DE3833541C1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3833541C1 DE3833541C1 DE3833541A DE3833541A DE3833541C1 DE 3833541 C1 DE3833541 C1 DE 3833541C1 DE 3833541 A DE3833541 A DE 3833541A DE 3833541 A DE3833541 A DE 3833541A DE 3833541 C1 DE3833541 C1 DE 3833541C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lean
- probe
- electrodes
- individual
- nernst
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 64
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 29
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 19
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 9
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 7
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Inorganic materials O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 5
- 229910004369 ThO2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 2
- YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N theobromine Chemical compound CN1C(=O)NC(=O)C2=C1N=CN2C YAPQBXQYLJRXSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 229960004559 theobromine Drugs 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Magerastsonde für die Bestimmung
der Sauerstoffkonzentration in Abgasen, insbesondere den Abgasen
von Verbrennungskraftmaschinen nach der Gattung des
Hauptanspruchs.
Es ist allgemein bekannt, zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes
in Abgasen, insbesondere von Verbrennungskraftmaschinen,
Meßfühler oder sog. λ-Sonden mit mindestens einer Meßzelle
mit einer dem Abgas ausgesetzten Elektrode und einer normalerweise
der Luft ausgesetzten Elektrode, der sog. Referenzelektrode,
sowie einem Festelektrolyten zwischen den beiden
Elektroden einzusetzen.
Bekannte, derartige Meßfühler beruhen auf dem Prinzip der
Sauerstoffkonzentrationskette mit ionenleitendem Festelektrolyten.
Sie bestehen z. B. aus einem einseitig geschlossenem
Rohr aus stabilisiertem Zirkondioxid, auf dessen äußerer, dem
Abgas zugewandter Oberfläche sich eine poröse Platinschicht
befindet, welche die Elektrode bildet und gleichzeitig eine
möglichst weitgehende Einstellung des thermodynamischen Gleichgewichtes
katalysiert. Die dem Vergleichsgas ausgesetzte
Elektrode befindet sich im Innern des Rohres. Derartige Meßfühler
oder λ-Sonden der sog. Fingerversion sind z. B. aus
der DE-PS 28 52 647 und 29 13 633 sowie der DE-OS 27 11 880
bekannt.
Bei den sog. einzelligen, d. h. eine Nernstzelle aufweisenden
λ-Sonden des beschriebenen Typs liegt das maximale Ausgangssignal
bei λ = 1,02 bei ca. 60 mV, wie sich beispielsweise
aus der Literaturstelle SAE Technical Paper Series 840141,
Sonderdruck aus der Zeitschrift "Sensors and Actuators"
SP 567, Fig. 11 ergibt.
Bei dem aus der DE-PS 27 18 907 bekannten Meßfühler sind beide
Elektroden der Sauerstoffkonzentrationszelle mit geringem Abstand
zueinander auf einem massiven, elektrisch isolierenden
Trägerkörper hintereinander angeordnet, wobei sich zwischen
den Elektroden ein Oberflächenbereich des Festelektrolyten
befindet. Aus der DE-PS 27 18 907 ist es auch bereits bekannt,
Meßfühler mit mehreren in Reihe geschalteten Meßzellen herzustellen,
wobei die einzelnen Meßzellen alternierend aufeinanderfolgende
Elektroden- und Festelektrolytbereiche aufweisen und
zu einer stabförmigen Meßzellenanordnung zusammengefaßt sind.
Bei dieser Ausgestaltung erreicht der Meßfühler nicht nur sehr
schnell seine Arbeitstemperatur, sondern liefert durch die
Serienschaltung mehrerer Meßzellen auch eine erhöhte Ausgangsspannung,
welche einfacher auszuwerten ist als die Ausgangsspannung
einer einzigen Meßzelle und womit ein Abfall der Ausgangsspannung
durch Alterungsprozesse meßtechnisch besser beherrscht
werden kann.
Es ist ferner bekannt, zur Bestimmung des λ-Wertes von Gasgemischen
planare Abgassonden zu verwenden, die sich in besonders
kostengünstiger Weise in Keramikfolien- und Siebdrucktechnik
herstellen lassen. Verwiesen wird diesbezüglich
beispielsweise auf die EP-A 01 88 900 und 01 42 993 sowie
die DE-OS 30 17 947 und 35 43 759. Zweckmäßig verwendet man
dabei Keramikfolien auf Basis von ZrO₂, CeO₂, HfO₂ und ThO₂.
Der Grund, weshalb ZrO₂-, CeO₂-, HfO₂- und ThO₂-Formkörper
als Festelektrolyte verwendbar sind, beruht auf dem Vorhandensein
von Sauerstoffionenleerstellen als Folge des Zusatzes
von Stabilisatoren, wie z. B. Ca2+ und Y3+. Ein gewisses
Problem bei der Herstellung elektrochemischer Meßfühler und
Sonden für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen,
insbesondere in den Abgasen von Brennkraftmaschinen besteht
darin, daß die Festelektrolytsubstrate vor einer elektrolytischen
Zersetzung infolge einer zu hohen Strombelastung oder vor Kurzschlüssen
bzw. vor einer Kopplung verschiedener galvanischer Kreise
durch Anordnung von isolierenden Zwischenschichten geschützt
werden müssen. So ist es z. B. bekannt, als isolierende Zwischenschichten
keramische Aluminiumoxidschichten zu verwenden. Aus der
GB-PS 10 48 069 und der EP-A 01 15 148 ist es ferner bekannt, den
elektrischen Widerstand keramischer Materialien auf Basis von stabilisiertem
ZrO₂, HfO₂, CeO₂ bzw. ThO₂ durch zusätzlichen Einbau
von fünfwertigen Metallionen, wie z. B. Nb5+- und Ta5+-Ionen in
das Wirtsgitter zu erhöhen, da sich mit ihnen die O2--Leerstellen-
Konzentration reduzieren läßt.
Aus der DE-OS 37 26 479 ist ferner ein Verfahren
zur Erzeugung von elektrisch-isolierenden Bereichen oder
Schichten in oder auf O2--Ionen leitenden, mit 3- oder
niedrigerwertigen Kationen dotierten Festelektrolyten bekannt,
bei dem man auf die elektrisch zu isolierenden Bereiche des
Festelektrolyten eine Suspension oder Paste mit einer Verbindung
mit einem oder mehreren 5- oder höherwertigen Kationen
aufträgt und die 5- oder höherwertigen Kationen durch Erhitzen
in den Festelektrolyten eindiffundieren läßt. Das Verfahren
kann vorteilhaft angewendet werden, wenn solche Verbindungen
mit 5- oder höherwertigen Kationen Suspensionen oder Pasten
für z. B. Leiterbahnen oder Durchkontaktierungen zugesetzt
werden, um die sich herum beim Sinterprozeß eine Isolationsschicht
bilden soll.
Nachteilig an den bekannten Magerast- oder λ-Sonden des Standes
der Technik ist, daß das Ausgangssignal vergleichsweise gering
ist. Nachteilig an den bekannten Magerastsonden der Fingerversion
ist ferner, daß die Heizleistung relativ groß ist.
Eine erfindungsgemäße Magerastsonde mit den Merkmalen des
Hauptanspruchs hat gegenüber einer Einfach-Magerastsonde
wesentliche Vorteile. So weist sie zunächst gegenüber einer
Einfach-Magerastsonde ein vielfach höheres Ausgangssignal
auf. Es wurde gefunden, daß, werden erfindungsgemäß mehrere
λ-Sonden hintereinander geschaltet, sich die Ausgangssignale
der einzelnen Sonden addieren. So erzielt man beispielsweise
mit sechs in Serie geschalteten einzelnen Sonden praktisch
die 6fache Ausgangsspannung einer einfachen Nernstzelle.
Da jede λ-Sonde mit enger Toleranz ein definiertes Ausgangssignal
liefert, wird die Reproduzierbarkeit des Ausgangssignals
deutlich besser als die von bisher bekannten Grenzstromsonden.
Die Auswertung des Signals kann dabei in üblicher und
bekannter Weise erfolgen. Da die Sonde ein Spannungssignal
liefert, ist eine direkte Auswertung mit Mikroprozessoren möglich.
Die Ansprechzeit entspricht der bekannter λ-Sonden und ist
damit deutlich schneller als die von bisher bekannten Grenzstromsonden,
bei denen Diffusionsprozesse geschwindigkeitsbestimmend
sind. Gegenüber einer Magerastsonde in Fingerversion
ist die Heizleistung durch den direkten Kontakt der Heizschicht
mit der Keramik erheblich verringert. Schließlich ist bei einer
erfindungsgemäßen Magerastsonde eine genaue Temperaturregelung
über einen Heizwiderstand oder über den Innenwiderstand der
Nernstzellen möglich.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung besteht
die Magerastsonde aus mindestens zwei, vorzugsweise vier und
insbesondere vier bis sechs in Reihe geschalteten Nernstzellen
oder Einzelsonden, die mittels gasdichter Kontaktierungen
hintereinander geschaltet sind. Die Gasdichtheit wird
dabei dadurch erreicht, daß die Durchkontaktierungslöcher
in bekannter Laminiertechnik durch einen Foliendichtrahmen
von oben her abgedeckt werden. Um Meßsignalverfälschungen
durch Leckströme gering zu halten, werden die einzelnen Nernstzellen
ausreichend weit voneinander angeordnet (Abstand z. B.
< 5 × Festelektrolytdicke) und/oder es werden elektrisch
isolierende Bereiche zwischen den Nernstzellen durch Aufbringen
von elektrisch isolierenden Schichten, z. B. Al₂O₃-Schichten, oder
durch Eindiffundieren von z. B. Nb5+ oder Ta5+ in den Festelektrolyten
geschaffen, um eine O2--Ionenleitung zu unterdrücken, wie es
beispielsweise aus der DE-OS 37 26 479 bekannt ist.
Gemäß einer zweiten vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung
erfolgt die Anordnung der einzelnen Nernstzellen in sog.
"Janus-Form". Magerastsonden, in denen die einzelnen Nernstzellen
"janusartig" angeordnet sind, sind solche, die nach
beiden Seiten ein gleiches oder praktisch gleiches Aussehen
zeigen und z. B. in den Fig. 4-6 beispielsweise dargestellt
sind. Besondere Vorteile der Janus-Anordnung der Nernstzellen
ergeben sich aus der doppelten Elektrodenfläche bei gleichem
Abstand der Nernstzellen. Einander gegenüberliegende Nernstzellen
können dabei durch ein Isolationsschichtensystem des
Heizers oder durch ein entsprechendes Schichtsystem bei Ausführung
ohne Heizer weitgehend galvanisch entkoppelt werden.
Die Position der Sonde im Abgasstrom ist dabei von geringem
Einfluß. Die Heizleistung läßt sich leicht auf den Elektrodenbereich
konzentrieren. In vorteilhafter Weise ist bei einer
Janus-Anordnung der Nernstzellen auch eine Zweifach-Luftreferenz-
Anordnung möglich. In diesem Falle kann auf Durchkontaktierungen
im Bereich der Sensorzellen verzichtet werden.
Zur Herstellung erfindungsgemäßer Magerastsonden eignen sich
vergleichsweise dünne Keramikfolien auf Basis von Oxiden vierwertiger
Metalle, wie insbesondere ZrO₂, CeO₂, HfO₂ und ThO₂,
mit einem bestimmten Gehalt an zweiwertigen Erdalkalioxiden
und/oder vorzugsweise dreiwertigen Oxiden der seltenen Erden bzw.
an Yttriumoxid mit einer Stärke von vorzugsweise 0,1 bis 0,6 mm,
insbesondere 0,25 bis 0,3 mm, die nach bekannten Dickschichttechniken mit
den Elektroden, dazugehörigen Leiterbahnen usw. bedruckt, Stanzoperationen
unterworfen, zusammenlaminiert und gesintert werden
können.
Der Referenzkanal z. B. kann in bekannter Weise durch Ausstanzen
oder durch Aufdrucken einer beim Sinterprozeß abdampfbaren oder
ausbrennbaren Schicht erzeugt werden. Zur Erzeugung derartiger
Schichten lassen sich übliche bekannte Hohlraumbildner verwenden,
z. B. organische Verbindungen, beispielsweise auf Polyurethanbasis,
oder Theobromin, Salze, wie z. B. Ammoniumcarbonat oder
Thermalrußpulver.
Durchkontaktierungslöcher können durch einfaches Ausstanzen
erzeugt werden. Die Isolierung der Durchkontaktierungslöcher
kann z. B. mittels einer isolierenden Al₂O₃-Schicht oder mittels
einer Suspension oder Paste erfolgen, wie man sie zur Ausbildung
der Leiterbahnen verwendet, der jedoch ein oder mehrere
Verbindungen mit einem 5- oder höherwertigen Kation zugesetzt
wird, das man beim sich an den Laminierprozeß anschließenden
Sinterprozeß bei Temperaturen bis zu 1600° C, vorzugsweise
1350 bis 1500° C in das Festelektrolytsubstrat eindiffundieren
läßt.
Zur Erzeugung der Elektroden der einzelnen Nernstzellen sowie
der dazugehörigen Leiterbahnen werden vorzugsweise in Dickschichttechnik
verarbeitbare Pasten auf Edelmetallbasis, insbesondere
Platinbasis oder Edelmetall-Cermetbasis, insbesondere
Platin-Cermetbasis verwendet. Derartige Pasten können in bekannter
Weise unter Verwendung von organischen Bindemitteln
und/oder Haftverbesserern, Weichmachern und organischen Lösungsmitteln
hergestellt werden.
Beispielsweise können die Elektroden und dazugehörigen Leiterbahnen
aus einem Gemisch aus 60 Vol.-% Pt und 40 Vol.-% von
mit 4 Mol-% stabilisiertem YSZ bestehen. Den zur Ausbildung
der Leiterbahnen verwendeten Pasten können wiederum Verbindungen
mit einer 5- oder höherwertigen Kation zugesetzt werden,
um isolierende Bereiche zu schaffen.
Die Isolierung der Leiterbahnen oder Elektrodenzuführungen,
der elektrischen Verbindung zwischen den einzelnen Elektroden
einschließlich der Durchkontaktierungen sowie falls vorhanden
der Heizschicht, erfolgt in zweckmäßiger Weise mit einer
Pt-Nb₂O₅-Mischung, wie sie beispielsweise aus der DE-OS
37 26 479 bekannt ist.
Die zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Magerastsonde
benötigten Folien lassen sich in vorteilhafter Weise mit interlaminaren
Bindern, z. B. auf YSZ-Basis zusammenlaminieren.
Der Laminatverband wird anschließend gesintert, z. B. durch
1- bis 10stündiges Erhitzen auf Temperaturen von 1350 bis
1500° C. Nach, gegebenenfalls jedoch auch bereits vor Durchführung
des Sinterprozesses können im Bereich der Durchkontaktierungslöcher
elektrische Kontaktflächen aufgedruckt
werden.
Die Figuren dienen der näheren Erläuterung der Erfindung. Im
einzelnen sind schematisch dargestellt in:
Fig. 1 eine Magerastsonde nach der Erfindung mit einfacher
Reihenschaltung der Nernstzellen im Schnitt;
Fig. 2 die Magerastsonde gemäß Fig. 1 in Draufsicht;
Fig. 3 das Layout einer Magerastsonde nach der Erfindung
des in Fig. 1 und 2 dargestellten Typs;
Fig. 4 eine Magerastsonde nach der Erfindung mit "Janus-
Anordnung" der Nernstzellen im Schnitt;
Fig. 5 das Layout einer Magerastsonde nach der Erfindung
des in Fig. 4 dargestellten Typs;
Fig. 6 eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung einer Magerastsonde
nach der Erfindung mit einer "Janus-Anordnung"
der Nernstzellen ohne Durchkontaktierungen im Schnitt;
Fig. 7 eine perspektivische Darstellung eines Teiles einer
Magerastsonde nach der Erfindung gemäß Fig. 6;
Fig. 8 eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung einer Magerastsonde
nach der Erfindung ohne Durchkontaktierungen
mit seitlichen Kanälen zur Versorgung eines Teiles
der Elektroden mit Luft und Abgas.
Bei der in den Fig. 1 und 2 beispielsweise dargestellten Magerastsonde
nach der Erfindung handelt es sich um eine aus Folien
1, 2, 3 und 4 hergestellte Sonde mit sechs in Reihe geschalteten
Nernstzellen mit den dem Abgas ausgesetzten Außenelektroden
E₁-E₆ sowie den im Referenzkanal 5 angeordneten
Referenzelektroden E₇-E₁₂.
Die einzelnen Elektroden sind auf die Festelektrolytfolie 2
aufgedruckt und gegenüber dieser durch zunächst aufgebrachte
Isolierschichten, z. B. auf Al₂O₃-Basis, elektrisch isoliert.
Die Folie 2 weist Durchkontaktierungen 6 mit elektrischen
Isolierungen auf, die eine galvanische Verbindung der Elektroden
E₁-E₈, E₂-E₉, E₃-E₁₀, E₄-E₁₁ und E₅-E₁₂ schaffen.
Die Außenelektrode E₆ ist an die Leiterbahn 7 und die Referenzelektrode
E₇ ist an die Leiterbahn 8 angeschlossen. Auf die
Folie 4 ist der Heizer 9 mit dem Heizeranschluß 10 aufgedruckt.
Die Außenelektroden E₁-E₆ sind mit einer porösen Abdeckung 11,
z. B. auf Al₂O₃- oder Mg-Spinellbasis, versehen. Die Leiterbahnen
7 und 8 sind von isolierenden Bereichen umgeben, wie
in Fig. 2 durch die gestrichelt gezeichneten Linien angedeutet wird.
Der Luftreferenzkanal 5 kann eine poröse Füllung aufweisen. Derartige
poröse Füllungen, z. B. auf Al₂O₃- oder ZrO₂-Basis sind
bekannt.
Bei der in Fig. 3 dargestellten, der in den Fig. 1 und 2 dargestellten
Ausführungsform sehr ähnlichen Ausführungsform ist
in der Folie 1 für die Erzeugung der Abdeckung 11 eine Öffnung
12 vorgesehen. Die Abdeckung ist so beschaffen, daß sie die
Elektroden E₁₃-E₁₈ schützt, jedoch den Zutritt des Abgases
zu den Elektroden ermöglicht. In vorteilhafter Weise weist die
Folie 1 bei der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform ferner
eine Öffnung 13 zum Referenzkanal 5 auf, um den Diffusionswiderstand
zu verringern. Eine entsprechende Öffnung 13′ befindet
sich auch in der Folie 2, aus der ferner ein Durchkontaktierungsloch
14 für die elektrische Verbindung der Leiterbahn
15 mit dem Anschluß 16 ausgestanzt ist. Die Elektrode
E₁₃ ist über die Leiterbahn 17 an den Anschluß 16′ angeschlossen
und die Elektrode E₂₄ an die Leiterbahn 15. Im Falle der in Fig. 3
dargestellten Ausführungsform weist die Folie 3 einen ausgestanzten
Referenzkanal 5 auf. Gemäß einer anderen vorteilhaften
Ausgestaltung der Erfindung kann der Kanal jedoch auch durch
Aufdrucken eines Hohlraumbildners des bereits erwähnten Typs
und Zersetzen oder Verbrennen desselben während des später
durchzuführenden Sinterprozesses erzeugt werden. Die Sonde weist
ferner ein Heizerelement bestehend aus der Folie 4 mit aufgedrucktem
Heizer 9, Durchkontaktierungslöchern 19 und Anschlüssen
20 und 20′ auf. Die Verbindung der einzelnen Folien
miteinander erfolgt durch Laminierung mittels Schichten 21,
21′ und 21″ aus interlaminarem Binder, wie er üblicherweise
zur Herstellung planarer Sonden auf Festelektrolytbasis verwendet
wird.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung verwendet
man zur Herstellung einer Magerastsonde des in Fig. 3 dargestellten
Typs Folien auf Basis von mit Y₂O₃ stabilisiertem
Zirkondioxid, sog. YSZ-Folien mit z. B. 4 Mol-% Y₂O₃.
Die Abdeckung der Außenelektroden kann z. B. durch Einlegen einer
porös sinternden ZrO₂-Folie oder durch Eindrucken einer Al₂O₃-
haltigen porösen Engobeschicht in die vorgesehene Öffnung 12
oder mittels einer plasmagespritzten Mg-Spinellschicht erfolgen.
Außenelektroden und Referenzelektroden können die für bekannte
planare Sonden übliche Zusammensetzung haben und somit beispielsweise
aus Edelmetall-Cermet-Elektroden bestehen, z. B. Platin-
Cermet-Elektroden, beispielsweise mit 60 Vol.-% Pt und 40 Vol.-%
YSZ (mit 4 Mol-% Y₂O₃).
Die Isolierung der Elektroden gegenüber den Foliensubstraten
und die Schaffung isolierender Bereiche zwischen den einzelnen
Nernstzellen kann in vorteilhafter Weise nach dem aus der
DE-OS 37 26 479 bekannten Verfahren erfolgen, wonach auf die
elektrisch zu isolierenden Bereiche des Festelektrolytsubstrates
eine Suspension oder Paste mit mindestens einer Verbindung mit
einem oder verschiedenen 5- oder höherwertigen Kationen aufgetragen
und die 5- oder höherwertigen Kationen durch Erhitzen
in das Festelektrolytsubstrat eindiffundieren gelassen wird.
Beispielsweise lassen sich zur Ausbildung der Isolierungen 22,
22′ und 22″ Nb₂O₅-Suspensionen mit 5 Mol-% ZrO₂ verwenden.
Die elektrische Isolierung der Leiterbahnen gegenüber den
Festelektrolytfolien kann ebenfalls nach dem aus der DE-OS
37 26 479 bekannten Verfahren erfolgen, indem man den zum
Druck der Leiterbahnen oder Anschlüsse verwendeten Massen oder
den Durchkontaktierungsmassen eine oder mehrere Verbindungen
mit einem oder verschiedenen 5- oder höherwertigen Kationen
des erwähnten Typs zusetzt.
Die Schichten aus interlaminarem Binder, die zum Zusammenlaminieren
der einzelnen Folien verwendet werden, haben die übliche
bekannte Zusammensetzung, d. h. sie können beispielsweise aus
einer YSZ-Masse mit 4 Mol-% Y₂O₃ bestehen.
Das Zusammenlaminieren und Sintern der zusammengefügten Folien
erfolgt ebenfalls in für die Herstellung planarer Sonden bekannter
Weise, z. B. durch 0,5- bis 3stündiges Erhitzen auf
eine Temperatur von 1200 bis 1400° C.
Die in Fig. 4 im Schnitt dargestellte Magerastsonde nach der
Erfindung in Janusform weist vier Nernstzellen auf. Erfindungsgemäße
Magerastsonden in "Janusform" können jedoch auch aus eben
so viel einzelnen Nernstzellen aufgebaut sein, wie die in den
Fig. 1-3 dargestellte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Magerastsonde mit einfacher Reihenschaltung der Nernstzellen.
Dies bedeutet, daß eine erfindungsgemäße Magerastsonde in Janusform
beispielsweise auch aus sechs oder acht oder noch mehr
einzelnen Nernstzellen aufgebaut sein kann.
Die in Fig. 4 beispielsweise dargestellte Ausführungsform besteht
aus den Festelektrolytfolien 1′, 2′, 3′ und 4′ mit den
aus den Elektroden E₂₅-E₂₆; E₂₇-E₂₈; E₂₉-E₃₀ und E₃₁-E₃₂ gebildeten
Nernstzellen. Zwischen den Nernstzellen E₂₅-E₂₆ und
E₂₇-E₂₈ einerseits und den Nernstzellen E₂₉-E₃₀ und E₃₁-E₃₂
andererseits befindet sich der Luftreferenzkanal 5, über den
die Referenzelektroden mit Luft versorgt werden und der über
den Dichterahmen 40 abgedichtet ist. Im Luftreferenzkanal 5
befindet sich der in ein porös isolierendes Material, z. B.
poröses Al₂O₃ eingebettete Heizer 9. Die Elektrode E₂₅ ist
mit der Elektrode E₂₈ über die Durchkontaktierung 24 und die
Elektrode E₂₉ mit der Elektrode E₃₂ über die Durchkontaktierung
25 galvanisch verbunden. Ferner ist die Elektrode E₂₆ über die
Durchkontaktierung 26 mit der Elektrode E₃₀ galvanisch verbunden.
Die gegenüber den Festelektrolytfolien elektrisch isolierten
Leiterbahnen 27 und 28 verbinden die Elektroden E₂₇ bzw. E₃₁
mit nicht dargestellten Anschlüssen, wobei die Leiterbahn 28
durch das Durchkontaktierungsloch 29 geführt wird. Die dem Abgas
ausgesetzten Außenelektroden E₂₅ und E₂₇ sowie E₃₀ und E₃₂
weisen wie die Außenelektroden der in den Fig. 1 bis 3 dargestellten
Ausführungsform poröse Abdeckungen 11 auf.
Wie schematisch in Fig. 5 dargestellt, weisen die Festelektrolytfolien
1′ und 4′ Öffnungen 12 für Abdeckungen 11, wie im Falle
der in den Fig. 1-3 dargestellten Ausführungsform auf, die
die Außenelektroden E₂₅ und E₂₇ bzw. E₃₀ und E₃₂ abdecken,
jedoch den Zutritt des Abgases zu den Elektroden ermöglichen.
Die Folie 2′ weist Durchkontaktierungslöcher 6 auf und ist auf
einer Seite mit den Elektroden E₂₅ und E₂₇, der Leiterbahn 27
und den Anschlüssen 16 und 16′ sowie auf der anderen Seite mit
den Elektroden E₂₆ und E₂₈ sowie dem Anschluß 16″ bedruckt.
Die Isolierung der Elektroden gegenüber dem Foliensubstrat
erfolgt wie im Falle der in den Fig. 1-3 dargestellten Ausführungsform
durch nach dem Siebdruckverfahren erzeugte Isolierungen
22 und 22′. Im Falle der in den Fig. 4 und 5 dargestellten
Ausführungsform wird auf die den Elektroden E₂₆ und
E₂₈ zugewandte Seite der Festelektrolytfolie 2′ eine Schicht
30 aus einem interlaminaren Binder mit Aussparungen 31 und 32
aufgedruckt. Diese Schicht kann jedoch gegebenenfalls auch
entfallen. Die Folie 3′ ist in entsprechender Weise wie die
Folie 1′ auf einer Seite mit den Elektroden E₂₉ und E₃₁ sowie
der Leiterbahn 28 und auf der anderen Seite mit den Elektroden
E₃₀ und E₃₂ und den Anschlüssen 34 und 35 bedruckt.
Die Durchkontaktierungslöcher 6 und 6′ dienen der Erzeugung
von Durchkontaktierungen 25 bzw. 26. Die mit Hilfe der Durchkontaktierungslöcher
6″ und 6‴ bewirkten Durchkontaktierungen
stellen den elektrischen Kontakt zu den Anschlüssen 34 und 35
her. Zwischen die Folie 3′ und die Folie 4′ wird eine Schicht
36 aus interlaminarem Binder eingeführt. Zur Herstellung des
Heizers und des Luftreferenzkanals dienen zwei porös sinternde
Al₂O₃-Isolationsschichten 38 und 39 mit aufgedruckten, hermetisch
abdichtenden Rahmen 40 und 41 auf Basis von mit Y₂O₃
stabilisiertem ZrO₂. Der Heizer 9 kann dabei in Dickschichttechnik
auf die Isolationsschicht 39 aufgedruckt werden. Zum
Aufdruck geeignete Pasten sind z. B. Pasten auf Basis von
Pt/Al₂O₃; Pt/Nb₂O₅ oder Pt/Al₂O₃/Nb₂O₅-Cermet. Der Luftreferenzkanal
5 kann aus der Schicht 39 herausgestanzt sein oder mittels
eines Hohlraumbildners des bereits erwähnten Typs durch Aufdrucken
einer entsprechenden Paste und Zersetzung oder Verbrennung
des Hohlraumbildners während des Sinterprozesses erzeugt
werden. Das Zusammenlaminieren und Sintern erfolgt wiederum in
der für die Herstellung von planaren Sonden üblichen und bekannten
Weise.
Für die in Fig. 6 schematisch dargestellte Ausführungsform mit
einer "Janus"-Anordnung der Nernstzellen ist charakteristisch,
daß sie keine Durchkontaktierungen aufweist. Sie besteht im
wesentlichen aus den vier Festelektrolytfolien 1, 2, 3 und 4,
den die Nernstzelle oder λ-Sonde 1 bildenden Elektroden E₃₃
und E₃₆, den die Nernstzelle oder λ-Sonde 2 bildenden Elektroden
E₃₄ und E₃₅ sowie den die Nernstzelle oder λ-Sonde 3 bildenden
Elektroden E₃₅ und E₃₈ sowie dem Heizer 23, der gegenüber den
Festelektrolytfolien 2 und 3, wie durch 43 angedeutet ist, elektrisch
isoliert ist. Die Elektroden E₃₃ und E₃₅ sind an einen
oberen und die Elektrode E₃₇ ist an einen unteren Luftreferenzkanal
angeschlossen und mit einer gasdichten Abdeckung 51 abgedeckt.
Die Elektroden E₃₄, E₃₆ und E₃₈ liegen am Abgas. Letztere
weisen vorzugsweise eine poröse Abdeckung 11 auf. Die Elektroden
E₃₃ und E₃₈ sind an die Leiterbahnen 44 bzw. 45 angeschlossen.
Die Elektroden E₃₄ und E₃₅ sowie die Elektroden E₃₆ und E₃₇
sind galvanisch verbunden. Fig. 7 veranschaulicht den Verlauf der
Luftreferenzkanäle, über die die Referenzelektroden E₃₃, E₃₅ und
E₃₇ mit Luft versorgt werden. In Fig. 7 wurde der Heizer der besseren
Übersicht halber weggelassen.
Im Falle der in Fig. 8 schematisch dargestellten Ausführungsform
mit Janus-Anordnung der Nernstzellen ist der isolierte
Heizer im Gegensatz zu der in den Fig. 6 und 7 dargestellten
Ausführungsform nicht mittig zwischen den Elektroden, sondern
unterhalb der Elektroden angeordnet. Bei dieser Heizeranordnung
ist es erforderlich, einen Teil der Elektroden über seitliche
Kanäle zu versorgen. Die Magerastsonde besteht im wesentlichen
aus den Festelektrolytfolien 1, 2 und 3 sowie den die Heizereinheit
bildenden Folien 4 und 4′, den die erste Nernstzelle
oder λ-Sonde bildenden Elektroden E₃₉ und E₄₂, den die zweite
Nernstzelle oder λ-Sonde bildenden Elektroden E₄₀ und E₄₃ sowie
den die dritte Nernstzelle oder λ-Sonde bildenden Elektroden
E₄₁ und E₄₄. Die Elektroden E₄₀ und E₄₁ einerseits und E₄₂ und
E₄₃ andererseits sind galvanisch miteinander verbunden. Die
Elektroden E₃₉ und E₄₄ weisen elektrische Anschlüsse 49 bzw.
50 auf.
Die Versorgung der Elektroden E₄₂ und E₄₄ mit Abgas erfolgt über
die seitlichen, eine poröse Füllung aufweisenden Kanäle 46 bzw.
47, und die Versorgung der Referenzelektrode E₄₃ mit Luft erfolgt
über den seitlichen Kanal 48. Diese seitlichen Kanäle können beispielsweise
analog dem Referenzkanal 5 der in Fig. 3 dargestellten
Ausführungsform hergestellt werden.
Die erfindungsgemäßen Magerastsonden können beispielsweise
in Gehäuse des aus den DE-OS 32 06 903 und 35 37 051 bekannten
Typs eingesetzt und zur Ermittlung der Sauerstoffkonzentration
der Abgase von Kraftfahrzeugen eingesetzt werden.
Claims (8)
1. Magerastsonde für die Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in
Abgasen mit im Abstand voneinander auf sauerstoffionenleitendem
Festelektrolyten angeordneten, mindestens zwei in Reihe geschaltete
Nernstzellen bildenden Elektroden, dadurch gekennzeichnet, daß sie in
Folientechnik aufgebaut ist.
2. Magerastsonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Abstand der einzelnen Nernstzellen zueinander mindestens
dem 3fachen der Festelektrolytdicke entspricht und/oder
daß zwischen den einzelnen Nernstzellen elektrisch isolierende
Bereiche vorliegen.
3. Magerastsonde nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke der zum Aufbau der Sonde verwendeten Festelektrolytfolien
bei 0,1 bis 0,6 mm liegt.
4. Magerastsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die einzelnen Nernstzellen mittels
gasdichter Durchkontaktierungen in Reihe geschaltet sind.
5. Magerastsonde nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Durchkontaktierungslöcher durch eine gasdichte
Keramikschicht abgedeckt sind.
6. Magerastsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß sie aus vier bis sechs in Reihe geschalteten
Nernstzellen aufgebaut ist.
7. Magerastsonde nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß sie aus mindestens vier zusammenlaminierten
Festelektrolytfolien mit integriertem Heizer
aufgebaut ist, wobei die Nernstzellen von einer der vier
Festelektrolytfolien gebildet werden.
8. Magerastsonde nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine
2fache Luftreferenzanordnung ohne Durchkontaktierungen
im Bereich der Sensorzellen.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3833541A DE3833541C1 (de) | 1988-10-01 | 1988-10-01 | |
KR1019900701028A KR900702363A (ko) | 1988-10-01 | 1989-09-29 | 배기가스내의 산소농도 측정용 과잉공기 탐침 |
PCT/DE1989/000613 WO1990003570A1 (de) | 1988-10-01 | 1989-09-29 | Magerastsonde für die bestimmung der sauerstoffkonzentration in abgasen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3833541A DE3833541C1 (de) | 1988-10-01 | 1988-10-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3833541C1 true DE3833541C1 (de) | 1990-03-22 |
Family
ID=6364252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3833541A Expired - Lifetime DE3833541C1 (de) | 1988-10-01 | 1988-10-01 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR900702363A (de) |
DE (1) | DE3833541C1 (de) |
WO (1) | WO1990003570A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003102569A1 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-11 | Robert Bosch Gmbh | Schichtsystem sowie verfahren zur herstellung eines schichtsystems |
EP1430295A1 (de) * | 2001-09-28 | 2004-06-23 | University Of Florida | Potentiometrischer festkörpersensor für gasförmige oxide |
EP1506391B1 (de) * | 2002-05-14 | 2009-09-30 | Robert Bosch Gmbh | Sensor für einen elektrochemischen messfühler |
DE102015223639A1 (de) * | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2711880A1 (de) * | 1977-03-18 | 1978-09-21 | Bosch Gmbh Robert | Messfuehler zum messen der sauerstoffkonzentration |
DE3017947A1 (de) * | 1980-05-10 | 1981-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen und verfahren zum herstellen von sensorelementen fuer derartige messfuehler |
DE2718907C2 (de) * | 1977-04-28 | 1984-04-12 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen |
DE2852647C2 (de) * | 1978-12-06 | 1986-04-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems auf Festelektrolyten für elektrochemische Anwendungen |
DE3543759A1 (de) * | 1984-12-11 | 1986-07-10 | Mitsubishi Electric Corp | Luft/kraftstoff-verhaeltnisdetektor |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6029066B2 (ja) * | 1979-07-28 | 1985-07-08 | 日産自動車株式会社 | 空燃比制御信号発生装置 |
DE2946775A1 (de) * | 1979-11-20 | 1981-05-27 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Verfahren und vorrichtung fuer die von temperaturschwankungen unbeeinflusste bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen |
US4579643A (en) * | 1983-11-18 | 1986-04-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Electrochemical device |
-
1988
- 1988-10-01 DE DE3833541A patent/DE3833541C1/de not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-29 KR KR1019900701028A patent/KR900702363A/ko not_active Application Discontinuation
- 1989-09-29 WO PCT/DE1989/000613 patent/WO1990003570A1/de unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2711880A1 (de) * | 1977-03-18 | 1978-09-21 | Bosch Gmbh Robert | Messfuehler zum messen der sauerstoffkonzentration |
DE2718907C2 (de) * | 1977-04-28 | 1984-04-12 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehalts in Abgasen |
DE2852647C2 (de) * | 1978-12-06 | 1986-04-30 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems auf Festelektrolyten für elektrochemische Anwendungen |
DE3017947A1 (de) * | 1980-05-10 | 1981-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen und verfahren zum herstellen von sensorelementen fuer derartige messfuehler |
DE3543759A1 (de) * | 1984-12-11 | 1986-07-10 | Mitsubishi Electric Corp | Luft/kraftstoff-verhaeltnisdetektor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1430295A1 (de) * | 2001-09-28 | 2004-06-23 | University Of Florida | Potentiometrischer festkörpersensor für gasförmige oxide |
EP1430295A4 (de) * | 2001-09-28 | 2006-02-08 | Univ Florida | Potentiometrischer festkörpersensor für gasförmige oxide |
EP1506391B1 (de) * | 2002-05-14 | 2009-09-30 | Robert Bosch Gmbh | Sensor für einen elektrochemischen messfühler |
WO2003102569A1 (de) * | 2002-05-29 | 2003-12-11 | Robert Bosch Gmbh | Schichtsystem sowie verfahren zur herstellung eines schichtsystems |
DE102015223639A1 (de) * | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1990003570A1 (de) | 1990-04-05 |
KR900702363A (ko) | 1990-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0437433B1 (de) | PLANARE POLAROGRAPHISCHE SONDE ZUR BESTIMMUNG DES $g(l)-WERTES VON GASGEMISCHEN | |
EP0391900B1 (de) | Ntc-temperaturfühler sowie verfahren zur herstellung von ntc-temperaturfühlerelementen | |
EP0613555B1 (de) | Planare polarographische sonde zur bestimmung des lambda-wertes von gasgemischen | |
DE3809154C1 (de) | ||
EP0386006B1 (de) | Sensorelement für grenzstromsensoren zur bestimmung des lambda wertes von gasgemischen | |
EP0394272B1 (de) | Ptc-temperaturfühler sowie verfahren zur herstellung von ptc-temperaturfühlerelementen für den ptc-temperaturfühler | |
EP2108119B1 (de) | Gassensor mit innen liegender pumpzelle | |
WO1994015206A1 (de) | Sensor zur bestimmung von gaskomponenten und/oder von gaskonzentrationen von gasgemischen | |
DE3876013T2 (de) | Elektrochemische elemente. | |
EP0449846B1 (de) | Sensorelement für grenzstromsensoren zur bestimmung des lambda-wertes von gasgemischen | |
DE4333232A1 (de) | Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes von Gasgemischen | |
DE4342005A1 (de) | Planare elektrochemische Sonde und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE4020385C2 (de) | Wärmetönungssensor | |
DE3834987C2 (de) | ||
DE3833541C1 (de) | ||
DE19746516C2 (de) | Planares Sensorelement | |
EP2449375B2 (de) | Sensorelement zur bestimmung einer eigenschaft eines gases | |
EP1247090B1 (de) | Gassensor, insbesondere Lambda-Sonde | |
DE19751128A1 (de) | Sensorelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements | |
WO1991010130A1 (de) | Plättchenförmige breitbandsonde für die bestimmung der sauerstoffkonzentration in abgasen | |
EP0426699B1 (de) | Elektrochemischer messfühler | |
DE102008043932A1 (de) | Sensorelement mit Trägerelement | |
WO2003096004A1 (de) | Sensor für einen elektrochemischen messfühler | |
DE8809447U1 (de) | Elektrochemischer Meßfühler |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |