DE4024618A1 - Geraet zur abbildung von oberflaechenbildinformationen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Gerät zur Erfassung und Abbildung von Oberflächeninformationen einer Vorlage mittels über Linsen­ einrichtungen auf sensitive Teilflächen übertragbare Teilbild­ informationen.

Ein derartig definiertes Gerät ist durch die DE-31 40 217 A1 offenbart. Das optische Abbildungssystem besteht hier aus einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Linsen, die die abzu­ bildende Oberflächenbildinformation als Teilbildinformationen auf den Linsen fest zugeordnete sensitive Teilflächen übertra­ gen. Die Teilbildinformationen auf den Teilflächen stellen also das gesamte Abbild des jeweils abzubildenen Teiles der Ober­ flächenbildinformation dar.

Mit der Steigerung der Bildqualität sind dementsprechend auch sehr teure hochsensitive Teilflächen - also Flächensensoren mit mehreren Megabyte Pixeln - erforderlich. Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, ein Gerät zur Erfassung und Abbildung von Oberflächenbildinformationen zu definieren, mit dem zum einen die Forderung zur erheblichen Steigerung der Bildqualität erfüllt ist und zum anderen preiswerte Flächen­ sensoren mit marktüblichen Leistungsmerkmalen eingesetzt werden können. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die Oberflächenbildinformationen jeweils blockweise mit einer der Anzahl von Teilbildinformationen entsprechenden Zahl von Strahl­ teileinrichtungen vervielfachbar sind und daß jeder Strahlteil­ einrichtung eine separate Linseneinrichtung zur Übertragung eines bestimmten Teiles der Teilbildinformation auf die entsprechende sensitive Teilfläche zugeordnet ist.

Mit dem Vervielfachen der Teilbildinformation durch die Strahl­ teileinrichtungen und der damit verbundenen Möglichkeit, einzelne Teile der Teilbildinformation auf die entsprechenden sensitiven Teilflächen zu übertragen, können für die sensitiven Teilflächen handelsübliche Flächensensoren, beispielsweise 250 kBit CCD-Fotosensoren, eingesetzt werden. Als erfindungs­ wesentlich ist in diesem Zusammenhang anzusehen, daß die Teil­ bildinformationen mit einer der gewünschten Hochauflösung ent­ sprechenden Anzahl von ganzzahligen Teilbildern, die an die jeweiligen Größenverhältnisse der verfügbaren sensitiven Teil­ flächen angepaßt sind, zusammengesetzt werden können.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die sensitiven Teilflächen derartig einander zugeordnet sind, daß die Oberflächenbildinformationen jeweils in eine obere Halbbildinformation und in eine untere Halbbildinformation zerlegbar ist, so daß zur Abbildung der gesamten Oberflächen­ bildinformation zwei sensitive Teilflächen zusammengefaßt sind. Dies bedeutet, daß der Informationsgehalt einer Teilfläche nur den halben Wert der gesamten Oberflächenbildinformation zu entsprechen hat.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung ist damit erreicht, daß den sensitiven Teilflächen Speichereinrichtungen zugeordnet sind, die mittels einer Korrektureinheit die in den Randbe­ reichen sich überlappenden Teilbildinformationen eliminiert. Mit der Überlappung der Teilbildinformationen im Randbereich und deren Korrektur durch Elimination der Doppelbewertung ist eine optimale Bildauflösung ohne Verfälschungen im Randbereich sichergestellt.

Die Erfindung ist in einem figürlich dargestellten Ausführungs­ beispiel näher erläutert, in dem lediglich die zum Verständ­ nis der Erfindung notwendigen Funktionseinheiten im Auszug dargestellt sind. Das Gerät zur Abbildung und Erfassung von Oberflächeninformationen einer Vorlage besteht im wesentlichen aus den Strahlteileinrichtungen TE... und den dazugehörigen Linseneinrichtungen LE.... Als sensitive Teilflächen OHB, UHB sind zwei CCD-Flächensensoren dargestellt, wobei der Flächen­ sensor OHB die obere Halbbildinformation und der Flächensensor UHB die untere Halbbildinformation der abzubildenden Ober­ flächenbildinformation OBI enthält. Weiterhin ist angedeutet, daß die sensitiven Teilflächen OHB, UHB mit der Speicherein­ richtung SPE funktionell verknüpft sind, die in bekannter Weise mittels der Korrektureinrichtung KOE die bei den zusammenge­ setzten Teilbildinformationen entstehenden Überlappungen durch Eliminierung der Doppelbewertung bewirkt.

Die Oberflächenbildinformation OBI wird erzeugt, indem das Bild der Vorlage mit hoher Beleuchtungsstärke kurzzeitig aus­ geleuchtet wird. Die Oberflächenbildinformation OBI wird dann mittels der ersten Strahlteileinrichtung TE1 in zwei Bilder aufgespalten, so daß zwei räumlich voneinander getrennte Voll­ bilder entstehen. Mit der zweiten und den weiteren Strahlteil­ einrichtungen TE2, TEN-1, TEN wird die Oberflächenbildinfor­ mation OBI weiter vervielfacht und mittels der jeder Strahlteil­ einrichtung TE... zugeordneten Linseneinrichtung LE... auf die entsprechenden sensitiven Teilflächen OHB, UHB übertragen. Wie in der Figur angedeutet, grenzt der von dem jeweiligen Flächen­ sensor der sensitiven Teilfläche erfaßte Bildbereich nicht pixelgenau an den Nachbarbereich an, sondern überlappt diesen. Die mittels der Speichereinrichtung SPE abgespeicherten Infor­ mationen, die in dem Randbereich durch die Bildüberlappung teilweise doppelt bewertet sind, können durch die Korrektur­ einrichtung KOE eliminiert werden, so daß die abgebildete Ober­ flächenbildinformation OBI auch nach der Zusammensetzung aus den Teilbildinformationen unverfälscht abgebildet werden kann.

Claims (3)

1. Gerät zur Erfassung und Abbildung von Oberflächenbildinfor­ mationen einer Vorlage mittels über Linseneinrichtungen auf sensitive Teilflächen übertragbare Teilbildinformationen, dadurch gekennzeichnet, daß die Ober­ flächenbildinformationen (OBI) jeweils blockweise mit einer der Anzahl von Teilbildinformationen entsprechenden Zahl von Strahlteileinrichtungen (TE1, TE2, N-1, N) vervielfachbar sind und daß jeder Strahlteileinrichtung (TE...) eine separate Linseneinrichtung (LE...) zur Übertragung eines bestimmten Teiles der Teilbildinformation auf die entsprechende sensitive Teilfläche (OHB, UHB) zugeordnet ist.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die sensitiven Teilflächen (OHB, UHB) derartig einander zugeordnet sind, daß die Oberflächenbildin­ formationen (OBI) jeweils in eine obere Halbbildinformation (OHB) und in eine untere Halbbildinformation (UHB) zerlegbar ist.

3. Gerät nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß den sensitiven Teilflächen (OHB, UHB) Speichereinrichtungen zugeordnet sind, die mittels einer Korrektureinheit (KOE) die in den Randbereichen sich überlappenden Teilbildinformationen eliminiert.