DE4010493C2 - Sensor zur Detektion von Gasen - Google Patents

Sensor zur Detektion von Gasen

Info

Publication number
DE4010493C2
DE4010493C2 DE19904010493 DE4010493A DE4010493C2 DE 4010493 C2 DE4010493 C2 DE 4010493C2 DE 19904010493 DE19904010493 DE 19904010493 DE 4010493 A DE4010493 A DE 4010493A DE 4010493 C2 DE4010493 C2 DE 4010493C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor element
sensor
metal oxide
poly
gases
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19904010493
Other languages
English (en)
Other versions
DE4010493A1 (de
Inventor
Hanns Rump
Claus-Dieter Kohl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Paragon AG
Original Assignee
ITVI INTTECH VENTURE INVESTA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19893934532 external-priority patent/DE3934532A1/de
Application filed by ITVI INTTECH VENTURE INVESTA filed Critical ITVI INTTECH VENTURE INVESTA
Priority to DE19904010493 priority Critical patent/DE4010493C2/de
Publication of DE4010493A1 publication Critical patent/DE4010493A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4010493C2 publication Critical patent/DE4010493C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
    • G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B1/00—Engines characterised by fuel-air mixture compression
    • F02B1/02—Engines characterised by fuel-air mixture compression with positive ignition
    • F02B1/04—Engines characterised by fuel-air mixture compression with positive ignition with fuel-air mixture admission into cylinder

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor zur Detektion von Gasen, bestehend aus einem Metalloxid-Sensorelement, zumindest einem weiteren Sensorelement sowie einer Aus­ werteelektronik zur Auswertung der vom Metalloxid-Sensor­ element und dem zumindest einen weiteren Sensorelement abgegebenen Signale.
Aus der nicht vorveröffentlichten DE-OS 39 34 532 ist es bekannt, daß Gassensoren, bei denen Metalloxide als Detek­ tionssubstanzen eingesetzt werden, bei Anwesenheit oxidier­ barer Gase zwar gegenüber diesen oxidierbaren Gasen mit einer elektrischen Widerstandswertänderung reagieren, daß sie allerdings auch auf die Anwesenheit von sauerstofftra­ genden Gasen reagieren. Daher ist es bei gleichzeitiger An­ wesenheit oxidierbarer und sauerstofftragender bzw. redu­ zierbarer Gase in einem bestimmten Mischungsverhältnis so­ gar möglich, daß sich die Einzelreaktionen der Detektions­ substanzen aufheben; in jedem Fall werden bei gleichzeiti­ ger Anwesenheit oxidierbarer und reduzierbarer Gase die auf der elektrischen Widerstandsänderung basierenden Meßsignale verfälscht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den eingangs ge­ schilderten Sensor zur Detektion von Gasen derart weiterzu­ bilden, daß der vorstehend geschilderte Maskierungseffekt nicht mehr auftritt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das zumindest eine weitere Sensorelement aus einem organischen Halbleitermaterial, nämlich aus Polypyroll, Polyazulen, Polykarbazol, Prophyrin, Polyphenyl-Acetylen, Poly-Imidazol, Polyamid oder Polyimid besteht. Das weitere Sensorelement kann, wie vorzugsweise auch das Metalloxid-Sensorelement, beheizt werden.
Zweckmäßigerweise kann der erfindungsgemäße Sensor weitere Sensorelemente aufweisen, die zu einem Array zusammenge­ schaltet sind.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsge­ mäßen Sensors ist jedes weitere Sensorelement aus einer be­ liebigen Kombination von Polypyroll, Polyazulen, Polykarba­ zol, Prophyrin, Polyphenyl-Acetylen, Poly-Imidazol, Polyamid, Polyimid sowie Phthalocyanin gebildet.
Bei Verwirklichung des erfindungsgemäßen Sensors hat sich herausgestellt, daß nicht nur Phthalocyanin und Zinndioxid, sondern vorteilhaft eine Reihe anderer, nämlich der vor­ stehend aufgeführten Substanzen miteinander kombiniert wer­ den können. Stets ist bei dem erfindungsgemäßen Sensor der Grundgedanke verwirklicht, demgemäß ein Sensorelement mit typischer Empfindlichkeit gegenüber oxidierbaren Gasen mit einem Sensorelement mit einer typischen Empfindlichkeit ge­ genüber reduzierbaren Gasen gekoppelt ist.
Zweckmäßigerweise sind das Metalloxid-Sensorelement und die weiteren Sensorelemente des erfindungsgemäßen Sensors in Sensorelementgruppen in Dünnfilmtechnik auf einen beheiz­ ten Keramikträger aufgebracht, wobei es sich bei dem Keramik­ träger vorteilhaft um einen Siliziumträger handeln kann.
Die zumindest zwei elektrischen Ausgangssignale der zumin­ dest zwei Sensorelemente werden einer Auswerteelektronik zu­ geführt. Entsprechend den charakteristischen Kenndaten der jeweiligen Sensorelemente werden die einzelnen elektrischen Ausgangssignale so miteinander verknüpft, daß ein korri­ giertes und kompensiertes Ausgangssignal eines der Sensor­ elemente erhalten wird; vorzugsweise handelt es sich hier­ bei um das Ausgangssignal des Metalloxid-Sensorelements.

Claims (5)

1. Sensor zur Detektion von Gasen, bestehend aus einem Metalloxid-Sensorelement, zumindest einem weiteren Sensor­ element sowie einer Auswerteelektronik zur Auswertung der vom Metalloxid-Sensorelement und dem zumindest einen weiteren Sensorelement abgegebenen Signale, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das zumindest eine weitere Sensor­ element aus einem organischen Halbleitermaterial, nämlich aus
Polypyroll,
Polyazulen,
Polykarbazol,
Prophyrin,
Polyphenyl-Acetylen,
Poly-Imidazol,
Polyamid oder
Polyimid,
besteht.
2. Sensor nach Anspruch 1, der mehrere weitere Sensor­ elemente aufweist, die zu einem Array zusammengeschaltet sind.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, bei dem jedes weitere Sensorelement aus einer beliebigen Kombination von Poly­ pyroll, Polyazulen, Polykarbazol, Prophyrin, Ployphenyl- Acetylen, Poly-Imidazol, Polyamid, Polyimid sowie Phthalo­ cyanin gebildet ist.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Metalloxid-Sensorelement und die weiteren Sensorelemente in Sensorelementgruppen in Dünnfilmtechnik auf einem be­ heizten Keramikträger aufgebracht sind.
5. Sensor nach Anspruch 4, bei dem der Keramikträger ein Siliziumträger ist.
DE19904010493 1989-10-17 1990-03-31 Sensor zur Detektion von Gasen Expired - Fee Related DE4010493C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904010493 DE4010493C2 (de) 1989-10-17 1990-03-31 Sensor zur Detektion von Gasen

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893934532 DE3934532A1 (de) 1989-10-17 1989-10-17 Apparat und verfahren zur detektion oxidierbarer gase
DE19904010493 DE4010493C2 (de) 1989-10-17 1990-03-31 Sensor zur Detektion von Gasen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4010493A1 DE4010493A1 (de) 1991-10-02
DE4010493C2 true DE4010493C2 (de) 1999-10-07

Family

ID=25886157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19904010493 Expired - Fee Related DE4010493C2 (de) 1989-10-17 1990-03-31 Sensor zur Detektion von Gasen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4010493C2 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4218883C2 (de) * 1992-06-09 1999-05-20 Itvi Inttech Venture Investa Gassensorsystem mit auf Leiterplatte integrierten Gassensoren
FR2728713A1 (fr) * 1994-12-23 1996-06-28 Neutronic Dispositif detecteur de fumees d'incendie
CN111796005B (zh) * 2019-12-24 2023-12-19 有研工程技术研究院有限公司 一种低温微型气敏元件及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3934532A1 (de) * 1989-10-17 1991-04-18 Rump Elektronik Tech Apparat und verfahren zur detektion oxidierbarer gase

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3934532A1 (de) * 1989-10-17 1991-04-18 Rump Elektronik Tech Apparat und verfahren zur detektion oxidierbarer gase

Also Published As

Publication number Publication date
DE4010493A1 (de) 1991-10-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1364186B1 (de) Multiturn-codedrehgeber
EP0527258A1 (de) Gassensor-Array zur Detektion einzelner Gaskomponenten in einem Gasgemisch
DE4424342C1 (de) Sensorarray
DE3325353A1 (de) Positionssensor
DE19956361A1 (de) Drehwinkelsensor
WO1986000986A1 (en) Magnetoresistive device for measuring magnetic field variations and method for fabricating the same
DE4010493C2 (de) Sensor zur Detektion von Gasen
EP1770375B1 (de) Positionsmesseinrichtung mit zwei Massverkörperungen deren Codespuren sich gegenseitig überlappen
DE3235062A1 (de) Verfahren und schaltung zur temperaturkompensation in einer thermosaeule
DE4221385C2 (de) Bauelement zur potentialfreien Strommessung
DE19701137B4 (de) Längensensorchip, dessen Ebene einer Maßstabsebene gegenübersteht
EP0155391B1 (de) Anordnung zum Messen von elektrischen Strömen unter Verwendung eines Magnetfeldsensors
DE3719328A1 (de) Magnetoresistiver sensor fuer einen kodierer
DE3245501A1 (de) Wegaufnehmer
DE2756364A1 (de) Fotoelektrische nivellierlatte
DE3622043C2 (de)
DE2918413A1 (de) Einrichtung zur fernmessung von druck
DE2902945A1 (de) Sensor
DE19928399A1 (de) Stromsensor
DE102016121353A1 (de) Dünnschicht-widerstandsvorrichtung zur verwendung in einer integrierten schaltung, integrierte schaltung mit dünnschicht-widerstandsvorrichtung
DE3906917C2 (de)
DD220844A1 (de) Digitale elektrooptische anzeigeneinheit
DE1952402A1 (de) Magnetkopf
DE10032671B4 (de) Lenkkraftunterstützungssystem für Kraftfahrzeuge
EP0911620A2 (de) Detektoreinrichtung zur Verwendung in der Atomabsorptionsspektroskopie

Legal Events

Date Code Title Description
AF Is addition to no.

Ref country code: DE

Ref document number: 3934532

Format of ref document f/p: P

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: I.T.V.I. INTERNATIONAL TECHNO VENTURE INVEST AG, V

8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: SPALTHOFF UND KOLLEGEN, 45131 ESSEN

8162 Independent application
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PARAGON AG, 33129 DELBRUECK, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee