DE3861978D1 - Verfahren und vorrichtung zur behandlung von photolacken. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur behandlung von photolacken.

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DE3861978D1
DE3861978D1 DE8888101173T DE3861978T DE3861978D1 DE 3861978 D1 DE3861978 D1 DE 3861978D1 DE 8888101173 T DE8888101173 T DE 8888101173T DE 3861978 T DE3861978 T DE 3861978T DE 3861978 D1 DE3861978 D1 DE 3861978D1
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photo
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photo paints
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Shinji C O Ushio Denki Suzuki
Tetsuji C O Ushio Denki Arai
Kazuyoshi C O Ushio Denki Ueki
Yoshiki C O Ushio Denki Mimura
Hiroko C O Ushio Denki Suzuki
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Ushio Denki KK
Original Assignee
Ushio Denki KK
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
    • G03F7/2024—Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure of the already developed image

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