DE3919571C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3919571C2
DE3919571C2 DE3919571A DE3919571A DE3919571C2 DE 3919571 C2 DE3919571 C2 DE 3919571C2 DE 3919571 A DE3919571 A DE 3919571A DE 3919571 A DE3919571 A DE 3919571A DE 3919571 C2 DE3919571 C2 DE 3919571C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
coating
laser beam
target
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE3919571A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3919571A1 (de
Inventor
Reinhard Dipl.-Ing. 8501 Schwaig De Pleikies
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Diehl Verwaltungs Stiftung
Original Assignee
Diehl GmbH and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Diehl GmbH and Co filed Critical Diehl GmbH and Co
Priority to DE19893943518 priority Critical patent/DE3943518A1/de
Priority to DE3919571A priority patent/DE3919571A1/de
Publication of DE3919571A1 publication Critical patent/DE3919571A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3919571C2 publication Critical patent/DE3919571C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
    • G01J2005/345—Arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
DE3919571A 1989-06-15 1989-06-15 Vorrichtung zur messung des intensitaetsprofils eines laserstrahls Granted DE3919571A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893943518 DE3943518A1 (de) 1989-06-15 1989-06-15 Vorrichtung zur detektion der wellenfront eines laserstrahls
DE3919571A DE3919571A1 (de) 1989-06-15 1989-06-15 Vorrichtung zur messung des intensitaetsprofils eines laserstrahls

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3919571A DE3919571A1 (de) 1989-06-15 1989-06-15 Vorrichtung zur messung des intensitaetsprofils eines laserstrahls

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3919571A1 DE3919571A1 (de) 1990-12-20
DE3919571C2 true DE3919571C2 (enrdf_load_stackoverflow) 1992-11-26

Family

ID=6382799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3919571A Granted DE3919571A1 (de) 1989-06-15 1989-06-15 Vorrichtung zur messung des intensitaetsprofils eines laserstrahls

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3919571A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19526854A1 (de) * 1995-07-22 1997-01-23 Laser Bearbeitungs Und Beratun Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Leistungsverteilung eines Laserstrahls
DE102016009475B4 (de) 2016-08-05 2019-06-19 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Strahlleistungsmessung mit Aufweitung

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1474370A (en) * 1973-05-22 1977-05-25 Plessey Co Ltd Light detecting arrangements
US4141652A (en) * 1977-11-25 1979-02-27 Adaptive Optics Associates, Inc. Sensor system for detecting wavefront distortion in a return beam of light
US4320462A (en) * 1980-03-31 1982-03-16 Hughes Aircraft Company High speed laser pulse analyzer
US4463262A (en) * 1981-09-21 1984-07-31 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Thick film radiation detector
DE3422232A1 (de) * 1984-06-15 1985-12-19 Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg Verfahren und einrichtung zur ziel-suche und ziel-nachfuehrung mittels eines fokussierbaren strahles
GB8604449D0 (en) * 1986-02-22 1986-03-26 Austin Rover Group Monitoring laser beam
DE3623808A1 (de) * 1986-07-15 1988-01-28 Diehl Gmbh & Co Verfahren und anordnung zum nachfuehren eines hochenergie-laserstrahles
US4797555A (en) * 1987-05-28 1989-01-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force High energy laser target plate
US4793715A (en) * 1987-08-28 1988-12-27 Westinghouse Electric Corp. Detector for aligning high power lasers

Also Published As

Publication number Publication date
DE3919571A1 (de) 1990-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102015001421B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
DE4003698C2 (de) Wellenfrontsensor
EP3583390B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer fokuslage eines laserstrahls
WO2018024268A1 (de) Strahlleistungsmessung mit aufweitung
DE3304780C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2602158C3 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2206520B2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Eliminierung eines systematischen Meßfehlers bei Laser-Geschwindigkeitsmessern
DE19909595B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung der räumlichen Leistungsdichteverteilung von Strahlung hoher Divergenz und hoher Leistung
DE102014010667B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form einer Wellenfront eines optischen Strahlungsfeldes
DE3919571C2 (enrdf_load_stackoverflow)
EP0467127A2 (de) Verfahren und Anordung zur optischen Erfassung und Auswertung von Streulichtsignalen
DE102007029923A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Wellenfrontvermessung von Laserstrahlung
DE4422886C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur optischen Bestimmung räumlicher Positionen einzelner reflektierender Objekte
DE10244767A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Abstands zwischen einer Referenzebene und einer inneren oder äußeren optischen Grenzfläche eines Objekts sowie Verwendung derselben zum Bestimmen eines Oberflächenprofils eines, inbesondere metallischen, Objekts, Autofokus-Modul, Mikroskop und Verfahren zum Autofokussieren eines Mikroskops
DE19828454A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur einer Zielfläche
DE3703504C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE4322609B4 (de) Verfahren sowie Vorrichtung zur Prüfung von Fokussieroptiken
DE3919572C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE4343345A1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Messung der reflektiven bzw. transmittierenden optischen Eigenschaften einer Probe
DE4007321C2 (de) Vorrichtung zur Messung der Wellenfront einer elektromagnetischen Welle
DE3623318C2 (enrdf_load_stackoverflow)
DE102021125813B4 (de) Doppelspiegel-Shear-Interferometer und Verfahren zum zerstörungsfreien Messen einer Oberfläche mittels interferometrischer Messverfahren
DE3229264C2 (de) Optisch-elektrische Meßeinrichtung zum Messen der Lage und/oder der Abmessung von Gegenständen
DE202009018974U1 (de) Sensor zur winkelaufgelösten Erfassung von Flammen oder Bränden
DE102019104661B4 (de) Wellenfrontsensor umfassend eine flächige Aperturmaske und Verfahren zur Kalibration

Legal Events

Date Code Title Description
AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 3943518

Format of ref document f/p: P

OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 3943518

Format of ref document f/p: P

AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 3943518

Format of ref document f/p: P

D2 Grant after examination
AH Division in

Ref country code: DE

Ref document number: 3943518

Format of ref document f/p: P

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee