DE4011993A1 - Verfahren zur herstellung einseitig polierter scheiben, insbesondere halbleiterscheiben, durch chemomechanische zweiseitenpolitur, sowie dadurch erhaeltliche halbleiterscheiben - Google Patents

Verfahren zur herstellung einseitig polierter scheiben, insbesondere halbleiterscheiben, durch chemomechanische zweiseitenpolitur, sowie dadurch erhaeltliche halbleiterscheiben

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Harald Dipl Chem Dr Hoffmann
Walter Dipl Ing Kudlich
Anton Dipl Chem Dr Schnegg
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