DE4005491A1 - Interferometer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Interferometer nach Michelson zur Erzeugung optischer Wegunterschiede nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Bei einem klassischen Interferometer nach Michelson wird ein Interferogramm, d. h. die Fourier-Transformierte des Spektrums der Strahlung erzeugt, indem die zu untersuchende Strahlung in amplitudengleiche Hälften geteilt wird und diese Hälften nach Durchlaufen getrennter Wege wieder zusammengeführt und auf einen Strahlungsdetektor gelenkt werden. Dabei wird durch stetige oder schrittweise Änderung der Länge des einen Wegs ein Wegunterschied und damit eine sich ändernde Phase zwischen beiden Strahlungshälften erzeugt. Die Änderung der Weglänge ist durch eine Linearverschiebung eines Spiegels erreicht.

Bei einer Weiterentwicklung, welche beispielsweise in DE 34 31 040 C2 oder in dem EP-Patent 01 46 768 B1 beschrieben ist, ist die Linearbewegung des Spiegels durch eine Rotationsbewegung, und zwar durch eine Nutation eines Retroreflektors ersetzt, dessen Rotationsachse exzentrisch angeordnet und bezüglich der optischen Achse, d. h. der Ausbreitungsrichtung der zu untersuchenden Strahlung, geneigt ist. Die spektrale Auflösung dieser bekannten Interferometer ist proportional zur Achsneigung und zur Exzentrizität. Das wiederum bedeutet, für einen Retroreflektor bestimmten Durchmessers ist die Brauchbarkeit der gesamten Anordnung durch diese beiden Parameter begrenzt. Eine zu starke Achsneigung führt beispielsweise dazu, daß die Strahlung die Anordnung in unerwünschter Weise verläßt, während eine zu starke Exzentrizität den nutzbaren Strahldurchmesser reduziert. Ebenso ist die spektrale Auflösung durch den Durchmesser des Retroreflektors begrenzt.

Nachteilig bei diesen Geräten ist somit, daß Reflektoren mit großer Apertur verwendet werden müssen, wenn eine hohe spektrale Auflösung gewünscht wird. Da die Reflektoren grundsätzlich von hoher optischer Qualität sein müssen, steigt der Aufwand mit zunehmender Apertur. Darüber hinaus ist bei großen Reflektoren, insbesondere für hohe Drehzahlen, eine sehr präzise Auswuchtung unabdingbar, wodurch dann die Geräte beinahe zwangsläufig größer und schwerer werden.

Weiterhin ist nachteilig, daß die Einstellung einer geringeren als der maximalen Auflösung nur durch Änderung der Achsneigung oder der Exzentrizität des rotierenden Retroreflektors erreichbar ist. Hierzu sind mechanische Einstellungen nötig, wodurch sich wiederum die Signalfrequenzen ändern. Wird nämlich bei konstanter Drehzahl ein geringerer Wegunterschied erzeugt, so wird in gleicher Zeit ein kleinerer Teil des Interferogramms erzeugt, dessen Signalfrequenzen niedriger sind. Darüber hinaus ist auch die elektronische Signalfilterung diesem Umstand anzupassen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Interferometer gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zu schaffen, bei welchem mit einem geringen Mehraufwand eine höhere spektrale Auflösung erreicht wird, und bei welchem die Auflösung mit kleinem Aufwand ein- bzw. verstellbar ist. Gemäß der Erfindung ist dies bei einem Michelson-Interferometer nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 4 bis 6 durch die Merkmale in deren kennzeichnenden Teil erreicht. Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Interferometers sind Gegenstand der Unteransprüche.

Bei der Erfindung ist von einem optischen Interferometer nach Michelson mit einem rotierenden Retroreflektor ausgegangen, wie beispielsweise in dem eingangs erwähnten DE 34 31 049 C2 bzw. dem EP-Patent 01 46 768 B1 beschrieben ist. Bei den beispielsweise in diesen beiden Druckschriften beschriebenen Interferometern wird der optische Wegunterschied durch eine Nutation des Retroreflektors oder durch Rotation eines Retroreflektors im Zusammenwirken mit einem brechenden Keil erzeugt. Die vorstehend bereits angeführten Nachteile dieser herkömmlichen Interferometerausführung sind bei der Erfindung dadurch beseitigt, daß statt des bisher verwendeten festen Spiegelelements vorzugsweise in Form eines Planspiegels im zweiten Arm des Interferometers gemäß der Erfindung ein zweiter rotierender Retroreflektor bzw. ein zweiter rotierender Retroreflektor und wiederum ein brechender Keil im Zusammenwirken mit einem Planspiegel als Bezugsfläche vorgesehen sind. Hierdurch ist die spektrale Auflösung eines entsprechend ausgeführten Interferometers verdoppelt. Gleichzeitig wird auch dessen Baugröße kleiner, da die geometrische Länge dieses zweiten Interferometerarms wegen der Faltung des optischen Wegs aufgrund der Verwendung des zweiten Retroreflektors halbiert wird, während die optische Weglänge selbstverständlich erhalten bleibt.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind beide rotierenden Retroreflektoren in Form von Tripelspiegeln auf einer gemeinsamen Drehachse montiert, und bezüglich ihrer Neigung und hinsichtlich eines Versatzes in bezug auf diese Drehachse so zueinander eingestellt, daß sich wechselweise in dem einen Arm der optische Weg verlängert, während er sich in dem anderen Arm verkürzt, und umgekehrt. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform werden die Retroreflektoren durch nur einen Motor angetrieben, wodurch ein besonders präziser Gleichlauf erreichbar ist, oder anders ausgedrückt, die Wegänderungen in den beiden Armen sind dadurch aneinandergekoppelt, so daß die Änderung der Wegdifferenz kontinuierlich erfolgt. In einem mittels des erfindungsgemäßen Interferometers erzeugten Interferogramms treten somit keine Sprünge auf, was für die weitere Verarbeitung beispielsweise durch eine Fouriertransformation besonders vorteilhaft ist und eine derartige Verarbeitung erst ermöglicht. Außerdem läßt sich diese bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Interferometers in einfacher Weise bequem auswuchten.

Werden nicht nur in einem, sondern in beiden Interferometerarmen Keile aus brechendem Material im Strahlengang in der Weise verwendet, daß bei einer Rotation der Reflektoren die von den Strahlenbündeln durchlaufenen Keildicken für den einen Interferometerarm zunehmen, während sie für den anderen abnehmen, und umgekehrt, so läßt sich allein schon hierdurch eine Verdoppelung der Wegunterschiede erreichen. Noch dazu brauchen die Drehachsen der Retroreflektoren nicht gegen die optische Achse geneigt zu sein. Allerdings ist es besonders vorteilhaft, wenn außer der Verwendung von brechenden Keilen auch die Drehachsen gegen die optische Achse geneigt sind. Hierdurch wird nämlich der optische Wegunterschied auf zweifache Weise vergrößert, und zwar einmal aufgrund der durch eine Nutation der beiden Retroreflektoren bewirkte, geometrische Wegänderung und zum anderen durch die optische Wegänderung beim Durchlaufen unterschiedlicher Dicken der beiden brechenden Keile.

Die Antriebe der Retroreflektoren sind in bekannter Weise so synchronisiert, daß im Normalbetrieb für die größtmögliche, spektrale Auflösung der Wechsel zwischen maximalem und minimalem Weg in den beiden Armen gegenphasig (180°) verläuft. Ferner sind die Antriebe so regulierbar, daß diese Phase zwischen 180° bis 0° veränderbar ist. Dadurch ist eine stufenlose Einstellung der Wegdifferenz und damit auch der spektralen Auflösung möglich; bei einer Phase von 0° ist dann die Wegdifferenz Null. Um konstante Signalfrequenzen zu erhalten, wird die Drehgeschwindigkeit der Retroreflektoren im gleichen Maße heraufgesetzt, wie deren Phase verringert wird, und umgekehrt. Der vorstehend angesprochene Fall einer Phase von 0° ist bei der Drehzahlregulierung ausgenommen, da in diesem Fall die Drehzahl unendlich sein müßte und außerdem eine Messung sinnlos wäre.

Eine derartige Phasensteuerung kann beispielsweise dann, wenn als Antrieb für die beiden Retroreflektoren zwei Schrittmotoren verwendet werden, über diese Schrittmotoren erfolgen. Hierbei wird durch schrittweises Schalten nur eines der beiden Motore die Phase eingestellt. Im Betrieb werden dann die beiden Motore synchron betrieben, indem sie einfach von demselben Pulsgenerator angesteuert werden. Zur Erzeugung konstanter Signalfrequenzen ist die Impulsfrequenz und damit die Drehgeschwindigkeit der Retroreflektoren der Phase angepaßt. So ist beispielsweise bei einer Phase von 90° diese Drehgeschwindigkeit doppelt so hoch einzustellen, wie bei einer Phase von 180°.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers mit zwei zueinander geneigten, um gesonderte Drehachsen rotierenden Reflektoren,

Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung mit zwei um eine gemeinsame Drehachse rotierenden Retroreflektoren,

Fig. 3 eine Weiterbildung der Ausführungsform eines Interferometers nach Fig. 2 mit ebenfalls zwei um eine gemeinsame Drehachse rotierenden Retroreflektoren,

Fig. 4 noch eine weitere Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung mit zwei um eine gemeinsame Drehachse rotierenden Retroreflektoren,

Fig. 5 eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers mit zwei gegeneinander geneigten, um gesonderte Drehachsen rotierenden Retroreflektoren,

Fig. 6 noch eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers mit zwei geneigten, nebeneinander angeordneten, rotierenden Retroreflektoren mit einem gemeinsamen Antrieb und

Fig. 7 eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers mit zwei nutierenden Retroreflektoren und zwei zusätzlich brechenden Keilen.

In Fig. 1 weist ein Interferometer neben einem Detektor D und einer Sammellinse SL einen ersten festen Spiegel S1, einen dazu senkrechten, zweiten, festen Spiegel S2, einen Strahlteiler ST, welcher unter 45° zu den beiden Spiegeln S1 und S2 angeordnet ist, einen ersten rotierenden Retroreflektor RF1 sowie einen zweiten rotierenden Retroreflektor RF2 auf. Die Drehachse DA1 des ersten Retroreflektors RF1 ist bezüglich dessen Symmetriezentrum SZ1, d. h. der Spitze des Retroreflektors RF1, seitlich um einen Abstand d versetzt. Ferner ist die Drehachse DA1 bezüglich der Symmetrieachse SY1 des Retroreflektors RF1, d. h. bezüglich der Achse, die konzentrisch zu seinen Kanten durch sein Zentrum SZ1 hindurchgeht, um einen Winkel α′ geneigt und bezüglich der optischen Achse OA des Gesamtsystems vorzugsweise um denselben Winkel α′ geneigt. Die Drehachse des zweiten rotierenden Retroreflektors RF2 ist bezüglich dessen Symmetriezentrums SZ2 seitlich vorzugsweise um denselben Abstand d versetzt; die Drehachse DA2 ist bezüglich der Symmetrieachse SY2 des zweiten Retroreflektors RF2 sowie bezüglich der optischen Achse OA des Gesamtsystems zweckmäßigerweise und vorzugsweise jeweils um denselben Winkel α′ geneigt.

Die beiden festen Spiegel S1 und S2 sowie der Strahlteiler ST können auch unter anderen Winkeln zueinander ausgerichtet sein. Ebenso können die festen Spiegel S1 und S2 so, wie in Fig. 1 dargestellt, auch als ein 90°-Winkelspiegel ausgebildet sein. Ferner können die Drehachsen DA1 und DA2 der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2, statt geneigt, parallel zu den jeweiligen Symmetrieachsen SY1 bzw. SY2 verlaufen. Die optische Achse OA und die beiden Drehachsen DA1 und DA2 schneiden sich zweckmäßigerweise in Punkten SP1 bzw. SP2. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Interferometer wird für die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 als Antrieb entweder jeweils ein Motor oder ein gemeinsamer Motor mit zwei Kardanwellen bzw. einer Riementransmission verwendet.

Aufgrund der Nutation der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2, d. h. aufgrund der Neigung deren optischer Achsen OA gegenüber den beiden Drehachsen DA1 und DA2, bezüglich der Spiegel S1 und S2 ändert sich der optische Weg vom Strahlteiler ST über einen der Retroreflektoren RF1 und RF2 zu dem festen Spiegel S1 bzw. S2 und wieder zurück zu dem Strahlteiler ST bei jeder Umdrehung von einer minimalen zu einer maximalen und wieder zurück zu einer minimalen Weglänge. Gemäß der Erfindung sind die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 in ihrer Winkelstellung und Drehrichtung so zueinander eingestellt, daß die hierdurch bewirkten Weglängen gegenläufig sind. Das heißt, wenn sich der optische Weg in dem einen Arm von einem Minimum über ein Maximum zu einem Minimum ändert, ist die Folge in dem anderen Arm genau umgekehrt, d. h., der optische Weg ändert sich von einem Maximum über ein Minimum zu einem Maximum.

Eine derartige Einstellung erfolgt beispielsweise mittels einer optischen Messung des senkrechten Abstandes der Zentren SZ1 und SZ2 der beiden Reflektoren RF1 und RF2 zu den Spiegeln S1 bzw. S2, wobei dies dann die maßgebenden, vorstehend erwähnten, optischen Wege sind, deren Differenz den maßgeblichen Wegunterschied ergibt. Oder mit anderen Worten, in dem einen Arm wird dieser Abstand minimiert, während er in dem anderen Arm gleichzeitig maximiert wird. Da diese Einstellung während des Betriebs nicht verändert wird, ist auf diese Weise dafür gesorgt, daß die Drehbewegungen beider Reflektoren synchron verlaufen. Um dies zu erreichen, sind die Antriebe in bekannter Weise entweder mechanisch oder elektrisch gekoppelt. Auf diese Weise ist erreicht, daß der optische Wegunterschied und damit die spektrale Auflösung bei dem erfindungsgemäßen Interferometer verdoppelt ist, wobei dies trotz Verwendung der gleichen Reflektorgröße und bei gleichem geometrischem Weg erreicht ist. Die optische Wegänderung in dem erfindungsgemäßen Interferometer ist viermal so groß wie die optische Wegänderung in beiden Interferometerarmen oder achtmal so groß wie die Wegänderung in einem Interferometerarm.

Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Interferometers gegenüber den Interferometern nach den vorstehend angeführten beiden Patenten liegt somit vor allem darin, daß die spektrale Auflösung bei einer unveränderten Meßzeit aufgrund der gegenläufigen Wegänderungen in den beiden Interferometerarmen verdoppelt ist. Da bei dem erfindungsgemäßen Interferometer auch die Rotationsgeschwindigkeit nicht erhöht zu werden braucht, ist auch die Auswuchtung der gesamten Anordnung erheblich leichter. Wenn dieselbe spektrale Auflösung zugrundegelegt wird, verdoppelt sich gegenüber den beispielsweise aus den beiden eingangs angeführten Patenten bekannten Interferometern bei gleicher Drehzahl die Meßgeschwindigkeit.

Aufgrund der Rotation der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 unterliegen die am Strahlteiler ST den beiden Interferometerarmen zugeführten Strahlungshälften Phasendifferenzen, welche proportional der Wegdifferenz in den beiden Armen sind; hierdurch ergeben sich die periodisch wechselnden Interferenzen, welche von dem Detektor D registriert werden, da die Strahlung durch der Sammellinie SL auf ihm (D) fokussiert wird.

In Fig. 2 ist eine bevorzugte Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung dargestellt; hierbei sind Komponenten, welche die gleichen sind wie die entsprechenden Komponenten des in Fig. 1 dargestellten Interferometers, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und daher nicht noch einmal beschrieben. Im Unterschied zu der Ausführungsform nach Fig. 1 sind jedoch die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 mit ihrer Apertur einander zugewandt und spiegelbildlich zu einer Symmetrieebene SE angeordnet. In dieser Symmetrieebene SE ist, seitlich versetzt zu den beiden einander gegenüberliegend angeordneten Retroreflektoren RF1 und RF2, der Strahlteiler ST angeordnet. Zwischen den beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 sind gegenüber deren Aperturen jeweils Planspiegel PS1 bzw. PS2 angeordnet, durch welche die beiden festen Spiegel S1 und S2 der ersten in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform ersetzt sind.

Hierbei sind die beiden Planspiegel PS1 und PS2 so montiert und ihre Größe ist so gewählt, daß ein Strahlenbündel SB1 bzw. SB2, welches von einem der Reflektoren RF1 bzw. RF2 kommt, in jeder Stellung der beiden Retroreflektoren die Planspiegel PS1 bzw. PS2 vollständig, d. h. mit dem gesamten Durchmesser des jeweiligen Strahlenbündels, trifft. Die dadurch festgelegte Größe der beiden Planspiegel PS1 und PS2 soll jedoch zweckmäßigerweise nicht überschritten werden.

In dem Interferometer nach Fig. 2 haben die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 eine gemeinsame Drehachse DA, welche gegen das jeweilige Lot auf den Planspiegeln PS1 und PS2 um einen Winkel α geneigt ist. Die Planspiegel PS1 und PS2 sind um einen Winkel β gegeneinander geneigt. Die beiden Winkel α und β sind in dieser Ausführungsform so bemessen, daß gilt: β=2α.

Auch bei dieser Ausführungsform sind die Drehachsen DA bezüglich der jeweiligen Symmetriezentren SZ1 und SZ2 der beiden Reflektoren RF1 und RF2 um den Abstand d seitlich versetzt. Die symmetrisch zur Symmetrieachse SE einander gegenüberliegenden Retroreflektoren RF1 und RF2 rotieren also exzentrisch. Der Versatz d wird hierbei analog dem jeweiligen Neigungswinkel bestimmt, so daß dann durch die Neigungswinkel und den Versatz die spektrale Auflösung des Interferometers festgelegt ist.

Bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Interferometers laufen die von dem in der Symmetrieebene SE angeordneten Strahlteiler ST kommenden Strahlenbündel SB1 und SB2 direkt in die jeweiligen Reflektoren RF1 bzw. RF2. Im weiteren Verlauf gelangen dann die Strahlenbündel SB1 und SB2 über die Reflektoren RF1 und RF2 zu den Planspiegeln SP1 und SP2, werden von diesen reflektiert und gelangen dann auf umgekehrtem Weg wieder zurück zu dem Strahlteiler ST. Um dies zu erreichen, sind die optische Achse OA, der Strahlteiler ST und die Planspiegel SP1 und SP2 so zueinander justiert, daß die Strahlenbündel SB1 und SB2 jeweils senkrecht auf die Planspiegel PS1 bzw. PS2 auftreffen.

Bei dem Interferometer nach Fig. 2 werden die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 vorzugsweise gemeinsam so angetrieben, daß die Wegänderungen gegenphasig verlaufen, wie schon in Verbindung mit der Ausführungsform nach Fig. 1 beschrieben ist. Hierdurch ist erreicht, daß, wenn bei dem einen Retroreflektor der Weg des Strahlenbündels zu dem zugeordneten Planspiegel und zurück ein Maximum ist, der entsprechende Weg des anderen Strahlenbündels über den anderen Retroreflektor ein Minimum darstellt. Da der Raum zwischen den beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 frei von weiteren Komponenten bleiben muß, werden die beiden Reflektoren von einem gemeinsamen, nicht näher dargestellten Motor beispielsweise mit Hilfe einer Transmissionswelle und entsprechenden Zahnrädern bzw. mittels Zahn- bzw. Keilriemen von außen angetrieben und dadurch phasenstarr in Rotation versetzt.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung dargestellt, wobei ebenfalls wieder die gleichen Komponenten wie in den vorstehend beschriebenen Fig. 1 und 2 mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und nicht noch einmal im einzelnen beschrieben sind. In der Ausführungsform nach Fig. 3 sind zusätzlich noch vier Umlenkspiegel ULS1 bis ULS4 vorgesehen, welche so angeordnet sind, daß durch sie die vom Strahlteiler ST kommenden Strahlenbündel SB1 und SB2 in die Retroreflektoren RF1 und RF2 umgelenkt werden. Über die Reflektoren gelangen dann die Strahlenbündel SB1 und SB2 zu den Planspiegeln PS1 und PS2, werden von diesen reflektiert und gelangen dann wieder auf umgekehrtem Wege zurück zu dem Strahlteiler ST.

Um dies zu gewährleisten, sind die optische Achse OA, der Strahlteiler ST, die vier Umlenkspiegel ULS1 bis ULS4 sowie die beiden Planspiegel PS1 und PS2 so zueinander justiert, daß auch in dieser Ausführungsform die Strahlenbündel jeweils senkrecht auf die beiden Planspiegel PS1 und PS2 auftreffen. Die Winkel α und β sind sinngemäß in analoger Weise, wie vorstehend bezüglich der Ausführungsform nach Fig. 2 beschrieben, festgelegt.

In Fig. 4 ist eine weitere vorteilhafte Ausführungsform gemäß der Erfindung dargestellt, wobei ebenfalls wieder die gleichen Komponenten wie in den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und nachstehend nicht noch einmal beschrieben sind. Im Unterschied zu den Ausführungsformen in Fig. 2 und 3 sind bei dem Interferometer nach Fig. 4 die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 mit ihren Außenseiten einander zugewandt und spiegelsymmetrisch zu der Symmetrieebene SE angeordnet. Die beiden Planspiegel PS1 und PS2 sind wieder gegenüber den Aperturen der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 angeordnet. Die vier Umlenkspiegel ULS1 bis ULS4 sind, wie aus Fig. 4 zu ersehen ist, so angeordnet, daß wiederum die vom Strahlteiler ST kommenden Strahlenbündel SB1 bis SB2 in die Reflektoren RF1 bzw. RF2 umgelenkt werden, über diese zu den Planspiegeln PS1 und PS2 gelangen, von diesen wiederum reflektiert und dann auf dem umgekehrten Weg wieder zurück zu dem Strahlteiler kommen.

Wie bei den in Fig. 2 und 3 dargestellten Ausführungsformen sind auch hier wieder die optische Achse OA, der Strahlteiler ST, die Umlenkspiegel ULS1 bis ULS4 sowie die Planspiegel PS1 und PS2 so zueinander justiert, daß, wie aus Fig. 4 zu ersehen ist, die Strahlenbündel jeweils wieder senkrecht auf die Planspiegel PS1 und PS2 auftreffen. Der Winkel α ist sinngemäß in analoger Weise wie bei der Ausführungsform nach Fig. 2 festgelegt.

Bei der Ausführungsform des Interferometers nach Fig. 4 können die Retroreflektoren RF1 und RF2 beispielsweise wieder über Zahnräder oder Zahn- oder Keilriemen starr an einen gemeinsamen Motor angekoppelt sein und dadurch dann in Drehung versetzt werden. Bei der Ausführungsform des Interferometers nach Fig. 4 können jedoch die Reflektoren RF1 und RF2 auch starr mit je einem der beiden Wellenenden eines Motors verbunden sein, wobei dann die Welle des Motors mit der Drehachse DA zusammenfällt.

In Fig. 5 ist noch eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beschrieben, bei welcher ebenfalls wiederum die gleichen Komponenten wie in den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen mit denselben Bezugszeichen versehen und daher nicht noch einmal im einzelnen angeführt und beschrieben sind. Bei dem in Fig. 5 dargestellten Interferometer sind die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 wiederum mit ihren Aperturen einander zugewandt und ebenfalls wieder spiegelsymmetrisch zu der Symmetrieebene SE angeordnet. Bei dieser Ausführungsform ist jedoch statt der in Fig. 2 bis 4 vorgesehenen Planspiegel PS1 und PS2 eine planparallele, beidseitig verspiegelte Platte PPP in der Symmetrieebene SE angeordnet. Hierbei ist die Größe dieser Platte PPP so gewählt, daß ein Strahlenbündel von einem der Retroreflektoren RF1 bzw. RF2 in jeder Stellung der beiden Reflektoren die Platte PPP vollständig mit dem gesamten Durchmesser des jeweiligen Strahlenbündels SB1 bzw. SB2 trifft; die hierdurch festgelegte Größe der planparallelen, beidseitig verspiegelten Platte PPP sollte zweckmäßigerweise nicht überschritten werden. Insbesondere sollte die Platte PPP nicht weiter in den zwischen den beiden Reflektoren RF1 und RF2 festgelegten Raum vorstehen.

Wie in Fig. 5 dargestellt, sind bei dieser Ausführungsform im Unterschied zu den Ausführungsformen nach Fig. 3 und 4 nur zwei Umlenkspiegel ULS1 und ULS2 erforderlich, welche zwischen den beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 in der Weise angeordnet sind, daß die von dem Strahlteiler ST kommenden Strahlenbündel SB1 bzw. SB2 in die Reflektoren RF1 und RF2 umgelenkt werden. Die Strahlenbündel SB1 und SB2 gelangen dann über die beiden Reflektoren RF1 bzw. RF2 von entgegengesetzten Seiten auf die planparallele Platte PPP, werden von dieser reflektiert und gelangen dann auf umgekehrtem Weg wieder zurück zu dem Strahlteiler ST.

Auch bei dieser Ausführungsform sind die optische Achse OA, der Strahlteiler ST, die Umlenkspiegel ULS1 und ULS2 und die planparallele Platte PPP so zueinander justiert, daß die Strahlenbündel von beiden Seiten senkrecht auf die planparallele Platte PPP auftreffen. Hierzu sind die Drehachsen DA1 und DA2 der beiden Reflektoren RF1 und RF2 um einen Winkel γ gegeneinander und um einen Winkel δ gegenüber dem Lot auf die planparallele Platte PPP geneigt. Die maximal möglichen und zulässigen Neigungswinkel können in bekannter Weise rechnerisch oder auch experimentell ermittelt werden.

Damit auch bei dieser Ausführungsform die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 wieder exzentrisch rotieren, sind deren Drehachsen DA1 und DA2 bezogen auf die Symmetriezentren SZ1 bzw. SZ2 wieder um den Abstand d seitlich versetzt. Auch hier bestimmen wieder der Neigungswinkel und der analog dem Neigungswinkel festgelegte Versatz d die spektrale Auflösung der Anordnung. Ebenso kehren auch bei dieser Ausführungsform nach Durchlaufen der Anordnung die Strahlenbündel SB1 und SB2 wieder zu dem Strahlteiler ST zurück, interferieren dort und werden dann mittels der Sammellinse SL auf dem Detektor D fokussiert.

Wie bei allen vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ändern sich die Weglängen im Betrieb auch in der Ausführungsform nach Fig. 5 gegenphasig, so daß, wenn der Weg des Strahlenbündels für den einen Reflektor zu der planparallelen Platte und zurück ein Maximum ist, der Weg des anderen Strahlungsbündels bezüglich des anderen Retroreflektors ein Minimum ist. Da auch bei der Ausführungsform nach Fig. 5 der Raum zwischen den beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 frei von weiteren Komponenten bleiben muß, erfolgt auch hier wiederum der Antrieb der beiden Reflektoren in der beschriebenen Weise von außen her.

In Abwandlung der Anordnung nach Fig. 5 können jedoch auch die Drehachsen DA1 und DA2 der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 parallel zueinander verlaufen oder miteinander fluchten. In diesem Fall ist dann jedoch die planparallele Platte PPP um einen Winkel bezüglich der Drehachsen DA1 und DA2 zu neigen. Die übrigen, vorstehend angeführten Bedingungen hinsichtlich der Strahlenführung sind auch bei dieser Abwandlung einzuhalten; insbesondere müssen die beiden Strahlenbündel SB1 und SB2 wiederum senkrecht auf die planparallele Platte PPP auftreffen. Auch bei dieser Ausführungsform wird bei einer parallelen oder fluchtenden Ausrichtung der beiden Drehachsen DA1 und DA2 der Antrieb gegenüber der in Fig. 5 dargestellten Anordnung erheblich einfacher.

Eine weitere mögliche Ausführungsform eines Interferometers gemäß der Erfindung ist in Fig. 6 dargestellt, wobei ebenfalls wieder die gleichen Komponenten wie in den vorstehend beschriebenen und dargestellten Ausführungsformen mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und daher nicht noch einmal im einzelnen beschrieben sind. In der Ausführungsform nach Fig. 6 sind die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 so nebeneinander angeordnet, daß ihre Drehachsen DA1 und DA2 einen Winkel γ einschließen und ihre Aperturen etwa in die gleiche Richtung weisen. Bei der Ausführungsform in Fig. 6 gilt für die Winkel γ und δ: δ=γ/2. Die beiden Planspiegel PS1 und PS2 sind, wie aus Fig. 6 zu ersehen ist, gegenüber der in Fig. 6 oberen Hälfte des Retroreflektors RF1 bzw. unteren Hälfte des anderen Retroreflektors RF2 angeordnet. Ferner sind auch in dieser Ausführungsform wieder nur zwei Umlenkspiegel ULS1 und ULS2 vorgesehen.

Über den Strahlteiler ST und die beiden Umlenkspiegel ULS1 und ULS2 werden die Strahlhälften SB1 und SB2 über die beiden Reflektoren RF1 bzw. RF2 auf die beiden Planspiegel PS1 und PS2 geführt, von dort auf umgekehrten Weg wieder zurück zu dem Strahlteiler und von dort zu dem Detektor D geführt. Auch bei dieser Ausführungsform sind die vorstehend angeführten Bedingungen bezüglich der Strahlführung einzuhalten. Ebenso wie bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen ist bei der Ausführungsform nach Fig. 6 durch eine entsprechende Wahl der Abstände zwischen den optischen Komponenten erreicht, daß in einer bestimmten Drehstellung die optischen Weglängen durch die beiden Retroreflektoren gleich lang sind.

Ebenso erfolgt auch bei dieser Ausführungsform die Einstellung der Retroreflektoren RF1 und RF2 bezüglich ihrer Winkelstellung so, daß bei einer Umdrehung der Weg durch den einen Reflektor länger wird, während er durch den anderen Reflektor verkürzt wird, und umgekehrt. Der Antrieb der beiden Reflektoren RF1 und RF2 erfolgt auch wiederum durch einen gemeinsamen Motor über Zahnräder, Zahnriemen u. ä. Anstelle der beiden Planspiegel PS1 und PS2 kann auch ein einziger Planspiegel verwendet werden, welcher in der Mitte eine Ausnehmung zum Durchlassen der Strahlenbündel SB1 und SB2 aufweist. Ferner kann anstelle der beiden Planspiegel PS1 und PS2 ein einziger Planspiegel vorgesehen sein, welcher in der Mitte der Anordnung nach Fig. 6 gegenüber den beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 so angebracht ist, daß er die benachbarten Aperturhälften überdeckt. Die Umlenkspiegel ULS1 und ULS2 sind dann auf beiden Seiten des Planspiegels angeordnet und lenken die von dem zwischen ihnen angeordneten Strahlteiler ST kommenden Strahlenhälften SB1 und SB2 in die beiden Retroreflektoren RF1 und RF2.

Bei allen vorstehend anhand von Fig. 1 bis 6 beschriebenen Ausführungsformen können zusätzlich auch noch brechende Keile vorgesehen sein. Hierbei ist dann je ein brechender Keil vor den Aperturen der Retroreflektoren in der Weise angebracht, daß die von den Strahlenbündeln durchlaufenen Keildicken bei gegenläufiger Rotation der beiden Retroreflektoren für den einen Interferometerarm zunehmen, während sie für den anderen Interferometerarm abnehmen, und umgekehrt. Hierbei müssen die Drehachsen der Retroreflektoren nicht gegen die optische Achse OA geneigt sein.

Brechende Keile zu verwenden, ist jedoch dann besonders vorteilhaft, wenn die Drehachsen der beiden Retroreflektoren gegen die optische Achse geneigt sind. Hierdurch ist dann der optische Wegunterschied auf zweifache Weise vergrößert, und zwar zum einen durch die schon beschriebene, geometrische Wegänderung, welche durch die auf die Bezugsebene der Planspiegel bzw. der planparallelen Platte bezogene Nutation der beiden Retroreflektoren bewirkt wird, und zum anderen durch die optische Wegänderung beim Durchlaufen unterschiedlicher Dicken der brechenden Keile. Hierbei sind die Ausrichtungen der Keile und der Drehstellungen der beiden Retroreflektoren zu- und untereinander so vorzunehmen, daß einerseits für jeden Reflektor die vom Strahlenbündel durchlaufene Keildicke zunimmt, wenn die geometrische Länge zunimmt, und beide auch wiederum synchron abnehmen, und daß andererseits wiederum die Wege für den einen Reflektor zunehmen, während sie für den anderen Reflektor abnehmen, und umgekehrt. In bekannter Weise ergibt sich dann der durch die Keile bewirkte, optische Wegunterschied aus dem Produkt des Brechungsindex des Keilmaterials und der Differenz der von den beiden Strahlenbündeln SB1 und SB2 durchlaufenen Materialstärken. Es ergeben sich dann große optische Wegunterschiede, wenn das Material einen hohen Brechungsindex hat, wie beispielsweise Silizium, Germanium und Tellur im infraroten Spektralbereich.

In Fig. 7 ist eine der Ausführungsform der Fig. 2 ähnliche Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers dargestellt, bei welchem brechende Keile K1 und K2 zwischen den Planspiegel PS1 und PS2 und dem jeweils zugeordneten Retroreflektor RF1 bzw. RF2 angeordnet sind, welche mit ihren Aperturen einander zugewandt sind. Der Strahlenverlauf der Strahlhälften SB1 und SB2 von dem Strahlteiler ST in die Retroreflektoren RF1 und RF2 durch den jeweiligen Keil K1 bzw. K2 auf den zugeordneten Planspiegel PS1 bzw. PS2 und zurück in umgekehrte Richtung ist analog den übrigen Ausführungsformen im einzelnen in Fig. 7 dargestellt.

In allen beschriebenen und in den Fig. 1 bis 7 dargestellten Ausführungsformen kann bzw. können einer oder beide Planspiegel PS1 bzw. PS2 und gegebenenfalls die in der Funktion äquivalente, planparallele Platte PPP so angebracht sein, daß sie mechanisch oder elektromagnetisch parallel zu sich selbst über die maximale Wegdifferenz der beiden Interferometerarme bezüglich der Strahlhälften SB1 und SB2 verschiebbar sind. Hierdurch kann dann das zentrale Maximum in seiner Lage im zeitlichen Verlauf des Interferogramms bzw. dessen Lage in Abhängigkeit von der Drehstellung der Retroreflektoren RF1 und RF2 verschoben werden. Auf diese Weise lassen sich dann ein symmetrisches Interferogramm oder auch Interferogramme mit einer Asymmetrie unterschiedlichen Grades erhalten. Gleichzeitig ist damit die Einstellung einer unterschiedlichen spektralen Auflösung erreicht. Ein symmetrisches Interferogramm ermöglicht in bekannter Weise die Berechnung von Spektren, welche frei von Phasenfehlern sind.

In den verschiedenen Ausführungsformen sind auch andere als die in den Zeichnungen eingetragenen und in der Beschreibung angeführten Winkel zwischen den einzelnen Komponenten möglich, solange die in der Beschreibung erläuterte Strahlenführung gewährleistet ist. Hierdurch kann in dem einen oder anderen Fall auch erreicht werden, daß die Zahl der benötigten Umlenkspiegel kleiner ist. Ferner eignen sich zum Antrieb der beiden Retroreflektoren RF1 und RF2 in den verschiedenen Ausführungsformen auch Schrittmotore, insbesondere dann, wenn die Wegdifferenz schrittweise geändert werden soll.

Claims (10)

1. Interferometer nach Michelson zur Erzeugung optischer Wegunterschiede, mit einem rotierenden Retroreflektor (RF1), einem Strahlteiler (ST), einem ersten festen Planspiegel (PS1) und einem zweiten festen Planspiegel (PS2), dadurch gekennzeichnet,
daß ein zweiter rotierender Retroreflektor (RF2) vorgesehen ist,
daß die beiden spiegelsymmetrisch zu ihrer Symmetrieebene (SE) angeordneten Reflektoren (RF1, RF2) mit ihren Aperturseiten einander zugewandt sind und eine gemeinsame Drehachse (DA) haben, welche gegen das jeweilige Lot auf die beiden Planspiegel (PS1, PS2) um einen Winkel (α) geneigt ist, und welche bezogen auf die jeweiligen Symmetriezentren (SZ1, SZ2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) um einen Abstand (d) seitlich versetzt ist,
daß gegenüber den Aperturen der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) je einer der beiden Planspiegel (PS1, PS2) angeordnet ist, welche um einen Winkel (β) gegeneinander geneigt sind,
daß der Strahlteiler (ST) in der Symmetrieebene (SE) seitlich versetzt zu und teilweise zwischen den Retroreflektoren (RF1, RF2) angeordnet ist,
daß optische Achse (OA), Strahlteiler (ST), beide Planspiegel (PS1, PS2) und beide Reflektoren (RF1, RF2) so zueinander justiert sind, daß Strahlenbündel jeweils senkrecht auf die beiden Planspiegel (PS1, PS2) auftreffen, und daß die beiden von einem gemeinsamen Motor synchron oder gegenläufig angetriebenen Retroreflektoren (RF1, RF2) in ihrer Winkelstellung zueinander so justiert sind, daß in der einen Drehstellung, in welcher der Abstand von dem ersten Planspiegel (PS1) zu dem einen Retroreflektor (RF1) minimal ist, der Abstand von dem zweiten Planspiegel (PS2) zu dem zweiten Retroreflektor (RF2) maximal ist, so daß dadurch in dieser Stellung der Weg des einen Strahlenbündels (SB1) vom Strahlteiler (ST) zum ersten Planspiegel (PS1) minimal und der entsprechende Weg des zweiten Strahlenbündels (SB2) zum zweiten Planspiegel (PS2) maximal ist.

2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenbündel (SB1, SB2) vom Strahlteiler (ST) aus über entsprechend angeordnete und justierte Umlenkspiegel (ULS1 bis ULS4) in die Retroreflektoren (RF1, RF2) so geleitet sind, daß die aus den beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) austretenden Strahlenbündel (SB1, SB2) jeweils senkrecht auf die Planspiegel (PS1 und PS2) auftreffen.

3. Interferometer nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Retroreflektoren (RF1, RF2) mit ihren Aperturen voneinander abgewandt sind und ihre gemeinsame Drehachse (DA) mit der Drehachse eines gemeinsamen Antriebsmotors zusammenfällt, und daß mit den beiden Wellenenden des Antriebsmotors je einer der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) verbunden ist.

4. Interferometer nach Michelson zur Erzeugung optischer Wegunterschiede, mit einem rotierenden Retroreflektor (RF1), einem Strahlteiler (ST), einem ersten festen Planspiegel und einem zweiten festen Planspiegel, dadurch gekennzeichnet,
daß ein zweiter rotierender Retroreflektor (RF2) vorgesehen ist,
daß die beiden spiegelsymmetrisch zu ihrer Symmetrieebene (SE) angeordneten Reflektoren (RF1, RF2) mit ihren Aperturseiten einander zugewandt sind,
daß die beiden festen Planspiegel zu einer in der Symmetrieebene (SE) spiegelsymmetrisch angeordneten, beidseitig verspiegelten, planparallelen Platte (PPP) zusammengefaßt sind,
daß spiegelsymmetrisch zu der Symmetrieebene (SE) zwei Umlenkspiegel (ULS1, ULS2) angeordnet sind,
daß die beiden Drehachsen (DA1, DA2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) gegeneinander um einen Winkel (γ) und gegen das jeweilige Lot auf die planparallele Platte (PPP) um jeweils den gleichen Winkel (δ) geneigt sind, und bezogen auf die jeweiligen Symmetriezentren (SZ1, SZ2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) um einen Abstand (d) seitlich versetzt sind,
daß der Strahlteiler (ST) in der Symmetrieebene (SE) seitlich versetzt zu und teilweise zwischen den Retroreflektoren (RF1, RF2) angeordnet ist,
daß optische Achse (OA), Strahlteiler (ST), planparallele Platte (PPP) und beide Reflektoren (RF1, RF2) so zueinander justiert sind, daß Strahlenbündel (SB1, SB2) jeweils senkrecht auf die planparallele Platte (PPP) auftreffen, und
daß die beiden von einem gemeinsamen Motor synchron oder gegenläufig angetriebene Retroreflektoren (RF1, RF2) in systemkonformer Winkelstellung zueinander justiert sind.

5. Interferometer nach Michelson zur Erzeugung optischer Wegunterschiede, mit einem rotierenden Retroreflektor (RF1), einem Strahlteiler (ST), einem ersten festen Planspiegel (S1) und einem zweiten festen Planspiegel (S2), dadurch gekennzeichnet,
daß ein zweiter rotierender Retroreflektor (RF2) vorgesehen ist,
daß die beiden Reflektoren (RF1, RF2) mit ihren jeweiligen Drehachsen (DA1, DA2) bezüglich ihrer Symmetrieachsen (SY1, SY2) sowie bezüglich ihrer jeweiligen optischen Achse (OA) vorzugsweise um denselben Winkel (α′) geneigt sind, und bezogen auf die jeweiligen Symmetriezentren (SZ1, SZ2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) um einen Abstand (d) seitlich versetzt sind,
daß gegenüber einer Hälfte der Aperturen der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) je einer der beiden Planspiegel (S1, S2) angeordnet ist, welche ihrerseits senkrecht zueinander ausgerichtet sind,
daß der Strahlteiler (ST) gegenüber der jeweils anderen Hälfte der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) angeordnet ist,
daß die optischen Achsen (OA), der Strahlteiler (ST), die beiden Planspiegel, (S1, S2) und die beiden Reflektoren (RF1, RF2) so zueinander justiert sind, daß die Strahlenbündel jeweils senkrecht auf die beiden Planspiegel (S1, S2) auftreffen, und
daß die beiden von einem gemeinsamen Motor synchron oder gegenläufig angetriebenen Retroreflektoren (RF1, RF2) in systemkonformer Winkelstellung zueinander justiert sind.

6. Interferometer nach Michelson zur Erzeugung optischer Wegunterschiede, mit einem rotierenden Retroreflektor (RF1), einem Strahlteiler (ST), einem ersten festen Planspiegel (PS1) und einem zweiten festen Planspiegel (PS2), dadurch gekennzeichnet,
daß ein zweiter rotierender Retroreflektor (RF2) vorgesehen ist,
daß die Aperturen der beiden spiegelsymmetrisch zu ihrer Symmetrieebene (SE) nebeneinander angeordneten Reflektoren (RF1, RF2) etwa in die gleiche Richtung weisen und die Drehachsen (DA1, DA2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) miteinander und bezüglich des jeweiligen Lots auf die beiden in einer Ebene liegenden Planspiegel (PS1, PS2) einen Winkel (α) einschließen und bezogen auf die jeweiligen Symmetriezentren (SZ1, SZ2) der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) um einen Abstand (d) seitlich versetzt sind,
daß gegenüber den außenliegenden Hälften der Aperturen der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) je einer der beiden in einer Ebene liegenden Planspiegel (PS1, PS2) angeordnet ist,
daß der Strahlteiler (ST) in der Symmetrieebene (SE) seitlich versetzt zu den Retroreflektoren (RF1, RF2) und zu den beiden Planspiegeln (PS1, PS2) angeordnet ist,
daß spiegelsymmetrisch zu der Symmetrieebene (SE) gegenüber den benachbarten, innenliegenden Hälften der Retroreflektoren (RF1, RF2) jeweils ein Umlenkspiegel (ULS1, ULS2) angeordnet ist,
daß optische Achse (OA), Strahlteiler (ST), beide Planspiegel (PS1, PS2), beide Umlenkspiegel (ULS1, ULS2) und beide Reflektoren (RF1, RF2) so zueinander justiert sind, daß Strahlenbündel jeweils senkrecht auf die beiden Planspiegel (PS1, PS2) auftreffen, und
daß die beiden von einem gemeinsamen Motor synchron oder gegenläufig angetriebenen Retroreflektoren (RF1, RF2) in systemkonformer Winkelstellung zueinander justiert sind.

7. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor den Aperturen der beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) im Strahlengang der Strahlenbündel (SB1, SB2) Keile (K1, K2) aus brechendem Material angeordnet und bezüglich der Drehstellungen der beiden Reflektoren (RF1, RF2) so ausgerichtet sind, daß einerseits von jedem Reflektor (RF1 oder RF2) die von dem jeweiligen Strahlenbündel (SB1 oder SB2) durchlaufene Keildicke zunimmt, wenn die geometrische Weglänge zunimmt und beide Weglängen auch synchron abnehmen, und daß andererseits wiederum die Wege für die eine Retroreflektor-Keil-Anordnung zunehmen, während sie für die andere Retroreflektor-Keil-Anordnung abnehmen, und umgekehrt.

8. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Planspiegel (PS1, PS2; S1, S2) entsprechend montiert und ihre Größe so bemessen ist, daß ein Strahlbündel (SB1 oder SB2) von einem der beiden Reflektoren (RF1 oder RF2) in jeder deren Stellungen den jeweils zugeordneten Planspiegel (PS1 oder PS2; S1 oder S2) mit seinem Durchmesser vollständig ausfüllt.

9. Interferometer nach einem der Ansprüche 1, 2 und 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) an ihrer Außenseite über den gemeinsamen Motor durch Zwischenschalten einer Transmissionswelle und von Zahnrädern oder Zahn- bzw. Keilriemen synchron oder gegenläufig angetrieben und so in kontinuierliche Rotation versetzt sind, daß bei jeder Umdrehung der Reflektoren (RF1, RF2) die Wege der beiden Strahlenbündel (SB1, SB2) gegenphasig den Zyklus von einem Minimum über ein Maximum zu einem Minimum bzw. von einem Maximum über ein Minimum zu einem Maximum durchlaufen, so daß damit auch die Differenz der beiden Wege denselben Zyklus über die Extrema durchläuft.

10. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) durch gesonderte Antriebe in Rotation versetzt sind und die Antriebe synchronisiert sind,
daß zur stufenlosen Einstellung der Wegdifferenz und damit auch der spektralen Auflösung die Phase zwischen den beiden Retroreflektoren (RF1, RF2) von 180° bis 0° einstellbar ist, und
daß die Drehgeschwindigkeit der Reflektoren (RF1, RF2) im gleichen Maße heraufgesetzt wird, wie die Phase verringert wird bzw. herabgesetzt wird, wenn die Phase erhöht wird.