DE3820226A1 - Polarisationssensor - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Polarisationssensor, z. B.
zur Feststellung von Laserlicht.
Zahlreiche Lichtquellen, sowohl Laser als auch andere
Lichtquellen zeigen bestimmte charakteristische
Polarisationseigenschaften und der Erfindung liegt die Aufgabe
zugrunde, einen Polarisationssensor zu schaffen, der derartige
Lichtquellen feststellt.
Gemäß der Erfindung ist ein Polarisationssensor vorgesehen, der
Mittel aufweist, um ankommende optische Strahlung zu empfangen,
wobei weiter Mittel vorgesehen sind, um zyklisch den
Polarisationszustand der ankommenden Strahlung zu modulieren und
außerdem Mittel, die das resultierende polarisationsmodulierte
Signal analysieren und eine Unterscheidung zwischen einen
interessierenden polarisierten Signal und zufällig polarisierten
Hintergrundstrahlungssignalen ermöglicht.
Ein Polarisationssensor gemäß der Erfindung benutzt die
charakteristischen Polarisationseigenschaften eines
interessierenden Signals durch Polarisationsmodulationen,
wodurch eine Unterscheidung zwischen einem interessierenden
Signal und einem weniger polarisierten Hintergrundsignal
getroffen werden kann.
Vorzugsweise bewirkt die Modulationseinrichtung eine Drehung der
Polarisationsebene der ankommenden Strahlung oder eine Drehung
jeder Polarisationsebene.
Gemäß dem speziell beschriebenen Ausführungsbeispiel umfaßt die
Modulationsvorrichtung eine bewegliche Halbwellenplatte und
Mittel, um die Halbwellenplatte zu drehen und diese Mittel
werden durch einen geeigneten Antriebsmotor bewegt.
Statt dessen kann die Modulationsvorrichtung eine Faradayzelle
aufweisen, die einem variablen Magnetfeld ausgesetzt wird, das
längs der Ausbreitungsachse der Zelle gerichtet ist. Infolge des
magnetooptischen Effektes der Faradayzelle wird die
Polarisationsebene der ankommenden Strahlung über einen Winkel
gedreht, der vom Wert des angelegten magnetischen Feldes
abhängig ist.
Der Analysator des Polarisationssensors gemäß der Erfindung
umfaßt zweckmäßigerweise Mittel, um die polarisationsmodulierte
Strahlung in zwei unterschiedlich polarisierte Komponenten
aufzuspalten, wobei ein photoelektrischer Detektor jede dieser
Komponenten feststellt und Mittel vorgesehen sind, um ein
Differenzsignal von den Ausgängen der photoelektrischen
Detektoren abzuleiten.
Vorzugsweise umfaßt der Analysator einen polarisierenden
Strahlteiler, der die polarisationsmodulierte Strahlung in zwei
eben polarisierte Komponenten aufteilt, deren
Polarisationsebenen senkrecht aufeinanderstehen. Gemäß diesem
Merkmal werden die Polarisationscharakteristiken eines
interessierenden Signals in intensitätsmodulierte Signale
umgewandelt.
Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand
der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer ersten
Ausführungsform eines Polarisationssensors gemäß
der Erfindung;
Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 3 zeigt ein sinusförmiges Differenzsignal, welches
bei Benutzung der Ausführungsbeispiele nach Fig. 1
und 2 erhalten wird.
Ein Polarisationssensor (10) gemäß Fig. 1 umfaßt die folgenden
Teile:
eine Kollimatoroptik (12);
ein Spektralfilter (13);
eine drehbare Halbwellenplatte (40), die mit einem Antriebsmotor (16) verbunden ist;
einen polarisierenden Strahlteiler (18);
zwei Linsen (20, 22) zur Fokussierung der Strahlung auf jeweils einem von zwei photoelektrischen Detektoren (24, 26);
ein Differentialverstärker (28), der mit dem Ausgang der photoelektrischen Detektoren (24, 26) verbunden ist und
einen Phasendetektor (30), der mit dem Differentialverstärker (28) verbunden ist.
eine Kollimatoroptik (12);
ein Spektralfilter (13);
eine drehbare Halbwellenplatte (40), die mit einem Antriebsmotor (16) verbunden ist;
einen polarisierenden Strahlteiler (18);
zwei Linsen (20, 22) zur Fokussierung der Strahlung auf jeweils einem von zwei photoelektrischen Detektoren (24, 26);
ein Differentialverstärker (28), der mit dem Ausgang der photoelektrischen Detektoren (24, 26) verbunden ist und
einen Phasendetektor (30), der mit dem Differentialverstärker (28) verbunden ist.
Der Phasendetektor (30) weist einen Lock-in-Verstärker auf, der
so beschaffen ist, daß er bei Signalen mit einer vorbestimmten
Frequenz einrastet. Der Phasendetektor (30) ist mit dem
Antriebsmotor (16) verbunden, um ein Frequenzbezugssignal zu
erhalten, das die Drehgeschwindigkeit der Halbwellenplatte
anzeigt. Tatsächlich ist die Modulationsfrequenz doppelt so groß
wie die Drehfrequenz der Halbwellenplatte, da die
Polarisationsebene des ankommenden Signals um 2 R gedreht wird,
wie dies unten beschrieben wird.
Die bei 32 ankommende Strahlung durchläuft das Spektralfilter
(13), welches das Signal-Hintergrund-Verhältnis verstärkt, wenn
das interessierende Signal ein schmaleres Spektrum als der
Hintergrund aufweist, und die Strahlung durchläuft dann die
kontinuierlich gedrehte Halbwellenplatte (14). Dies bewirkt, daß
die Polarisationsebene des eben polarisierten interessierenden
Signales kontinuierlich über 2 R gedreht wird, wobei R der
Winkel zwischen der optischen Achse der Halbwellenplatte (14)
und der Polarisationsebene des interessierenden Signales ist.
Auf diese Weise wird ein Signal erzeugt, das eine sich
kontinuierlich ändernde Polarisationsebene aufweist.
Die Polarisationscharakteristiken des Signals werden in eine
Intensitätsmodulation umgewandelt, indem das Signal durch den
Polarisationsstrahlteiler (18) geschickt wird. Nur solches
Licht, das eine Komponente besitzt, die parallel zur
Einfallsebene polarisiert ist, wird übertragen und vom Detektor
(24) festgestellt, während jene Komponente, die senkrecht zur
Einfallsebene polarisiert ist, reflektiert und am Detektor (26)
festgestellt wird. Licht, das in dazwischenliegenden
Orientierungen polarisiert ist, wird sowohl reflektiert als auch
übertragen, je nach dem Verhältnis des Flusses längs der
Komponentenachsen.
Der Differentialverstärker (28) bewirkt elektronisch, daß das
Ausgangssignal des Detektor (26) vom Ausgangssignal des
Detektors (24) abgezogen wird und dies führt zu einem
sinusförmigen Differenzsignal, welches in Fig. 3 dargestellt ist
und welches als Funktion der Drehung der Halbwellenplatte (14)
moduliert wird.
Zufällig polarisierte Hintergrundstrahlung wird einfach 50 : 50
durch den Strahlteiler (18) aufgespaltet, so daß bei einer
unpolarisierten Hintergrundstrahlung die Signale der Detektoren
(24, 26) sich gegenseitig auslöschen.
Der Nachteil der Halbwellenplatte bei dem Ausführungsbeispiel
nach Fig. 1 besteht in der Wellenlängenabhängigkeit. Nur eine
Wellenlänge wird mit ihrer Polarisationsebene um 2 R gedreht.
Andere Wellenlängen werden in elliptisch polarisiertes Licht
umgewandelt, wodurch die Modulation in der Detektorebene
verringert wird. Die Halbwellenplatte kann daher durch eine
Faradayzelle ersetzt werden, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist.
In Fig. 2 ist die Faradayzelle bei 32 dargestellt und sie
umfaßt eine Spule (34), die an eine variable Stromquelle (36)
angeschlossen ist. Der Phasendetektor (30) ist über eine
Schwellwertstufe (35), die das Hintergrundrauschen des
Verstärkers (28) unterdrückt, mit der Spannungsquelle (36)
verbunden, um eine Bezugsfrequenz zu erhalten, die der
Drehgeschwindigkeit der Polarisationsebene des ankommenden
Signals entspricht.
Basierend auf dem magnetooptischen Effekt dreht die Faradayzelle
die Polarisationsebene des Signales um Φ proportional zu dem
angelegten Magnetfeld B und dies wird durch die folgende
Gleichung ausgedrückt:
Φ=B·V·d
Dabei ist V die Verdetsche Konstante und d ist die geometrische
Dicke des Materials. Da die Verdetsche Konstante wellenabhängig
ist, werden unterschiedliche Wellenlängen um unterschiedliche
Winkel gedreht. Das Signal bleibt daher für alle Wellenlängen
eben polarisiert. Wenn man eine geeignete Wechselspannungsquelle
benutzt, dann kann das induzierte Magnetfeld kontinuierlich
geändert werden, wodurch eine kontinuierliche Drehung der
Polarisationsebene erhalten wird.
Die Wirkung der Faradayzelle hält von der Wellenlänge des eben
polarisierten Signals insofern ab, als der Drehwinkel der
Polarisationsebene etwa invers proportional zu dem Quadrat der
Wellenlänge ist, was bewirkt, daß die Frequenz des
Differenzsignals eine ähnliche Abhängigkeit erhält. Es ist für
den Fachmann klar, daß ein Phasendetektor benutzt werden könnte,
um selektiv die interessierende Modulationsfrequenz
festzustellen, wodurch das Vorhandensein der polarisierten
Strahlung einer speziellen Wellenlänge festgestellt werden
kann.
Eine Vorrichtung gemäß der Erfindung kann das Vorhandensein
elliptisch polarisierten Lichtes in einer zufällig polarisierten
Hintergrundstrahlung feststellen, aber die Wirkungen der
Modulation des Polarisationszustandes wären natürlich sehr viel
kleiner und daher schwerer festzustellen.
Claims (12)
1. Polarisationssensor,
dadurch gekennzeichnet, daß er Mittel aufweist,
um eine eintretende optische Strahlung zu empfangen, daß Mittel
vorgesehen sind, um zyklisch den Polarisationszustand der
eintretenden Strahlung zu modulieren und daß das resultierende
polarisations-modulierte Signal analysiert wird, um eine
Unterscheidung zwischen einem interessierenden polarisierten
Signal und zufällig polarisierten Hintergrundstrahlungen zu
treffen.
2. Polarisationssensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Modulationsvorrichtung die Polarisationsebene der ankommenden
Strahlung dreht.
3. Polarisationssensor nach den Ansprüchen 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsmittel
aus einer beweglichen Halbwellenplatte bestehen.
4. Polarisationssensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Drehung
der Halbwellenplatte vorgesehen sind.
5. Polarisationssensor nach den Ansprüchen 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Modulationseinrichtung eine Faradayzelle enthält, die einem
variablen Magnetfeld unterworfen wird, das längs der
Ausbreitungsachse der Zelle gerichtet ist.
6. Polarisationssensor nach einem der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Analysator Mittel
aufweist, um die polarisationsmodulierte Strahlung in zwei
unterschiedlich polarisierte Komponenten aufzuspalten, und daß
ein photoelektrischer Detektor jede dieser Komponenten empfängt
und daß Mittel vorgesehen sind, um ein Differenz-Signal von den
Ausgängen der photoelektrischen Detektoren abzuleiten.
7. Polarisationssensor nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß ein polarisierender
Strahlteiler die polarisationsmodulierte Strahlung in zwei eben
polarisierte Komponenten aufspaltet, deren Polarisationsebenen
senkrecht aufeinander stehen.
8. Polarisationssensor nach Anspruch 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß ein
Differentialverstärker vorgesehen ist, der das Differenzsignal
liefert.
9. Polarisationssensor nach einem der Ansprüche 6-8,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Phasendetektor so
geschaltet ist, daß er das Differenzsignal empfängt.
10. Polarisationssensor nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Phasendetektor
selektiv eine vorbestimmte Differenzsignalfrequenz feststellt.
11. Polarisationssensor nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß der Phasendetektor
an die zyklisch modulierende Vorrichtung angeschlossen ist.
12. Polarisationssensor nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein
Spektralfilter in den Strahlungspfad eingeschaltet ist.
Applications Claiming Priority (1)
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GB878714289A GB8714289D0 (en) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | A polorisation sensing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=10619145
Family Applications (1)
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DE19883820226 Withdrawn DE3820226A1 (de) | 1987-06-18 | 1988-06-14 | Polarisationssensor |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3820226A1 (de) |
FR (1) | FR2690529A1 (de) |
GB (1) | GB8714289D0 (de) |
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
EP1591762A1 (de) * | 2004-04-29 | 2005-11-02 | 20/10 Perfect Vision Optische Geräte GmbH | System und Verfahren zur Messung und Kontrolle der Energie eines ultrakurzen Pulses eines Laserstrahls |
DE102012203947A1 (de) * | 2012-03-14 | 2013-03-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System einer Waferinspektionsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben einer Waferinspektionsanlage |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4344855C2 (de) * | 1993-12-29 | 1997-07-10 | Abb Research Ltd | Verfahren zur polarimetrischen Auswertung eines polarisationsmodulierten Lichtsignals |
-
1987
- 1987-06-18 GB GB878714289A patent/GB8714289D0/en active Pending
-
1988
- 1988-06-14 DE DE19883820226 patent/DE3820226A1/de not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1591762A1 (de) * | 2004-04-29 | 2005-11-02 | 20/10 Perfect Vision Optische Geräte GmbH | System und Verfahren zur Messung und Kontrolle der Energie eines ultrakurzen Pulses eines Laserstrahls |
DE102012203947A1 (de) * | 2012-03-14 | 2013-03-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System einer Waferinspektionsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben einer Waferinspektionsanlage |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2690529A1 (fr) | 1993-10-29 |
GB8714289D0 (en) | 1992-11-04 |
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