DE4129239A1 - Verfahren zum schweissen mittels eines laserstrahls unter zugabe pulverfoermiger werkstoffe - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schweißen mittels eines fokussierten Laserstrahls unter Zugabe von pulverförmigen Werkstoffen in Form eines gebündelten Stroms, der zumindest an seinem Ende geradlinig verläuft und auf die Einwirkstelle des Laserstrahls gerichtet ist, und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Dabei wird unter der Einwirkstelle diejenige Stelle verstanden, an der der Laserstrahl auf das zu schweißende Werkstück auftrifft.

Das Verfahren soll sowohl zum Verbindungsschweißen, bei dem die pulverförmigen Werkstoffe weitgehend dem Werkstoff der zu verbindenden Werkstückteile entsprechen, als auch zum Auftragsschweißen, bei dem in der Regel Hartstoffteilchen aufgebracht werden, geeignet sein. Die zugegebenen Werkstoffe können sowohl durch einen Werkstoff gleicher Zusammensetzung als auch durch Werkstoffgemische gebildet sein, wobei die Korngröße im wesentlichen gleich oder auch begrenzt unterschiedlich sein kann.

Ein gattungsgemäßes Verfahren ist aus der EP-B1-01 73 654 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird der Werkstoffstrom der Einwirkstelle des Laserstrahls unter einem Winkel gegen die Hauptachse des Laserstrahls zugeführt. Dieser Winkel ist beträchtlich. In der Praxis sind Winkel zwischen 30 und 60° üblich. Der Durchmesser des Laserstrahls ist bei dem bekannten Verfahren an der Einwirkstelle größer oder gleich dem Durchmesser des Werkstoffstroms.

Ein wesentlicher Nachteil des bekannten Verfahrens besteht darin, daß es - bei gegebenen, ggf. einstellbaren Parametern - lediglich eine einzige festgelegte Arbeitsebene bzw. einen festen Arbeitspunkt zum Schweißen gibt, da die Achsen des pulverförmigen Werkstoffstroms und des Laserstrahls sehr divergent verlaufen. In der angegebenen EP-B1 sind keine Hinweise auf irgendwelche Abmessungen insbesondere des pulverförmigen Werkstoffstroms enthalten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art und eine entsprechende Vorrichtung anzugeben, mit denen eine zuverlässige Schweißung nicht nur in einem exakt bestimmten Abstand von der optischen Einrichtung und den Zuführorganen für den Werkstoffstrom, sondern innerhalb eines gewissen Bereichs des genannten Abstands möglich ist.

Diese Aufgabe wird in bezug auf das Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Zugabe der Werkstoffe in bezug auf die Achse des fokussierten Laserstrahls unter einem Winkel erfolgt, der nicht größer als 10° ist, und daß der Durchmesser des Werkstoffstroms im Bereich der Einwirkstelle auf höchstens 2 mm begrenzt ist.

Durch den eng begrenzten Bereich des Winkels zwischen den Achsen des Werkstoffstroms und des fokussierten Laserstrahls ist innerhalb eines gewissen Höhenbereichs ein Abstand zwischen beiden Achsen gegeben, der so gering ist, daß er das Ergebnis der Schweißung nicht oder allenfalls unwesentlich beeinträchtigt. Der überwiegende Teil der pulverförmigen Werkstoffe trifft an der heißesten Stelle auf und wird dort aufgeschmolzen. Damit ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren innerhalb eines gewissen Höhenbereichs eine Grundvoraussetzung für eine einwandfreie Schweißung gegeben. Mit zunehmender Unabhängigkeit des Verfahrens von einem exakt bestimmten Abstand der Werkstücke (der Schweiß- oder Einwirkstelle) zur optischen Einrichtung bzw. den Zuführorganen für die Werkstoffe steigt aber entsprechend auch die Einsatzmöglichkeit der Vorrichtung.

Die Begrenzung des Durchmessers des pulverförmigen Werkstoffstrahls auf maximal 2 mm erweist sich sowohl beim Verbindungsschweißen als auch beim Auftragsschweißen als vorteilhaft. Beim verbindungsschweißen, bei dem überwiegend mit hoher Leistungsflußdichte (Richtwert: <5·10⁶ W/cm²) gearbeitet wird, wird der in der angegebenen Begrenzung zugegebene pulverförmige Werkstoff größtenteils aufgeschmolzen und bei nur geringem Verzug in die Schweißnaht eingebracht. Beim Auftragsschweißen, bei dem überwiegend mit relativ geringer Leistungsflußdichte (Richtwert: <5·10⁵ W/cm²) gearbeitet wird, fallen die aufgetragenen Nähte dank des in der angegebenen Begrenzung zugegebenen Werkstoffstroms entsprechend klein aus, wodurch in vielen Fällen eine gute Annäherung an eine durch Maße konstruktiv vorgegebene Fertigungsform auch ohne kostspielige Nacharbeit möglich ist.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß der Durchmesser des fokussierten Laserstrahls an der Einwirkstelle kleiner ist als der Durchmesser des Werkstoffstroms. Während der Durchmesser des Laserstrahls an der Einwirkstelle nach dem bekannten Verfahren gemäß der EP-B1-01 73 654 mindestens so groß sein muß wie der Durchmesser des zugegebenen Werkstoffstroms kann durch die relative Verringerung des Durchmessers des Laserstrahls eine deutliche Steigerung der Leistungsflußdichte erreicht werden.

Es ist weiterhin von Vorteil, wenn der zum Schweißen vorgesehene Laserstrahl in zwei voneinander getrennte Laserteilstrahlen aufgeteilt wird, die auf einen gemeinsamen Brennpunkt fokussiert werden, und wenn die Zugabe der Werkstoffe innerhalb der Mittelebene zwischen den beiden fokussierenden, auf den Brennpunkt gerichteten Laserteilstrahlen erfolgt. Diese Weiterbildung erlaubt es, den Werkstoffstrom sogar unmittelbar zwischen die beiden konvergierenden Laserteilstrahlen zu führen und den Winkel, den der Werkstoffstrom zur gemeinsamen Hauptachse der konvergierenden Laserteilstrahlen bildet, extrem klein zu machen. Bei einer Zuführung des Werkstoffstroms mitten durch die beiden konvergierenden Laserteilstrahlen läßt sich der Winkel sogar gegen Null führen.

Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist in jedem Fall mit einer optischen Einrichtung zum Aussenden eines fokussierten Laserstrahls längs einer optischen Achse und einem zumindest an seinem der Einwirkstelle des Laserstrahls zugewandten Endbereich geradlinig verlaufenden Zuführrohr für die pulverförmigen Werkstoffe ausgerüstet und dadurch gekennzeichnet, daß der geradlinige Endbereich des Zuführungsrohres allenfalls unter einem Winkel von 10° gegen die Achse der optischen Einrichtung geneigt ist, daß das Zuführrohr in seinem Endbereich einen Innendurchmesser von allenfalls 1,2 mm aufweist, daß die Innenfläche des Endbereichs eine Rauhtiefe aufweist, die im Vergleich zur mittleren Korngröße der Werkstoffe klein ist, und daß die Länge des Endbereichs zumindest das 50fache der Größe seines Innendurchmessers ausmacht.

Zur Erzielung einer möglichst geringen Rauhtiefe wird vorgeschlagen, die Innenfläche des Endbereichs des Zuführrohres zu polieren.

Damit das Zuführrohr die angestrebten Führungseigenschaften auch über einen längeren Zeitabschnitt beibehält, besteht zumindest sein Endbereich vorzugsweise aus einem verschleißfesten Werkstoff, insbesondere Keramik.

Der Durchmesser des Werkstoffstroms läßt sich im Falle ferromagnetischer Zusatzwerkstoffe zusätzlich dadurch klein halten, daß der Endbereich des Zuführrohrs zumindest auf einem Teil seiner Längserstreckung mit einer Magneteinheit ausgestattet ist. Diese ist derart beschaffen, daß das von ihr ausgehende Magnetfeld im Innern des Zuführrohrs parallel zu dessen Längserstreckung verlaufende Magnetlinien aufweist. Unter Einwirkung dieses Magnetfeldes lassen sich die Zusatzwerkstoffe konzentrieren, so daß das Ausmaß an Querbewegungen und Reibungsvorgängen innerhalb des Zuführrohrs herabgesetzt wird. Die Zusatzwerkstoffe verlassen das Zuführrohr weitgehend in Form eines fadenförmigen Förderstroms in Richtung auf die Schweißstelle. Dabei ist die Magneteinheit vorteilhafterweise als Elektromagnet ausgebildet. Bei einer Verstopfung des Zuführrohres ist es durch Abschalten des Elektromagneten leicht möglich, das Zuführrohr freizublasen.

Zum Zuführen von Arbeitsgas ist das Zuführrohr für den Schweißwerkstoff vorteilhafterweise von einem weiteren Zuführrohr umschlossen.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Vorrichtung weist die optische Einrichtung zwei Umlenkspiegelanordnungen auf, von denen die eine eine ebene Spiegelfläche und die andere eine konkave Spiegelfläche aufweist. Dabei weist die Umlenkspiegelanordnung mit der ebenen Spiegelfläche zwei in Richtung des ankommenden Laserstrahls zueinander derart versetzt angeordnete Spiegelflächen auf, daß der Laserstrahl in zwei voneinander getrennte Laserteilstrahlen aufgeteilt wird. Das Führungsrohr ist bei dieser Ausführungsform im Bereich der zweiten Umlenkspiegelanordnung in einer gedachten Ebene angeordnet, die zwischen den beiden austretenden Laserteilstrahlen durch deren gemeinsame optische Achse verläuft. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die erste Umlenkspiegelanordnung zwei zueinander versetzte ebene Spiegelflächen und die zweite Umlenkspiegelanordnung eine konkave Spiegelfläche aufweist und das Zuführrohr durch das Zentrum der zweiten Umlenkspiegelanordnung hindurchgeführt ist.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung zum Teil stark schematisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform einer Vorrichtung mit einer optischen Einrichtung zum Aussenden eines fokussierten Laserstrahls und einem Zuführrohr für pulverförmige Werkstoffe beim Auftragsschweißen in einer teilweise geschnittenen Seitenansicht,

Fig. 2 eine zusätzliche Haube zur Zuführung von Schutzgas am Ende des Zuführrohres für die pulverförmigen Werkstoffe beim Verbindungsschweißen mit V-Naht,

Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum Verbindungsschweißen mit I-Naht in einem Längsschnitt,

Fig. 4 die Vorrichtung nach Fig. 3 in einem waagerechten Schnitt (Draufsicht),

Fig. 5 die Vorrichtung in einem Querschnitt längs der Linie V-V in Fig. 4 und

Fig. 6 eine Teilansicht des Zuführrohres, das auf einem Teil seiner Längserstreckung mit einer Magneteinheit ausgestattet ist.

Die Vorrichtung nach Fig. 1 weist eine optische Einrichtung 1 mit einem Gehäuse 2 mit zwei Umlenkspiegeln 3, 4 auf. Der Umlenkspiegel 3 weist eine ebene Spiegelfläche 5 (Planspiegel) unter 45° und der als Fokussierspiegel fungierende Umlenkspiegel 4 eine konkave Spiegelfläche 6 auf, die dem außermittigen Ausschnitt einer Paraboloidfläche (Rotationsparaboloid) entspricht.

Das Gehäuse 2 weist je eine obere und untere, für Lichtwellen durchlässige Öffnung 7, 8 auf, die zueinander versetzt angeordnet sind. Ein senkrecht von einer (nicht dargestellten) Laserquelle erzeugter, von oben einfallender zylindrischer Laserstrahl 10 mit der Achse 11 wird von der Umlenkspiegelanordnung 3 in waagerechter Richtung auf den Fokussierspiegel 4 reflektiert, wo er konzentrisch um eine senkrechte Achse 12 (auch als Laserachse oder Achse des optischen Systems 1 bezeichnet) auf den Brennpunkt B fokussiert wird. In der Praxis weist der fokussierte Laserstrahl 13 im Brennpunkt B im Querschnitt - senkrecht zur Achse 12 gesehen - keine punktförmige, unendlich kleine Querschnittsfläche, sondern einen Brennpunktdurchmesser endlicher Größe von z. B. 0,5 mm auf. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel liegt die Einwirkstelle L des Laserstrahls 13 - von der optischen Einrichtung gesehen - hinter dem Brennpunkt B, so daß der Laserstrahl 13 dort gegenüber dem Brennpunkt B einen größeren Querschnitt und eine entsprechend geringere Leistungsflußdichte aufweist.

Neben dem fokussierten Laserstrahl 13 ist ein gerades Zuführrohr 15 für pulverförmige Schweißwerkstoffe W angeordnet, dessen Längsachse 16 einerseits durch die Einwirkstelle L des Laserstrahls 13 geht und andererseits unter einem 10° nicht überschreitenden Winkel α gegen die Achse 12 des Laserstrahls 13 bzw. der optischen Einrichtung 1 geneigt ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 beträgt der Winkel α = 8°. Das Zuführrohr 15 ist über einen Halter 17 an dem Gehäuse 2 befestigt und mit seinem rückwärtigen, ggf. gekrümmten Ende an einer Vorrats- und Dosiereinrichtung 18 angeschlossen, die wiederum mit einer Fördergasquelle 19 verbunden ist. Das Fördergas (z. B. Helium) dient dazu, die pulverförmigen Schweißwerkstoffpartikel durch das Zuführrohr 15 zu fördern und den Werkstoffpartikeln für deren Wegstrecke vom Austritt aus dem Ende des Zuführrohres 15 bis zur Einwirkstelle L des Laserstrahls 13 genügend kinetische Energie zu verleihen.

Das Zuführrohr 15 weist in seinem Endbereich über mindestens 50 mm Länge einen Innendurchmesser von 0,6 mm auf. Der Endbereich des Zuführrohres 15 besteht aus Keramik. Seine Innenoberfläche ist poliert und weist eine Rauhtiefe auf, die um etwa den Faktor 100 kleiner ist als die kleinste Korngröße der Werkstoffpartikel.

Um das Zuführrohr 15 ist ein weiteres Zuführrohr 20 koaxial angeordnet. Sein rückwärtiges Ende ist an eine Quelle 21 für Arbeitsgas (z. B. ebenfalls Helium) angeschlossen. Das vordere Ende 22 des Zuführrohres 20 ist konisch verjüngt und weist zur Einwirkstelle L des Laserstrahls 13 einen größeren Abstand auf als das Zuführrohr 15. Das Zuführrohr 15 guckt somit aus dem Zuführrohr 20 hervor und befindet sich weitgehend innerhalb eines durch das Zuführrohr 20 fließenden Arbeitsgasstroms.

In Höhe der Einwirkstelle L ist im dargestellten Ausführungsbeispiel ein Stahlblech S angeordnet, auf das in Richtung des Pfeiles F eine Auftragsnaht oder -lage 23 aufgebracht wird.

Das Bezugszeichen F bezeichnet die Richtung, in der das Stahlblech S relativ zur Laserachse 12 bewegt wird.

Der durch das Zuführrohr 15 fließende Werkstoffstrom W vergrößert sich nach dem Verlassen des Zuführrohres in seinem Durchmesser nur unwesentlich auf 0,8 mm. Der pulverförmige Werkstoff W wird im Bereich der Einwirkstelle L auf dem Blech S erschmolzen und erstarrt als Auftragsnaht oder Auftragslage 23.

Abweichend von der beschriebenen Ausführungsform kann der erste Umlenkspiegel mit einer konkaven Spiegelfläche und der zweite Umlenkspiegel mit einer Planspiegelfläche ausgerüstet sein. Außerdem können die Führungsrohre 15, 20 auf das Gehäuse 2 und den Körper des Umlenkspiegels 4 durchdringen. Dadurch kann einerseits der Winkel α weiter vermindert werden oder es kann - bei unverändertem Neigungswinkel α - der Abstand zwischen der Einwirkstelle L und dem Gehäuse 2 verringert werden.

Zur Zuführung von Schutzgas können die freien Enden der Zuführrohre 15 und 20 von einer koaxial mit der Laserachse 12 angeordneten Haube 25 umschlossen sein. Diese Haube ist über eine Leitung 26 mit einer Quelle 27 für Schutzgas (z. B. Argon) verbunden. In Fig. 2 ist die Haube 25 als an dem Zuführrohr 20 der Vorrichtung nach Fig. 1 angeordnet beim Verbindungsschweißen zweier Bleche S′ mit vorbereiteter, in Zeichenebene verlaufender V-Naht 24 dargestellt. Der in Fig. 2 nicht dargestellte Teil der Vorrichtung entspricht im wesentlichen dem der Fig. 1.

Das Zuführrohr 15 kann zusätzlich von einem spulenförmigen, hohlen Elektromagneten 28 umgeben sein. Die im Innern des Zuführrohres 15 entfalteten Magnetlinien erzeugen bei ferromagnetischen Schweißzusatzwerkstoffen einen im Durchmesser konzentrierten, im wesentlichen fadenförmigen Förderstrom, der im Zuführrohr 15 naturgemäß eine geringere Reibung erzeugt als ein Förderstrom größeren Durchmessers.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 3 bis 5 weist das Gehäuse 29 der optischen Einrichtung 30 eine erste, waagerechte Öffnung 31 auf, durch die ein waagerecht ausgerichteter, zylindrischer Laserstrahl 32 eintritt und auf einen ersten Umlenkspiegel 33 fällt. Dieser Umlenkspiegel weist zwei ebene Spiegelflächen (Planspiegel) 34, 35 auf, die in Richtung der Achse 36 des Laserstrahls 32 zueinander versetzt sind. Beide Spiegelflächen 34, 35 haben jeweils eine gerade Begrenzungslinie 38 bzw. 39, die senkrecht in einer gedachten Ebene durch die Achse 36 verläuft. Beide Spiegelflächen 34, 35 sind - in der Draufsicht gesehen - unter einem Winkel von 45° bzw. 135° gegen die Achse 36 geneigt und reflektieren den jeweils auf sie fallenden Teil 32′ bzw. 32′′ des Laserstrahls 32 in Richtung auf den zweiten Umlenkspiegel 40.

Zwischen beiden Umlenkspiegeln 33, 40 sind die beiden Teilstrahlen 32′ und 32′′ durch einen dem Versatz der beiden Spiegelteilflächen 34, 35 entsprechenden laserfreien Abstand 41 voneinander getrennt.

Der zweite Umlenkspiegel 40 weist eine konkave Spiegelfläche 42 auf, von der die beiden Laserteilstrahlen 32′, 32′′ auf den einen, gemeinsamen Brennpunkt B fokussiert werden, wobei sich der laserfreie Zwischenraum 41 entsprechend linear auf Null verringert.

Innerhalb des laserfreien Raums durchdringt ein Zuführrohr 43 für Arbeitsgas (z. B. Helium) den zweiten Umlenkspiegel 40 in seinem Zentrum. Wie aus Fig. 5 ersichtlich, verläuft das Zuführrohr 43 zwischen den beiden fokussierenden Laserteilstrahlen 32′, 32′′. Innerhalb des Zuführrohres 43 ist das eigentliche Zuführrohr 44 für die pulverförmigen Schweißwerkstoffe W angeordnet. Beide Zuführungsrohre 43, 44 verlaufen koaxial zur gemeinsamen Hauptachse 45 der beiden fokussierten Laserteilstrahlen 32′, 32′′ durch den Brennpunkt B, der im vorliegenden Ausführungsbeispiel mit der Einwirkstelle des Laserstrahls zusammenfällt.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den Fig. 3 bis 5 werden zwei Bleche S′′ mit ihren durch Schlagscherenschnitt erzeugten Kanten 46 zu einer I-förmigen Stumpfnaht 47 verschweißt. Die durch das Zuführrohr 44 fließenden Schweißwerkstoffe W füllen den Querschnitt zwischen den Kanten 46 auf und verschmelzen mit dem angrenzenden Grundwerkstoff zur Stumpfnaht 47.

Abweichend von dem beschriebenen Ausführungsbeispiel können die zueinander versetzten Spiegelflächen auch konkav ausgebildet sein.

Claims (12)

1. Verfahren zum Schweißen mittels eines fokussierten Laserstrahls unter Zugabe von pulverförmigen Werkstoffen in Form eines gebündelten Stroms, der zumindest an seinem Ende geradlinig verläuft und auf die Einwirkstelle des Laserstrahls gerichtet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zugabe der Werkstoffe (W) in bezug auf die Achse (12; 45) des fokussierten Laserstrahls (13; 32′, 32′′) unter einem Winkel (α) erfolgt, der nicht größer als 10° ist,
und daß der Durchmesser des Werkstoffstroms (W) im Bereich der Einwirkstelle (L) auf höchstens 2 mm begrenzt ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser des Laserstrahls (13; 32′, 32′′) an der Einwirkstelle (L) kleiner als der Durchmesser des Werkstoffstroms (W) ist.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der zum Schweißen vorgesehene Laserstrahl (32) in zwei voneinander getrennte Laserteilstrahlen (32′, 32′′) aufgeteilt wird, die auf einen gemeinsamen Brennpunkt (B) fokussiert werden, und daß die Zugabe der Werkstoffe (W) innerhalb der Mittelebene zwischen den beiden fokussierenden, auf den Brennpunkt (B) gerichteten Laserteilstrahlen (32′, 32′′) erfolgt.

4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zugabe des Werkstoffs entlang der gemeinsamen Achse (45) der beiden fokussierenden Laserteilstrahlen (32′, 32′′) erfolgt.

5. Vorrichtung mit einer optischen Einrichtung (1; 30) zum Aussenden eines fokussierten Laserstrahls (13; 32′, 32′′) längs einer optischen Achse (12; 45) und einem zumindest an seinem der Einwirkstelle (L) des Laserstrahls (13; 32′, 32′′) zugewandten Endbereich geradlinig verlaufenden Zuführrohr (15; 44) für die pulverförmigen Werkstoffe (W) zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der geradlinige Endbereich des Zuführungsrohres (15; 44) allenfalls unter einem Winkel (α) von 10°0 gegen die Achse (12; 45) der optischen Einrichtung (1; 30) geneigt ist,
daß das Zuführrohr (15; 44) in seinem Endbereich einen Innendurchmesser von allenfalls 1,2 mm aufweist, daß die Innenfläche des Endbereichs eine Rauhtiefe aufweist, die im Vergleich zur mittleren Korngröße der Werkstoffe klein ist, und
edaß die Länge des Endbereichs zumindest das 50fache der Größe seines Innendurchmessers ausmacht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenfläche des Endbereichs des Zuführrohrs (15; 44) poliert ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Endbereich des Zuführrohrs (15; 44) aus Keramik besteht.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Endbereich des Zuführrohrs (15) zumindest auf einem Teil seiner Längserstreckung mit einer Magneteinheit (28) ausgestattet ist, die innerhalb des Zuführrohres (15) eine Konzentration von Magnetlinien erzeugt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Magneteinheit (28) aus einem den Endbereich umschließenden Elektromagneten besteht.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Endbereich des Zuführrohrs (15; 44) zumindest auf einem Teil seiner Längserstreckung von einem Gaszuführrohr (20; 43) umschlossen ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung (30) zwei Umlenkspiegelanordnungen (33, 40) aufweist, von denen die eine eine ebene Spiegelfläche (34, 35) und die andere eine konkave Spiegelfläche (42) aufweist, daß die Umlenkspiegelanordnung (33) mit der ebenen Spiegelfläche zwei in Richtung des ankommenden Laserstrahls (32) zueinander derart versetzt angeordnete Spiegelteilflächen (34, 35) aufweist, daß der Laserstrahl (32) in zwei voneinander getrennte Laserteilstrahlen (32′, 32′′) aufgeteilt wird, und daß das Führungsrohr (44) im Bereich der zweiten Umlenkspiegelanordnung (40) in einer gedachten Ebene angeordnet ist, die zwischen den beiden austretenden Laserteilstrahlen durch deren gemeinsame optische Achse (45) verläuft.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Umlenkspiegelanordnung (33) zwei zueinander versetzt angeordnete ebene Spiegelflächen (34, 35) und die zweite Umlenkspiegelanordnung (40) eine konkave Spiegelfläche (42) aufweist und daß das Führungsrohr (44) durch das Zentrum der konkaven Spiegelfläche (42) hindurchgeführt ist.