DE4107433C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Sensorsignalaufbereitung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur SensorsignalaufbereitungInfo
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Description
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren und einer Vorrichtung
nach der Gattung des Hauptanspruchs.
Aus der DE-OS 36 12 810 ist eine Vorrichtung zur Messung eines
Druckes bekannt, bei der das Ausgangssignal eines Dickschichtwider
stands-Drucksensors mittels einer geeigneten Schaltungsanordnung
ausgewertet wird. Dabei sind die Dickschichtwiderstände, die die
eigentliche Sensoranordnung bilden, in einer Brückenschaltung ange
ordnet, wobei diese Brückenschaltung auf einer durch Druckeinwirkung
elastisch verformbaren Unterlage befestigt ist. Durch Druckeinwir
kung ändern sich die Werte der Brückenwiderstände, so daß die Brücke
verstimmt wird und an der Brückendiagonale ein Meßsignal abgenommen
werden kann.
Da sowohl der Dickschichtwiderstand-Drucksensor als auch die Schal
tungsanordnung mit Temperaturfehlern behaftet sind, muß der Tempera
turgang mit Hilfe von temperaturabhängigen Widerständen kompensiert
werden.
Eine Verbesserung dieser Vorrichtung ist aus der DE-OS 39 08 795
bekannt. Dort wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung
eines Druckes vorgeschlagen, wobei das Sensorelement aus zwei Dick
schichtwiderstands-Brückenschaltungen besteht. In der Auswerte
schaltung erfolgt eine Temperaturkompensation, eine Offset-Korrektur
und eine Linearisierung des Sensorausgangssignals, dies führt zu
einer Verbesserung der Genauigkeit bei der Auswertung. Die aus der
DE-OS 39 08 795 bekannte Vorrichtung hat jedoch den Nachteil, daß
sie ziemlich aufwendig ist und daß außerdem zur Temperaturkompen
sation NTC-Widerstände, also Widerstände mit negativem Temperatur
koeffizienten benötigt werden, deren Temperaturkoeffizienten nur in
einem begrenzten Temperaturbereich konstant sind.
Aus der DD 150 122 ist eine elektronische
Temperaturregelschaltung mit temperaturabhängigem
Widerstandselement bekannt, die als Thermostat benutzt wird.
Der Schaltungsaufbau ist dabei so, daß ein sich selbst
stabilisierendes Temperaturregelelement mit hoher
Temperaturkonstanz unter einstellbarer Temperatur erhalten
wird. Dazu ist ein Thermistor mit einem negativen
Temperaturkoeffizienten (NTC) in einer Brückenschaltung
angeordnet und wird gleichzeitig als Heiz- und Meßelement
verwendet. In einem Brückenzweig ist weiterhin ein
konstanter Widerstand mit dem Thermistor in Reihe
geschaltet, während der andere Zweig eine Reihenschaltung
zweier konstanter Widerstände darstellt. Die Regelschaltung
zur Auswertung der Diagonalspannung der Brücke und zur
Erzeugung der Versorgungsspannung für die Brücke stellt
gemeinsam mit der Brücke eine NIC-Schaltung dar. Damit eine
besondere Stabilität der Regelung erhalten wird, wird ein
konstanter Strom in den mitkoppelnden NIC-Brückenzweig
eingeprägt.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung
mit den kennzeichnenden Merkmalen der Ansprüche 1 oder 3 haben
gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren und
Vorrichtungen den Vorteil, daß durch den Einsatz von Negative-Impe
danz-Konvertern anstelle von NTC-Widerständen ein wesentlich gerin
gerer Schaltungsaufwand für die Sensorsignal-Verstärkung und Korrek
tur der Nichtlinearitäten des Sensorsignals erforderlich ist.
Die Kompensation des Temperaturgangs der Empfindlichkeit wird durch
den Einsatz eines Negative-Impedanz-Konverters (NIC) ebenfalls we
sentlich vereinfacht, da ein einstellbarer und über einen weiten
Temperaturbereich konstanter Temperaturkoeffizient vorliegt.
Der Abgleich des Brückenoffsets der beiden Brückenschaltungen ist
ebenfalls mit geringerem Schaltungsaufwand sowie erhöhter Genauig
keit und minimaler Beeinflussung des Sensorsignaltemperaturgangs
möglich, da die Signalauskopplung über Dickschicht-Trimmpotentio
meter mit Mittenanzapfung erfolgt.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor
teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 3 ange
gebenen Vorrichtung realisiert.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung darge
stellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
In der Figur ist eine Schaltungsanordnung dargestellt, die zwischen
einer mit U+ bezeichneten Versorgungsspannnungsklemme und einer mit
U- bezeichneten und mit Masse verbundenen Spannungsklemme betrieben
wird.
Der eigentliche Sensor 10 besteht aus zwei Sensorelementen 11, 12,
die ihrerseits Widerstands-Brückenschaltungen R1 bis R4 und R5 bis
R5 sind und mit ihren Versorgungsdiagonalen auf der einen Seite an
den Ausgang eines Operationsverstärkers Op1 und an einen Pull-Up-Wi
derstand R15 und auf der anderen Seite direkt an Masse angeschlossen
sind. Mit Versorgungsdiagonale ist die Diagonale der Brückenschal
tung gemeint, die an die Versorgungsspannung angeschlossen ist.
Die andere Diagonale des Sensorelements 11 ist über die Mittenanzap
fung eines Dickschichttrimmpotentiometers R13 mit dem invertierenden
Eingang eines Operationsverstärkers Op1 verbunden, die andere Seite
dieser Brückendiagonale ist direkt mit dem nicht invertierenden Ein
gang des Operationsverstärkers Op1 verbunden. Die beiden anderen
Seiten des Dickschichttrimmpotentiometers R13 sind mit der Versor
gungsdiagonale des ersten Sensorelements 11 verbunden.
Zwischen der Versorungsspannungsklemme U+ und Masse liegt noch ein
Spannungsteiler R11, R12, wobei der Verbindungspunkt zwischen den
Widerständen R11 und R12 über einen Widerstand R9 ebenfalls mit dem
nicht invertierenden Eingang des Operationsverstärkers Op1 verbunden
ist. Das Sensorelement 11, der Operationsverstärker Op1, die Wider
stände R9, R11 und R12 sowie das Dickschichttrimmpotentiometer R13
werden in der nachfolgenden Funktionsbeschreibung als Stufe 1 be
zeichnet.
Das Sensorelement 12, das mit seiner Versorgungsdiagonalen an den
Ausgang des Operationsverstärkers Op1 und auf der anderen Seite
dieser Diagonalen mit Masse verbunden ist, ist über die Mittenan
zapfung eines Dickschichttrimmpotentiometers R14 mit dem nicht in
vertierenden Eingang eines Operationsverstärkers Op2 verbunden, des
sen invertierender Eingang mit der anderen Seite dieser Brücken
diagonale des Sensorelements 12 verbunden ist. Die beiden anderen
Anschlüsse des Dickschichttrimmpotentiometers R14 sind mit der Ver
sorgungsdiagonale des Sensorelements 12 verbunden.
Der Ausgang des Operationsverstärkers Op2 ist über einen Widerstand
R10 mit seinem invertierenden Eingang verbunden und weiterhin über
einen Widerstand R16 mit dem Verbindungspunkt zwischen den Wi
derständen R11 und R12.
Ein weiterer Zweig führt vom Ausgang des Operationsverstärkers Op2
über einen Widerstand R17 auf den nicht invertierenden Eingang eines
Operationsverstärkers Op3.
Das zweite Sensorelement 12, der Operationsverstärker Op2, der Wi
derstand R10 sowie das Dickschichttrimmpotentiometer R14 werden als
Stufe 2 bezeichnet.
Der bereits erwähnte Widerstand R17, der mit weiteren Widerständen
R19, R20 sowie R18 und einem Operationsverstärker Op3 in Verbindung
steht, stellt eine im weiteren als Stufe 3 bezeichnete Schaltungs
anordnung dar. Diese Beschaltung des Operationsverstärkers Op3 ist
im übrigen als Negative-Impedanz-Konverter (NIC) bekannt.
Der Widerstand R18 ist mit dem invertierenden Eingang eines weiteren
Operationsverstärkers Op4 verbunden, dieser ist in üblicher Weise
zwischen die Versorgungsspannungsklemme U+ und Masse geschaltet. Der
nicht invertierende Eingang des Operationsverstärkers Op4 ist über
einen Widerstand R22 mit Masse und über einen Widerstand R21 mit der
Versorgungsspannungsklemme verbunden.
Der Ausgang des Operationsverstärkers Op4 liegt über einem Wider
stand R37 an der Ausgangsklemme A der Schaltung, diese Ausgangs
klemme A ist außerdem über den Widerstand R32 mit Masse und über den
Widerstand R33 mit der Versorgungsspannungsklemme U+ verbunden. Ein
Kondensator C3 liegt zwischen dem Ausgang des Operationsverstärkers
Op4 und seinem invertierenden Eingang.
Der Schaltungsteil mit dem Operationsverstärker Op4, den mit dem Op4
in Verbindung stehenden Widerständen R21, R22, R32, R33, R36 und R37
sowie dem Kondensator C3 wird im folgenden als Stufe 4 bezeichnet
und stellt einen Summierverstärker dar.
Ein Widerstandsnetzwerk, das die Widerstände R23 bis R31 sowie die
Widerstände R34 und R35 umfaßt, liegt zwischen der Versorgungsspan
nungsklemme U+ und Masse.
Außer den bisher beschriebenen Bauteilen liegt noch ein Kondensator
C1 zwischen der Versorgungsspannungsklemme U+ und Masse und ein Kon
densator C2 zwischen Masse und der Ausgangsklemme A.
Die Widerstände R1-R4 des 1. Sensorelements, die Widerstände R5-R8
des 2. Sensorelements sowie die Widerstände R9 und R10 sind aus der
gleichen Widerstandspaste hergestellt.
Die Dickschichtpotentiometer R13, R14 sind aus einer zum Trimmen
geeigneten, stabilen Widerstandspaste gefertigt, so daß beim Trimm
vorgang keine unerwünschten Fehler erzeugt werden.
Die Widerstände R18 bis R25 sowie R28, R29 sowie R32 bis R37 sind
trimmbar und werden geeignet abgestimmt, die Widerstände R26, R27,
R30, R31 sind NTC-Widerstände mit negativen Temperaturkoeffizienten,
die Widerstände R17, R28, R25, R29 sind PTC-Widerstände mit posi
tivem Temperaturkoeffizienten.
Der Operationsverstärker Op1 der Stufe 1, dem das Signal S1 des Sen
sorlements 11 zugeführt wird, ist als Negative-Impedanz-Konverter
(NIC) geschaltet. Die Widerstände R1 bis R4 des Sensorelements 11
bilden dabei unmittelbar die Beschaltung des NIC. Die Verstärkung
des Operationsverstärkers Op1 wird bestimmt durch das Verhältnis des
Widerstandes R9 zum Innenwiderstand des Brückenzweiges R1, R2. Die
Widerstände R1 bis R4 des Sensorelements 11 sowie der Widerstand R9
sind aus der selben Sensorwiderstandspaste hergestellt, dadurch ist
eine enge Verteilung der Verstärkung gewährleistet. Der Arbeitspunkt
des Operationsverstärkers Op1 wird durch den Spannungsteiler R11/R12
festgelegt, an seinem Ausgang entsteht die Spannung U15. Die Span
nung, die zwischen den Widerständen R11, R12 liegt, wird mit U19
bezeichnet.
Das Dickschichttrimmpotentiometer mit Mittenanzapfung R13 kompen
siert den Brückenoffset des Sensorelements 11, es belastet den Aus
gang des Operationsverstärkers Op1 nur geringfügig und ist für posi
tive und negative Offsetwerte in einem weiteren Bereich geeignet. Da
das Dickschichttrimmpotentiometer R13 eine Mittenanzapfung aufweist,
ist ein gleitender Abgriff der Brückenspannung möglich, ohne daß die
Brückenspannung selbst dadurch beeinflußt wird.
Da das Dickschichttrimmpotentiometer aus einer zum Trimmen geeig
neten und stabilen Widerstandspaste gefertigt wird, läßt sich eine
besonders gute Stabilität erzielen. Diese Stabilität ist deutlich
besser als die Stabilität eines vergleichbaren Spannungsteilers aus
Einzelwiderständen.
Die Dimensionierung der Widerstände der Stufe 1 wird so vorgenommen,
daß der Gesamtwiderstand des Dickschichttrimmpotentiometers R13
viermal größer ist als der Wert des Widerstandes R9. Damit ist ge
währleistet, daß beide Brückenhalbzweige des Sensorelements 11 etwa
gleich stark belastet und damit auch gleich hoch verstärkt werden.
Ein Tracking zwischen den Widerständen R9 und R13 ist nicht erfor
derlich, da die Belastung der Halbbrückenzweige nur einen Bruchteil
des Innenwiderstandes ausmacht.
Die erste Stufe der Schaltungsanordnung übernimmt also insgesamt die
Vorverstärkung sowie die Beaufschlagung der Speisediagonalen der
Brückenschaltung des Sensorelements 11 mit dem vorverstärkten und
invertierten Drucksignal. Die aktive Rückkopplung des Drucksignals
auf die Speisediagonale dient zur Linearisierung der Kennlinie, da
gegenüber einer konstant gespeisten Widerstandsbrücken die Empfind
lichkeit bei zunehmendem Druck durch Absenkung der Speisespannung
zurückgenommen wird.
Der Arbeitspunkt des Operationsverstärkers Op1 der ersten Stufe
liegt bei der gewählten Dimensionierung der Schaltung bei nicht
verstimmter Brücke bei: U15 = 2 U19, am Ausgang entsteht die
Spannung U16.
Mit zunehmender Verstimmung der Brücke ändert sich die Ausgangs
spannung nach einer Funktion, die abhängig ist von den Werten der
Widerstände R1 bis R4. Diese Ausgangsspannung wirkt damit dem durch
das Sensorelement gegebenen nichtlinearen Verlauf der Verstimmung
als Funktion des Druckes entgegen.
Die Widerstände R5 bis R8 des Sensorelements 12 bilden zusammen mit
der Brückenaussteuerung das Eingangssignal S2 des als Differenzver
stärker arbeitenden Operationsverstärkers Op2. Die Differenzver
stärkung, die durch den Widerstand R10 bestimmt wird, leistet die
Vorverstärkung des Sensorelements 12, wobei die Versorgung der
Brücke zur Linearisierung durch den Operationsverstärker Op1 druck
abhängig erfolgt. Der Widerstand R10 sowie die Widerstände R5 bis R8
sind im übrigen aus derselben Widerstandspaste hergestellt.
Das verstärkte Signal der Sensorbrücke 11 wird in ein Gleichtakt
signal an der Sensorbrücke 12 umgesetzt, das mit der Gleichtaktver
stärkung 1 verstärkt wird. In Stufe 2 ist damit die Vorverstärkung
der Sensorbrücke 12 und die Summation der beiden von den Sensor
elementen 11 und 12 gelieferten Signale in einer einzigen Stufe
realisiert.
Eine Dimensionierung von R10 = R9 ergibt eine Summation der von den
beiden Sensorelementen 11, 12 gelieferten Signale im Verhältnis
1 : 1. Der Brückenoffset des Sensorelements 12 wird ebenso wie der
Brückenoffset des Sensorelements 11 mit Hilfe eines Dickschicht
trimmpotentiometers R14 kompensiert und wobei aus Symmetriegründen
gilt, daß der Wert des Widerstands R14 dem vierfachen Wert des Wi
derstandes R10 entspricht. Als Dickschichttrimmpotentiometer R14
wird ein aus einer geeigneten Widerstandspaste hergestelltes Dick
schichttrimmpotentiometer verwendet.
Für Stufe 2 gilt, wenn das Trimmpotentiometer sich in Mittelstellung
befindet und die Widerstände R5 = R8, R6 = R7, R14 = 4 . R10 sind,
daß die Verstimmung der Brücke eine Funktion des Druckes ist und
außerdem abhängig von den Werten der Widerstände R5 bis R7. Der
Arbeitspunkt der zweiten Stufe liegt bei nicht verstimmter Brücke
bei
Durch Rückkopplung des gewonnenen Summationssignals über den Wider
stand R16 auf U19 lassen sich unterschiedlich große Krümmungen der
Kennlinie linearisieren. Werden diese Kennlinien vermessen, so daß
der genaue Verlauf bekannt ist, können sie exakt abgeglichen werden,
wodurch eine wesentlich höhere Genauigkeit des Dickschichtdruck
fühlers zu erzielen ist.
Der Operationsverstärker Op3 der Stufe 3 ist ein als Negative-Impe
danz-Konverter (NIC) beschalteter Operationsverstärker, der zur Kom
pensation des Temperaturgangs der Empfindlichkeit dient. Dabei soll
der NIC den eigentlich erforderlichen NTC-Widerstand, also einen
Widerstand mit negativem Temperaturkoeffizienten ersetzen. Die Ver
wendung eines NIC anstelle eines NTC ist hier besonders vorteilhaft,
da NTC-Widerstände üblicherweise einen stark gekrümmten Verlauf des
Temperaturgangs aufweisen und dieser dann zusätzlich kompensiert
werden müßte.
Die Schaltungsanordnung der Stufe 3 weist dagegen einen PTC-Wider
stand auf, der durch die geeignete Beschaltung mit dem Operations
verstärker Op3 dieselben Eigenschaften erzielen läßt, jedoch ohne
daß eine zusätzliche Unsicherheit durch einen gekrümmten Temperatur
gang erzeugt wird.
Für den Summationsverstärker in der vierten Stufe stellt der Opera
tionsverstärker Op3 zusammen mit den Widerständen R17, R19, R18 und
R20 einen NTC-Widerstand mit dem Wert Rn dar, für den die Bedingung
gilt:
wobei der Widerstand R17 ein PTC-Widerstand
ist. Der Widerstandswert für diesen nachgebildeten Widerstand sowie
sein Temperaturkoeffizient läßt sich demnach durch die Widerstände
R18 bis R20 abgleichen.
Für den Abgleich des Temperaturkoeffizienten Tk der Verstärkung wird
in einer Temperaturgangmessung der Istwert des gesamten Einkoppel
widerstandes ermittelt, daraus wird der zu trimmende Wert des Ab
gleichwiderstandes R18 bestimmt.
In der vierten Stufe werden das Drucksignal und die Temperaturkom
pensationssignale summiert. Aus einer Temperaturgangmessung sind die
Gewichtungswiderstände R34 und R35 exakt vorherbestimmbar, da die
Stufe 4 keine Rückwirkungen zu den vorhergehenden Stufen aufweist.
Ebenso hat die Einstellung der Kennlinie keinen Einfluß auf die Tem
peraturkompensation, so daß nach der Temperaturkompensation prinzi
piell beliebige Kennlinienvarianten ausführbar sind.
Der Ausgang der Stufe 4 ist als Tiefpaß zweiter Ordnung beschaltet,
so daß kapazitive Lasten nicht zum Schwingen führen können und Stör
impulse auf der Leitung abgeblockt werden.
Am Ausgang des Sensors liegt eine Spannungsbegrenzungsschaltung, die
aus den Widerständen R32, R33 und R37 besteht. Durch geeignete Aus
wahl dieser Widerstände wird sichergestellt, daß am Sensorausgang im
normalen Betrieb nur Spannungswerte zwischen 2,4 V und 4,8 V möglich
sind. Es ist daher bei Kurzschluß oder Unterbrechungen der Zuleitun
gen zusammen mit der nachfolgenden Beschaltung des Steuergeräte
eingangs eine Fehlerdiagnose möglich, eine Störung während des Be
triebes wird kurze Zeit nach ihrem Auftreten vom Steuergerät erkannt
und angezeigt.
Die in der Figur dargestellte Schaltungsanordnung befindet sich auf
einem Hybrid dessen Rückseite durch Metallisierung eine flächige
Bezugsmasse bildet, die einerseits als Bezugspotential für Abblock
kondensatoren dient und andererseits eine halbseitige direkte Ab
schirmung der Schaltungsanordnung bildet. Geeignete Durchkontaktie
rungen stellen eine kurze massive Verbindung zur Masse her, durch
Abblockkondensatoren an den externen Druckfühleranschlüssen wird die
Leitungseinstrahlung gedämpft. Durch diese Maßnahmen wird eine gute
elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) sichergestllt.
Die gute Symmetrie, die durch die reine Widerstandsbeschaltung der
Operationsverstärkereingänge, insbesondere der ersten und der zwei
ten Stufe sowie durch die Ausgestaltung des Lay-Outs erhöhen die
Einstrahlfestigkeit wesentlich.
Claims (8)
1. Verfahren zur Sensorsignalaufbereitung für einen Drucksensor,
der zwei Sensorelemente umfaßt, die unter Einwirkung
eines Druckes Signale (S1, S2) abgeben, die zu einem
aufzubereitenden Sensorsignal überlagert werden und zur
Temperaturkompensation mit einem temperaturabhängigen
Signal überlagert werden, dadurch gekennzeichnet, daß
wenigstens ein Teil des temperaturabhängigen Signales mit
Hilfe von wenigstens einem als Negative-Impedanz-
Konverter (NIC) geschalteten Operationsverstärker erzeugt
wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Signale (S1, S2) über eine Mittenanzapfung von je
einem, mit den Sensorelementen (11, 12), in Verbindung
stehenden Dickschichttrimmpotentiometer (R13, R14)
ausgekoppelt werden.
3. Vorrichtung zur Sensorsignalaufbereitung für einen
Drucksensor, der zwei Sensorelemente umfaßt, die unter
Einwirkung eines Druckes Signale (S1, S2) abgeben, die zu
einem aufzubereitenden Sensorsignal überlagert werden und
zur Temperaturkompensation mit einem temperaturabhängigen
Signal überlagert werden, dadurch gekennzeichnet, daß das
temperaturabhängige Signal mit Hilfe einer
Schaltungsanordnung, die wenigstens einen als Negative-
Impedanz-Konverter (NIC) geschalteten
Operationsverstärker aufweist, erzeugt wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
den beiden Sensorelementen (11, 12)
Dickschichttrimmpotentiometer R13, R14 zugeordnet sind,
die jeweils parallel zur Speisediagonale liegen und mit
ihrer Mittenanzapfung mit einer Seite der Signaldiagonale
verbunden sind und mit der anderen Seite der
Mittenanzapfung mit der weiteren Schaltungsanordnung.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Mittenanzapfung des Dickschichttrimmpotentiometers
(R13) mit einem als Negative-Impedanz-Konverter
beschalteten Operationsverstärker in Verbindung steht,
daß die Mittenanzapfung des
Dickschichttrimmpotentiometers R14 mit einem als
Differenzverstärker beschalteten Operationsverstärker
Op2 in Verbindung steht und die beiden
Operationsverstärker Op1, Op2 über einen Widerstand
(R16) miteinander in Verbindung stehen und ein weiterer
als Negative-Impendanz-Konverter beschalteter
Operationsverstärker Op3 sowie ein Operationsstärker
Op4 nachgeschaltet sind, und der Operationsverstärker
Op4 mit einem weiteren, temperaturabhängigen Widerstand
in Verbindung steht, wobei am Ausgang des
Operationsverstärkers Op4 die temperaturkompensierte
Ausgangsspannung erzeugt wird.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorelemente (11, 12)
zwei Dickschicht-Widerstandsbrückenschaltungen (R1 bis
R4, R5 bis R8) sind.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 3 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte Anordnung auf
einem Hybrid untergebracht ist, dessen Rückseite
metallisiert ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem
Operationsverstärker Op4 und dem Ausgang (A) eine aus
den Widerständen R32, R33, R34) gebildete Einrichtung zur
Spannungsbegrenzung liegt.
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JP3195032B2 (ja) | 2001-08-06 |
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8320 | Willingness to grant licenses declared (paragraph 23) | ||
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