DE4020527A1 - Optische messmaschine - Google Patents
Optische messmaschineInfo
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
Landscapes
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19904020527 DE4020527A1 (de) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | Optische messmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19904020527 DE4020527A1 (de) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | Optische messmaschine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4020527A1 true DE4020527A1 (de) | 1992-01-09 |
| DE4020527C2 DE4020527C2 (enExample) | 1993-07-01 |
Family
ID=6409214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19904020527 Granted DE4020527A1 (de) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | Optische messmaschine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4020527A1 (enExample) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335824B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-01-01 | Genetic Microsystems, Inc. | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
| DE102005039949A1 (de) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | Olympus Soft Imaging Solutions Gmbh | Optische Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabeeinheit |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5880465A (en) * | 1996-05-31 | 1999-03-09 | Kovex Corporation | Scanning confocal microscope with oscillating objective lens |
| US6201639B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-03-13 | James W. Overbeck | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
| DE10001429A1 (de) * | 2000-01-15 | 2001-07-19 | Volkswagen Ag | Vorrichtung zur Kalibrierung optischer Meßsysteme und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1638032C3 (de) * | 1967-04-17 | 1977-09-22 | The Gerber Scientific Instrument Co, South Windsor, Conn (VStA) | Numerisch arbeitende Programmsteuerung |
| DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
| DE3800427A1 (de) * | 1988-01-09 | 1989-07-20 | Breitmeier Ulrich | Geraet zum genauen ermitteln des abstandes eines auf einer pruefflaeche liegenden pruefpunktes von einer referenzflaeche |
-
1990
- 1990-06-28 DE DE19904020527 patent/DE4020527A1/de active Granted
Patent Citations (3)
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| US7312919B2 (en) | 1998-03-20 | 2007-12-25 | Affymetrix, Inc. | Wide field of view and high speed scanning microscopy |
| DE102005039949A1 (de) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | Olympus Soft Imaging Solutions Gmbh | Optische Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabeeinheit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4020527C2 (enExample) | 1993-07-01 |
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