DE3922601C2 - Method and device for low-temperature plasma treatment of textile substrates - Google Patents

Method and device for low-temperature plasma treatment of textile substrates

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 15.The present invention relates to a method with the features of The preamble of claim 1 and a device for carrying it out of the method with the features of the preamble of claim 15.

Es sind bereits Verfahren bzw. Vorrichtungen beschrieben worden, um Flächengebilde bzw. Garne einer Niedertemperatur-Plasmabehandlung zu unterwerfen.Methods and devices have already been described for Sheets or yarns for a low-temperature plasma treatment subject.

So beschreibt die DE-OS 33 12 307 eine Vorrichtung bzw. ein Verfahren zur Niedertemperatur-Plasmabehandlung von Geweben und Garnsträngen. Hierbei wird eine endlose Warenbahn des Gewebes bzw. der Warenbahn zwischen zwei Wickelkörpern umgerollt, wobei zwischen dem ersten Wickelkörper und dem mit Abstand vom ersten Wickelkörper angeordneten zweiten Wickelkörper ein plattenförmiges Elektrodenpaar vorgesehen ist. Beim Umwickeln der endlosen Warenbahn des Gewebes bzw. des Garnstranges wird das Gewebe bzw. der Garnstrang zwischen den beiden Platten des Elektrodenpaares mit einer kontinuierlichen Geschwindigkeit hindurchgeführt, so daß bei dem bekannten Verfahren bzw. bei der bekannten Vorrichtung stets nur eine einlagige Niedertemperatur-Plasmabehandlung erfolgt.DE-OS 33 12 307 describes a device and a method for Low temperature plasma treatment of fabrics and skeins. Here becomes an endless web of fabric or web between two Rolled bobbins, being between the first bobbin and the Distance from the first winding body arranged second winding body plate-shaped pair of electrodes is provided. When wrapping the endless Material web of the fabric or the skein is the fabric or the  Strand of yarn between the two plates of the pair of electrodes with one continuous speed passed, so that in the known Method or in the known device always only a single layer Low temperature plasma treatment takes place.

Ähnliche Verfahren bzw. Vorrichtungen zum kontinuierlichen Behandeln von Textilprodukten mit Hilfe eines Niedertemperatur-Plasmas sind auch in den Druckschriften DE 33 12 432 A1, DE 33 00 095 A1, DE 32 48 730 A1 sowie DE 32 48 590 A1 offenbart.Similar methods or devices for continuous treatment of textile products with the help of a low-temperature plasma are also in the publications DE 33 12 432 A1, DE 33 00 095 A1, DE 32 48 730 A1 and DE 32 48 590 A1 are disclosed.

Derartige, an einer kontinuierlich bewegten Warenbahn eines Gewebes bzw. eines Garnstranges durchgeführte Verfahren sind nicht unproblematisch. So kann es beispielsweise hierbei beim Umwickeln der Warenbahn zu einer Störung beim Aufwickelvorgang kommen, d.h. beispielsweise das Gewebe wird nicht Kante auf Kante gewickelt, was wiederum dazu führt, daß eine unerwünschte Verlegung und die Gefahr eines Ausschießens des Wickels auftritt. Dies wiederum führt dazu, daß eine manuelle Korrektur erforderlich wird, was jedoch sehr aufwendig ist, da hierfür die Niedertemperatur-Plasmabehandlung unterbrochen und der Autoklav belüftet werden muß. Darüber hinaus erfordern die bekannten Verfahren eine stets gleichbleibende Transportgeschwindigkeit, da ansonsten die durch die Niedertemperatur-Plasmabehandlung hervorgerufene Eigenschaftsveränderungen des behandelten Materials über die Länge der Warenbahn gesehen ungleichmäßig sind. Hierin sind auch die Gründe zu sehen, warum sich derartige Verfahren bis heute noch nicht in der Praxis durchgesetzt haben, zumal bei dem bekannten Verfahren bei einem relativ niedrigen Durchsatz ein hoher Aufwand erforderlich ist.Such, on a continuously moving web of goods Fabric or a strand of yarn are performed not without problems. For example, it can be used here Wrapping the web to a disturbance in the winding process come, i.e. for example the fabric will not edge on Edge wrapped, which in turn leads to an unwanted Laying and the risk of imposition of the wrap occurs. This in turn leads to manual correction is required, which is very expensive because of this the low-temperature plasma treatment is interrupted and the The autoclave must be ventilated. They also require known methods an always constant transport speed, otherwise the low-temperature plasma treatment induced changes in properties of the treated material seen over the length of the web are uneven. This is also the reason why Such methods have not yet been put into practice have prevailed, especially in the known method in one relatively low throughput requires a lot of effort is.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der angegebenen Art zur Verfügung zu stellen, das bei Flächengebilden oder bei den für die Herstellung von Flächengebilden verwendeten Fasern, Filamenten und/oder Garnen über deren Länge und ggf. Breite gesehen eine besonders gleichmäßige Behandlung ermöglicht. The present invention has for its object a method of to provide the specified type, that for flat structures or for the fibers, filaments used for the manufacture of fabrics and / or yarns over their length and possibly width seen a special allows even treatment.  

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren mit den kenn­ zeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.This object is achieved according to the invention by a method with the Drawing features of claim 1 solved.

Erfindungsgemäß wird somit ein Verfahren zum Behandeln von Flächengebilden bzw. von für die Herstellung der Flächengebilde verwendeten Fasern, Filamenten und/oder Garnen mit Hilfe eines Niedertemperatur-Plasmas, das man in Anwesenheit eines reaktionsfähigen Gases bei einem Druck zwischen 10-1 Pa bis 10³ Pa und einer Frequenz zwischen 1 MHz und 81,36 MHz oder von 2,54 GHz während einer gesamten Behandlungszeit von 2 bis 30 Minuten durchführt. Hierbei stellt man vor der Niedertemperatur-Plasmabehandlung aus den Flächengebilden bzw. aus den für die Herstellung der Flächengebilde eingesetzten Fasern, Filamenten und/oder Garnen zunächst ein Haufwerk her und unterwirft dann das Haufwerk der Niedertemperatur-Plasmabehandlung, wobei man während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung das nicht bewegt werdende Haufwerk mit einem Gas durchströmt. Im Gegensatz zum eingangs aufgeführten Stand der Technik wird somit beim erfindungsgemäßen Verfahren das jeweils zu behandelnde Substrat nicht in Form einer einlagigen Warenbahn, sondern als Haufwerk plasmabehandelt, wobei unter Haufwerk jede geordnete, gleichmäßig zu durchströmende viellagige Anordnung des zu behandelnden Substrates, beispielsweise bei Faserbändern (Kartenbänder), Filamenten, Garnen oder Flächengebilden in Form eines Wickelkörpers, bei Fasern, Filamenten, Garnen in Form eines Muffs oder Stranges oder bei Fasern (Flocke) in Form eines Preßkuchens, zu verstehen ist.According to the invention is thus a method for treating fabrics or fibers, filaments and / or yarns used for the manufacture of fabrics with the aid of a low-temperature plasma, which is in the presence of a reactive gas at a pressure between 10 -1 Pa to 10³ Pa and a frequency between 1 MHz and 81.36 MHz or 2.54 GHz during a total treatment time of 2 to 30 minutes. In this case, before the low-temperature plasma treatment, a heap is first produced from the flat structures or from the fibers, filaments and / or yarns used for the production of the flat structures and then the heap is subjected to the low-temperature plasma treatment, during which the low-temperature plasma treatment gas that is not being moved flows through a gas. In contrast to the prior art mentioned at the outset, the substrate to be treated in the process according to the invention is therefore not plasma-treated in the form of a single-layer web, but rather as a heap, whereby under heap each ordered, evenly flowing multi-layer arrangement of the substrate to be treated, for example in the case of fiber tapes ( Card tapes), filaments, yarns or flat structures in the form of a winding body, in the case of fibers, filaments, yarns in the form of a muff or strand or in the case of fibers (flakes) in the form of a press cake.

Im vorliegenden Text soll unter Flächengebilde jedes dreidimensionale textile Gebilde, wie beispielsweise ein Gewebe, eine Wirkware, eine Maschenware, ein Vlies, ein Kardenband oder ein Velours, verstanden werden. In the present text, every three-dimensional is supposed to be under flat structures textile structures, such as a woven fabric, a knitted fabric, a Knitwear, a fleece, a card sliver or a velor, understood become.  

Das erfindungsgemäße Verfahren weist eine Reihe von Vorteilen auf. So erlaubt es in besonders einfacher Weise eine Behandlung der zuvor genannten Substrate, da hierbei diese Substrate nicht, wie beim eingangs aufgeführten Stand der Technik, während des Umrollens plasmabehandelt werden, sondern die Substrate während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung stationär verbleiben, so daß die zuvor beschriebenen Störungen bei dem erfindungs­ gemäßen Verfahren nicht auftreten können. Dies wiederum führt dazu, daß die Niedertemperatur-Plasmabehandlung nicht unterbrochen werden muß, was die Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit der durch das erfindungsgemäße Verfahren hervorgerufenen Effekte sicherstellt. Auch konnte überraschender­ weise festgestellt werden, daß die durch die Niedertemperatur-Plasmabehand­ lung verursachten Effekte über die Dicke des Haufwerkes gleichmäßig sind, so daß keine Unterschiede in den Behandlungseffekten zwischen den inneren Lagen, den mittleren Lagen und den äußeren Lagen des Haufwerkes auftreten. Als Ursache hierfür wird vermutet, daß offensichtlich die durch die Niedertemperatur-Plasmabehandlung gebildeten Elektronen, Ionen, neutrale Moleküle und/oder radikale, die unter Vernetzung, Oxydation, Aufrauhung und/oder Ätzung mit der Oberfläche des jeweils behandelten Materials reagieren, gleichmäßig über die Dicke des Haufwerkes verteilt werden, so daß die zuvor angesprochenen Ungleichmäßigkeiten über die Dicke des Haufwerkes gesehen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren nicht auftreten. Diese gleichmäßige Verteilung hängt offensichtlich damit zusammen, daß das Haufwerk während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung mit dem Gas, das als Träger für die zuvor genannten Elektronen, Ionen, hochreaktiven Moleküle und/oder Radikale dient, ohne Ausbildung von Todgebieten gleichmäßig durchströmt wird und daß beispielsweise bei einer Durchströmung des Haufwerkes von innen nach außen gesehen in den inneren Lagen des Haufwerks keine erhöhte Konzentration an Elektronen, Ionen, hochreaktiven Molekülen und/oder Radikalen ausgebildet werden. Vielmehr ist anzunehmen, daß sich stets eine gleichbleibende Sättigungskonzentration der zuvor genannten Teilchen auf der Oberfläche ausbildet, so daß ungleichmäßige Behandlungseffekte über die Dicke des Haufwerks gesehen nicht auftreten können. So konnte beispielsweise festgestellt werden, daß das Anfärbeverhalten, das durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung beeinflußt wird, zwischen den inneren Substratlagen, den mittleren Substratlagen und den äußeren Substratlagen eines nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelten Substrates nicht verändert ist, was durch entsprechende Färbeversuche und anschließender farbmetrischen Auswertung überprüft wurde. Auch die Netzfähigkeit, die insbesondere bei Synthesefasern durch eine Niedertemperatur-Plasmabehandlung beeinflußt wird, ergibt zwischen den inneren Lagen, den mittleren Lagen und den äußeren Lagen keine Unterschiede, wie dies anhand von entsprechenden Versuchen festgestellt werden konnte.The method according to the invention has a number of advantages. So allows treatment of the aforementioned in a particularly simple manner Substrates, since these substrates are not like the ones listed at the beginning State of the art, are plasma treated during rewinding, but the substrates stationary during the low-temperature plasma treatment remain, so that the disturbances described above in the Invention according to the procedure. This in turn leads to the Low temperature plasma treatment does not have to be interrupted, which is the Reproducibility and uniformity of the inventive Ensures process-induced effects. Also could be more surprising be found that the low-temperature plasma treatment effects caused by the thickness of the pile are even, so no difference in treatment effects between the inner ones Layers, the middle layers and the outer layers of the pile occur. The reason for this is believed to be the obvious fact that the Low temperature plasma treatment formed electrons, ions, neutral Molecules and / or radicals that crosslink, oxidize, roughen and / or etching with the surface of the material being treated react, be distributed evenly over the thickness of the pile, so that the aforementioned non-uniformities over the thickness of the Haufwerkes seen in the method according to the invention do not occur. This even distribution is obviously related to the fact that Heap during the low-temperature plasma treatment with the gas, which as Carrier for the aforementioned electrons, ions, highly reactive molecules and / or radicals, without formation of deadly areas is evenly flowed through and that, for example, at a Flow through the pile viewed from the inside in no increased concentration on the inner layers of the pile Electrons, ions, highly reactive molecules and / or  Radicals are trained. Rather, it can be assumed that there is always one constant saturation concentration of the aforementioned particles the surface forms, so that uneven treatment effects on the Seen the thickness of the pile can not occur. So could For example, it can be found that the staining behavior caused by a low temperature plasma treatment is affected between the inner substrate layers, the middle substrate layers and the outer Substrate layers of a treated according to the inventive method Substrate is not changed, which by appropriate coloring tests and subsequent colorimetric evaluation was checked. Also the Wetting ability, particularly in the case of synthetic fibers through a Low temperature plasma treatment is affected, results between the inner layers, the middle layers and the outer layers none Differences, as determined from appropriate experiments could be.

Auch besitzen Beschichtungen bzw. Pigmentdrucke, die auf Flächengebilde aufgebracht werden, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren vor dem Auftrag behandelt wurden, im Vergleich zu nicht behandelten Flächengebilden eine wesentlich bessere Haftung, was sich in einem verringerten Abrieb und in besseren Echtheiten ausdrückt. Darüber hinaus konnte festgestellt werden, daß Fasern, Filamente, Garne bzw. entsprechende Flächengebilde insbesondere aus Polyester, Polyamid und/oder Polypropylen, die nach dem erfindungs­ gemäßen Verfahren behandelt worden sind, einen wesentlich geringeren Oberflächenwiderstand im Vergleich zu nicht behandelten Substraten aufweisen, wobei dieser geringerer Oberflächenwiderstand permanent war. Bei der Behandlung eines Polyäthylen- und eines Polypropylenfaservlieses konnte festgestellt werden, daß die Vliese jeweils im Vergleich zu einem entsprechenden nicht behandelten Vlies ein wesentlich höheres Wasserauf­ nahme- und Wasserspeichervermögen aufwiesen, so daß insgesamt aufgrund der zuvor beispielsweise beschriebenen günstigen Eigenschaftsveränderungen des nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelten Substrates das erfindungs­ gemäße Verfahren bei einem hohen Warendurchsatz besonders wirtschaftlich und einfach durchführbar ist.Also have coatings or pigment prints that are based on fabrics are applied by the method according to the invention before the order were treated, compared to non-treated fabrics much better adhesion, which results in reduced abrasion and expresses better fastness. In addition, it was found that fibers, filaments, yarns or corresponding fabrics in particular made of polyester, polyamide and / or polypropylene, according to the Invention treated in accordance with the procedures, a much lower Surface resistance compared to untreated substrates exhibit, this lower surface resistance was permanent. At the treatment of a polyethylene and a polypropylene fiber fleece found that the fleeces each compared to a corresponding non-treated fleece has a significantly higher water content had acquisition and water storage capacity, so that overall due to  Favorable property changes of the previously described, for example substrate treated according to the method of the invention appropriate procedures with a high throughput of goods are particularly economical and is easy to do.

Üblicherweise wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren die Niedertempera­ tur-Plasmabehandlung bei einem Vakuum zwischen 5 Pa und 500 Pa durchgeführt. Besonders gute Ergebnisse erzielt man, wenn man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei einem Vakuum zwischen 50 Pa und 300 Pa, vorzugsweise zwischen 70 Pa und 200 Pa, ausführt.The low temperature is usually used in the method according to the invention Tur plasma treatment at a vacuum between 5 Pa and 500 Pa carried out. You get particularly good results if you use the Low temperature plasma treatment at a vacuum between 50 Pa and 300 Pa, preferably between 70 Pa and 200 Pa.

Eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, daß man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung in mindestens zwei Behandlungsperioden durchführt, wobei sich diese Behandlungsperioden vorzugsweise durch den Behandlungsdruck unterscheiden. So sieht diese Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens vor, daß man zunächst während einer ersten Behandlungsperiode einen Druck zwischen 5 Pa und 120 Pa, vorzugsweise zwischen 70 Pa und 120 Pa, und während einer sich hieran anschließenden zweiten Behandlungsperiode einen Druck zwischen 130 Pa und 250 Pa, vorzugsweise zwischen 130 Pa und 200 Pa, einstellt. Durch einen derartigen Druckwechsel wird erreicht, daß das Haufwerk besonders gut und gleichmäßig von dem Gas durchströmt wird, so daß Ungleichmäßigkeiten über die Dicke des Haufwerks gesehen völlig vermieden werden. Vorzugsweise schließt sich die erste Behandlungs­ periode unmittelbar an die zweite Behandlungsperiode an, und insbesondere werden beide Behandlungsperioden abwechselnd mehrfach wiederholt. Another embodiment of the method according to the invention provides that the low temperature plasma treatment in at least two Carries out treatment periods, these treatment periods preferably distinguish by the treatment pressure. This is how it looks Embodiment of the method according to the invention that first a pressure between 5 Pa and during a first treatment period 120 Pa, preferably between 70 Pa and 120 Pa, and during a subsequent second treatment period between 130 Pa and 250 Pa, preferably between 130 Pa and 200 Pa. Such a pressure change ensures that the pile flows particularly well and evenly through the gas is seen so that unevenness across the thickness of the pile be completely avoided. The first treatment preferably closes period immediately after the second treatment period, and in particular, both treatment periods alternate repeated several times.  

Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, die unterschiedlichen Behandlungsdrücke der ersten und zweiten Behandlungsperiode abrupt einzustellen, d. h. die zuvor genannten Behandlungsdrücke sprunghaft zu erhöhen bzw. zu erniedrigen. Wird jedoch nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Wickelkörper derart behandelt, so besteht die Gefahr, daß der Wickelkörper sich von der Trägerhülse ablöst, wodurch eine gleichmäßige Durchströmung des Wickelkörpers über dessen Dicke gesehen nicht mehr gewährleistet ist. Um dies zu vermeiden, sieht eine Weiterbildung der zuvor beschriebenen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens vor, daß die Druckerhöhung beim Übergang von der ersten in die zweite Behandlungsperiode bzw. die Druckabsenkung beim Übergang von der zweiten in die erste Behandlungs­ periode kontinuierlich, vorzugsweise in Form eines sinusförmigen Druckverlaufes, durchgeführt wird. Somit pulsiert das den Wickelkörper bzw. das Haufwerk durchströmende Gas mit einer Frequenz, die in ihrer Länge der Dauer der ersten und zweiten Behandlungsperiode entspricht.In the previously described embodiment of the invention It is possible to measure the different treatment pressures abruptly stop the first and second treatment periods, d. H. the previous one mentioned treatment pressures to increase or decrease abruptly. Becomes however, a winding body of this type according to the method according to the invention treated, there is a risk that the winding body from the Carrier sleeve detaches, which ensures a uniform flow through the Viewed over its thickness winding body is no longer guaranteed. Around Avoiding this is a further development of the previously described Embodiment of the method according to the invention that the pressure increase in the transition from the first to the second treatment period or Lowering pressure during the transition from the second to the first treatment period continuously, preferably in the form of a sinusoidal Pressure curve is carried out. This pulsates the winding body or gas flowing through the pile at a frequency which is the same as its length Duration of the first and second treatment period corresponds.

Üblicherweise wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren die erste und zweite Behandlungsperiode jeweils über einer Zeitdauer von 10 Sekunden bis 160 Sekunden, vorzugsweise zwischen 20 Sekunden und 60 Sekunden, durchgeführt.Usually in the method according to the invention first and second treatment periods each over a period of time from 10 seconds to 160 seconds, preferably between 20 seconds and 60 seconds.

Um bei dem erfindungsgemäßen Verfahren den Einfluß von Fremdgasen auszuschließen und somit das Ergebnis der Behandlung besonders reproduzier­ bar zu gestalten, sieht eine weitere Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens vor, daß man zu Beginn der Niedertemperatur-Plasmabehandlung einen Druck einstellt, der geringer ist als der Druck während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung und daß man anschließend zur Einstellung des erforderlichen Behandlungsdruckes das Gas zuführt. Durch eine derartige Verfahrensweise wird ferner sichergestellt, daß bereits zu Beginn der Niedertemperatur-Plasmabehandlung das Gas das Haufwerk durchströmt, so daß Fremdgase innerhalb des Haufwerkes verdrängt werden. To the influence of foreign gases in the method according to the invention exclude and thus reproduce the result of the treatment particularly to design bar, sees a further variant of the invention Procedure before that at the beginning of the low-temperature plasma treatment sets a pressure that is less than the pressure during the Low temperature plasma treatment and that you can then adjust supplies the gas to the required treatment pressure. By such Procedure is also ensured that at the beginning of the Low temperature plasma treatment the gas flows through the heap so that Foreign gases are displaced within the pile.  

Bezüglich der Frequenz bei der Niedertemperatur-Plasmabehandlung ist festzuhalten, daß diese insbesondere zwischen 1 MHz und 20 MHz variiert. Besonders gute Ergebnisse erzielt man bei dem erfindungsgemäßen Verfahren, wenn die Frequenz der Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei 13,56 MHz liegt.Regarding the frequency in the low temperature plasma treatment to note that this varies in particular between 1 MHz and 20 MHz. Particularly good ones Results are achieved in the method according to the invention if the Frequency of the low-temperature plasma treatment is 13.56 MHz.

Darüber hinaus besteht noch die Möglichkeit, die Niedertemperatur-Plasma- Behandlung bei einer Frequenz von 27,12, 40,68 und/oder 81,36 MHz durchzu­ führen. Selbstverständlich ist es möglich, die Niedertemperatur-Plasmabe­ handlung nicht nur bei einer Frequenz sondern auch bei mehreren Frequenzen vorzunehmen.There is also the option of using the low-temperature plasma Treatment at a frequency of 27.12, 40.68 and / or 81.36 MHz to lead. Of course, it is possible to use the low-temperature plasma act not only with one frequency but also with several frequencies to make.

Bezüglich der Leistungsdichte bei dem erfindunsgemäßen Verfahren ist fest­ zuhalten, daß sich diese grundsätzlich nach der Menge des Haufwerkes, der durch die Niedertemperatur-Plasmabehandlung herbeigeführten Effekte und der ausgewählten Frequenzen richtet. Üblicherweise variiert bei den zuvor genannten Frequenzen die Leistungsdichte bei der Niedertempe­ ratur-Plasmabehandlung zwischen 2 W/dm3 und 25 W/dm3, vorzugsweise zwischen 8 W/dm3 und 14 W/dm3, wobei die zuvor genannten Leistungen auf das Volumen des jeweils verwendeten Autoklaven bezogen sind.With regard to the power density in the method according to the invention, it should be firmly stated that this depends in principle on the amount of the pile, the effects brought about by the low-temperature plasma treatment and the selected frequencies. Usually, at the aforementioned frequencies, the power density in the low-temperature plasma treatment varies between 2 W / dm 3 and 25 W / dm 3 , preferably between 8 W / dm 3 and 14 W / dm 3 , the aforementioned powers being based on the volume of the particular autoclave used.

Besonders gute Ergebnisse lassen sich bei einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens erzielen, wenn man bei einer Frequenz der Niedertemperatur-Plasmabehandlung von 2,45 GHz arbeitet. Hierbei variiert der Druck vorzugsweise zwischen 70 Pa und 120 Pa, während die Leistungsdichte bei einer derartigen Behandlung zwischen 0,1 W/dm3 und 5 W/dm3, vorzugsweise zwischen 1,5 W/dm3 und 3 W/dm3, liegt.Particularly good results can be achieved in a further embodiment of the method according to the invention if one works at a frequency of the low-temperature plasma treatment of 2.45 GHz. Here, the pressure preferably varies between 70 Pa and 120 Pa, while the power density in such a treatment between 0.1 W / dm 3 and 5 W / dm 3 , preferably between 1.5 W / dm 3 and 3 W / dm 3 , lies.

Grundsätzlich kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren jedes Gas eingesetzt werden, das unter Einfluß der Gasentladung Ionen, hochreaktive Moleküle, Radikale und/oder Elektronen bildet bzw. emittiert, die dann entsprechend, wie vorstehend ausgeführt, unter Vernetzung, Oxidation, Aufrauhung und/oder Ätzung der Oberfläche des plasmabehandelten Materials reagieren. So können beispielsweise als Gas bei dem erfindungsgemäßen Verfahren O2, O3, CO2, CO, N2O, NH3, SO2, SiCl4, CCl4, CF3, Cl, CF4 und/oder SF6 sowohl als Einzelgase als auch als Gasgemische eingesetzt werden, wobei besonders gute Ergebnisse unter Verwendung von Sauerstoff erzielt werden. Ist hingegen bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eine chemische Modifizierung der Oberfläche, beispielsweise eine Plasmapolymerisation oder Plasmapfropfpolymerisation, erwünscht, so werden hierfür entsprechende Monomeren eingesetzt, die selbstvernetzen und/oder mit der Oberfläche des behandelten Substrates reagieren.In principle, any gas can be used in the process according to the invention which forms or emits ions, highly reactive molecules, radicals and / or electrons under the influence of the gas discharge, which then, as stated above, with crosslinking, oxidation, roughening and / or etching of the React surface of the plasma-treated material. For example, as a gas in the process according to the invention, O 2 , O 3 , CO 2 , CO, N 2 O, NH 3 , SO 2 , SiCl 4 , CCl 4 , CF 3 , Cl, CF 4 and / or SF 6 can both be used as Individual gases as well as gas mixtures are used, with particularly good results being achieved using oxygen. If, on the other hand, a chemical modification of the surface, for example plasma polymerization or plasma graft polymerization, is desired in the process according to the invention, appropriate monomers are used for this purpose, which self-crosslink and / or react with the surface of the treated substrate.

Die Behandlungszeit bei dem erfindungsgemäßen Verfahren, die, wie bereits erwähnt, zwischen 2 Minuten und 30 Minuten beträgt, richtet sich wie die Leistungsdichte nach der Menge des Haufwerkes und dem Ausmaß der gewünschten Effekte.The treatment time in the method according to the invention, as mentioned, between 2 minutes and 30 minutes is like the power density depends on the quantity of the pile and the extent of the desired effects.

Wird das erfindungsgemäße Verfahren bei Flächengebilden, Filamenten bzw. Garnen angewendet, so stellt man vorzugsweise das Haufwerk durch Aufwickeln der Flächengebilde, Filamente bzw. Garne auf eine perforierte Hülse her, so daß ein so hergestellter Wickelkörper entsprechend gut von dem Gas durchströmt werden kann. Besonders vorteilhaft hierbei ist, wenn man eine perforierte Metallhülse verwendet, da man diese Metallhülse noch als weitere Elektrode einsetzen kann, wie dies nachfolgend noch beschrieben wird.If the method according to the invention is used for fabrics, filaments or If yarns are used, the pile is preferably made by winding the fabrics, filaments or yarns on a perforated sleeve forth, so that a winding body produced in this way correspondingly well from the gas can be flowed through. It is particularly advantageous if you have a perforated metal sleeve is used because this metal sleeve is still considered can use another electrode, as described below becomes.

Um eine besonders gleichmäßige und gute Durchströmung des Haufwerks mit dem Gas sicherzustellen, was insbesondere bei großvolumigen und/oder dichten Haufwerken erforderlich ist, bietet es sich an, das Haufwerk abwechselnd von außen nach innen und von innen nach außen mit dem Gas zu durchströmen. Dies kann man bei dem erfindungsgemäßen Verfahren beispielsweise dadurch erreichen, daß man in der zuvor beschriebenen ersten Behandlungsperiode das Haufwerk von innen nach außen und in der sich hieran anschließenden zweiten Behandlungsperiode das Haufwerk von außen nach innen oder umgekehrt durchströmt, so daß zusätzlich zu der zuvor beschriebenen Druckänderung während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung auch die Strömungsrichtung des Gases geändert wird.To ensure a particularly even and good flow through the pile with the Ensure gas, especially in the case of large-volume and / or dense If piles are required, it is advisable to alternate the piles to flow through with the gas from outside to inside and from inside to outside. This can be done, for example, in the method according to the invention  achieve that in the first treatment period described above Heap from the inside out and in the second one that follows Treatment period the pile from the outside in or vice versa flows through, so that in addition to the pressure change described above during the low temperature plasma treatment also the direction of flow of the gas is changed.

Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Verfügung zu stellen, die unter Verwendung von relativ wenigen Bauteilen eine besonders einwandfreie und gleichmäßige Behandlung des Substrates ermöglicht.The invention is also based on the object of a device to carry out the method according to the invention To provide that using relatively few Components a particularly flawless and even treatment of the substrate.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den kenn­ zeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 15 gelöst.This object is achieved by a device with the characteristics Drawing features of claim 15 solved.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist eine im wesentlichen zylindrische Reaktionskammer, mindestens zwei mit Abstand voneinander angeordnete Elektroden, eine Spannungsquelle für die Elektroden, eine mit einer Gasabführeinrichtung verbundene Vakuumquelle sowie eine Gaszuführeinrichtung auf. Hierbei ist innerhalb der Vorrichtung eine Halterungseinrichtung für das Haufwerk vorgesehen, während die Elektroden derart angeordnet sind, daß sich das Haufwerk zwischen den Elektroden erstreckt.The inventive device for performing the method has a essentially cylindrical reaction chamber, at least two at a distance electrodes arranged from each other, a voltage source for the Electrodes, a vacuum source connected to a gas discharge device and a gas supply device. Here is inside the device a mounting device for the pile is provided while the Electrodes are arranged so that the pile between the Electrodes.

Die zuvor beschriebene Vorrichtung weist den Vorteil auf, daß sie im Vergleich zu dem eingangs beschriebenen Stand der Technik gemäß der DE-OS 33 12 307 eine relativ kleine Baugröße besitzt, da bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf großvolumige Ab- bzw. Aufwickelvorrich­ tungen und zugehörige Antriebsaggregate verzichtet werden kann. Dies wiederum führt dazu, daß die Vakuumquelle, bei der es sich vorzugsweise um eine konventionelle Vakuumpumpe handelt, im Vergleich zum eingangs aufge­ führten Stand der Technik in ihrer Leistung entsprechend geringer dimensioniert werden kann, so daß die erfindungsgemäße Vorrichtung unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten besonders günstig herzustellen und zu betreiben ist.The device described above has the advantage that it Comparison to the prior art described in the introduction according to DE-OS 33 12 307 has a relatively small size because the Device according to the invention on large-volume unwinding or winding device lines and associated drive units can be dispensed with. This  in turn, causes the vacuum source, which is preferably a conventional vacuum pump is compared to the above led the state of the art in their performance accordingly lower can be dimensioned so that the device according to the invention under economical and economical to manufacture operate.

Bezüglich der Ausgestaltung und Anordnung der Elektroden bestehen bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung mehrere Möglichkeiten.Regarding the design and arrangement of the electrodes, the device according to the invention several possibilities.

So sieht eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung vor, daß die Elektroden im Querschnitt bogenförmig gekrümmt sind und nahezu vollständig die Halterungseinrichtung und damit auch das Haufwerk umschließen. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, daß die Elektroden von Wandungsabschnitten der zylindrischen Reaktionskammer gebildet werden, wobei es hierbei erforderlich ist, daß diese Abschnitte aus einem elektrisch leitenden Material bestehen und die entsprechenden Elektrodenabschnitte durch eine elektrisch isolierende Schicht voneinander getrennt sind.A first embodiment of the device according to the invention thus provides that the electrodes are arcuate in cross section and almost completely the mounting device and thus the pile enclose. This can be achieved, for example, in that the Electrodes of wall sections of the cylindrical reaction chamber are formed, it being necessary that these sections consist of an electrically conductive material and the corresponding Electrode sections through an electrically insulating layer from each other are separated.

Eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß die zylindrische Reaktionskammer aus zwei Halbschalen besteht, wobei diese beiden Halbschalen, die aus einem Metall angefertigt sind, das Elektrodenpaar bilden. Hierbei sind diese Halbschalen, wie bereits vorstehend beschrieben, durch eine elektrisch isolierende Schicht miteinander verbunden.A preferred embodiment of the device according to the invention provides that the cylindrical reaction chamber consists of two half-shells, these two half-shells, which are made of a metal, the Form a pair of electrodes. Here are these half shells, as already described above, by an electrically insulating layer connected with each other.

Eine weitere Möglichkeit besteht darin, daß die Reaktionskammer aus einem elektrisch nicht leitenden Material, beispielsweise Glas, angefertigt ist, und innerhalb oder außerhalb der Reaktionskammer die Elektroden angeordnet sind. Bei einer derartigen Ausführungsform können beispielsweise die Elektroden ebenfalls aus zwei metallischen Halbschalen bestehen, die sich entlang der Innenwandung oder entlang der Außenwandung der Reaktionskammer erstrecken.Another possibility is that the reaction chamber from one electrically non-conductive material, for example glass, is made, and the electrodes are arranged inside or outside the reaction chamber  are. In such an embodiment, for example Electrodes also consist of two metallic half-shells, which are along the inner wall or along the outer wall of the reaction chamber extend.

Selbstverständlich kann bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung jede Elektrode auch aus einer Reihe von Einzelelektroden, beispielsweise zwischen 4 und 12, bestehen, die unterschiedlich innerhalb der Reaktions­ kammer positioniert sein können.Of course, in the device according to the invention each electrode can also consist of a number of individual electrodes, for example between 4 and 12 , which can be positioned differently within the reaction chamber.

Wird beispielsweise das jeweils zu behandelnde Substrat vor der Behandlung auf eine perforierte Hülse gewickelt, so sieht eine weitere Ausführungs­ form der erfindungsgemäßen Vorrichtung vor, daß innerhalb der perforierten Hülse mindestens eine weitere Elektrode angeordnet ist. Hierbei ist die zugehörige Gegenelektrode bzw. sind die zugehörigen Gegenelektroden außerhalb des Haufwerkes in der Reaktionskammer angeordnet. Die hierzu erforderliche Gegenelektrode bzw. die Gegenelektroden besteht bzw. bestehen dann beispielsweise aus einem Abschnitt der Wandung der Reaktionskammer, sofern dieser Wandungsabschnitt aus Metall besteht.For example, the substrate to be treated before the treatment wrapped on a perforated sleeve, this is another execution form of the device according to the invention that within the perforated Sleeve is arranged at least one further electrode. Here is the associated counter electrode or are the associated counter electrodes arranged outside the pile in the reaction chamber. The for this required counter electrode or the counter electrodes exists or exist then for example from a section of the wall of the reaction chamber, if this wall section consists of metal.

Eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß die Hülse selbst, die aus Metall besteht, mindestens eine Elektrode bildet. Ebenso kann man die Hülse aus zwei entsprechenden Halbschalen, die gegeneinander elektrisch isoliert sind, fertigen und so zwei Elektroden erhalten.Another embodiment of the device according to the invention provides that the sleeve itself, which is made of metal, has at least one electrode forms. Likewise, the sleeve can be made from two corresponding half-shells are electrically insulated from one another, and thus produce two electrodes receive.

Um eine besonders gute und gleichmäßige Durchströmung des Haufwerkes zu gewährleisten, sieht eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung vor, daß der Halterungseinrichtung entweder die Gaszuführein­ richtung oder die Gasabführeinrichtung zugeordnet ist. Für den Fall, daß die Halterungseinrichtung mit der Gaszuführeinrichtung versehen ist, ist die Gasabführeinrichtung außerhalb der Halterungseinrichtung innerhalb der Reaktionskammer, vorzugsweise im Bereich der Stirnflächen oder des Mantels, angeordnet. Für den Fall, daß die Gasabführeinrichtung der Halterungsein­ richtung zugeordnet ist, ist die Gaszuführeinrichtung innerhalb der Reaktionskammer, vorzugsweise im Bereich der Stirnseiten oder des Mantels, vorgesehen. Hierdurch wird erreicht, daß das Gas das Haufwerk von innen nach außen bzw. bei der zuvor beschriebenen zweiten Möglichkeiten von außen nach innen durchströmt. Die Gaszuführeinrichtung bzw. Gasabführeinrichtung kann dabei beispielsweise als perforiertes Rohr ausgebildet sein, das gleichzeitig dann als Träger des Wickelkörpers dient.To ensure a particularly good and even flow through the pile ensure sees another embodiment of the invention Device before that the mounting device either the gas supply direction or the gas discharge device is assigned. In case that  the mounting device is provided with the gas supply device the gas discharge device outside the mounting device within the Reaction chamber, preferably in the area of the end faces or the jacket, arranged. In the event that the gas discharge device of the bracket Direction is assigned, the gas supply device is within the Reaction chamber, preferably in the area of the end faces or the jacket, intended. This ensures that the gas from the inside of the pile to the outside or, in the case of the second possibilities described above, from outside flowed inwards. The gas supply device or gas discharge device can be designed for example as a perforated tube then simultaneously serves as a carrier of the winding body.

Eine besonders geeignete Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß der Halterungseinrichtung eine erste Gaszuführeinrichtung und eine erste Gasabführeinrichtung zugeordnet ist, während die Reaktionskammer außerhalb der Halterungseinrichtung vorzugsweise im Bereich des Mantels bzw. der Stirnseiten eine zweite Gaszuführeinrichtung oder zweite Gasabführeinrichtung aufweist. Hierbei wird während einer ersten Behandlungsperiode das Gas über die erste Gaszuführeinrichtung in das Innere des Haufwerkes eingeführt, während es durch die zweite Gasabführeinrichtung abgesaugt wird. Dies führt dazu, daß während der ersten Behandlungsperiode das Haufwerk von innen nach außen durchströmt wird. Während der zweiten Behandlungsperiode wird das Gas durch die zweite Gaszuführeinrichtung von außen auf das Haufwerk gerichtet und innerhalb des Haufwerkes durch die erste Gasabführeinrichtung abgezogen, so daß das Haufwerk während dieser zweiten Behandlungsperiode von außen nach innen mit dem Gas durchströmt wird. Um dies zu erreichen, sind die erste und zweite Gaszuführ- und Gasabführeinrichtungen mit einer ersten und zweiten Ventilanordnung versehen, die derart geschaltet sind, daß die zuvor beschriebene Durchströmung des Haufwerkes erreicht wird. Selbstverständlich ist es auch möglich, die Ventilanordnungen so zu schalten, daß in der ersten Behandlungsperiode das Haufwerk von außen nach innen und in der zweiten Behandlungsperiode das Haufwerk von innen nach außen durchströmt wird.A particularly suitable embodiment of the device according to the invention provides that the mounting device has a first gas supply device and a first gas discharge device is assigned while the Reaction chamber outside the mounting device, preferably in the area the jacket or the end faces a second gas supply device or has second gas discharge device. Here, during a first Treatment period the gas via the first gas supply device in the Inside of the pile introduced while it was through the second Gas discharge device is suctioned off. This means that during the flows through the pile from the inside out during the first treatment period becomes. During the second treatment period, the gas is replaced by the second Gas supply device directed from the outside to the pile and inside the Haufwerkes deducted by the first gas discharge device, so that the Haufwerk from outside to inside during this second treatment period is flowed through the gas. To achieve this, the first and second are Gas supply and gas discharge devices with a first and a second Provided valve assembly which are switched such that the previously described flow through the pile is achieved. Of course  it is also possible to switch the valve arrangements so that in the the first treatment period, the pile from the outside in and in the second treatment period flows through the pile from the inside out becomes.

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous developments of the method according to the invention and the Device according to the invention are specified in the subclaims.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nachfolgend anhand einer Ausführungsform in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:The device according to the invention is described below using a Embodiment explained in connection with the drawing. Show it:

Fig. 1 eine seitliche schematische Schnittansicht einer ersten Aus­ führungsform zur Behandlung eines Garnwickelkörpers und Fig. 1 is a side schematic sectional view of a first imple mentation form for the treatment of a package and

Fig. 2 eine schematische Frontansicht im Schnitt der in Fig. 1 abgebildeten Vorrichtung. Fig. 2 is a schematic front view in section of the device shown in Fig. 1.

Die in den Fig. 1 und 2 insgesamt mit 1 bezeichnete Vorrichtung ist als zylindrische Reaktionskammer ausgebildet, wobei die zylindrische Reaktions­ kammer aus Glas besteht und eine stirnseitig angeordnete Beladetür 2 aufweist. Innerhalb der Reaktionskammer ist eine Halterungseinrichtung 5 vorgesehen, die bei der gezeigten Ausführungsform ein als Wickelkörper 3 ausgebildetes Haufwerk haltert. Der Wickelkörper 3 besteht bei der gezeigten Ausführungsform aus einer Garnspule. Hierbei ist das Garn auf eine zylindrische Metallhülse 4 aufgewickelt, die eine Vielzahl von Perforationen 4a besitzt. Die Reaktionskammer weist ferner zwei Gaszufuhr­ öffnungen 8 auf, die diametral gegenüberliegend angeordnet sind und sich durch den Glasmantel der Reaktionskammer erstrecken. An seiner der Beladetür entgegengesetzten Stirnseite der Reaktionskammer ist eine Gasabführeinrich­ tung 6 angeordnet, die mit einer nicht gezeigten Vakuumpumpe verbunden ist. The generally designated in FIGS. 1 and 2 with 1 is formed as a cylindrical reaction chamber, wherein the cylindrical reaction chamber is made of glass and has an end face arranged loading door 2. Provided within the reaction chamber is a holding device 5 which, in the embodiment shown, holds a pile formed as a winding body 3 . In the embodiment shown, the winding body 3 consists of a yarn spool. Here, the yarn is wound on a cylindrical metal sleeve 4 , which has a plurality of perforations 4 a. The reaction chamber also has two gas supply openings 8 which are arranged diametrically opposite one another and extend through the glass jacket of the reaction chamber. On its opposite end of the loading chamber of the reaction chamber, a gas discharge device 6 is arranged, which is connected to a vacuum pump, not shown.

Dieser Gasabführeinrichtung 6 ist eine Vakuumdruckzelle 7 zugeordnet. Die Glaswandung 12 der Reaktionskammer wird von einem halbschalenförmig ausgebildeten Elektrodenpaar 10 umschlossen, wobei jede Elektrode des Elektrodenpaares sich etwa über den halben Umfang der Glaswandung 12 der Reaktionskammer erstreckt. Die beiden Elektroden 10 sind durch einen Isolator 11 auf Abstand gehalten.A vacuum pressure cell 7 is assigned to this gas discharge device 6 . The glass wall 12 of the reaction chamber is enclosed by a half-shell-shaped pair of electrodes 10 , each electrode of the pair of electrodes extending approximately over half the circumference of the glass wall 12 of the reaction chamber. The two electrodes 10 are kept at a distance by an insulator 11 .

Die zuvor beschriebene Vorrichtung arbeitet wie folgt:
Zunächst wird über die Beladetür 2 der auf die perforierte Hülse 4 aufgewickelte Wickelkörper 3 in die Reaktionskammer eingebracht und mittels der Halterungseinrichtung 5 aus Keramik in der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Lage fixiert.
The device described above works as follows:
First, the winding body 3 wound onto the perforated sleeve 4 is introduced into the reaction chamber via the loading door 2 and fixed in the position shown in FIGS. 1 and 2 by means of the ceramic holder device 5 .

Nach Verschließen der Reaktionskammer wird dieser mittels der nicht gezeigten Vakuumpumpe über die Gasabführeinrichtung 6 bis auf einen Gasdruck von etwa 5 Pa evakuiert, wobei dieser Druck über die Meßeinrichtung 7 bestimmt wird.After the reaction chamber has been closed, it is evacuated to a gas pressure of about 5 Pa by means of the vacuum pump (not shown) via the gas discharge device 6 , this pressure being determined via the measuring device 7 .

Anschließend wird durch die beiden Gaszuführeinrichtungen 8 das Gas, vorzugsweise Sauerstoff, ständig zugeführt, während die Gasabführ­ einrichtung 6 ständig die Reaktionskammer evakuiert. Durch Variation der Gaszuführmenge und der Einstellung der Saugleistung der Vakuumpumpe ist es möglich, jeden beliebigen Druckverlauf während der Niedertemperatur- Plasmabehandlung einzustellen, wie dies vorstehend beschrieben ist.Then the gas, preferably oxygen, is continuously supplied by the two gas supply devices 8 , while the gas discharge device 6 constantly evacuates the reaction chamber. By varying the gas supply quantity and the setting of the suction power of the vacuum pump, it is possible to set any pressure curve during the low-temperature plasma treatment, as described above.

Durch Anlegen einer Hochfrequenzspannung an das Elektrodenpaar 10 wird ein Plasma gezündet, wobei die Frequenz und Leistungsdichten zuvor beschrieben sind. Am Ende der Behandlung werden die Sauerstoffzufuhr und die Spannungsversorgung der Elektroden unterbrochen und die Reaktionskammer wird über die Gaszuführleitungen 8 belüftet, so daß nach Abstellen der Vakuumpumpe der behandelte Wickelkörper entnommen werden kann.A plasma is ignited by applying a high-frequency voltage to the electrode pair 10 , the frequency and power densities being described above. At the end of the treatment, the oxygen supply and the voltage supply to the electrodes are interrupted and the reaction chamber is ventilated via the gas supply lines 8 so that the treated winding body can be removed after the vacuum pump has been switched off.

Claims (25)

1. Verfahren zum Behandeln von Flächengebilden bzw. von für die Herstellung der Flächengebilde verwendeten Fasern, Filamenten und/oder Garnen mit Hilfe eines Niedertemperatur- Plasmas, das man in Anwesenheit eines reaktionsfähigen Gases bei einem Druck zwischen 10-1 Pa bis 10³ Pa und einer Frequenz zwischen 1 MHz und 81,36 MHz oder von 2,54 GHz während einer gesamten Behandlungszeit von 2 bis 30 Minuten durchführt, dadurch gekennzeichnet, daß
man vor der Niedertemperatur-Plasmabehandlung aus den Flächengebilden, Fasern, Filamenten bzw. Garnen ein Haufwerk herstellt,
man das in der Vorrichtung stationär verbleibende Haufwerk der Niedertemperatur-Plasmabehandlung unterwirft und
man während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung das Haufwerk mit einem Gas durchströmt.
1. A method for treating fabrics or fibers, filaments and / or yarns used for the manufacture of fabrics with the aid of a low-temperature plasma, which in the presence of a reactive gas at a pressure between 10 -1 Pa and 10³ Pa and Frequency between 1 MHz and 81.36 MHz or 2.54 GHz during a total treatment time of 2 to 30 minutes, characterized in that
before the low-temperature plasma treatment, a pile is made from the flat structures, fibers, filaments or yarns,
one subjects the pile remaining in the device to the low-temperature plasma treatment and
one flows through the pile with a gas during the low-temperature plasma treatment.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck zwischen 5 Pa und 500 Pa und die Frequenz zwischen 1 MHz und 81,36 MHz gewählt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the pressure between 5 Pa and 500 Pa and the frequency between 1 MHz and 81.36 MHz is selected. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei einem Druck zwischen 50 Pa und 300 Pa, vorzugsweise zwischen 70 Pa und 200 Pa, durchführt.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that one the low temperature plasma treatment at a pressure between 50 Pa and 300 Pa, preferably between 70 Pa and 200 Pa. 4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man bei der Niedertemperatur-Plasmabehandlung während einer ersten Behandlungsperiode einen Druck zwischen 5 Pa und 20 Pa, vorzugsweise zwischen 70 Pa und 120 Pa, und während einer sich hieran anschließenden zweiten Behandlungsperiode einen Druck zwischen 130 Pa und 250 Pa, vorzugsweise zwischen 130 Pa und 200 Pa, einstellt.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that one with low-temperature plasma treatment during a a pressure between 5 Pa and 20 Pa, preferably between 70 Pa and 120 Pa, and during a subsequent one second treatment period a pressure between 130 Pa and 250 Pa, preferably between 130 Pa and 200 Pa. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß man die erste und zweite Behandlungsperiode mehrfach abwechselnd wiederholt.5. The method according to claim 4, characterized in that one alternates the first and second treatment period several times repeated. 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß man beim Übergang von der ersten Behandlungsperiode in die zweite Behandlungsperiode und beim Übergang von der zweiten Behandlungsperiode in die erste Behandlungsperiode den Druck kontinuierlich erhöht bzw. absenkt. 6. The method according to claim 4 or 5, characterized in that that he at the transition from the first treatment period in the second treatment period and the transition from second treatment period into the first treatment period continuously increases or decreases the pressure.   7. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß man für die erste und zweite Behandlungsperiode jeweils eine Zeit zwischen 10 Sekunden und 160 Sekunden, vorzugsweise zwischen 20 Sekunden und 60 Sekunden, auswählt.7. The method according to any one of claims 3 to 6, characterized characterized in that one for the first and second treatment periods, respectively a time between 10 seconds and 160 seconds, preferably between 20 seconds and 60 seconds. 8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
man zu Beginn der Niedertemperatur-Plasmabehandlung einen Druck einstellt, der geringer ist als der Druck während der Niedertemperatur-Plasmabehandlung, und
man anschließend das Gas bis zum Erreichen des erforderlichen Behandlungsdruckes zuführt.
8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that
one sets a pressure at the start of the low-temperature plasma treatment which is lower than the pressure during the low-temperature plasma treatment, and
then the gas is supplied until the required treatment pressure is reached.
9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei einer Frequenz von 13,56 MHz, 27,12 MHz oder 40,68 MHz durchführt.9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that one the low temperature plasma treatment at one frequency of 13.56 MHz, 27.12 MHz or 40.68 MHz. 10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei einer Leistungsdichte zwischen 2 W/dm3 und 25 W/dm3, vorzugsweise zwischen 8 W/dm3 und 14 W/dm3, durchführt.10. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that one carries out the low-temperature plasma treatment at a power density between 2 W / dm 3 and 25 W / dm 3 , preferably between 8 W / dm 3 and 14 W / dm 3 . 11. Weitere Ausgestaltung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Niedertemperatur-Plasmabehandlung bei einer Frequenz von 2,45 GHz, bei einem Druck von vorzugsweise 70 Pa bis 120 Pa, und bei einer Leistungsdichte zwischen 0,1 W/dm³ und 5 W/dm³, vorzugsweise zwischen 1,5 W/dm3 und 3 W/dm3, durchführt.11. Another embodiment of the method according to claim 1, characterized in that the low-temperature plasma treatment at a frequency of 2.45 GHz, at a pressure of preferably 70 Pa to 120 Pa, and at a power density between 0.1 W / dm³ and 5 W / dm³, preferably between 1.5 W / dm 3 and 3 W / dm 3 . 12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man als reaktionsfähiges Gas O2, N2O, CO2, NH3, SO2, SiCl4, CCl4, CF₃Cl, CF4 und/oder SF6 auswählt.12. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the reactive gas selected is O 2 , N 2 O, CO 2 , NH 3 , SO 2 , SiCl 4 , CCl 4 , CF₃Cl, CF 4 and / or SF 6 . 13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das Haufwerk durch Aufwickeln der Flächengebilde, Filamente bzw. Garne auf eine perforierte Hülse, vorzugsweise eine perforierte Metallhülse, herstellt.13. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the pile by winding the fabrics, filaments or yarns on a perforated sleeve, preferably a perforated metal sleeve. 14. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das Haufwerk abwechselnd von außen nach innen und von innen nach außen mit dem Gas durchströmt.14. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that you alternate the pile from the outside in and from Flows inside with the gas. 15. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Vorrichtung eine im wesentlichen zylindrische Reaktionskammer, mindestens zwei mit Abstand voneinander angeordnete Elektroden, eine Spannungsquelle für die Elektroden, eine mit einer Gasabführeinrichtung verbundenen Vakuumquelle und eine Gaszuführeinrichtung umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Vorrichtung eine Halterungseinrichtung (5) für das Haufwerk (3) vorgesehen ist und die Elektroden (10) derart in der Reaktionskammer angeordnet sind, daß sich das Haufwerk (3) zwischen den Elektroden erstreckt. 15. Device for carrying out the method according to one of the preceding claims, wherein the device comprises a substantially cylindrical reaction chamber, at least two electrodes arranged at a distance from one another, a voltage source for the electrodes, a vacuum source connected to a gas discharge device and a gas supply device, characterized in that that a holding device ( 5 ) for the pile ( 3 ) is provided within the device and the electrodes ( 10 ) are arranged in the reaction chamber such that the pile ( 3 ) extends between the electrodes. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (10) im Querschnitt bogenförmig gekrümmt sind und nahezu vollständig die Halterungseinrichtung (5) umschließen.16. The apparatus according to claim 15, characterized in that the electrodes ( 10 ) are arcuate in cross section and almost completely enclose the mounting device ( 5 ). 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
die Reaktionskammer aus zwei metallischen Halbschalen besteht, die über eine Isolationsschicht miteinander verbunden sind, und
die Halbschalen oder Bereiche der Halbschalen die Elektroden (10) bilden.
17. The apparatus according to claim 16, characterized in that
the reaction chamber consists of two metallic half-shells which are connected to one another via an insulation layer, and
the half-shells or regions of the half-shells form the electrodes ( 10 ).
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß
die Halterungseinrichtung (5) eine zylindrische perforierte Hülse (4) umfaßt,
innerhalb der perforierten Hülse mindestens eine Elektrode vorgesehen ist und
die metallische Wandung der Reaktionskammer die Gegenelektrode bildet.
18. Device according to one of claims 15 to 17, characterized in that
the mounting device ( 5 ) comprises a cylindrical perforated sleeve ( 4 ),
at least one electrode is provided within the perforated sleeve and
the metallic wall of the reaction chamber forms the counter electrode.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß
die Halterungseinrichtung (5) eine zylindrisch perforierte Hülse (4) umfaßt,
die perforierte Hülse (4) aus zwei, gegeneinander isolierten Halbschalen besteht und
jede Halbschale jeweils eine Elektrode bildet.
19. Device according to one of claims 15 to 17, characterized in that
the mounting device ( 5 ) comprises a cylindrically perforated sleeve ( 4 ),
the perforated sleeve ( 4 ) consists of two mutually insulated half-shells and
each half-shell forms an electrode.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine Elektrode aus einer Reihe, vorzugsweise zwischen 4 und 12, Einzelelektroden gebildet ist.20. Device according to one of claims 15 to 19, characterized characterized in that one electrode from a row, preferably between 4 and 12, single electrodes is formed. 21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Halterungseinrichtung (5) die Gaszuführeinrichtung (8) oder die Gasabführeinrichtung (6) zugeordnet ist.21. Device according to one of claims 15 to 20, characterized in that the holding device ( 5 ) is associated with the gas supply device ( 8 ) or the gas discharge device ( 6 ). 22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Gaszuführeinrichtung (8) oder die Gasabführeinrichtung (6) als perforierte Hülse zur Aufnahme des Haufwerkes ausgebildet ist.22. The apparatus according to claim 21, characterized in that the gas supply device ( 8 ) or the gas discharge device ( 6 ) is designed as a perforated sleeve for receiving the pile. 23. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß
der Halterungseinrichtung (5) eine erste Gaszuführeinrichtung (8) und eine erste Gasabführeinrichtung (6) zugeordnet sind und
außerhalb der Halterungseinrichtung (5) in der Reaktionskammer eine zweite Gaszuführeinrichtung und eine zweite Gasabführeinrichtung vorgesehen sind.
23. The device according to claim 21, characterized in that
the mounting device (5) comprises a first gas supply means (8) and a first Gasabführeinrichtung (6) are associated and
a second gas supply device and a second gas discharge device are provided outside the mounting device ( 5 ) in the reaction chamber.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Gaszuführeinrichtung und die zweite Gasabführeinrichtung im Bereich der Innenwandung der Reaktionskammer vorgesehen sind. 24. The device according to claim 23, characterized in that the second gas supply device and the second gas discharge device in the area of the inner wall of the reaction chamber are provided.   25. Vorrichtung nach Anspruch 23 und 24, dadurch gekennzeichnet, daß
die erste und zweite Gaszuführeinrichtung eine erste Ventilanordnung und die erste und zweite Gasabführeinrichtung eine zweite Ventilanordnung aufweisen und
die beiden Ventilanordnungen derart vorgesehen sind, daß, wenn die erste Gaszuführeinrichtung und die zweite Gasabführeinrichtung geschlossen sind, das Gas über die zweite Gaszuführeinrichtung zugeführt und die erste Gasabführeinrichtung abgeführt wird und umgekehrt.
25. The apparatus according to claim 23 and 24, characterized in that
the first and second gas supply devices have a first valve arrangement and the first and second gas discharge devices have a second valve arrangement and
the two valve arrangements are provided such that when the first gas supply device and the second gas discharge device are closed, the gas is supplied via the second gas supply device and the first gas discharge device is discharged and vice versa.
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