DE3877170T2 - Drucksensor mit messbruecke aus leitfaehigem polymer. - Google Patents
Drucksensor mit messbruecke aus leitfaehigem polymer.Info
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Description
- Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur Verwendung in einem Blutdruckwandler.
- Der in der am 27.01.1987 angemeldeten, schwebenden Anmeldung 009,643 offenbarte Blutdruckwandler verwendet einen Siliziumsensor. Der Siliziumsensor ist sehr klein, die Grundfläche beträgt einen Bruchteil von einem Square inch (6,45 cm²). Er hat einen runden Querschnitt und einen als Wheatstone-Brücke ausgebildeten Dehnmeßstreifen aus piezo-resistiven Elementen, die in das Siliziumsubstrat diffundiert sind. Das Siliziumsubstrat ist von der der Wheatstone-Brücke gegenüberliegenden Oberfläche chemisch abgeätzt, um so eine Siliziummembran zu bilden, die sich bei Druckbeanspruchung durchbiegt, was zur Folge hat, daß die Widerstände im Dehnmeßstreifen der Wheatstone-Brücke beansprucht werden, um eine Anzeige des anliegenden Druckes zu bewirken. Das Herstellungsverfahren für den Siliziumsensor ist zwangsläufig teuer. Außerdem ist der Sensor temperaturempfindlich und erfordert deshalb einen Schaltkreis zum Temperaturausgleich.
- Dehnmeßstreifen wurden noch auf andere Art hergestellt. Es ist bekannt, einen Dehnmeßstreifen durch Auftragen eines Dickschichtwiderstandes auf Aluminiumoxid auszubilden. Der Widerstand muß bei einer hohen Temperatur der Größenordnung von 800ºF (425ºC) thermisch behandelt werden. Folglich ist als Substrat ein keramisches Material wie Aluminiumoxid erforderlich.
- Es ist auch bekannt, Dehnmeßstreifen aus leitfähigen Polymeren zu fertigen, die wiederum Aluminiumoxid als ein Substrat verwenden. Die Dehnmeßstreifen mit den Dickschichtwiderständen und den leitfähigen Polymeren waren alle im Vergleich zu den winzigen Siliziumsensoren sehr groß.
- Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen weniger teuren Sensor als Ersatz für den Siliziumsensor zur Verfügung zu stellen.
- Die Europäische Patentanmeldung 0196.696 beschreibt einen Drucksensor mit einer verformbaren Membran, die von einem starren Schutzring, mit dem sie in einem Stück ausgebildet ist, getragen wird. Auf der Seite der Membran, die derjenigen, die dem zu messenden Druck ausgesetzt ist, gegenüberliegt, ist ein Dehnmeßstreifen geklebt.
- Der Artikel in "Microelectronics Journal", Band 17, Nr. 1, Jan./Febr. 1986 von A.Di Flore u.a. beschreibt das Drucken von Kohlenstoffpolymerwiderständen auf eine flexible Plastmembran, die von einem Aluminiumoxidsubstrat getragen wird. Die Membranbewegung wird durch Ermitteln von Widerstandsänderungen infolge des piezo-elektrischen Effekts gemessen.
- Ein erfindungsgemäßer Druckwandler umfaßt ein formgepreßtes thermoplastisches Substrat mit einem dünnen flexiblen Abschnitt und mindestens einem Widerstandselement auf dem flexiblen Abschnitt, das seinen Widerstand ändert, wenn das Substrat durchgebogen wird und ist dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat von einem Hochtemperaturthermoplast gebildet wird und daß das Widerstandselement ein auf den flexiblen Abschnitt gedruckter, leitfähiger Polymerwiderstand ist.
- In einer bevorzugten Ausführung wird der Wandler durch Formen einer Membran aus einem Hochtemperaturthermoplast gebildet. Die in einem Hohlformteil geformte Membran hat dicke Ränder und einen dünnes, biegsames Mittelteil, auf dem der Dehnmeßstreifen auszubilden ist. Mit dem Formen des Plastmaterials wird der für einen Siliziumsensor notwendige teure Diffusionsprozeß und die Ätzstufe eliminiert.
- Eine Wheatstone-Brücke aus leitfähigen Polymeren ist auf die Oberfläche der dünnen mittleren Membran des Formelementes durch Siebdruck aufgebracht. Die leitfähigen Polymere können mittels eines Nd-YAG-Lasers oder eines Schleiftrimmkondensators auf einen gewünschten Widerstandswert getrimmt werden . Die leitfähigen Polymere werden bei 400ºF (200ºC) auf das Substrat gebrannt. An den Enden der Widerstandselemente werden metallische Leiter auf die Oberfläche des Substrats gedruckt. Diese metallischen Leiter sind durch ein leitfähiges Epoxidharz mit Zuführungsleitungen verbunden, durch die der Sensor an seine Überwachungsschaltung angeschlossen ist.
- Zu den Vorteilen dieses Sensors zählt, daß er viel billiger als der Siliziumsensor ist und seine Kosten nur einen Bruchteil der Kosten des Siliziumsensors betragen. Der Sensor ist im wesentlichen temperaturunempfindlich und erfordert somit keine Temperaturausgleichsschaltung wie beim Siliziumsensor.
- Die einzelnen Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen leichter ersichtlich.
- Es zeigen:
- Fig. 1 eine Draufsicht eines erfindungsgemäßen Sensors
- Fig. 2 eine Schnittzeichnung entlang der Linie 2-2 der Fig.1
- Fig. 3 eine Schnittzeichnung einer weiteren Ausgestaltung entsprechend Fig. 2
- Entsprechend den Zeichnungen ist der Sensor mit 10 bezeichnet und hat ein aus einem thermoplastischen Harz gebildetes Substrat 11. Das bevorzugte Material für das Substrat ist das von Phillips Chemical Co. Division of Phillips Petroleum hergestellte Ryton R4 (40 % Glas, Polyphenylensulfid). Andere Materialien sind Polyethersulfon (VITREX PES von Imperial Chemical Industries), Polyetheretherketon (VITREX PEEK) von Imperial Chemical Industries, Polyetherimid (ULTEM 1000 von General Electric) und Flüssigkristallpolymer (VECTRA A150 von Celanese Advanced Technology Company). Das Substrat hat einen dickwandigen Außenring 12, der auf seinem Umfang verteilt eine Reihe von Hohlräumen 13 zur Spannungsentlastung besitzt. Der Außenring ist vorzugsweise ungefähr 0.150" (3,8 mm) dick.
- Der mittlere Teil besteht aus einer dünnen Membran 15 mit einer Dicke im Bereich von 5 bis 15 mils (0,13 bis 0,38 mm). Die Dicke der Membran wird durch zwei grundsätzliche Betrachtungen bestimmt. Je dicker die Membran ist, um so größer ist die Linearität des Ausgangssignals. Je dünner die Membran ist, um so größer ist ihre Empfindlichkeit. Deshalb wird eine Dicke von ungefähr 10 mils (0,25 mm), die eine Empfindlichkeit von 15 µv/v/mmHg (2 mV/V/Nm&supmin;²) ergibt, bevorzugt. Die Membran hat vorzugsweise einen Durchmesser von ungefähr 0.500" (13 mm). Der Durchmesser des ganzen Substrats beträgt ungefähr 0.800" (20 mm).
- Insbesondere Fig. 1 ist zu entnehmen, daß die Polymerwiderstandselemente 20, 21, 22 und 23 durch Siebdruck auf die Membran gedruckt wurden.
- Das gedruckte leitfähige Material 30, zum Beispiel Palladiumsilber, ist an den Enden eines jeden Widerstandselementes 20-23 angebracht. Die Leitungen 31 sind durch ein leitfähiges Epoxidharz 32 mit dem gedruckten leitfähigen Material verbunden.
- In der alternativen Ausgestaltung von Fig. 3 ist gegenüber der vorherigen Ausführung nur ein Unterschied in dem dicken Mittelteil 40. Das Mittelteil hat vorzugsweise eine Dicke im Bereich von 0.080" bis 0.090" (2,0 bis 3,0 mm) und einen Durchmesser von 1/4" (6,4 mm). Sensoren mit starrem Kern sind bekannt. Die starren Kerne werden benutzt, um den wirksamen Bereich zu vergrößern und hohe Drücke in der Membran bei niedrigem Durchbiegungniveau zu erzeugen und so die gesamte Wirksamkeit der Membran zu verbessern.
Claims (7)
1. Druckwandler bestehend aus einem geformten
thermoplastischen Substrat mit einem dünnen flexiblen Abschnitt, auf
dem sich mindestens ein widerstandselement befindet, das
seinen Widerstand ändert, wenn das Substrat durchgebogen
wird, gekennzeichnet dadurch, daß das Substrat (11) aus
einem Hochtemperaturthermoplast gebildet wird und daß der
Widerstand (20,21,22,23) ein leitfähiger Polymerwiderstand
ist, der auf den flexiblen Abschnitt (15) gedruckt ist.
2. Druckwandler nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß
das Substrat (11) eine dicke Umrandung (12) aufweist, die
den dünnen, flexiblen Abschnitt (15) umgibt.
3. Druckwandler nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet
dadurch, daß eine Vielzahl von leitfähigen, eine
Widerstandsbrücke bildenden Polymerwiderständen (20,21,22,23) auf den
flexiblen Abschnitt (15) gedruckt und aufgebrannt ist und
daß elektrische Leiter (30) an den Enden der
Widerstandselemente (20,21,22,23) angeschlossen sind.
4. Wandler nach Anspruch 3, gekennzeichnet dadurch, daß die
elektrischen Leiter (30) auf das Substrat (11) gedruckt
sind und Leitungen (31) mit den elektrischen Leitern (30)
durch ein leitfähiges Epoxidharz (32) verbunden sind.
5. Wandler nach den Ansprüchen 2 bis 4, gekennzeichnet
dadurch, daß die dicke umrandung (12) kreisförmig ist.
6. Wandler nach den Ansprüchen 2 bis 5, gekennzeichnet
dadurch, daß die Mitte des dünnen Abschnitts (15) einen
dicken, in einem Stück geformten Vorsprung hat, der einen
starren Kern bildet.
7. Wandler nach einem der Ansprüche 2 bis 6, gekennzeichnet
dadurch, daß der dünne Abschnitt (15) eine Dicke im Bereich
von ungefähr 5 bis 15 mils (0,13 bis 0,38 mm) hat.
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|---|---|---|---|
| US07/132,014 US4852581A (en) | 1987-12-14 | 1987-12-14 | Pressure transducer with conductive polymer bridge |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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|---|---|
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| ES (1) | ES2037246T3 (de) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10040069C2 (de) * | 2000-08-16 | 2003-05-08 | Oechsler Ag | Biegemeßelement und Verwendung in einem Drehwinkelgeber |
| DE10260577A1 (de) * | 2002-12-21 | 2004-07-08 | Gwt Global Weighing Technologies Gmbh | Dehnungsmessstreifen mit veränderbarem Nennwiderstand |
| DE10252023B3 (de) * | 2002-11-06 | 2004-07-15 | Metallux Gmbh | Drucksensor |
| DE102004008432A1 (de) * | 2004-02-19 | 2005-09-15 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Dehnungsmessstreifen zur Erfassung von Dehnungen oder Stauchungen an Verformungskörpern |
| DE102007011472A1 (de) | 2007-03-07 | 2008-09-11 | Metallux Ag | Drucksensitive Membran für einen elektronischen Sensor |
| DE102007000364B4 (de) * | 2007-07-03 | 2020-10-15 | Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg | Manometer mit elektrischem Messwertaufnehmer |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5935099A (en) | 1992-09-09 | 1999-08-10 | Sims Deltec, Inc. | Drug pump systems and methods |
| US6241704B1 (en) | 1901-11-22 | 2001-06-05 | Sims Deltec, Inc. | Drug pump systems and methods |
| US4974596A (en) * | 1987-12-14 | 1990-12-04 | Medex, Inc. | Transducer with conductive polymer bridge |
| DE3937522A1 (de) * | 1989-11-10 | 1991-05-16 | Texas Instruments Deutschland | Mit einem traegerelement verbundener halbleiter-drucksensor |
| DE4008320A1 (de) * | 1990-03-15 | 1991-09-19 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensor |
| DE4024780A1 (de) * | 1990-08-04 | 1991-10-17 | Bosch Gmbh Robert | Keramikmembran-drucksensor |
| US5131401A (en) * | 1990-09-10 | 1992-07-21 | Axon Medical Inc. | Method and apparatus for monitoring neuromuscular blockage |
| US5163327A (en) * | 1991-01-10 | 1992-11-17 | Johnson Service Company | Pressure sensing elements |
| US5349867A (en) * | 1991-12-02 | 1994-09-27 | Kavlico Corporation | Sensitive resistive pressure transducer |
| FR2685080B1 (fr) * | 1991-12-17 | 1995-09-01 | Thomson Csf | Capteur mecanique comprenant un film de polymere. |
| CH683034A5 (de) * | 1992-03-17 | 1993-12-31 | Landis & Gyr Business Support | Membraneinheit für einen Drucksensor. |
| US5581019A (en) * | 1992-07-16 | 1996-12-03 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Gasket/insertable member and method for making and using same |
| DE4236985C1 (de) * | 1992-11-04 | 1994-02-24 | Hottinger Messtechnik Baldwin | Dehnungsmeßstreifen |
| JPH09502245A (ja) * | 1993-08-23 | 1997-03-04 | ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエイツ，インコーポレイティド | 破損前に警告するポンプダイヤフラム |
| US5695473A (en) * | 1994-07-27 | 1997-12-09 | Sims Deltec, Inc. | Occlusion detection system for an infusion pump |
| US6077055A (en) * | 1998-12-03 | 2000-06-20 | Sims Deltec, Inc. | Pump system including cassette sensor and occlusion sensor |
| DE10024118A1 (de) * | 2000-05-18 | 2001-11-29 | Freudenberg Carl Fa | Einrichtung zur Überwachung der Unversehrtheit einer Membran |
| US8250483B2 (en) | 2002-02-28 | 2012-08-21 | Smiths Medical Asd, Inc. | Programmable medical infusion pump displaying a banner |
| US8504179B2 (en) | 2002-02-28 | 2013-08-06 | Smiths Medical Asd, Inc. | Programmable medical infusion pump |
| AUPS264302A0 (en) * | 2002-05-29 | 2002-06-20 | Neopraxis Pty Ltd | Implantable bladder sensor |
| US8303511B2 (en) * | 2002-09-26 | 2012-11-06 | Pacesetter, Inc. | Implantable pressure transducer system optimized for reduced thrombosis effect |
| US7149587B2 (en) * | 2002-09-26 | 2006-12-12 | Pacesetter, Inc. | Cardiovascular anchoring device and method of deploying same |
| US8954336B2 (en) | 2004-02-23 | 2015-02-10 | Smiths Medical Asd, Inc. | Server for medical device |
| US7975553B2 (en) * | 2005-08-23 | 2011-07-12 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Pressure sensor unit |
| US7318351B2 (en) | 2005-10-05 | 2008-01-15 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
| US8965707B2 (en) | 2006-08-03 | 2015-02-24 | Smiths Medical Asd, Inc. | Interface for medical infusion pump |
| US8435206B2 (en) | 2006-08-03 | 2013-05-07 | Smiths Medical Asd, Inc. | Interface for medical infusion pump |
| US8858526B2 (en) | 2006-08-03 | 2014-10-14 | Smiths Medical Asd, Inc. | Interface for medical infusion pump |
| US8149131B2 (en) | 2006-08-03 | 2012-04-03 | Smiths Medical Asd, Inc. | Interface for medical infusion pump |
| US8133197B2 (en) | 2008-05-02 | 2012-03-13 | Smiths Medical Asd, Inc. | Display for pump |
| US20100102261A1 (en) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Microfluidic Systems, Inc. | Microfluidic valve mechanism |
| TWI446373B (zh) | 2010-10-14 | 2014-07-21 | Ind Tech Res Inst | 壓阻材料的製造方法、壓阻組成物與壓力感測裝置 |
| US10682460B2 (en) | 2013-01-28 | 2020-06-16 | Smiths Medical Asd, Inc. | Medication safety devices and methods |
| US10203258B2 (en) * | 2016-09-26 | 2019-02-12 | Rosemount Inc. | Pressure sensor diaphragm with overpressure protection |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3219035A (en) * | 1963-05-06 | 1965-11-23 | Stanford Research Inst | Blood pressure measuring transducer |
| US3341794A (en) * | 1965-07-26 | 1967-09-12 | Statham Instrument Inc | Transducers with substantially linear response characteristics |
| US4023562A (en) * | 1975-09-02 | 1977-05-17 | Case Western Reserve University | Miniature pressure transducer for medical use and assembly method |
| DE2608381C2 (de) * | 1976-03-01 | 1978-03-30 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh, 6100 Darmstadt | Meßumformer |
| US4376929A (en) * | 1976-12-27 | 1983-03-15 | Myhre Kjell E | Optimized stress and strain distribution diaphragms |
| US4231011A (en) * | 1979-09-24 | 1980-10-28 | University Of Pittsburgh | Discontinuous metal film resistor and strain gauges |
| US4333349A (en) * | 1980-10-06 | 1982-06-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Binary balancing apparatus for semiconductor transducer structures |
| GB2098739B (en) * | 1981-05-16 | 1985-01-16 | Colvern Ltd | Electrical strain gauges |
| JPS5844323A (ja) * | 1981-09-09 | 1983-03-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 圧力センサ |
| JPS58197780A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-17 | Hitachi Ltd | 半導体圧力変換器 |
| FR2579092B1 (fr) * | 1985-03-22 | 1989-06-16 | Univ Toulouse | Capteur implantable de pression intracranienne |
-
1987
- 1987-12-14 US US07/132,014 patent/US4852581A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-11-25 CA CA000584179A patent/CA1313060C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-12-13 DK DK693688A patent/DK693688A/da not_active Application Discontinuation
- 1988-12-14 EP EP88311847A patent/EP0321225B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-12-14 AT AT88311847T patent/ATE84145T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-12-14 ES ES198888311847T patent/ES2037246T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1988-12-14 DE DE8888311847T patent/DE3877170T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10040069C2 (de) * | 2000-08-16 | 2003-05-08 | Oechsler Ag | Biegemeßelement und Verwendung in einem Drehwinkelgeber |
| DE10252023B3 (de) * | 2002-11-06 | 2004-07-15 | Metallux Gmbh | Drucksensor |
| US7162925B2 (en) | 2002-11-06 | 2007-01-16 | Metallux Ag | Pressure sensor with monolithic body and circuit-bearing membrane attached thereto |
| DE10260577A1 (de) * | 2002-12-21 | 2004-07-08 | Gwt Global Weighing Technologies Gmbh | Dehnungsmessstreifen mit veränderbarem Nennwiderstand |
| DE10260577B4 (de) * | 2002-12-21 | 2005-07-28 | Sartorius Hamburg Gmbh | Dehnungsmessstreifen mit veränderbarem Nennwiderstand |
| DE102004008432A1 (de) * | 2004-02-19 | 2005-09-15 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Dehnungsmessstreifen zur Erfassung von Dehnungen oder Stauchungen an Verformungskörpern |
| DE102004008432B4 (de) * | 2004-02-19 | 2015-05-28 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Dehnungsmessstreifen zur Erfassung von Dehnungen oder Stauchungen an Verformungskörpern |
| DE102007011472A1 (de) | 2007-03-07 | 2008-09-11 | Metallux Ag | Drucksensitive Membran für einen elektronischen Sensor |
| DE102007000364B4 (de) * | 2007-07-03 | 2020-10-15 | Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg | Manometer mit elektrischem Messwertaufnehmer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4852581A (en) | 1989-08-01 |
| ES2037246T3 (es) | 1993-06-16 |
| CA1313060C (en) | 1993-01-26 |
| ATE84145T1 (de) | 1993-01-15 |
| EP0321225A3 (en) | 1990-11-07 |
| EP0321225B1 (de) | 1992-12-30 |
| EP0321225A2 (de) | 1989-06-21 |
| DK693688D0 (da) | 1988-12-13 |
| DE3877170D1 (de) | 1993-02-11 |
| DK693688A (da) | 1989-06-15 |
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