DE3805161C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen einer Beschleunigung,
bei dem mittels einer bei Überschreiten eines Beschleunigungs-Grenzwertes
ein vorgegebenes logisches Signal erzeugenden
Sensoranordnung ein der zu messenden Beschleunigung entsprechendes
elektrisches Signal gebildet und als Meßwert ausgewertet
wird.
Die Erfindung betrifft ferner einen Beschleunigungssensor mit
einer Mehrzahl von Zungen, die auf einer gemeinsamen Platte
um eine im Bereich eines ihrer freien Enden befindliche Achse
verschwenkbar sind, wobei die Zungen massebehaftet und derart
angeordnet sind, daß sie bei vorgegebenen unterschiedlichen
Beschleunigungswerten in vorbestimmter Weise um die Achse
verschwenkt werden.
Ein Beschleunigungssensor der vorstehend genannten Art ist
aus der US-PS 21 90 866 bekannt.
Dieser bekannte Beschleunigungssensor ist als tragbares Beschleunigungs-Anzeigegerät
ausgebildet. In einem im wesentlichen
quaderförmigen Kasten sind insgesamt acht gleiche Zungen im
Bereich eines ihrer freien Enden um eine gemeinsame horizontale
Achse verschwenkbar angeordnet. Die Zungen können in Richtung
ihrer Breitseite aus dem Gehäuse herausgeschwenkt werden,
woraufhin ein Gehäusedeckel wieder teilweise geschlossen werden
kann, damit sich die Zungen gegen den teilweise eingeschobenen
Gehäusedeckel anlehnen können. Die Auflagepunkte der Zungen
sind dabei in der Horizontalen gestuft, so daß die Zungen in
diesem vorbereiteten Zustand um unterschiedliche Winkel zur
Horizontalen angestellt sind. In diesem vorbereiteten Zustand
wird das Beschleunigungs-Anzeigegerät in einem Kraftfahrzeug
angebracht. Durch zwei mit jeweils gestuften Auflagepunkten
versehene Deckelteile ist es dabei möglich, die Zungen entweder
in Fahrtrichtung oder entgegen der Fahrtrichtung des Kraftfahrzeuges
anzustellen.
Wird nun das Fahrzeug einer steigenden Beschleunigung oder
Verzögerung ausgesetzt, so kippen die Zungen nacheinander aus
ihrer Ruhelage in die jeweils entgegengesetzte Ruhelage auf
dem anderen Teil des Gehäusedeckels. Der zum Auslösen der
Kippbewegung erforderliche Beschleunigungs-Grenzwert bestimmt
sich dabei aus dem Anstellwinkel der Zungen, weil sich mit
dem Anstellwinkel der horizontale Abstand und der vertikale
Abstand des Schwerpunktes der Zungen von der Drehachse und
damit die einwirkenden Drehmomente aufgrund der Gewichtskraft
und der Trägheitskraft gegenläufig ändern.
Bei einem anderen, in der gleichen US-PS 21 90 866 geschilderten
Beschleunigungssensor werden in dem Gehäuse wiederum mehrere
Zungen verwendet, die jedoch in diesem Falle sämtlich senkrecht
nach oben stehen, jedoch unterschiedlich lang sind und daher
mit unterschiedlicher Masse behaftet sind. Da bei dieser
Variante des bekannten Beschleunigungssensors der horizontale
Abstand des Schwerpunktes der Zungen von der gemeinsamen
Schwenkachse konstant ist, ist zur Variation der jeweils
erforderlichen Kippbeschleunigung der vertikale Abstand des
Schwerpunktes von der gemeinsamen Schwenkachse durch die
unterschiedliche Länge der Zungen variiert. Im übrigen arbeitet
auch diese Variante des bekannten Beschleunigungssensors nach
dem vorstehend erläuterten physikalischen Prinzip.
Aus der DE-OS 20 37 704 ist ein weiteres Anzeigegerät für
Maximalbeschleunigung bekannt. Bei diesem Gerät sind in einem
Gehäuse aus unmagnetischem Material in einer Vorderwand und
einer Rückwand mehrere horizontale Bohrungen vorgesehen, in
denen ferromonetische Kugeln unterschiedlichen Gewichtes laufen
können. In der Mitte des Gehäuses zwischen Vorderwand und
Rückwand ist ein Magnet angeordnet, um Kugeln in den Bohrungen
im Ruhezustand festzuhalten.
Dieses bekannte Anzeigegerät soll an Bord eines Kraftfahrzeuges
untergebracht werden, um im Falle eines Zusammenstoßes die
von dem Fahrzeug erreichte Maximalbeschleunigung zu dokumentieren.
Die ferromonetischen Kugeln unterschiedlichen Gewichtes
lösen sich nämlich bei unterschiedlichen Beschleunigungswerten
nacheinander von dem Dauermagneten und können in geeigneten
Auffangeinrichtungen festgehalten werden, so daß, je nachdem
welches die größte abgelöste Kugel ist, das Erreichen einer
bestimmten Maximalbeschleunigung dokumentiert werden kann.
Die vorstehend erläuterten bekannten Beschleunigungssensoren
dienen damit ausschließlich Anzeigezwecken, und zwar im wesentlichen
für den Einmalgebrauch. Nach Durchführung einer Messung
müssen die Sensoren nämlich von Hand wieder in einen Ausgangszustand
versetzt werden, indem beim erstgenannten Sensor mit
verschwenkbaren Zungen die Zungen wieder in ihre beispielsweise
gestuften Ausgangslagen zurückgeschenkt werden, während im
zuletzt genannten Falle die ferromonetischen Kugeln wieder in
die horizontalen Bohrungen eingefüllt und in Kontakt mit den
Dauermagneten gebracht werden müssen.
Eine kontinuierliche Erfassung der Beschleunigung, insbesondere
das Über- und Unterschreiten von vorgegebenen Stufen der
Beschleunigung ist bei den bekannten Anordnungen nicht möglich,
und es bestehen daher auch keine Möglichkeiten, die Funktion
der bekannten Sensoren auf Plausibilität und damit Störfreiheit
zu überprüfen.
Demgegenüber interessieren im vorliegenden Zusammenhang Verfahren
und Sensoren, bei denen ein Überschreiten eines vorgegebenen
Beschleunigungs-Grenzwertes erfaßt werden soll, um
bei höchstmöglicher Sicherheit gegen Fehlauslösungen daraus
bestimmte Reaktionen abzuleiten.
Die Erfindung betrifft schließlich ein Verfahren zum Herstellen
eines Beschleunigungssensors der vorstehend genannten Art.
Ein typischer Anwendungsfall für ein solches Verfahren bzw.
einen solchen Sensor sind Insassen-Sicherungssysteme in Kraftfahrzeugen.
Derartige Systeme umfassen beispielsweise einen
Airbag, d. h. einen sich bei Aufprall des Fahrzeuges selbsttätig
aufblasenden Luftsack oder einen Gurtstraffer, d. h. eine
Einheit, die bei einem Aufprall des Kraftfahrzeugs die angelegten
Sicherheitsgurte der Insassen strammziehen.
Ein anderes Anwendungsbeispiel für ein derartiges Verfahren
bzw. einen derartigen Sensor ist die Überwachung von Maschinen
aller Art, wobei z. B. erkannt werden kann, ob eine Maschine
in eine unzulässige Resonanz gerät.
Bei all diesen Anwendungsbeispielen ist von zentraler Wichtigkeit,
daß Fehlauslösungen vermieden werden, weil bei den
genannten Anwendungsfällen Notsituationen erkannt werden, in
denen außergewöhnliche Maßnahmen ergriffen werden müssen, um
Schäden zu vermeiden. Man nimmt dabei unter Umständen das
Auftreten kleinerer Schäden oder zumindest unangenehmer Begleiterscheinungen
in Kauf, was jedoch voraussetzt, daß diese
Maßnahmen wirklich nur im Notfall ausgelöst werden sollten.
Aus diesem Grunde sind insbesondere bei der Anwendung in
Insassen-Sicherungssystemen von Kraftfahrzeugen zahlreiche
Sicherheitsvorkehrungen bekannt, indem z. B. nicht nur erkannt
wird, daß ein bestimmter Beschleunigungs-Grenzwert überschritten
wurde, sondern indem vielmehr zusätzlich erkannt wird, ob die
Überschreitung des Beschleunigungs-Grenzwertes eine vorgegebene
Mindestzeit lang anhält.
Für die genannten Anwendungsfälle werden heute im wesentlichen
analog arbeitende Verfahren bzw. Sensoren eingesetzt, bei
denen man sich üblicherweise eines Feder-Masse-Systems bedient
und diejenige Kraft mißt, die durch die Beschleunigung der
seismischen Masse hervorgerufen wird. Um das Überschreiten
eines Beschleunigungs-Grenzwertes zu erkennen, wird zunächst
ein der analog ansteigenden Kraft entsprechendes, ebenfalls
analoges elektrisches Signal gebildet und dieses dann über
einen Komparator geführt, dessen Schwellwert dem zu überwachenden
Beschleunigungs-Grenzwert entspricht.
Ein Beispiel hierfür sind Verfahren, die mit piezoresistiven
Sensoren arbeiten, d. h. Sensoren mit einem in einer Brückenschaltung
angeordneten druckempfindlichen Widerstand, auf den
die seismische Masse einwirkt. Die Brückenverstimmung kann
dann als analoges elektrisches Signal herangezogen und in der
beschriebenen Weise ausgewertet werden.
Allerdings sind auch binär arbeitende Beschleunigungssensoren
bekannt, bei denen eine seismische Masse durch die einwirkende
Beschleunigung ausgelenkt oder abgelöst wird, und zwar derart,
daß bei Überschreiten eines bestimmten Beschleunigungs-Grenzwertes
auch eine bestimmte Auslenkung der seismischen Masse
vorliegt und die Masse bei dieser vorgegebenen Auslenkung
ein elektrisches Signal erzeugt.
Ein Beispiel eines derartigen
Sensors ist in der EP-OS 2 51 048 beschrieben.
Die bekannten Beschleunigungssensoren werden in herkömmlicher
Weise aus diskreten Bauelementen zusammengefügt, wobei das
eigentliche Meßsystem, nämlich das Feder-Masse-System häufig
aus einer Mehrzahl von Komponenten zusammengesetzt wird.
Die vorstehend noch erläuterten Verfahren und Sensoren, soweit
sie Beschleunigungswerte kontinuierlich überwachen und beim
Erreichen bestimmter Grenzwerte Reaktionen auslösen, haben
die folgenden Nachteile:
Zum einen sind analoge Meß- und Auswerteverfahren relativ
schwierig in Ausführung und Handhabung sowie empfindlich
gegenüber Störungen und schließlich nicht kompatibel mit
modernen Datenverarbeitungsanlagen, wie sie auch an Bord von
Kraftfahrzeugen eingesetzt werden. Zum anderen haben die
bekannten analogen Meßverfahren und Sensoren den Nachteil,
daß das Erkennen eines vorbestimmten Beschleunigungs-Grenzwertes
infolge von Drifterscheinungen u. dgl. problematisch werden
kann, und es ist vor allem sehr schwierig, für die erforderliche
Sicherheit gegenüber Fehlanzeigen und damit Fehlauslösungen
zu sorgen. Schließlich ist ein Nachteil bekannter Sensoren,
daß sie infolge der verwendeten Bauelemente relativ aufwendig
in der Fertigung sind, vor allem aber auch relativ große
Abmessungen aufweisen, so daß der Einsatz derartiger Sensoren
bei einer Vielzahl von Anwendungsfällen entweder sehr erschwert
oder sogar ausgeschlossen wird.
Schließlich ist aus der US-Z-IEEE "Transactions on Electron
Devices, ED-26 Nr. 12, Dezember 1979, Seiten 1911 bis 1917"
noch ein Verfahren bekannt, um mittels einer Ätztechnik aus
einem Silizium-Substrat ein Meßelement eines Beschleunigungssensors
herzustellen, das aus einer einseitig eingespannten
Zunge besteht.
Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, ein
Meßverfahren, einen Beschleunigungssensor sowie ein Verfahren
zu dessen Herstellung dahingehend weiterzubilden, daß Messungen
bei geringem Aufwand möglich sind und Fehlauslösungen sicher
vermieden werden.
Gemäß dem eingangs genannten Meßverfahren wird diese Aufgabe
erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mehrere, bei unterschiedlichen
Beschleunigungs-Grenzwerten ansprechende Sensoren
verwendet werden, daß ein aus den vorgegebenen logischen
Signalen der Sensoren gebildetes erstes Bitmuster mit vorgegebenen,
physikalisch mögliche oder nicht-mögliche Zustände
wiedergebenden zweiten Bitmustern verglichen wird und daß die
logischen Signale nur dann als Meßwerte ausgewertet werden,
wenn das erste Bitmuster einen physikalisch möglichen Zustand
wiedergibt.
Gemäß dem eingangs genannten Beschleunigungssensor wird die
der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe dadurch gelöst, daß
die Zungen auf der gemeinsamen Platte als Feder-Masse-System
mit unterschiedlichen Feder-Masse-Eigenschaften einseitig
elastisch eingespannt sind, bei Überschreiten der vorgegebenen
Beschleunigungsgrenzwerte einen elastischen Kontakt betätigen
und mit einer digitalen Auswerteinheit verbunden sind.
Schließlich wird die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe
gemäß dem eingangs genannten Herstellungsverfahren dadurch
gelöst, daß die Zungen, die Substratplatte und eine Anschlagwand
mittels eines lithographisch-galvanotechnischen Abformverfahrens
(LIGA) hergestellt werden.
Einzelheiten des LIGA-Verfahrens sind z. B. in dem KfK-Bericht
Nr. 3995 "Herstellung von Mikrostrukturen. . . ." des Kernforschungs
zentrums Karlsruhe vom November 1985 beschrieben.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird auf diese
Weise vollkommen gelöst.
Die eingangs genannten Merkmale des Meßverfahrens gewährleisten
nämlich, daß eine extreme Sicherheit gegenüber Fehlauslösungen
erreicht wird, weil infolge der Mehrzahl verwendeter Sensoren
Bitmuster gebildet werden können, d. h. Gruppen von Ausgangssignalen
der Sensoren, die auf ihre Plausibilität hin überprüft
werden, so daß bei einer physikalisch nicht-möglichen Menge
von Ausgangssignalen der Sensoren eine Weiterverarbeitung
der Meßwerte und damit ein Auslösen, beispielsweise eines
Airbags, vermieden wird.
Die hinsichtlich des Beschleunigungssensors vorstehend angegebenen
Merkmale lösen die der Erfindung zugrundeliegende
Aufgabe deswegen, weil im Gegensatz zu den eingangs erläuterten
Beschleunigungs-Anzeigegeräten eine kontinuierliche Erfassung
und Überwachung eines variierenden Beschleunigungs- oder
Verzögerungswertes möglich ist. Durch die einseitige elastische
Einspannung der Zungen kehren diese immer wieder selbsttätig
in ihre Ausgangslage zurück, so daß ein manuelles Rücksetzen
entfällt. Durch die vorgesehenen elektrischen Kontakte und
die digitale Auswerteinheit können auf diese Weise beständig
Plausibilitätskontrollen durchgeführt und defekte Zungen erkannt
werden, oder, anders ausgedrückt, physikalisch nicht-mögliche
Auslösezustände der einzelnen Zungen, so daß Fehlauslösungen
sicher vermieden werden können.
Schließlich haben die vorstehend zum Herstellungsverfahren
genannten Merkmale den zur Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden
Aufgabe wesentlichen Vorteil, daß mit dem LIGA-
Verfahren eine Vielzahl von Formen aus nahezu frei wählbaren
Ausgangsmaterialien, d. h. Metallen, Kunststoffen u. dgl.
hergestellt werden kann. Dies hat den Vorteil, daß nahezu
beliebig geformte Feder-Masse-Systeme auf engstem Raum ausgebildet
werden können, so daß Beschleunigungssensoren hergestellt
werden können, deren Feder-Masse-System im Arbeitsbereich des
Sensors keine Eigenresonanz aufweisen, gleichwohl aber schnell
ansprechen und mit winzigen Abmessungen hergestellt werden
können. Die so erzeugten Beschleunigungssensoren lassen sich
damit auch unter schwierigsten Einbauverhältnissen integrieren
und ggf. unmittelbar mit Elektronikbausteinen zu Einheiten
von bisher nicht dagewesener Kleinheit kombinieren.
Bei einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen
Meßverfahrens wird ein physikalisch nicht-mögliches Bitmuster
dann erkannt, wenn ein bei einem ersten Beschleunigungs-Grenzwert
ansprechender erster Sensor das vorgegebene logische
Signal erzeugt, ein zweiter, bei einem zweiten, niedrigeren
Beschleunigungs-Grenzwert ansprechender Sensor hingegen nicht.
Diese Verfahrensvariante macht sich somit die Tatsache zunutze,
daß bei gestuft ansprechenden Beschleunigungssensoren naturgemäß
bei Ansprechen eines ersten Beschleunigungssensors mit höherem
Ansprechwert sämtliche anderen Sensoren mit niedrigeren Ansprechwerten
ebenfalls angesprochen haben müssen. Um die
Zuverlässigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens zu erhöhen,
können insbesondere in dem interessierenden Beschleunigungsbereich
mehrere, hinsichtlich ihres Ansprech-Grenzwertes der
Beschleunigung fein abgestufte Zungen vorgesehen werden, wobei
dann zum Auslösen des dem Sensor nachgeordneten Systems das
Ansprechen mehrerer benachbarter Zungen erkannt werden muß.
Zwar bringt diese Verfahrensvariante eine gewisse Toleranz
mit sich, erhöht jedoch die Sicherheit gegen Fehlauslösungen
beträchtlich.
Bei einer weiteren Weiterbildung des erfindungsgemäßen Meßverfahrens
ist der erste Sensor mit einem Insassen-Sicherungssystem
eines Kraftfahrzeugs verbunden und löst bei Überschreiten des
ersten Beschleunigungs-Grenzwertes einen Airbag oder einen
Gurtstraffer od. dgl. nur dann aus, wenn mindestens ein zweiter
Sensor mit niedrigerem Beschleunigungs-Grenzwert ebenfalls
anspricht.
Diese Merkmale haben die bereits weiter oben geschilderten
Vorteile, mit denen sich das erfindungsgemäße Meßverfahren
bei Insassen-Sicherungssystemen von Kraftfahrzeugen einsetzen
läßt.
Bei einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
sind die Zungen senkrecht zur Richtung der zu messenden
Beschleunigung eingespannt und von ihrer Einspannung aus
unterschiedlich lang ausgebildet. Alternativ oder zusätzlich
kann auch die Dicke der Zungen in Richtung der Beschleunigung
unterschiedlich bemessen werden.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Beschleunigungs-Grenzwerte
in einfacher Weise durch Einstellen der unterschiedlichen
Länge und/oder Dicke der Zungen vorgegeben werden können,
weil die einseitig eingespannten Zungen im übrigen ein identisches
Feder-Masse-Verhalten aufweisen. Auf diese Weise kann
man also durch gestufte Längen bzw. Dicken von Zungen in
einfacher Weise ebenso gestufte Beschleunigungs-Grenzwerte
einstellen. Eine Stufung der Dicken mit den Faktoren 1//
/2/ führt beispielsweise zu einer Stufung der Beschleunigungs-
Grenzwerte von 1/2/3/4/5.
Besonders bevorzugt ist bei diesem Ausführungsbeispiel, wenn
die Zungen in miteinander fluchtender Lage eingespannt sind,
in einer Betätigungsstellung an einer gemeinsamen Anschlagwand
anliegen und dort einen elektrischen Kontakt schließen.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß ein besonders kompakter
Aufbau bei einfacher Fertigung des Sensors möglich wird, weil
alle Zungen nebeneinander angeordnet sind und nur eine einzige
gemeinsame Anschlagwand für alle Zungen erforderlich ist. Die
Anschlagwand kann hierzu beispielsweise gesamthaft aus einem
elektrisch leitenden Material bestehen, so daß nur eine gemeinsame
Rückleitung zum Erkennen des Öffnens oder Schließens
des elektrischen Kontakts erforderlich ist.
Weiterhin ist eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Beschleunigungssensors bevorzugt, bei der die Zungen als
Wechselkontakte ausgebildet, in ihrer Ruhestellung in einem
ersten Stromkreis in Serie und in ihrer Ansprechstellung in
einem zweiten Stromkreis parallel geschaltet sind.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß mittels einer Ruhestromüberwachung
in der Ruhestellung die Serienschaltung des ersten
Stromkreises leicht überwacht werden kann, so daß sich feststellen
läßt, ob nach einer Auslösung der Zungen alle Zungen
wieder in ihre Ruhestellung zurückgekehrt sind. In der Ansprechstellung
werden die Zungen hingegen parallel mit Spannung
beaufschlagt, so daß selektiv erkannt werden kann, welche der
Zungen angesprochen haben und welche nicht.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Verfahrens kragen die Zungen in ihrer Ruhestellung
ohne Anlage ihres freien Endes frei aus und bewegen sich bei
Beschleunigung in diametral entgegengesetzten Richtungen auf
Anschlagwände zu, die beidseits der Zungen angeordnet sind.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß ein bidirektionaler
Beschleunigungssensor realisiert werden kann, der Beschleunigungs-Grenzwerte
in einander diametral gegenüberstehenden Richtungen
zu detektieren gestattet.
Weiterhin ist bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen
des erfindungsgemäßen Sensors von Vorteil, wenn die
Zungen einzeln mit elektrischen Anschlüssen versehen sind,
während die Anschlagwand einen gemeinsamen Anschluß für alle
Zungen aufweist.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß der Verschaltungsaufwand
minimiert wird.
Bei einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung
sind die Zungen in ihrer Ruhestellung oder ihrer Ansprechstellung
dicht in Nuten einer Anschlagwand angeordnet.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Zungen pneumatisch
gefedert werden können, weil sie durch ihre dichte Führung in
den Nuten während ihrer Ansprechbewegung ein bestimmtes Luftvolumen
verdrängen müssen. Durch geeignete Wahl der Geometrie,
insbesondere des verdrängten Luftvolumens und der Drosselwirkung
der dichten Führung der Zungen in den Nuten, kann man daher
nahezu beliebig gedämpfte Charakteristiken des Beschleunigungssensors
einstellen. Die vorstehend erläuterte Luftspaltdämpfung
ist vor allem dann von Vorteil, wenn nach einem weiter unten
beschriebenen Ausführungsbeispiel die Zungen, die Substratplatte
und die Anschlagwand gemeinsam als Mikro-Bauelemente mit extrem
kleinen Abmessungen ausgeführt werden, weil nämlich dann mit
einem gemeinsamen Herstellungsprozeß die Bauteile mit der
erforderlichen Präzision und auch in Abmessungen hergestellt
werden können, bei denen sich die Luftspaltdämpfungseffekte
deutlich bemerkbar machen und zur Erzielung gewünschter Kennlinien
ausgenutzt werden können.
Bevorzugt ist ferner, wenn die Zungen aus einem Werkstoff mit
hoher innerer Reibung, vorzugsweise Kunststoff, bestehen.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß die Eigenresonanz des
Beschleunigungssensors weitgehend bedämpft wird, so daß Fehlauslösungen
durch Resonanzüberhöhung ausgeschlossen werden
können.
Eine besonders gute Wirkung wird dabei dadurch erzielt, daß
die Zungen aus einem metallisierten Kunststoff bestehen.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß trotz Verwendung eines
elektrisch nicht-leitfähigen Werkstoffs eine Kontaktanordnung
mit beliebigen Kontaktflächen, Leiterbahnen u. dgl. hergestellt
werden kann.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen
Beschleunigungssensors weist die Auswerteinheit einen
Bitmuster-Speicher sowie einen digitalen Komparator auf.
Diese Maßnahmen haben den bereits weiter oben erläuterten
Vorteil, daß durch Vergleich von physikalisch möglichen und
physikalisch nicht-möglichen Bitmustern eine zusätzliche
Sicherheit gegen Fehlauslösungen erreicht wird.
Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung sieht vor, daß die
Auswerteeinheit einen Umcodierer aufweist.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß der sich aus der unterschiedlichen
Abstufung der Beschleunigungs-Grenzwerte ergebende
Code in einen üblichen Code, beispielsweise einen BCD-Code
oder einen anderen Code umgesetzt werden kann, wie er auf
üblichen Datenverarbeitungsanlagen verarbeitet werden kann.
Schließlich ist noch eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Beschleunigungssensors bevorzugt, bei dem die Zungen
nur einige µm, vorzugsweise 0,5 bis 10 µm dick und 200- bis
1000mal, vorzugsweise 500mal so lang wie dick sind.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß Beschleunigungssensoren
mit bislang unbekannt kleinen Abmessungen zur Verfügung gestellt
werden, die nicht nur nahezu beliebige Variationsmöglichkeiten
hinsichtlich ihres Einbauorts zulassen, sondern bei denen mit
geringsten seismischen Massen und damit ohne die bei groß
bauenden Beschleunigungssensoren bekannten Störeffekten, insbesondere
Resonanzfrequenzen im Arbeitsbereich des Beschleunigungssensors,
gearbeitet werden kann. Erzeugt man nämlich
Beschleunigungssensoren im Mikrobereich, so liegen die Resonanz
frequenzen der Zungen weit oberhalb des Frequenzbereichs, in
dem die zu messenden Beschleunigungen auftreten.
Schließlich ist nach dem weiter oben genannten Herstellungsverfahren
noch besonders bevorzugt, wenn die Zungen mit einem
Längen-Dicken-Verhältnis von 200 : 1 bis 1000 : 1, vorzugsweise
500 : 1, hergestellt werden.
Diese Dimensionierung, wie sie durch das erfindungsgemäß
verwendete LIGA-Verfahren möglich
wird, hat den Vorteil, daß infolge des extremen Dünne der
Zungen auf zusätzliche seismische Massen verzichtet werden
kann, wodurch die Ansprechgeschwindigkeit des Sensors erhöht
und die Neigung zu Eigenresonanzen vermindert wird.
Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der
beigefügten Zeichnung.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung
dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels
eines erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
mit unterschiedlicher Länge der Zungen;
Fig. 1a eine Ansicht eines einseitig eingespannten Biege
balkens;
Fig. 2 eine Variante zu Fig. 1 mit unterschiedlicher
Dicke der Zungen;
Fig. 3 eine Seitenansicht des Sensors gemäß Fig. 1;
Fig. 4 eine äußerst schematisierte Darstellung einer
erfindungsgemäß verwendeten elektronischen Auswerte
einheit;
Fig. 5 ein elektrisches Ersatzschaltbild des in den Fig. 1
bis 3 dargestellten Beschleunigungssensors;
Fig. 6 ein elektrisches Ersatzschaltbild des in Fig. 3
angedeuteten weiteren Ausführungsbeispiels eines
erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors;
Fig. 7 eine Wahrheitstabelle zur Erläuterung des in Fig. 5
gezeigten Ersatzschaltbildes;
Fig. 8 eine Wahrheitstabelle zur Erläuterung des in Fig. 6
dargestellten Ersatzschaltbildes;
Fig. 9 einen Ausschnitt, in vergrößertem Maßstab, aus
einer Darstellung ähnlich Fig. 2, jedoch für noch
ein anderes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Beschleunigungssensors;
Fig. 10 eine schematisierte Draufsicht auf ein weiteres
Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Beschleunigungssensors mit bidirektionalem Meßver
halten;
Fig. 11 eine Seitenansicht der in Fig. 9 verwendeten Zungen
anordnung;
Fig. 12 und 13 eine Variante zum bidirektionalen Beschleunigungssensor
der Fig. 10 und 11;
Fig. 14 eine weitere Variante zu den in den Fig. 10 bis 13
dargestellten bidirektionalen Beschleunigungs
sensoren.
In Fig. 1 ist mit 10 insgesamt ein Beschleunigungssensor
angedeutet. Auf einer gemeinsamen Substratplatte 11 befinden
sich eine senkrecht davon abstehende Anschlagwand 12 sowie
mehrere, in der Substratplatte 11 eingespannte und sich im
wesentlichen parallel zur Anschlagwand 12 nach oben erstreckende
Zungen 13, 14, 15, 16 und 17. Die Zungen 13 bis 17 sind derart
in der Substratplatte 11 eingespannt, daß sie mit ihren freien
Enden federelastisch an der Anschlagwand 12 anliegen.
Wie man aus Fig. 1 und auch aus Fig. 2 erkennen kann, weisen
die Zungen 13 bis 17, von ihrer Einspannung in der Substratplatte
11 aus gesehen, unterschiedliche Längen l₁ bis l₅ und
eine gleiche Dicke d auf. Die Breiten der Zungen 13 bis 17
sind hingegen gleich.
Von der Anschlagwand 12, die z. B. aus einem metallisch leitenden
Werkstoff hergestellt sein kann, führt eine gemeinsame Anschlußleitung
20 zu einem ersten Kontaktpunkt 21. An die Zungen 13
bis 17 sind weitere Anschlußleitungen 22 bis 26 angeschlossen,
die zu weiteren Kontaktpunkten 27 bis 31 führen.
Wie man aus der Seitenansicht der Fig. 3 erkennen kann, können
die Zungen 13 bis 17 hierzu beispielsweise an ihrem freien
Ende mit einem Kontaktknopf 32 versehen sein, der über eine
Leitung 33 in den oder auf den Zungen 13 bis 17 mit den An
schlußleitungen 22 bis 26 verbunden ist.
Die Anschlußleitungen 20, 22 bis 26 sowie die Leitung 33 können
beispielsweise als Metallisierungen auf einen Kunststoff oder
einer Keramik ausgebildet sein, aus denen die Zungen 13 bis
17 und/oder die Substratplatte 11 bestehen.
Allerdings ist bevorzugt, wenn die Zungen 13 bis 17 aus einem
Material mit hoher innerer Reibung, insbesondere einem Kunststoff,
bestehen, um die Neigung zu Eigenresonanzen zu ver
mindern.
Es wurde bereits eingangs erwähnt, daß die Zungen 13 bis 17
auf der Substratplatte 11 einseitig eingespannt sind, und
zwar beispielsweise in einem Abstand a von der Anschlagwand
12. Mit ihren freien Enden liegen sie in der Ansicht der Fig. 1
oben an der Anschlagwand 12 an. Wirkt nun eine Beschleunigung b
in Richtung senkrecht auf die Anschlagwand 12, wie dies in
Fig. 1 mit einem Pfeil angedeutet ist, so werden die Zungen
13 bis 17 dann aus ihrer Anlagestellung abgelöst, wenn der
Betrag der Beschleunigung b in Verbbindung mit der Masse und
der Federkonstanten der Zungen 13 bis 17 die Kraft überwindet,
mit der die Zungen 13 bis 17 elastisch an der Anschlagwand 12
anliegen. Ist dies der Fall, wird der elektrische Kontakt
zwischen dem ersten Kontaktpunkt 21 und einem oder mehreren
der weiteren Kontaktpunkte 27 bis 31 aufgetrennt.
Durch die vorgegebene Länge der Zungen 13 bis 17
kann z. B. eine Anordnung realisiert werden, bei der die erste
Zunge 13 bei einer Beschleunigung von 1 g abhebt, die zweite
Zunge 14 bei einer Beschleunigung von 2 g, die dritte Zunge 15
bei einer Beschleunigung von 3 g usw.
Fig. 1a zeigt in schematischer perspektivischer Ansicht einen
unten einseitig eingespannten Biegebalken, der unter dem Einfluß
einer senkrecht zur Einspannrichtung wirkenden Kraft in Richtung
des Pfeiles y ausgelenkt wird. Bekanntlich gilt für die
Auslenkung y:
wobei b die wirksame Beschleunigung ρ die Dichte des
Werkstoffs des Biegebalkens, E der Elastizitätsmodul, l die
Länge und d die Dicke des Biegebalkens sind. Möchte man mit
einem solchen einseitig eingespannten Biegebalken einen vorgegebenen
Schaltweg y=s durchmessen, so folgt für die Dimensionierung
der Länge l der Schaltzungen:
wobei die Dicke d konstant sein soll und i die Stufung der
Längen darstellt, die dann mit a i zu Beschleunigungsschwellwerten
für die i-te Schaltzunge führt.
Aus der vorstehenden Überlegung folgt ferner, daß man unterschiedliche
Beschleunigungsschwellwerte auch dadurch einstellen
kann, daß man die Dicke der Schaltzungen variiert. Dann gilt:
wobei in diesem Falle die Länge l als konstant angenommen
wurde und sich für unterschiedliche Beschleunigungsschwellwerte
a i gestufte Dicken d i der Zungen ergeben.
Fig. 2 zeigt hierzu ein praktisches Ausführungsbeispiel eines
Beschleunigungssensors 10 a, bei dem die Zungen 13 a bis 17 a in
der vorstehend genannten Weise dieselbe Länge l, jedoch unterschiedliche
Dicken d₁, d₂, d₃, d₄ und d₅ aufweisen.
Stuft man z. B. die Dicken der Zungen 13 a bis 17 a mit den
Faktoren 1// /2/ , so führt dies zu Beschleunigungs-
Schwellwerten mit der Stufung 1/2/3/4/5, jeweils bezogen auf
den Beschleunigungsschwellwert der Zunge mit der kleinsten
Dicke.
Es versteht sich, daß die Zungen 13 bis 17 bzw. 13 a bis 17 a
auch so gestaltet werden können, daß sie sowohl in der Länge
wie auch in der Dicke variieren, wenn dies im Einzelfall
zweckmäßig sein sollte.
Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer elektronischen Auswerteinheit
40 mit Eingängen 41 und Ausgängen 42. Die Eingänge 41 sind
mit den Kontaktpunkten 21 und 27 bis 31 verbunden. In der
Auswerteinheit 40 befindet sich ein digitaler Komparator 43,
der das an den Eingängen 41 anliegende Bitmuster mit in einem
Bitmuster-Speicher 44 abgelegten weiteren Bitmustern vergleicht,
wie dies weiter unten noch erläutert werden wird. Ein Umcodierer
48 dient zur Umsetzung des von den Eingängen 41 dargestellten
Eingangscodes in einen Ausgangscode üblicher Art, beispielsweise
einen BCD-Code, der an Signal-Ausgängen 45 abgenommen und an
weitere Auswerte- und Auslöseeinheiten weitergeführt werden
kann.
Mit 46 ist ein Warnungsausgang 46 und mit 47 ein Störungsausgang
bezeichnet, wobei der Warnungsausgang 46 dann ein Signal abgibt,
wenn ein Defekt von noch nicht kritischer Eigenart erkannt
wurde, während die Störungsanzeige 47 einen Systemfehler
anzeigt.
Zur Differenzierung der Situation, die zur Abgabe eines
Warnsignals bzw. eines Störsignals führen, sind verschiedene
Kriterien denkbar und möglich.
Als "physikalisch möglich" bzw. "physikalisch unmöglich" soll
im vorliegenden Zusammenhang eine Situation verstanden werden,
in der die Meßanordnung einen Meßwert generiert, der einer
physikalisch möglichen Beschleunigungssituation oder einer
nicht-möglichen Beschleunigungssituation entspricht. Im erstgenannten
Fall können z. B. die Zungen 13, 14 und 15 angesprochen
haben, die Zungen 16 und 17 hingegen nicht. In diesem Falle
liegt die gemessene Beschleunigung zwischen den Grenzwerten
der Zungen 15 und 16. Weil die Zunge 15 mit der Länge l₃
angesprochen hat, müssen zwangläufig auch die Zungen 13 und
14 mit den größeren Längen l₁ und l₂, d. h. geringerer
Federkonstante angesprochen haben. Zeigt die Meßanordnung
hingegen einen Beschleunigungswert an, bei dem die Zunge 15
anspricht, die Zungen 13 und 14 hingegen nicht, so entspricht
dies einer nicht-möglichen Beschleunigungssituation, weil es
keinen Beschleunigungswert gibt, der nur die Zunge 15, nicht
jedoch die mit geringerer Federkonstante ausgestatteten Zungen
13 und 14 zur Auslenkung brächte.
Um derartige Fälle zu differenzieren, kann man beispielsweise
dann, wenn die Meßanordnung Beschleunigungen in einem bestimmten
Beschleunigungsbereich erfassen soll, die in diesem Bereich
ansprechenden Zungen fein abstufen. Selbst wenn in diesem
Bereich dann eine der Zungen ausfällt, würde die nächstniedrigere
oder nächsthöhere Zunge noch ansprechen, und man könnte
bei Vorgabe einer entsprechenden Meßtoleranz, die den Ansprechbereich
zweier Zungen umfaßt, auch dann auslösen, wenn eine
einem höheren Beschleunigungs-Grenzwert entsprechende Zunge
angesprochen, die nächst niedrigere hingegen nicht angesprochen
hat. Weiterhin kann man durch gezielten Bitmustervergleich
verfolgen, wie sich der gemessene Beschleunigungswert über
der Zeit entwickelt hat. Zeigen in kurzen Zeitabständen hintereinander
aufgenommene Bitmuster, daß die gemessene Beschleunigung
monoton ansteigt, so können diskrete Ausfälle von Zungen
nach vorgegebenen Plausibilitätskriterien erkannt werden,
z. B. wenn nacheinander die Zungen 13, 14, 16 und 17 ansprechen,
weil in diesem Falle wahrscheinlich ist, daß die Zunge 15
defekt ist. In diesem Falle könnte man den Warnungsausgang 46
betätigen. Werden hingegen nacheinander die Zungen 13, 14 und
dann 17 ausgelöst, ohne daß die Zungen 15 und 16 angesprochen
haben, so ist wahrscheinlicher, daß die Zunge 17 defekt ist
als daß beide Zungen 15 und 16 fehlerhaft sind, und man würde
in diesem Falle die Störungsanzeige betätigen und eine der
Zunge 17 zugeordnete Auslösevorrichtung nicht ansprechen lassen.
Bei dem in Fig. 5 dargestellten elektrischen Ersatzschaltbild
ist die in Fig. 1 gezeigte Variante des Beschleunigungssensors
10 dargestellt. Man erkennt, daß die Zungen 13 bis 17 die
Funktion von Öffnerkontakten haben, die also im Ruhezustand
geschlossen sind. Wenn also über den ersten Kontaktpunkt 21
eine positive Spannung einer Spannungsquelle 50 zugeführt
wird, so liegt diese positive Spannung dann, wenn alle Zungen
13 bis 17 an der Anschlagwand 12 anliegen, auch an den weiteren
Kontaktpunkten 27 bis 31. Bei ansteigender Beschleunigung
wird die Spannung zunächst am ersten Kontaktpunkt 27 verschwinden
und dann, je nachdem, wie die Beschleunigung ansteigt,
auch an den weiteren Kontaktpunkten 28 und 29 usw.
In der rechten Hälfte von Fig. 3 ist gestrichelt eine Variante
zu dem Beschleunigungssensor 10 gemäß Fig. 1 dargestellt, bei
dem eine zweite Anschlagwand 12 b im Abstand von der ersten
Anschlagwand 12 angeordnet ist. Wirkt eine Beschleunigung b
auf den Beschleunigungssensor ein, die z. B. zum Ablösen der
ersten Zunge 13 führt, so wird bei dieser Variante die erste
Zunge 13 so weit ausgelenkt, daß sie an der gegenüberliegenden
weiteren Anschlagwand 12 zur Anlage kommt, wie dies in Fig. 3
mit einem Pfeil 35 angedeutet ist. In schaltungstechnischer
Hinsicht bedeutet dies also, daß jetzt Schließerkontakte durch
die Zungen 13 bis 17 dargestellt werden, weil erst bei Überschreiten
des vorgegebenen Beschleunigungs-Grenzwertes ein
elektrischer Kontakt geschlossen wird.
Sieht man beide Anschlagwände 12 und 12 b vor, die beide mit
entsprechender Kontaktgabe bestückt sind, so läßt sich eine
elektrische Verschaltung realisieren, wie sie andeutungsweise
in Fig. 6 dargestellt ist. Dort sind die Zungen dieses Ausführungbeispiels
mit 13 c bis 17 c bezeichnet.
Man erkennt aus Fig. 6, daß in einem ersten Stromkreis, der
mit Gleichstrom der Spannungswelle 50 c betrieben wird, die
Zungen 13 c bis 17 c wiederum parallel mit Spannung beaufschlagt
werden, so daß nunmehr an den Kontaktpunkten 27 bis 31 eine
positive Spannung dann anliegt, wenn die Beschleunigung den
jeweils zugeordneten Grenzwert überschritten hat.
In einem zweiten Stromkreis sind hingegen die Öffnerkontakte
in Serie geschaltet, so daß mit Hilfe einer Ruhestromüberwachung
erkannt werden kann, ob in der Ruhestellung alle Zungen 13 c
bis 17 c an der ersten Anschlagwand 12 anliegen.
Um die beiden Stromkreise voneinander zu entkoppeln, kann man
z. B. den einen Stromkreis mit Gleichspannungssignalen und den
anderen mit Hochfrequenzsignalen betreiben und die beiden
Stromkreise durch Kondensatoren bzw. Drosseln voneinander
entkoppeln, wie dies in Fig. 6 angedeutet ist.
Die in den Fig. 7 und 8 dargestellten Wahrheitstabellen geben
die vorstehend beschriebenen Verhältnisse nochmals in Tabellenform
wieder.
Betrachtet man zunächst Fig. 7, so ist in der linken Spalte
die Beschleunigung in g aufgetragen, und in den fünf rechten
Spalten sind die jeweils an den Kontaktpunkten 27 bis 31
anliegenden logischen Signale aufgetragen.
Bei einer Beschleunigung von 0 g liegen beim Ausführungsbeispiel
der Fig. 1 und 3 alle Zungen 13 bis 17 bzw. 13 a bis 17 a an
der Anschlagwand 12 bzw. 12 a an, so daß an allen Kontaktpunkten
27 bis 31 ein positives logisches Signal "1" anliegt.
Mit zunehmender Beschleunigung öffnen dann die Zungen 13 bis
17 nacheinander, und bei einer Beschleunigung von beispielsweise
3 g haben die Zungen 13 bis 15 abgehoben, während die Zungen
16 und 17 noch anliegen. Folglich liegt an den Kontaktpunkten
27 bis 29 ein logisches Nullsignal und an den Kontaktpunkten
30 und 31 noch ein positives logisches Signal an.
Die den Zeilen der Wahrheitstabelle gemäß Fig. 7 entsprechenden
Bitmuster können nun im digitalen Komparator 43 auf Plausibilität
hin untersucht werden. Würde z. B. an den Eingängen 41
der Auswerteinheit 40 ein Bitmuster von der Form
00010 oder 11011
anliegen, so wären dies physikalisch nicht-mögliche Zustände
des Beschleunigungssensors 10. In beiden Fällen hat nämlich
bereits eine einer größeren Federkonstante, d. h. einem höheren
Beschleunigungs-Grenzwert entsprechende Zunge abgehoben, während
eine einer kleineren Federkonstante, d. h. einem niedrigeren Beschleunigungs-
Grenzwert entsprechende Zunge noch anliegt, obwohl
diese bereits längst abgehoben haben müßte. In beiden Fällen muß
also eine Störung des Systems vorliegen, und es kann nun entweder
der Warnungsausgang 46 oder der Störungsausgang 47 angesteuert
werden, wie dies weiter vorne bereits erläutert wurde.
Die Wahrheitstabelle der Fig. 8, die das Ersatzschaltbild der
Fig. 6 betrifft, entspricht vollkommen der Wahrheitstabelle
der Fig. 7, jedoch mit der Abweichung, daß sämtliche logischen
Signale invertiert sind, weil beim Ausführungsbeispiel der
Fig. 6 mit Schließern und nicht mit Öffnern gearbeitet wird.
Auch ist eine weitere Spalte 51 vorgesehen, die anzeigt, daß
nur im Ruhezustand (b = 0 g) sämtliche Zungen 13 c bis 17 c
anliegen.
Fig. 9 zeigt eine Variante des Beschleunigungssensors 10 gemäß
Fig. 1, bei der nicht Zungen 13, 14 usw. auf einer ebenen
Oberfläche der Anschlagwand 12 aufliegen, sondern vielmehr
eine Anschlagwand 12 d mit Vorsprüngen 60, 61, 62 usw. versehen
ist, die zwischen sich Nuten 63, 64 einschließen. Zungen 13 d,
14 d liegen in diesen Nuten 63, 64 an der Anschlagwand 12 d an,
und zwar in einer Weise, daß die Zungen 13 d, 14 d dicht in den
Nuten 63, 64 geführt sind. Auf diese Weise entsteht eine
Luftspalt-Dämpfung, weil das von den Zungen 13 d, 14 d in den
Nuten 63, 64 eingeschlossene Luftvolumen nur durch die Drosseln
ein- bzw. ausströmen kann, die infolge der dichten Führung
der Zungen 13 d, 14 d in den Nuten 63, 64 verbleiben.
Die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele der Sensoren
10 gemäß Fig. 1, 2, 3 oder 9 werden bevorzugt mittels eines
lithographisch-galvanotechnischen Abformverfahrens hergestellt,
wie es unter der Bezeichnung LIGA bekannt ist. Das LIGA-Verfahren
gestattet, mittels Röntgen-Tiefenlithographie mikroskopische
Abmessungen mit Mikrometerbereich mit Toleranzen von
0,1 µm herzustellen, wobei die Materialien weitgehend frei
gewählt werden können. Es können auf diese Weise z. B. Kunststoffe
oder Metalle oder metallisierte Kunststoffe verarbeitet
werden. Insbesondere kann man mittels des LIGA-Verfahrens
Zungen 13 bis 17 herstellen, bei denen das Verhältnis der
Länge l zur Dicke d etwa 500 : 1 beträgt, wobei die Dicke d
ungefähr 2 µm beträgt. Aufgrund dieser Formgebung und Abmessungen
sind keine zusätzlichen seismischen Massen erforderlich,
und es werden extrem kleine Abmessungen erreicht, die eine
Kombination der mechanischen Sensorelemente mit mikroelektronischen
Schaltungen gestatten, die ähnliche Abmessungen be
sitzen.
Alternativ zum LIGA-Verfahren können die genannten Strukturen
aber auch in Silizium-Technologie hergestellt werden, bei der
in bekannter Weise aus einem Silizium-Substrat durch Ätzvorgänge
die gewünschten räumlichen Strukturen hergestellt werden können.
Auch die in Fig. 9 gezeigte Struktur ist mittels des LIGA-Verfahrens
oder in Silizium-Technologie herstellbar. Gerade
bei den Strukturen mit Luftspaltdämpfung sind die mit den
vorstehend beschriebenen Verfahren herstellbaren Mikrostrukturen
besonders vorteilhaft, weil bei Abmessungen im µm-Bereich
sich eine besonders wirkungsvolle Dämpfung infolge der nur
sehr geringen seismischen Massen ergibt.
In den Fig. 10 bis 14 sind schließlich noch Ausführungsbeispiele
von bidirektional wirkenden Beschleunigungssensoren dargestellt.
Es sind wiederum gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen,
lediglich unter Hinzufügen eines kleinen Buchstabens,
bezeichnet.
Bei der Variante der Fig. 10 und 11 ist ein gemeinsamer Körper
für die Zungen vorgesehen, von denen die dickste mit 17 e
bezeichnet ist. Der durchgehende Zungenkörper befindet sich
in der Symmetrieebene zwischen zwei klappsymmetrisch angeordneten
Anschlagwänden 12 e und 12 e′. Mit (+) und (-) ist an der
Zunge 17 e angedeutet, daß diese Zunge 17 e sich in diametral
entgegengesetzten Richtungen auf die Anschlagwände 12 e und
12 e′ zu bewegen kann, je nachdem, in welcher Richtung eine
Beschleunigung auf die Zunge 17 e einwirkt.
Die Anschlagwände 12 e und 12 e′ sind isoliert für jede der
Zungen ausgebildet und jeweils mit getrennten Anschlüssen 70
bzw. 70′ versehen. Der gemeinsame Körper der Zungen 17 e ist
hingegen lediglich mit einem einzigen gemeinsamen Anschluß 71
versehen.
Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel kann dies dadurch
erzeugt werden, daß sämtliche Strukturelemente aus Keramik
oder Kunststoff bestehen und an den einander zuweisenden Flächen
mit einer Metallisierung versehen sind. Es kann aber auch
z. B. der gemeinsame Körper der Zungen 17 e aus Metall ausgebildet
sein.
Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 12 und 13 ist wiederum eine
Luftspaltdämpfung für die Zungen 17 f vorgesehen, wie sie bereits
weiter oben zum Ausführungsbeispiel der Fig. 9 bis 11 erläutert
wurde.
Die Variante des bidirektionalen Beschleunigungssensors 10 f
gemäß Fig. 12 und 13 unterscheidet sich von derjenigen der
Fig. 10 und 11 dadurch, daß nunmehr die Anschlagwände 12 f und
12 f′ einstückig ausgebildet sind, während die Zungen 17 f als
voneinander elektrisch isolierte Elemente ausgebildet sind.
Demzufolge können die Anschlagwände 12 f und 12 f′ mit jeweils
gemeinsamen Anschlüssen 72 bzw. 73 versehen sein, während
jeder der Zungen 17 f ein eigener Anschluß 74 zugeordnet werden
muß.
Vergleicht man die erforderlichen Leitungsführungen bei den
Ausführungsbeispielen der Fig. 10/11 und 12/13, so zeigt sich,
daß beim Ausführungsbeispiel der Fig. 12/13, das elektrisch den
Ausführungsbeispielen der Fig. 1/3 und 8 entspricht, der Ver
schaltungsaufwand geringer ist.
Schließlich zeigt Fig. 14 noch eine weitere Variante, bei der
ein bidirektionaler Beschleunigungssensor mit drei Anschlagwänden
12 g, 12 g′ und 12 g″ vorgesehen ist. Ähnlich wie bei
dem in Fig. 3 gestrichelt eingezeichneten Ausführungsbeispiel
sind die Zungen 17 g bzw. 17 g′ als Wechselkontakte ausgebildet,
die in der Ruhestellung an der gemeinsamen Anschlagwand 12 g″
anliegen, während sie bei Auslenkung in einer der (+)- bzw.
(-)-Richtungen der Beschleunigung entweder an die in Fig. 14
obere Anschlagwand 12 g oder die untere Anschlagwand 12 g′
gelangen.
Selbstverständlich können bei den Ausführungsbeispielen der
Fig. 9 bis 14 statt unterschiedlich dicker Zungen auch unterschiedlich
lange oder unterschiedlich dicke und lange Zungen
verwendet werden.
Claims (18)
1. Verfahren zum Messen einer Beschleunigung (b), bei dem
mittels einer bei Überschreiten eines Beschleunigungs-
Grenzwertes ein vorgegebenes logisches Signal erzeugenden
Sensoranordnung ein der zu messenden Beschleunigung
(b) entsprechendes elektrisches Signal gebildet und
als Meßwert ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere, bei unterschiedlichen Beschleunigungs-
Grenzwerten ansprechende Sensoren verwendet werden,
daß ein aus den vorgegebenen logischen Signalen der
Sensoren gebildetes erstes Bitmuster mit vorgegebenen,
physikalisch mögliche oder nicht-mögliche Zustände
wiedergebenden zweiten Bitmuster verglichen wird und
daß die logischen Signale nur dann als Meßwerte ausgewertet
werden, wenn das erste Bitmuster einen physikalisch
möglichen Zustand wiedergibt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
ein physikalisch nicht-mögliches Bitmuster dann erkannt
wird, wenn ein bei einem ersten Beschleunigungs-Grenzwert
ansprechender erster Sensor das vorgegebene logische
Signal erzeugt, ein zweiter, bei einem zweiten, niedrigeren
Beschleunigungs-Grenzwert ansprechender Sensor
hingegen nicht.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der erste Sensor mit einem Insassen-Sicherungssystem
eines Kraftfahrzeuges verbunden ist und bei Überschreiten
des ersten Beschleunigungs-Grenzwertes einen Airbag
oder Gurtstraffer od. dgl. nur dann auslöst, wenn mindestens
ein zweiter Sensor mit niedrigerem Beschleunigungs-Grenzwert
ebenfalls anspricht.
4. Beschleunigungssensor mit einer Mehrzahl von Zungen
(13 bis 17), die auf einer gemeinsamen Platte (11) um
eine im Bereich eines ihrer freien Enden befindliche
Achse verschwenkbar sind, wobei die Zungen (13 bis 17)
massebehaftet und derart angeordnet sind, daß sie bei
vorgegebenen unterschiedlichen Beschleunigungswerten
in vorbestimmter Weise um die Achse verschwenkt werden,
dadurch gekennzeichnet, daß die Zungen (13 bis 17) auf
der gemeinsamen Platte (11) als Feder-Masse-System mit
unterschiedlichen Feder-Masse-Eigenschaften einseitig
elastisch eingespannt sind, bei Überschreiten der
vorgegebenen Beschleunigungs-Grenzwerte einen elastischen
Kontakt betätigen und mit einer digitalen Auswerteinheit
(40) verbunden sind.
5. Beschleunigungssensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zungen (13 bis 17) senkrecht zur
Richtung der zu messenden Beschleunigung (b) eingespannt
und von ihrer Einspannung aus unterschiedlich lang
(l) ausgebildet sind.
6. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 a bis 17 a) senkrecht zur Richtung der zu
messenden Beschleunigung (b) eingespannt und in Richtung
der Beschleunigung (b) unterschiedlich dick (d) ausgebildet
sind.
7. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 bis 17) in miteinander fluchtender Lage
eingespannt sind, in einer Betätigungsstellung an einer
gemeinsamen Anschlagwand (12, 12′) anliegen und dort
einen elektrischen Kontakt schließen.
8. Beschleunigungsssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 a bis 17 a) als Wechselkontakte ausgebildet,
in ihrer Ruhestellung in einem ersten Stromkreis in
Serie und in ihrer Ansprechstellung in einem zweiten
Stromkreis parallel geschaltet sind.
9. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (17 c; 17 d) in ihrer Ruhestellung ohne Anlage
ihres freien Endes frei auskragen und sich bei Beschleunigungen
in diametral entgegengesetzten Richtungen
(+, -) auf Anschlagwände (12 c, 12 c′; 12 d, 12 d′) zu
bewegen, die beidseits der Zungen (17 c, 17 d) angeordnet
sind.
10. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 bis 17; 13 a bis 17 a; 17 d) einzeln mit elektrischen
Anschlüssen (22 bis 26, 27 bis 31; 22 b, 23 b,
27 b, 28 b; 74) versehen sind, während die Anschlagwand
(12; 12 b; 12 d; 12 d′) einen gemeinsamen Anschluß (20,
21; 20 b, 21 b; 72, 73) für alle Zungen (13 bis 17; 13 a
bis 17 a; 17 d) aufweist.
11. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 b, 14 b) in ihrer Ruhestellung oder ihrer
Ansprechstellung dicht in Nuten (63, 64) einer Anschlagwand
(12 b) angeordnet sind.
12. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 bis 17) aus einem Werkstoff mit hoher, innerer
Reibung, vorzugsweise Kunststoff, bestehen.
13. Beschleunigungssensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zungen (13 bis 17) aus einem metallisierten
Kunststoff bestehen.
14. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die
Auswerteinheit (40) einen Bitmuster-Speicher (44) sowie
einen digitalen Komparator (43) aufweist.
15. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die
Auswerteinheit (40) einen Umcodierer (48) aufweist.
16. Beschleunigungssensor nach einem oder mehreren der
Ansprüche 4 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zungen (13 bis 17) einige µm, vorzugsweise 0,5 bis
10 µm dick und 200- bis 1000mal, vorzugsweise 500mal
so lang wie dick sind.
17. Verfahren zum Herstellen eines Beschleunigungssensors
nach einem oder mehreren der Ansprüche 4 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zungen (13 bis 17, 13 a bis
17 a, 17 c, 17 d, 17 e), die Substratplatte (11) und eine
Anschlagwand (12; 12 a, 12 b; 12 c, 12 c′; 12 d, 12 d′; 12 e,
12 e′, 12 e″) mittels eines lithographisch-galvanotechnischen
Abformverfahrens (LIGA) hergestellt werden.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zungen (13 bis 17, 13 a bis 17 a) mit einem Längen-
Dicken-Verhältnis (l/d) von 200 : 1 bis 1000 : 1, vorzugsweise
500 : 1, hergestellt werden.
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