DE3916031A1 - Aktive daempfungsvorrichtung fuer schwingungen, insbesondere in form von laerm, ohne akustische verzoegerung - Google Patents

Aktive daempfungsvorrichtung fuer schwingungen, insbesondere in form von laerm, ohne akustische verzoegerung

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtungen.
Solche Vorrichtungen können verwendet werden, um Schwingungen jeglicher Art und Frequenzen, sowohl hörbare als auch nicht hörbare Frequenzen (Infraschall, Ultraschall) zu dämpfen. In der Praxis werden sie meistens dazu benutzt, hörbare Schwingungen, d. h. Lärm zu dämpfen, um sich gegen Gehörermüdung zu schützen und die Qualität von Sprechfunk­ verbindungen zu verbessern.
Der folgende Text bezieht sich zumeist auf die Schallphänomene: Lärm, Mikrophon, Lautsprecher.
Es soll jedoch deutlich gemacht werden, daß diese sprachliche Vereinfachung nicht den Umfang des Vortrags und der Erfindung einschränkt; alle bestehenden Verfahren und Vorrichtungen können auf Schwingungen jeglicher Frequenz, hörbare und nicht hörbare, angewendet werden.
Man kennt bereits aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtungen, die einen Schwingungsempfänger, einen Gegenschwingungs-Sender und einen an die Übertragungsfunktion vom Empfänger zum Sender angepaßt Filter enthalten.
Bei den derzeit existierenden aktiven Lärmdämpfungsvorrichtungen, die in Fig. 1 schematisch dargestellt sind, wird die Dämpfung dadurch bewirkt, daß der Außenlärm Be gänzlich oder teilweise eliminiert wird indem er mit einem Mikrophon M analysiert wird, und das erhaltene Signal dann durch einen Filter F, der einen Verstärkerteil enthält, gefiltert wird, und das so verarbeitete Signal in einen Lautsprecher HP zurückgespeist wird (nachdem ggf. ein Sprechfunksignal Ph summiert wurde); dieser Lautsprecher erzeugt einen Gegenlärm Ba, der mit Be in Amplitude und Frequenz identisch ist, aber entgegengesetzte Phase hat (evtl. wie das Sprechfunksignal). Die Summe von Ba und Be ist damit im Prinzip gleich Null (oder evtl. gleich dem Sprechfunksignal). Die praktische Schwierigkeit der Ausführung kommt von den Zeitverzögerungen, die zwischen dem Empfang von Be durch das Mikrophon und der Ankunft von Be an demselben Mikrophon herrühren. Diese Verzögerungen führen zu Instabilitäten und verhindern eine beliebig hohe Verstärkung der Schleife, d. h. sie beschränken praktisch das Dämpfungsniveau.
Diese Verzögerungen können elektronisch, elektro-akutisch oder aero- akustisch bedingt sein. Der Verzögerungsteil aufgrund der Elektronik (Filter, Verstärker, Anschlußkabel) ist vernachlässigbar. Er liegt in der Größenordnung von einer Mikrosekunde (µs), und betrifft also nur den Teil der Signale, dessen Frequenz in der Größenordnung von einem Megahertz (MHz) liegt, weit über der Bandbreite des Ohres. Zu dämpfen bleiben daher die aero-akustischen und die elektro-akustischen Verzögerungen.
Die aero-akustischen Verzögerungen beruhen auf dem Schallweg in der Luft (oder in jedem anderen Material) zwischen dem Lautsprecher HP und dem Mikrophon M, wobei diese Entfernung durch die Konstruktion des Gerätes festgelegt ist.
Die elektro-akustischen Verzögerungen beruhen auf den Ansprechzeiten bis sich die empfindlichen Teile der Wandler bewegen. Um Instabilitäten zu vermeiden, müßte man Mikrophone und Lautsprecher verwenden, die in dem betrachteten Frequenzband schnell genug reagieren können, d. h. deren Ansprechzeit sehr viel kürzer is, als die kürzeste Periode der zu dämpfenden Schwingungen. Bei Lärm ist angesichts der Bandbreite des Ohrs, die von 20 Hz bis ca. 20 000 Hz reicht, eine solche Charakteristik zwar nicht unbedingt schwierig zu erreichen, jedoch wird sie mit den klassischen marktüblichen Wandlern nicht erreicht, da deren Leistungskriterien auf die Amplitude der erhaltenen oder gesendeten Signale, aber nicht auf die Ansprechzeit ausgerichtet sind. Diese Wandler weisen i. allg. folgende Nachteile auf:
  • - Wenn ein elektrischer Strom an sich angelegt wird (oder umgekehrt, wenn ein akustischer Druck sie erreicht), besitzen sie eine relativ lange Reaktionszeit:
  • - diese Zeit ist abhängig von der Stromfrequenz (oder der Schwingungsfrequenz)
  • - diese Zeit ist abhängig von der Stromstärke oder der Spannung oder der Schwingungsamplitude.
Darüber hinaus sind sie sehr raumaufwendig:
  • - Ihre Form ist von vornherein festgelegt und oft nicht an das Problem der aktiven Dämpfung (Gehörschutz, Ohrstöpsel, usw.) angepaßt;
  • - die daraus resultierende Übertragungsfunktion Lautsprecher/Mikrophon erschwert die Konzeption des Gegenreaktions-Filters F und begrenzt dadurch die globale Dämpfung.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, den Nachteilen der bekannten Ausführungsarten abzuhelfen, indem eine Vorrichtung vorgeschlagen wird, bei der die Gesamtverzögerung ausreichend gering bleibt, damit der von dem Lautsprecher emittierte Antilärm Ba praktisch eine dem vom Mikrophon empfangenen Lärm Be entgegengesetzte Phase aufweist. Hierzu muß jede einzelne elektro-akustische und aero-akustische Verzögerung getrennt voneinander aber gleichzeitig soweit reduziert werden, daß die Summe der Verzögerungen sehr viel kürzer ist, als die kürzeste Periode der zu dämpfenden Schwingungen.
Nach der Erfindung ist diese aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung, umfassend einen Schwingungsempfänger, einen Gegenschwingungs-Sender und einen Filter, der an die Übertragungsfunktion des Empfängers zum Sender angepaßt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger und der Sender Ansprechzeiten haben, die sehr viel kürzer sind, als die Dauer der kürzesten Periode der zu dämpfenden Schwingungen und daß die Entfernung zwischen dem Empfänger und dem Sender sehr viel kürzer ist, als die kürzeste Wellenlänge der zu dämpfenden Schwingungen oder gleich Null ist.
Wenn es sich um hörbare Schwingungen, um Lärm, handelt, d. h. um Frequenzen zwischen 20 Hz und ca. 20 000 Hz, dann ist die aktive Lärmdämpfungsvorrichtung, umfassend ein Mikrophon, einen Lautsprecher und einen Filter, der an die Übertragungsfunktion vom Mikrophon zum Lautsprecher angepaßt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikrophon und der Lautsprecher Ansprechzeiten haben, die sehr viel kürzer sind, als 50 µs (50 Mikrosekunden) und daß die Entfernung zwischen dem Mikrophon und dem Lautsprecher in der Größenordnung von einem Millimeter liegt oder gleich Null ist. Der Empfänger und der Sender können aus piezoelektrischen Kopolymeren oder aus Piezopolymeren hergestellt sein.
Die Ausführung solcher Vorrichtungen kann unter Einsatz folgender Mittel erfolgen:
Zur Verringerung der aero-akustischen Verzögerungen muß die Vorrichtung so aufgebaut sein, daß die o. g. Entfernung d möglichst gering ist, auf jeden Fall sehr viel geringer als die kürzeste Wellenlänge der zu dämpfenden Schwingung.
Wenn es sich um hörbare Schwingungen, um Lärm, handelt, d. h. um Frequenzen zwischen 20 Hz und ca. 20 000 Hz, dann kann eine Entfernung d, in Luft, in der Größenordnung von 1 mm verwendet werden. Außerdem wird empfohlen, die beiden Wandler (Empfänger und Sender) möglichst gut miteinander zu koppeln, indem ihre geometrischen und elektro-akustischen Kennwerte soweit wie möglich ähnlich, oder sogar identisch gewählt werden, wobei selbstverständlich, wie oben gesagt, eine festgelegte Entfernung einzuhalten ist. Diese Lösung wird schematisch in Fig. 2 dargestellt. Man kann die Verringerung der aero-akustischen Verzögerungen noch weiter treiben, bis diese vollständig annuliert sind. Hierzu reicht es aus, einen einzigen umkehrbaren Wandler zu verwenden, der gleichzeitig als Empfänger (Mikrophon) und als Sender (Lautsprecher) fungiert. Diese Lösung wird schematisch in Fig. 3 dargestellt. Mögliche Ausführungsarten werden weiter unten vorgestellt.
Zur Verringerung der elektro-akustischen Verzögerungen, d. h. der Ansprechzeiten der Wandler, Empfänger (Mikrophon) - Sender (Lautsprecher), können diese aus piezoelektrischen Polymeren hergestellt werden.
Ein solches, für diesen Zweck besonders geeignetes Material, ist das Polyvinylidenfluorid (PFV- oder PVF), insbesondere das Polyvinylidendifluorid (PVF2 oder PVDF).
Wenn dieses Material richtig konditioniert ist, entspricht es den folgenden Anforderungen, die für die aktive Schwingungsdämpfung nötig sind:
  • - Es reagiert eine Potentialdifferenz oder eine Druckwelle in sehr kurzer Zeit, auf jeden Fall unter einer µs (Mikrosekunde).
Praktisch liegt die Ansprechzeit des PVF2, die für den Druckanstieg im Labor unter Stoßeinwirkung gemessen wurde, sogar unter 20 ns (Nanosekunden). Dieses Ergebnis wird durch Fig. 4 dargestellt.
  • - Diese Zeit ändert sich nur langsam mit der Frequenz und der Intensität der Belastung.
  • - Es kann in dünnen Schichten hergestellt werden, und bei einer Anwendung für einen Gehörschutz oder einen Ohrstöpsel z. B., kann ein Volumen von nicht mehr als einige mm3 verwendet werden.
  • - Aufgrund seiner elasto-plastischen Qualitäten, die eine Warmformung, ein Aufrollen, usw. erlauben, kann es in beliebiger Form produziert werden.
  • - Es ist ziemlich reversibel: Seine Verwendung ist sowohl als Sender als auch als Empfänger möglich.
  • - Die daraus resultierende Übertragungsfunktion Lautsprecher/Mikrophon erlaubt eine einfache Konzeption des Filters F als sehr einfachen Gegenreaktions-Filter und eine hohe Schleifenverstärkung, d. h. eine hohe globale Dämpfung.
Weitere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung sind aus der nachfolgenden Aufstellung zu entnehmen.
Zu den Figuren, die als nicht erschöpfende Beispiele anzusehen sind:
- Fig. 1 ist ein allgemeines Schema einer aktiven Lärmdämpfungsvorrichtung
- Fig. 2 ist das Schema einer Vorrichtung, bei der die beiden Wandler, Empfänger und Sender, ähnlich sind und nahe beieinander liegen.
- Fig. 3 ist ein Schema einer Vorrichtung, bei der es nur einen einzigen Wandler gibt, der zugleich die Funktionen Sender und Empfänger ausübt.
- Fig. 4 ist eine Graphik, die das Verhalten des PVF2 unter Stoßbelastung in Abhängigkeit von der Zeit angibt.
- Fig. 5 ist eine detaillierte Schnittzeichnung einer Ausführungsart eines einzigen Wandlers auf dem schwingenden Organ, mit einem Magnet und zwei Spulen.
- Fig. 6 ist das Schema einer Anordnung, bei der der einzige Wandler durch einen auf dem schwingenden Organ befestigten Sensor realisiert wird.
- Fig. 7 ist ein Schema einer Anordnung mit zwei Membranen aus einem piezoelektrischen Kopolymer.
- Fig. 8 zeigt eine Anordnung mit einer einzigen Membran, die zugleich die beiden Funktionen Sender und Empfänger ausübt.
- Fig. 9 zeigt eine Vorrichtung mit einer einzigen Membran, deren Oberfläche in zwei Teile aufgeteilt ist, von denen jeder eine Funktion, Sender oder Empfänger ausübt.
- Fig. 10 zeigt einen Gehörschutz-Apparat mit einer aktiven Lärmdämpfungsvorrichtung.
- Fig. 11 ist eine detaillierte Schnittzeichnung einer Ausführungsart der Muschel des Apparates von Fig. 10.
Eine Ausführung eines reversiblen Wandlers, der zugleich die Funktion des Empfängers (Mikrophon) und die Funktion des Senders (Lautsprecher) ausübt, ist in detaillierter Schnittzeichnung in der Fig. 5 dargestellt.
Dieser Wandler wird realisiert auf der Grundlage eines klassischen Lautsprechers 1, dessen schwingende Membran 2 einen Magnet 3 trägt, welcher von einer Spulenwicklung umgeben ist, in die ein der auszusendenden Schwingung entsprechender Strom Ie geleitet wird.
Nach der Erfindung wird der Magnet 3 von einer zweiten Spulenwicklung 5 umgeben, welche die Bewegungen des Magneten 3 registriert und einen der empfangenen Schwingung entsprechenden Strom Ir zum Filter schickt.
Eine Variante der Ausführung eines solchen alleinigen Wandlers ist schematisch dargestellt in Fig. 6. Sie besteht darin, daß man einen Wandler als Sender verwendet (z. B. einen Lautsprecher) und auf das schwingende Organ 2 (z. B. eine Membran) einen Druck-, Geschwindigkeits- oder Beschleunigungssensor plaziert. Dieser Sensor 6 dient dann als Empfänger und das schwingende Organ dient als Sender.
Weitere Ausführungsarten, die mechanisch einfacher gestaltet sind, sind möglich unter Ausnutzung der Eigenschaften von Membranen aus piezoelektrischen Kopolymeren.
Eine solche Membran, deren beide Seiten metallisiert sind (z. B. durch Vakuumverdampfen von Metall), aber gegeneinander elektrisch isoliert bleiben, bildet selbst einen Wandler.
Im folgenden werden drei Beispiele für die Verwendung solcher Membranen zur Herstellung von verzögerungsfreien Vorrichtungen gegeben.
Fig. 7 stellt schematisch zwei Membranen (7 a, 7 b) aus PVF2 dar, die parallel sind und von einem Luftvolumen (7 c) oder einem elektrisch isolierenden Material der Dicke d, getrennt sind, das sehr viel kleiner ist als die kürzeste Wellenlänge der zu dämpfenden Schwingungen. Die eine 7 b dient als Empfänger, die andere 7 a als Sender.
Fig. 8 stellt schematisch einen einzigen Wandler dar, der aus einer einzigen Membran 8 aus PVF2 besteht, deren beide Seiten metallisiert sind.
Eine Seite 8 b nimmt den von der als Empfänger dienenden Membran erzeugten Strom auf und die andere Seite 8 a empfängt den der Senderfunktion entsprechenden Strom.
Fig. 9 stellt schematisch eine Variante eines solchen einzigen Wandlers dar. In diesem Fall ist die Membran 9 nicht auf ihrer gesamten Oberfläche metallisiert. Ein nicht-metallisierter Ring 9 c bleibt als isolierender Teil bestehen. Die Membran 9 enthält zwei metallisierte Teile, die durch diesen Ring 9 c voneinander elektrisch isoliert sind. Ein Teil, z. B. der Mittenteil 9 b, dient als Empfänger, der andere Teil, z. B. der Außenrand 9 a dient als Sender.
Die drei o. g. Schemas (Fig. 7, 8 und 9) betreffen ebene Membranen. Aber diese Form ist nicht unbedingt erforderlich. Zur Erhöhung des Wirkungsgrads des piezoelektrischen Kopolymermaterials und zur besseren Anpassung an die Geometrie des Volumens, in welchem die Schwingungen zu dämpfen sind (z. B. ein Gehörschutz) kann man vorteilhaft nicht-ebene Membranen, z. B. in Form einer konkaven Kalotte oder eines Kegels, verwenden.
Als besonderes Anwendungsbeispiel wird im folgenden ein Gehörschutz­ apparat beschrieben, versehen mit einer aktiven Lärmdämpfungsvorrichtung entsprechend einer der zahlreichen Ausführungsarten der Erfindung.
Fig. 10 zeigt das gesamte Gerät auf dem Kopf des Trägers. Ein den Kopf umgebender Bügel 10 hält eine Muschel 11 gegen das Ohr. In dieser Muschel befindet sich die aktive Lärmdämpfungsvorrichtung. Sie umfaßt ein Mikrophon M für die Lärmanalyse und einen Lautsprecher HP für die Aussendung des Gegenlärms. Das Mikrophon M steuert den Lautsprecher HP über einen Filter F, der an die Übertragungsfunktion des Mikrophons zum Lautsprecher angepaßt ist. Dieser Filter F ist mit seiner elektrischen Stromversorgung und einem Verstärker in einem Gehäuse B untergebracht, das der Bügel 10 hinter dem Ohr hält. Die Verbindung zwischen der Muschel 11 und dem Filter F wird durch die Kabel 12 und 13 gewährleistet. In der Muschel 11 sind die Kennwerte des Mikronphons M und des Lautsprechers HP gemäß der Erfindung ausgelegt, d. h.: Entfernung untereinander in der Größenordnung von einem Millimeter, Ansprechzeit unter 50 µs.
Fig. 11 ist eine Schnittzeichnung einer möglichen Ausführungsart der Muschel 11.
Die Muschel 11 ist durch einen ziemlich starren Schaum 14 (z. B. Polyurethanschaum) gefüllt, in dem eine Höhlung 15 existiert, in der sich das Mikrophon M und der Lautsprecher HP befinden. Eine gestrichelte Linie 16 stellt auf der Fig. 11 die Grenze zwischen dem Schaum 14 und dem Leerraum 15 dar. Jeder der beiden Wandler besteht aus einer Membran aus einem piezoelektrischen Kopolymer (z. B. Polyvinylidenfluorid), die auf ihren beiden Seiten metallisiert ist und zwischen zwei Ringe 17 a, 18 a eingeklemmt ist. Diese Ringe werden durch den Schaum 14 gehalten, aber die Membranen HP und HM können frei im Leerraum 15 schwingen. Die genannten Ringe werden aus elektrisch leitendem Material gefertigt. In Fig. 11 sind die Innenseiten (Mi, HPi) mit Masse verbunden, während die Außenseiten (Me, HPe) durch die Kabel 12 und 13 mit dem Filter F verbunden sind.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die beschriebenen Beispiele beschränkt, und zahlreiche Änderungen können vorgenommen werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
Es wäre einfach die Erfindung umzuändern, indem statt einer Muschel, die an das Ohr gehalten wird, ein Ohrstöpsel in den Gehörgang eingeführt wird.
Viele andere Ausführungsarten sind möglich mit zahlreichen verschiedenen Anordnungen der Organe der Vorrichtung mit Anwendungsbereichen für hörbare und nicht-hörbare Schwingungen. Alle diese gehören zu der Erfindung.

Claims (12)

1. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung umfassend einen Schwingungsempfänger (M), einen Gegenschwingungs-Sender (HP) und einen Filter (F), der an die Übertragungsfunktion des Empfängers zum Sender angepaßt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (M) und der Sender (HP) Ansprechzeiten haben, die sehr viel kürzer sind, als die Dauer der kürzesten Periode der zu dämpfenden Schwingungen und daß die Entfernung (d) zwischen dem Empfänger (M) und dem Sender (HP) sehr viel kürzer ist, als die kürzeste Wellenlänge der zu dämpfenden Schwingungen oder gleich Null ist.
2. Aktive Lärmdämpfungsvorrichtung nach Anspruch 1, umfassend ein Mikrophon (M), einen Lautsprecher (HP) und einen Filter (F), der an die Übertragungsfunktion vom Mikrophon (M) zum Lautsprecher (HP) angepaßt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikrophon (M) und der Lautsprecher (HP) Ansprechzeiten haben, die sehr viel kürzer sind, als 50 µs (50 Mikrosekunden) und daß die Entfernung (d) zwischen dem Mikrophon (M) und dem Lautsprecher (HP) in der Größenordnung von einem Millimeter liegt oder gleich Null ist.
3. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (M) und der Sender (HP) aus einem piezoelektrischen Kopolymer hergestellt sind.
4. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (M) und der Sender (HP) aus Polyvinylidenfluorid hergestellt sind.
5. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (M) und der Sender (HP) geometrische und elektro-akustische Kennwerte aufweisen, die einander möglichst ähnlich, oder sogar identisch sind.
6. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (M) und der Sender (HP) aus einem einzigen Wandlerelement (1) bestehen, welches beide Funktionen gleichzeitig ausführt.
7. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das einzige Wandlerelement (1), welches die Funktionen des Empfängers (M) und des Senders (HP) gleichzeitig ausführt, aus einem schwingenden Element (2) wie z. B. einer Membran besteht, an der ein Magnet (3) befestigt ist, der von zwei Spulenanordnungen (4, 5) umgeben ist, von denen eine die Empfängerfunktion (5), die andere die Senderfunktion (4) übernimmt.
8. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das einzige Wandlerelement (1), welches die Funktionen des Empfängers (M) und des Senders (HP) gleichzeitig ausführt, aus einem schwingenden Element (2) wie z. B. einer Membran besteht, an der ein Druckaufnehmer, oder Geschwindigkeits- oder Beschleunigungssensor (6) befestigt ist, wobei dieser Aufnehmer (6) die Empfängerfunktion übernimmt und das schwingende Element (2) die Senderfunktion übernimmt.
9. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger und der Sender jeder aus einer Membran (7 a, 7 b) aus einem piezoelektrischen Material bestehen, und parallel zueinander angeordnet sind und durch einen Luftzwischenraum (d) oder durch ein elektrisch isolierendes Material getrennt sind, dessen Dicke sehr viel kürzer ist, als die kürzeste Wellenlänge der zu dämpfenden Schwingungen.
10. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2 und nach den Ansprüchen 3 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß das schwingende Element (2) des einzigen Wandlers (1), welches die Funktionen des Empfängers und des Senders gleichzeitig ausführt, aus einer Membran (8) aus einem piezoelektrischen Material besteht, deren beide Seiten nicht vollständig metallisiert sind, wobei ein Teil der Oberfläche nicht- metallisiert bleibt (9 c) und zwei metallisierte Teile (9 a, 9 b) wovon ein Teil die Empfängerfunktion übernimmt (9 b) und der andere Teil die Senderfunktion (9 a) übernimmt, elektrisch voneinander isoliert.
11. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2 und nach den Ansprüchen 3 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß das schwingende Element (2) des einzigen Wandlers (1), welches die Funktionen des Empfängers und des Senders gleichzeitig ausführt, aus einer Membran (9) aus einem piezoelektrischen Material besteht, deren beide Seiten nicht vollständig metallisiert sind, wobei ein Teil der Oberfläche nicht- metallisiert bleibt (9 c) und zwei metallisierte Teile (9 a, 9 b) wovon ein Teil die Empfängerfunktion übernimmt (9 b) und der andere Teil die Senderfunktion (9 a) übernimmt, elektrisch voneinander isoliert.
12. Aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Membranen nicht eben sondern gekrümmt ist, insbesondere in Form einer konkaven Kalotte oder eines Kegels.
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