DE3835767C2 - - Google Patents

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DE3835767C2
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Ryoichi Kajiwara
Takao Hitachi Ibaraki Jp Funamoto
Mituo Hitachioota Ibaraki Jp Kato
Hiroshi Wachi
Tomohiko Hitachi Ibaraki Jp Shida
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Hitachi Ltd
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DE3835767A 1987-10-21 1988-10-20 Kuehlvorrichtung fuer halbleitermodul Granted DE3835767A1 (de)

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