Prozeßmeßtechnik
wären jedoch gepulste Lampen, z. B. Xenon-Blitzlampen wegen
ihrer relativ langen Lebensdauer und ihres kontinuierlichen
Emissionsspektrums gut geeignet.
Die soeben beschriebenen Verfahren sind jedoch nicht auf
Blitzlampen anwendbar, da die Integrationszeit während der
sehr kurzen Blitzdauer von wenigen Mikrosekunden variiert wer
den müßte. Ein Analog-Digital-Wandler (ADC) müßte bei einem
Array mit 1024 Elementen jedes Element in wenigen Nanosekunden
erfassen. Das ist nicht möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Dynamikbereich
eines Photodiodenarray in einem Spektrometer mit gepulsten
Lampen optimal auszunutzen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Be
leuchtung des Arrays mit einer Blitzlampe erfolgt, deren En
ergie von Blitz zu Blitz variiert. Während des energieärmeren
Lichtblitzes werden nur die intensivsten Spektralbereiche aus
gewertet, die oberhalb einer vorgegebenen Schwelle liegen. Das
Photodiodenarray soll dabei über den gesamten Spektralbereich
hinweg nicht in Sättigung gehen. Je energiereicher die Licht
blitze sind, um so schwächere spektrale Bereiche können ausge
wertet werden.
Das Aneinanderfügen der Spektren mit unterschiedlichen Blitz
energien kann auf verschiedene Weisen erreicht werden. Das
einfachste Verfahren besteht darin, sie unter Verwendung von
Korrekturfaktoren additiv zusammenzufügen. Dabei wird jedes
Array-Element, dessen Ausgangssignal eine vorwählbare Schwelle
überschreitet und noch nicht übersteuert ist, zu dem Signal
desselben Elementes aber nach Bestrahlung mit einer anderen
Blitzenergie addiert, wobei dann zwei Korrekturfaktoren
berücksichtigt werden.
Der erste Faktor beinhaltet die unterschiedliche Blitzenergie
und wirkt auf die Spektren mit der höheren Energie. Dieser
Faktor, der für alle Array-Elemente gleich ist, kann z. B. als
Verhältnis der Blitzlampenenergien bestimmt oder aber besser
aus zwei aufeinander folgenden Spektren in einem an die Blitz
lampensteuereinrichtung angeschlossenen Rechner berechnet wer
den. Das kann z. B. anhand von zwei Intensitätswerten dessel
ben Array-Elementes, aber unterschiedlicher Blitzenergie,
berechnet werden, die beide oberhalb der gewählten Schwelle
liegen und noch nicht übersteuert sind.
Der zweite Korrekturfaktor bewirkt eine Wichtung entsprechend
der mitgezählten Meßwerte, was einer arithmetischen Mittelung
entspricht.
Das Verfahren sei an einem einfachen Beispiel erläutert. Ein
Emissionsspektrum bestehe aus drei Linien mit den Intensitäten
In1, In2 und In3 bei niedriger Blitzenergie, die z. B. die
Werte 5, 50 und 25 annehmen und Ih1, Ih2 und Ih3 mit 15, 150
und 75 bei höherer Energie. Die Schwelle sei auf einen Wert
von 10 eingestellt, Sättigung tritt bei 100 auf. Werden in
diesem Beispiel nur diese zwei Spektren zur Demonstration
herangezogen, so ergibt sich folgendes korrigiertes Spektrum:
I1′ = (S·In1 + S·Ih1/K)/N1 = (0·5 + 1·15/3)/1 = 5
I2′ = (S·In2 + S·Ih2/K)/N2 = (1·50 + 0·150/3)/1 = 50
I3′ = (S·In3 + S·Ih3/K)/N3 = (1·25 + 1·75/3)/2 = 25
In diesen Gleichungen repräsentiert S alle Meßwerte, die die Schwelle überschreiten und noch nicht übersteuert sind; für diese Werte ist S = 1, sonst 0. S kann daher in den drei Glei chungen unterschiedliche Werte annehmen; auf eine korrektere Indizierung wurde hier verzichtet. Der Faktor K hat in allen drei Gleichungen denselben Wert (hier 3) und berücksichtigt die höhere Energie des zweiten Blitzes (hier 3). Die Faktoren N1, N2 und N3 geben an, wie oft die Variable S gleich 1 inner halb einer Zeile (von Array-Elementen) ist; damit wird die arithmetische Mittelung gemacht.
I2′ = (S·In2 + S·Ih2/K)/N2 = (1·50 + 0·150/3)/1 = 50
I3′ = (S·In3 + S·Ih3/K)/N3 = (1·25 + 1·75/3)/2 = 25
In diesen Gleichungen repräsentiert S alle Meßwerte, die die Schwelle überschreiten und noch nicht übersteuert sind; für diese Werte ist S = 1, sonst 0. S kann daher in den drei Glei chungen unterschiedliche Werte annehmen; auf eine korrektere Indizierung wurde hier verzichtet. Der Faktor K hat in allen drei Gleichungen denselben Wert (hier 3) und berücksichtigt die höhere Energie des zweiten Blitzes (hier 3). Die Faktoren N1, N2 und N3 geben an, wie oft die Variable S gleich 1 inner halb einer Zeile (von Array-Elementen) ist; damit wird die arithmetische Mittelung gemacht.
Nachdem in einer Eichphase die Korrekturwerte I1′, I2′und I3′
bestimmt wurden, wird jedes Spektrum höherer Energie durch
diese Werte dividiert, während das niedrigster Energie durch
In1, In2 und In3 dividiert wird. Diese Werte stellen dann die
Grundlinie für Absorptionsmessungen dar.
Eine Besonderheit tritt auf, wenn sich das Emissionsspektrum
der Blitzlampe bei den verschiedenen Energien spektral un
gleichmäßig verändert. In diesem Fall müssen weitere Korrek
turfaktoren für jedes Array-Element aus Messungen gewonnen
werden, die die Abweichung von der Parallelverschiebung be
schreiben. Das sei an folgendem Beispiel erläutert, das an das
obige anschließt.
Das Emissionsspektrum bestehe aus drei Linien mit den Intensi
täten In1, In2 und In3 bei niedriger Blitzenergie, die z. B.
die Werte 5, 50 und 25 annehmen und Ih1, Ih2 und Ih3 mit 30,
150 und 75 bei höherer Energie. Auch hier ist das zweite Spek
trum um den Faktor 3 stärker, die erste Linie steigt aber noch
einmal zusätzlich um den Faktor 2. Das korrigierte Spektrum
berechnet sich in diesem Fall:
I1′ = (S·In1 + S·Ih1/K1)/N1 = (0·5 + 1/6)/1 = 5
I2′ = (S·In2 + S·Ih2/K2)/N2 = (1·50 + 0·150/3)/1 = 50
I3′ = (S·In3 + S·Ih3/K3)/N3 = (1·25 + 1·75/3)/2 = 25
Aus dem Faktor K ist hier also ein Faktor geworden, der für jedes Array-Element anders ist und aus einer Eichmessung be stimmt werden muß. Das geschieht dadurch, indem man die Spek tren zweier Blitze unterschiedlicher Energie durcheinander di vidiert und aus der Abweichung von 1 den Faktor K1, K2 und K3 bestimmt.
I2′ = (S·In2 + S·Ih2/K2)/N2 = (1·50 + 0·150/3)/1 = 50
I3′ = (S·In3 + S·Ih3/K3)/N3 = (1·25 + 1·75/3)/2 = 25
Aus dem Faktor K ist hier also ein Faktor geworden, der für jedes Array-Element anders ist und aus einer Eichmessung be stimmt werden muß. Das geschieht dadurch, indem man die Spek tren zweier Blitze unterschiedlicher Energie durcheinander di vidiert und aus der Abweichung von 1 den Faktor K1, K2 und K3 bestimmt.
Die Wahl der Schwelle bestimmt die Größe der restlichen spek
tralen Schwankung des Rauschens. Wird sie beispielsweise auf
25% des Sättigungswertes gelegt, dann sollte bei einem Spek
trometer, dessen Rauschen durch Schrotrauschen bestimmt ist,
noch eine Variation um den Faktor 2 im Rauschen resultieren.
Je höher diese Schwelle gelegt wird, desto geringer werden die
verbleibenden Schwankungen, aber desto mehr Spektren mit un
terschiedlicher Blitzlampenenergie sind erforderlich.
Das Verfahren läßt sich vorteilhaft mit Hilfe einer Referenz
spannung, die am Netzteil der Blitzlampe ansteht und die als
Sollwert für die Ausgangsspannung des Netzteils wirkt, durch
führen. Statt einer konstanten Referenzspannung werden minde
stens zwei Spannungen mittels eines elektronischen Schalters
auf den Referenzeingang gegeben, wodurch dann die entspre
chende Ladespannung am Netzteilausgang verändert werden kann.
Im Unteranspruch 3 ist dies gekennzeichnet.
Ein ebenfalls vorteilhafter Verfahrensschritt ist im Unteran
spruch 4 gekennzeichnet. Dort wird beispielsweise die notwen
dige Ladespannung über die Umschaltung von entsprechenden Kon
densatoren bewirkt.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere
darin, daß Blitzlampen eine wesentlich höhere Lebensdauer als
konventionelle UV-Entladungslampen bei gleichzeitig kontinu
ierlichem Emissionsspektrum haben und durch die Einstellung
unterschiedlicher Blitzenergien der Dynamikbereich optimal
ausgenutzt werden kann.
Das Verfahren wird im folgenden anhand der darin vorgeschlage
nen Schaltungsprinzipien näher erläutert.
Es zeigen
Fig. 1 Emissionsspektrum einer Xenon-Blitzlampe,
Fig. 2 Normiertes Spektrum (Transmission),
Fig. 3 Lichtblitzsteuerung nach Referenzspannungsvorgabe,
Fig. 4 Lichtblitzsteuerung durch Kondensator zu- oder
-abschaltung.
Zur Erläuterung des Standes der Technik sind in den Fig. 1 und
2 die Emissionsspektren von Xenon-Blitzlampen ohne und mit
Normierung dargestellt. Der untere Teil von Fig. 1 zeigt ein
Spektrum, das das Array noch nicht übersteuert und das aus ei
nem kontinuierlichen Untergrund mit überlagerten Linien be
steht.
Wird nun dieses Spektrum durch ein in einem Rechner abgespei
chertes Referenzspektrum dividiert, das wegen längerer Mitte
lungszeit besonders rauscharm ist, so ergibt sich ein Kurven
verlauf, wie er in Fig. 2 dargestellt ist. Diese Kurve stellt
die Transmissionsgrundlinie eines Spektrometers dar. Es wird
offensichtlich, daß das Rauschen in den Spektralbereichen
deutlich größer wird, wo die Intensität der Blitzlampe gering
ist. Bei anderen Spektrometern, die mit Halogen- oder Deu
teriumlampen arbeiten, verhält es sich ähnlich.
Die Ursachen dieses Verhaltens sind bekannt: Zum einen wirkt
sich das über die Wellenlänge konstante Dunkelstromrauschen
bei kleinen Lichtintensitäten stärker aus als bei größeren.
Zum anderen ist das Signal-Rauschverhältnis wegen der Photo
nenstatistik durch Schrotrauschen bestimmt und wird mit der
Wurzel aus der Lichtintensität besser.
Um nun sowohl schwache Linien innerhalb des Emissionsspektrums
erfassen zu können oder aber im Fall einer Transmissionsmes
sung ein spektral unabhängiges Rauschen zu erhalten, kann die
Blitzlampe mit verschiedenen Energien betrieben werden. Im
oberen Teil der Fig. 1 wurde das Array mit solch einem inten
siveren Blitz ausgesteuert, so daß z. B. die Linienstrukturen
zwischen 260 nm und 300 nm besser herauskommen. Die starken
Linien übersteuern natürlich das Array, was berücksichtigt
werden muß.
Wesentlich für das Verfahren ist, daß das Photodiodenarray mit
Lichtblitzen unterschiedlicher, jedoch vorbestimmter Energie
beleuchtet wird, um die spektrale Empfindlichkeit voll aus
schöpfen zu können. Wichtig ist ferner, daß auszuwertende
spektrale Bereiche sich nicht in Sättigung befinden und den
noch soviel wie möglich Intensität in diesen auftritt. Dies
erklärt, daß nur energieärmere Lichtblitze zur Erfassung der
Spektralbereiche mit hoher Intensität aus dem Blitzlampenspek
trum herangezogen werden. Für die intensitätsarmen Spektral
bereiche des Blitzlampenspektrums werden energiestärkere
Lichtblitze herangezogen. Unterschiedliche Ladespannung be
wirkt beispielsweise unterschiedliche Energie eines Licht
blitzes.
Fig. 3 zeigt das Blockschaltbild für die Einstellung der ge
wünschten Ladespannung. An der Ausgangsklemme 1 steht eine ge
regelte Spannung an, die aus einem unstabilisierten Hochspan
nungsnetzgerät 2 über einen dazwischengeschalteten Längsregler
3, z. B. einen Längstransistor oder einer Serienschaltung von
Längstransistoren gewonnen wird. Ein Komparator 4 erhält sei
nen Istwert 5 vom Spannungsteile 6, der an der Ausgangsklemme
1 abgreift. Der Sollwert 7 wird dem Komparator 4 über einen
Puffer 8 zugeführt. Die Aussteuerung des Längsreglers 3 er
folgt dann entsprechend dem Unterschied zwischen Soll- 7 und
Istwert 5.
Der Puffer 8 selbst wird mit seinem Sollwert 7 durch eine je
weils ihm zugeführte Referenzspannung 9 eingestellt. Eine Ab
laufsteuerung 10 legt über einen Schalter 11, z. B. ein FET-
Schalter 11 oder ein Multiplexer 11 die vorgesehene Referenz
spannung 9 von der entsprechenden Referenzspannungsquelle 17
an den Puffer 8.
Das Puls-Pausenverhältnis der Lichtblitze wird im wesentlichen
über die Ablaufsteuerung 10 eingestellt. Die Einstellung der
Ladespannung stellt dabei eine Begrenzung dar. Die Einstellung
der Energie des Lichtblitzes wird vor allem durch die ange
legte Referenzspannung 9 festgelegt.
Die Zündung der Blitzlampe ist hier nicht eingezeichnet, da
sie über ein gesondertes Zündgerät erfolgt, das von der Ablauf
steuerung 10 angesteuert wird.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Schaltungsprinzip, mit dem eben
falls Lichtblitze mit definierter, aber umschaltbarer Energie
aus einer Blitzlampe emittiert werden können. Das Netzgerät
12 liefert in diesem Fall eine konstante und bereits stabili
sierte Spannung, mit der über einen Widerstand 13 der Konden
sator 14 aufgeladen wird. Bei Zündung der Blitzlampe steht
dann die im Kondensator 14 gespeicherte Energie zur Verfügung.
Soll für den nächsten Blitz eine höhere Energie eingesetzt
werden, dann wird ein zusätzlicher Kondensator 15 über den
Schalter 16 aufgeladen. Als Schalter kommen hochspannungs- und
stromfeste Leistungshalbleiter in Betracht wie z. B. IGBT′s
oder auch Triacs. Dieser Schalter wird wieder von einer Ab
laufsteuerung 10 angesteuert.
Bezugszeichenliste
1 Ausgangsklemme, Ladespannung
2 Hochspannungsnetzgerät, unstabilisiert
3 Längsregler, Längstransister
4 Komparator
5. Istwert
6 Spannungsteiler
7 Sollwert
8 Puffer
9 Referenzspannung
10 Ablaufsteuerung
11 Schalter, FET-Schalter, Multiplexer
12 Hochspannungsnetzgerät, stabilisiert
13 Widerstand
14 Kondensator
15 Kondensator
16 Schalter, IGBT, Triac
17 Referenzspannungsquelle
2 Hochspannungsnetzgerät, unstabilisiert
3 Längsregler, Längstransister
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5. Istwert
6 Spannungsteiler
7 Sollwert
8 Puffer
9 Referenzspannung
10 Ablaufsteuerung
11 Schalter, FET-Schalter, Multiplexer
12 Hochspannungsnetzgerät, stabilisiert
13 Widerstand
14 Kondensator
15 Kondensator
16 Schalter, IGBT, Triac
17 Referenzspannungsquelle
Claims (4)
1. Verfahren zur optimalen Ausnützung des Dynamikbereichs von
mit Lichtquellen beleuchteten Photodiodenarrays in einem
Spektrometer und -Auswertung der Arraysignale, wobei
- - als Lichtquelle eine Blitzlampe verwendet wird,
- - für mindestens zwei aufeinanderfolgende Lichtblitze aus der Blitzlampe jeweils verschiedene Blitzenergien einge stellt werden, wobei die geringste Blitzenergie so ge wählt wird, daß kein einziges Arrayelement gesättigt wird,
- - das Signal jedes Array-Elements des Photodiodenarrays, dessen Ausgangssignal eine vorwählbare Schwelle über schreitet, jedoch dabei nicht übersteuert wird, zu dem über die Schwelle tretenden, jedoch nicht übersteuerten Signal desselben Elements aus der Bestrahlung mit ande rer Blitzenergie unter Berücksichtigung:
- a) eines ersten Korrekturfaktors K pro Arrayelement, der die unterschiedlichen Blitzenergien und die davon ab hängigen spektralen Verschiebungen des Blitzlampen spektrums berücksichtigt, und
- b) eines zweiten Korrekturfaktors N pro Arrayelement, der die Anzahl der Signale berücksichtigt, die ober halb der vorwählbaren Schwelle liegen und noch nicht übersteuert sind, addiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
erste Korrekturfaktor aus zwei aufeinander folgenden Spek
tren berechnet wird und bei der Addition der Spektren auf
die Spektren höherer Energie wirkt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
zur Einstellung der Ladespannung eine im Netzteil vorhan
dene Referenzspannung zur entsprechenden Umschaltung eines
elektronischen Schalters verwendet und der Schalter über
eine Ablaufsteuerung umgeschaltet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum
Anlegen der jeweils notwendigen Ladespannung zwischen min
destens zwei Ladekondensatoren umgeschaltet und der Um
schalter über eine Ablaufsteuerung betätigt wird.
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US4158505A (en) * | 1976-12-27 | 1979-06-19 | International Business Machines Corporation | Spectrum analyzing system with photodiode array |
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