DE4001953A1 - Drucksensor - Google Patents

Drucksensor

Info

Publication number
DE4001953A1
DE4001953A1 DE19904001953 DE4001953A DE4001953A1 DE 4001953 A1 DE4001953 A1 DE 4001953A1 DE 19904001953 DE19904001953 DE 19904001953 DE 4001953 A DE4001953 A DE 4001953A DE 4001953 A1 DE4001953 A1 DE 4001953A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
distance
sensor
tube
pressure sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19904001953
Other languages
English (en)
Other versions
DE4001953C2 (de
Inventor
Erhard Dr Giese
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19904001953 priority Critical patent/DE4001953A1/de
Publication of DE4001953A1 publication Critical patent/DE4001953A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4001953C2 publication Critical patent/DE4001953C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0004Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in inductance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/02Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
    • G01D5/06Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means acting through a wall or enclosure, e.g. by bellows, by magnetic coupling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0005Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0007Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using photoelectric means

Description

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor mit einem Auf­ nahmekörper, einem Druck/Weg-Wandler und einem von dem Aufnahmekörper aufgenommenen Wegsensor.
Drucksensoren werden in allen Bereichen der Technik, insbesondere in der Verfahrenstechnik, eingesetzt.
Bei bekannten Meßsystemen, die eine mit Flüssigkeit ge­ füllte Kammer aufweisen, besteht das Problem, daß diese Flüssigkeit bei einem Defekt austreten kann. Weiterhin haben Flüssigkeiten aufgrund ihrer physkalischen Eigen­ schaften eine obere Temperaturgrenze, ab der sie begin­ nen, zu sieden.
Dies stellt bei Anwendungen, bei denen es auf eine hohe Verunreinigungssicherheit ankommt, z. B. in der Lebens­ mittelindustrie, sowie bei Verfahren, die mit hohen Temperaturen arbeiten, einen großen Nachteil dar.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druck­ sensor zu schaffen, der eine Druckmessung mit großer Betriebssicherheit in größtmöglichen Temperaturberei­ chen mit großer Genauigkeit ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der Druck/Weg-Wandler aus einem ersten Rohr und einem von dem ersten Rohr aufgenommenen Zapfen besteht, wobei der Zapfen an seinem von dem Wegsensor weg weisenden Ende mit dem ersten Rohr verbunden ist und das dem Wegsensor zu weisende Ende des Zapfens eine Meßfläche bildet.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung betrifft einen Druck­ sensor, der einen einen Arbeitsabstand zwischen Weg­ sensor und der gegenüberliegenden Meßfläche bildenden Distanzring besitzt.
Weiter wird vorgeschlagen, den Drucksensor mit einer den Druck aufnehmenden Membran zu versehen. Dies wird vorteilhaft durch ein das erste Rohr konzentrisch umge­ bendes zweites Rohr realisiert, das sich an seinem ei­ nen Ende an dem Aufnahmekörper abstützt und an seinem anderen Ende die Membran trägt, die auf das von dem Aufnahmekörper weg weisende Ende des ersten Rohres wirkt.
Wirkt eine Kraft auf die Sensormembran, so wirkt diese Kraft auch auf den dahinterliegenden Druck/Weg-Wandler.
Gegenüber dem Stand der Technik bei Membrandrucksen­ soren hat diese Ausgestaltung den Vorteil, daß nicht, wie bei einer nicht abgestützten Membran, durch die Durchbiegung im wesentlichen Zugspannungen in der Ebene der Membranfläche entstehen, sondern nur noch Druck­ spannungen.
Dies ermöglicht eine einfachere Konstruktion mit billigeren Materialien, denn die meisten Materialien, insbesondere Hochtemperaturwerkstoffe, weisen eine erheblich bessere Druckfestigkeit im Vergleich zu ihrer Zugfestigkeit auf.
In diesem Fall dient die Membran nur noch dazu, den Drucksensor nach außen abzudichten, und die Kraft in den Druck/Weg-Wandler einzuleiten.
Weiter wird vorgeschlagen, Rohr und Zapfen aus dem­ selben Material (vorzugsweise sogar einstückig) auszu­ bilden. Dann nämlich ist der vorgeschlagene Drucksensor gegenüber Temperaturschwankungen weitgehend unempfind­ lich, weil bei einer Änderung der Umgebungstemperatur erfahren Rohr und der Zapfen die gleiche Längenände­ rung, da sie ungefähr der gleichen Temperatur ausge­ setzt sind und aus demselben Material bestehen.
Bei Vorhandensein eines zweiten Rohres sollte auch die­ ses aus demselben Material wie erstes Rohr und Zapfen bestehen.
Da somit nur die Materialeigenschaften für die Funkti­ on auch bei hohen Temperaturen maßgeblich sind, ist ein Einsatz auch bei relativ sehr hohen Einsatztemperaturen möglich.
Der Wegsensor kann entsprechend fast aller bekannten Wegmeßsysteme ausgeführt werden. So kann man z. B.
  • - eine gewöhnliche mechanische Meßuhr verwenden, de­ ren Tastspitze auf der Endfläche des Druck-Weg-Wandlers steht, oder
  • - einen induktiven Wegsensor verwenden, der den Ab­ stand zur Endfläche des Druck-Weg-Wandlers berührungs­ los erfaßt, oder
  • - einen kapazitiven Wegsensor verwenden, der den Ab­ stand zur Endfläche des Druck-Weg-Wandlers berührungs­ los erfaßt, oder
  • - einen optischen Wegsensor verwenden, der den Ab­ stand zur Endfläche des Druck-Weg-Wandlers berührungs­ los erfaßt.
Die drei letzten Systeme sind hochauflösend, so daß nur ein kleiner Meßweg zur Verfügung gestellt werden muß. Beispielsweise läßt sich der Druck-Kraft-Wegwandler so dimensionieren, daß die Stauchung bei maximaler Bela­ stung 10 µm beträgt.
Dadurch können außer elastisch verformbaren Materialien auch spröde Materialien, wie z. B. Silizium verwendet werden, die größeren Druckspannungen widerstehen kön­ nen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand einer Zeichnung erläutert. Dabei zeigt
Fig. 1 die vorgeschlagene Vorrichtung in Schnitt­ darstellung, und
Fig. 2 eine Ausführung der Vorrichtung, bei der die vorgeschlagene Vorrichtung zusätzlich noch mit einer Membran versehen ist.
Fig. 1 zeigt einen aus einem Rohr 1, einem Zapfen 2, einem Aufnahmekörper 3 und einem Wegsensor 4 bestehen­ den Drucksensor nach einem ersten Ausführungsbeispiel.
Das Teil 10 stellt beispielsweise einen Teil der Wan­ dung eines Druckbehälters dar, in die der Sensor hin­ eingeschraubt ist, oder aber einen Teil einer Aufnahme­ vorrichtung für einen Kraftmesser.
Wirkt auf die Anordnung eine axiale Kraft, so wird das Rohr 1 durch diese Kraft in Längsrichtung gestaucht, wobei die Federkonstante des Systems durch die Dimen­ sionierung des Rohres und durch das Elastizitätsmodul des verwendeten Materials bestimmt wird.
Zapfen 2 und Rohr 1 bestehen aus demselben Material und sind fest durch eine Schweißung, Lötung oder dgl. an der Fügestelle 7 miteinander verbunden.
Für eine hohe Betriebssicherheit vorteilhafter ist al­ lerdings die Herstellung des Rohres 1 und des Zapfens 2 aus einem Stück, da dann die Fügestelle 7 mit deren Problemen entfällt.
Der Distanzring 5 dient zur Einstellung des Arbeitsab­ stands zwischen dem Wegsensor 4 und der Meßfläche 6. Er kann als separates Teil, aber auch als integraler Be­ standteil des ersten Rohres 1 oder aber des Wegsensors 4 ausgebildet sein.
Fig. 2 zeigt den Drucksensor ausgestaltet als Mem­ bran-Drucksensor.
Die Anordnung ist weitgehend identisch zu Fig. 1 und ist nur um das Rohrstück 9 und die Membran 8 erweitert.
Hier dient das Rohrstück 9, das vorteilhafterweise auch aus demselben Material wie Rohr 1 und Zapfen 2 bestehen sollte, der Abstützung der Membran 8 an ihrem Rand, während der Drucksensor zusätzlich zu seinen sensori­ schen Aufgaben auch zur Abstützung der Membran 8 in ih­ rer Flächenmitte dient.

Claims (5)

1. Drucksensor mit einem Aufnahmekörper (3), einem Druck/Weg-Wandler und einem von dem Aufnahmekörper auf­ genommenen Wegsensor (4), dadurch gekennzeichnet, daß der Druck/Weg-Wandler aus einem ersten Rohr (1) und ei­ nem von dem ersten Rohr (1) aufgenommenen Zapfen (2) be­ steht, wobei der Zapfen (2) an seinem von dem Wegsensor (4) weg weisenden Ende mit dem ersten Rohr (2) verbunden ist und das dem Wegsensor (4) zu weisende Ende des Zap­ fens (2) eine Meßfläche (6) bildet.
2. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen einen Arbeitsabstand zwischen Wegsensor (4) und der gegenüberliegenden Meßfläche (6) bildenden Distanz­ ring (5).
3. Drucksensor nach einem der vorangegangenen Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß ein das erste Rohr (1) konzentrisch umgebendes zweites Rohr (9) vorgesehen ist, das sich an seinem einen Ende an dem Aufnahmekörper (3) abstützt und an seinem anderen Ende eine Membran (9) trägt, die auf das von dem Aufnahmekörper (3) weg wei­ sende Ende des ersten Rohres (9) wirkt.
4. Drucksensor nach einem der vorangehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Rohr (1) und der Zapfen (2) aus demselben Material gefertigt sind.
5. Drucksensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß das erste Rohr (1) und der Zapfen (2) ein­ stückig ausgebildet sind.
DE19904001953 1990-01-24 1990-01-24 Drucksensor Granted DE4001953A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904001953 DE4001953A1 (de) 1990-01-24 1990-01-24 Drucksensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904001953 DE4001953A1 (de) 1990-01-24 1990-01-24 Drucksensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4001953A1 true DE4001953A1 (de) 1991-07-25
DE4001953C2 DE4001953C2 (de) 1991-12-12

Family

ID=6398642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19904001953 Granted DE4001953A1 (de) 1990-01-24 1990-01-24 Drucksensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4001953A1 (de)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE590289C (de) * 1933-12-30 Fuess Vorm J G Greiner Jr & Ge Elektromagnetischer Dehnungs- oder Spannungsmesser
DE2208023C3 (de) * 1971-03-15 1977-01-20 Kistler Instrumente Ag, Winterthur (Schweiz) Piezoelektrischer Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer
US4169387A (en) * 1976-12-07 1979-10-02 Hans List Transducer for mechanical measured variables, especially a pressure transducer
DE2915561A1 (de) * 1979-04-18 1980-10-23 Erich Brosa Hoechstdruckaufnehmer
US4270050A (en) * 1978-09-15 1981-05-26 Asea Aktiebolag Apparatus for measuring pressure by absorption spectrum change
DE3021778C2 (de) * 1980-06-10 1982-11-18 Kistler Instrumente Ag, Winterthur Kraftaufnehmer, insbesondere für ballistische Druckmessungen
DE3122375C2 (de) * 1981-06-05 1983-03-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Sensoranordnung

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE590289C (de) * 1933-12-30 Fuess Vorm J G Greiner Jr & Ge Elektromagnetischer Dehnungs- oder Spannungsmesser
DE2208023C3 (de) * 1971-03-15 1977-01-20 Kistler Instrumente Ag, Winterthur (Schweiz) Piezoelektrischer Druck-, Kraft- oder Beschleunigungsaufnehmer
US4169387A (en) * 1976-12-07 1979-10-02 Hans List Transducer for mechanical measured variables, especially a pressure transducer
US4270050A (en) * 1978-09-15 1981-05-26 Asea Aktiebolag Apparatus for measuring pressure by absorption spectrum change
DE2915561A1 (de) * 1979-04-18 1980-10-23 Erich Brosa Hoechstdruckaufnehmer
DE3021778C2 (de) * 1980-06-10 1982-11-18 Kistler Instrumente Ag, Winterthur Kraftaufnehmer, insbesondere für ballistische Druckmessungen
DE3122375C2 (de) * 1981-06-05 1983-03-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Sensoranordnung

Also Published As

Publication number Publication date
DE4001953C2 (de) 1991-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2691754B1 (de) Druckfest gekapselter differenzdrucksensor
EP1305585B1 (de) Kapazitiver drucksensor
DE102008033337A1 (de) Druckmittler und Druckmessgerät mit einem solchen Druckmittler
DE2848856A1 (de) Kapazitiver druckwandler
EP1618362A1 (de) Druckaufnehmer mit temperaturkompensation
EP3365648B1 (de) Druckmesseinrichtung
DE10227479A1 (de) Druckmeßgerät
DE102004048367B4 (de) Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers
DE10130375B4 (de) Differenzdrucksensor
DE102014107251A1 (de) Druckausgleichselement
DE10036433A1 (de) Kapazitiver Drucksensor
DE102009024576B4 (de) Differenzdrucksensor
DE4001953A1 (de) Drucksensor
DE102014106704A1 (de) Drucksensor
DE2904844C3 (de) Druckmeßeinrichtung zur Messung und Überwachung von Betonspannungen
DE3327265A1 (de) Verbesserter messwertgeber zum messen des druckes einer fluessigkeit, insbesondere einer aggressiven und heissen fluessigkeit
DE102014212261A1 (de) Drucksensor zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum
DE102018100716B3 (de) Druckmessgerät
DE102017124308A1 (de) Austauschbare Prozessdichtung für einen Druckmessaufnehmer
DE10043630A1 (de) Druckmeßzelle
EP2091596B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur kontrolle und überwachung des druckes in druckleitungen bzw. rohren
DE102020118313B4 (de) Kanalstrukturen zur Optimierung der Membranfunktion von ölgefüllten Drucksensoren
DE102015111302B3 (de) Behälter und Verfahren zum Bestimmen eines Innendrucks eines Behälterinnenraums eines Behälters
DE102014200099A1 (de) Sensor zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums
DE10228618B4 (de) Druckmeßeinheit

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8365 Fully valid after opposition proceedings