DE3787869T2 - Spiegel mit polarisationsabhängigem Reflexionsvermögen. - Google Patents

Description

• Die Erfindung bezieht sich auf Spiegel und insbesondere auf Spiegel, die bei Ringlasergyroskopen Anwendung finden.
• Es gibt zwei prinzipielle Polarisationsmoden, die erlangt werden, wenn eben polarisiertes Licht von einer Oberfläche reflektiert wird.
• Diese Moden werden durch die Beziehung zwischen dem elektrischen Vektor (E-Vektor) des einfallenden Lichtes und der Einfallsebene definiert. Unter Benutzung der Konvention, die in "Optical Properties of Thin Solid Films" von O. S. Heavens, herausgegeben von Butterworth Scientific Publications (1955), gegeben wird, ist p-polarisiertes Licht dadurch definiert, daß es den E-Vektor in der Einfallsebene hat, und s-polarisiertes Licht ein solches ist, welches den E-Vektor normal zur Einfallsebene aufweist. Allgemein gilt, daß dann, wenn die einfallende Strahlung p- oder s-polarisiert ist, die Polarisationsebene des reflektierten Lichtes unverändert bleibt. Wenn die Oberfläche jedoch aus einem magneto-optisch aktiven Material besteht, trifft dies nicht mehr zu. Wenn außerdem das einfallende polarisierte Licht in irgendeiner anderen Ebene als in der Reflexionsebene polarisiert ist, dann wird die Ebene der Polarisation der reflektierten Strahlung allgemein durch die Reflexion gedreht.
• Ringlasergyroskope zeigen das Phänomen des "Mitziehens", wobei bei niedrigen Drehgeschwindigkeiten die beiden im Gegensinn rotierenden Strahlen auf die gleiche Frequenz verriegelt werden und keine Frequenzdifferenz beobachtet wird, bis eine bestimmte höhere Drehgeschwindigkeit vorhanden ist. Das "Mitziehen" ist eine Folge des Zusammenwirkens zwischen den beiden Laserstrahlen, und selbst über der bestimmten höheren Drehgeschwindigkeit zeigt sich das Zusammenwirken zwischen den beiden Strahlen, wodurch der Maßstabfaktor nicht-linear wird. Die Wirkung des "Mitziehens" kann praktisch dadurch beseitigt werden, daß ein Vorspannungsmechanismus angewendet wird. Das am meisten gebräuchliche Verfahren, um diesen Vorspannungsmechanismus zu liefern, ist gegenwärtig das Anlegen einer Zitterfrequenz am Ringlasergyroskop. Jedoch ist von den verschiedenen nicht-mechanischen Verfahren, welche vorgeschlagen wurden, die attraktivste Alternative des Anlegens der Zitterfrequenz der sogenannte "magnetische Spiegel". Dies wird in der US-A-3851973 vorgeschlagen. Hier ist die Benutzung der magneto-optischen Eigenschaften von reinem Eisen im Infrarot-Bereich des elektromagnetischen Spektrums offenbart. Alternative "magnetische Spiegel", die ferromagnetisches Granatmaterial benutzen, sind in dem UK-Patent 2006456 und der US-A-3927946 beschrieben.
• Magnetische Spiegel prägen eine differentielle Phasenverschiebung auf die im Gegensinn rotierenden Strahlen infolge des transversalen Kerr-Effektes aus, aber nur dann, wenn die Strahlen p-polarisiert sind. Daher ist es zum Zwecke der Ausnutzung dieses Phänomens wesentlich, daß das Ringlasergyroskop im p-polarisierten Zustand arbeitet. Dies ergibt keine Schwierigkeit bei einem modularen Laserhohlraum, wo die Polarisationsmode durch die Orientierung der Brewster-Winkelfenster an der Entladungsröhre definiert wird. Ein integraler Laserhohlraum arbeitet jedoch vorzugsweise im s-polarisierten Zustand, weil die gegenwärtig in Ringlasergyroskopen benutzten Spiegel einen größeren Reflexionskoeffizienten für s-polarisiertes Licht als für p-polarisiertes Licht haben.
• Für zwei dielektrische Materialien, die ein Interface bilden, ist der Reflexionskoeffizient R an der Zwischenfläche größer für s-Polarisation (Rs) als für p-Polarisation (Rp), wie in Fig. A dargestellt. Diese Differenz wird durch einen mehrlagigen dielektrischen Spiegel jener Bauart vergrößert, die in Ringlasergyroskopen benutzt wird und aus abwechselnden Schichten aus zwei dielektrischen Materialien mit unterschiedlichen Brechungsindizes besteht, so daß das Verhältnis Rp/Rs immer kleiner als 1 ist. Unter normalen Umständen besteht jedoch kein Unterschied zwischen den beiden Polarisationen. Wenn Absorptionsverluste berücksichtigt werden, dann bleibt das Verhältnis von Rp/Rs kleiner als 1, aber die Reflektivitäten für beide Polarisationen erreichen eine asymmetrische Grenze, wenn die Zahl der Schichten ansteigt. Dies ist als Koppelmann-Grenze bekannt und in Fig. B für einen Stapel dargestellt, der ein verlustbehaftetes Material mit hohem Brechungsindex aufweist (mit n = 2,3 und k = 5 · 10&supmin;&sup5;), zusammen mit einem nicht-verlustbehafteten Material mit geringem Brechungsindex mit n = 1,46 und einem Einfallswinkel von 45º.
• Die graphische Darstellung nach Fig. B veranschaulicht die Notwendigkeit zur Benutzung mehrerer Schichten bei der Herstellung eines Spiegels zur Reflexion im p-Polarisationszustand, wenn ein bestimmter Reflexionsgrad erforderlich ist.
• Die Erfindung bezieht sich auf die Benutzung eines mehrschichtigen dielektrischen (MLD)-Reflexionsstapels, der aus abwechselnden Schichten zweier dielektrischer Materialien besteht, die hohe bzw. niedrige Brechungsindizes und beide einen geringen Absorptionsgrad besitzen. Um einen Spiegel herzustellen, wird jede Schicht so ausgebildet, daß sie eine optische Dicke von einer Viertel Wellenlänge der Strahlung besitzt, die reflektiert werden soll, wobei der Einfallswinkel der Strahlung in Betracht gezogen wird.
• Wie bekannt, gewährleistet eine solche Anordnung, daß sowohl für p- als auch für s-polarisiertes Licht die von benachbarten Zwischenflächen der Schichten reflektierten Strahlen verstärkt werden, und wenn eine genügende Zahl von Schichten benutzt wird, kann ein hoher Reflexionsgrad erreicht werden. Ein Spiegel würde im typischen Fall dadurch hergestellt, daß abwechselnd Schichten aus Titandioxid (TiO&sub2;) und Siliziumdioxid (SiO&sub2;) auf einem Substrat aus Zerodur abgelagert werden. Die erste Lage und die äußerste Lage bestehen aus TiO&sub2;. Typische Werte für die Brechungsindizes sind 2,3 bis 2,4 für TiO&sub2; und 1,46 für SiO&sub2;. Die Verlustkoeffizienten, d. h. der k-Wert des komplexen Brechungsindex (n-ik) beträgt 5 bis 10 · 10&supmin;&sup6; + 1 bis 3 · 10&supmin;&sup7;.
• Gewöhnlich hat ein solcher Spiegel einen Halbwellenüberzug aus SiO&sub2; auf der Oberseite der äußersten TiO&sub2;-Schicht. Diese Schicht wirkt optisch nicht und wird gelegentlich als "fehlende Schicht" bezeichnet. Ihr Zweck besteht darin, einen Schutz für die darunterliegende TiO&sub2;-Schicht gegenüber Umgebungseinflüssen zu schaffen. Eine solche Schicht wird in der folgenden Diskussion nicht berücksichtigt; es ist jedoch klar, daß sie erforderlichenfalls bei allen betrachteten Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden kann.
• Ein vorgeschlagenes Verfahren zur Erzeugung eines Spiegels, der vorzugsweise im p-polarisierten Modus schwingt, benutzt einen Antireflexüberzug, der polarisationsempfindlich ist (I. M. Minkov, Optics and Spectroscopy (USA), Vol. 33, Nr. 2, S. 175-178). Der vorgeschlagene mehrschichtige dielektrische Spiegel umfaßt eine Wiederholung von einem Dreilagen- Antireflexüberzug, der für den p-polarisierten Modus besser reflektiert als für den s-polarisierten Modus. Die Wirkung der Absorption von Licht in den Schichten eines solchen Spiegels führt jedoch dazu, daß dieser Vorschlag unzweckmäßig ist.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Spiegel vorgesehen, der einen mehrlagigen dielektrischen reflektierenden Stapel aufweist, der abwechselnd Viertelwellenschichten für eine spezielle Lichtwellenlänge mit einem p-polarisierten Modus aufweist, so daß der umgekehrte magneto-optische Kerr-Effekt benutzt werden kann, um das Mitziehen der im Gegensinn umlaufenden Strahlen zu verhindern.
• Die Erfindung macht auch von der Tatsache Gebrauch, daß die Dielektrika etwas absorbierend ausgebildet sind und insbesondere jene mit einer hohen Dielektrizitätskonstante allgemein einen höheren Absorptionskoeffizienten besitzen als jene mit einer niedrigen Dielektrizitätskonstante. Bei optischen Frequenzen ist die Dielektrizitätskonstante des Materials etwa gleich dem Quadrat des Brechungsindex, unter der Annahme eines Einheitswertes der Permeabilität. Um eine höhere Reflexionsfähigkeit für p-polarisierte Strahlung zu erlangen, wird die MLD-Ausbildung so modifiziert, daß die Absorption vorzugsweise für die s-polarisierte Komponente auf ein solches Ausmaß erhöht wird, daß der Pegel der Reflexionsfähigkeit so vermindert wird, daß er kleiner ist als jener für die p-polarisierte Komponente.
• Zweckmäßigerweise liegt die wenigstens eine Schicht in der Nähe des Oberteils des mehrlagigen dielektrischen Reflexionsstapels.
• Statt dessen kann die wenigstens eine Schicht entfernt von der Oberseite des mehrlagigen dielektrischen Reflexionsstapels liegen.
• Der Spiegel kann ferner eine Metallschicht unter einer dielektrischen Steuerschicht und dem mehrlagigen dielektrischen Reflexionsstapels aufweisen, während die Metallschicht Gold oder Silber sein kann.
• Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausbildung kann ein verstimmter mehrlagiger dielektrischer Reflexionsstapel unter einer dielektrischen Steuerschicht und dem mehrlagigen dielektrischen Stapel vorgesehen werden.
• Vorzugsweise ist auch eine magneto-optische Schicht vorhanden.
• Zum besseren Verständnis der Erfindung wird nunmehr auf in der Zeichnung dargestellte Ausführungsbeispiele verwiesen. In der Zeichnung zeigen:
• Fig. 1 eine schematische Darstellung eines gemäß der Erfindung aufgebauten Spiegels,
• Fig. 2 eine graphische Darstellung der Spiegelverluste in Abhängigkeit von der Phasendicke sowohl für p- als auch für s-polarisiertes Licht für den Spiegel nach Fig. 1,
• Fig. 3 eine schematische Ansicht eines Spiegels gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
• Fig. 4 eine graphische Darstellung des Reflexionskoeffizienten in Abhängigkeit von der Dicke der Steuerschicht bei dem Spiegel nach Fig. 3,
• Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Spiegels gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
• Fig. 6 eine graphische Darstellung der Spiegelverluste in Abhängigkeit von der Wellenlänge für den Spiegel nach Fig. 5,
• Fig. 7 eine schematische Darstellung einer bekannten Spiegelanordnung,
• Fig. 8 eine graphische Darstellung der Spiegelverluste in Abhängigkeit von der Wellenlänge für den Spiegel gemäß Fig. 7.
• Der Spiegel gemäß Fig. 1 hat die Gestalt eines Fabry-Perot- Filters und weist ein Substrat 1 auf, auf dem eine Filmschicht 2 aus Gold oder Silber abgelagert ist. Dann ist auf der Filmschicht 2 eine Steuerschicht aus dielektrischem Material 3 ausgebildet. Auf der Steuerschicht 3 befindet sich ein mehrlagiger dielektrischer Stapel 4, der abwechselnd aus Viertelwellenschichten aus einem dielektrischen Filmmaterial besteht. Die unterste Schicht des mehrlagigen dielektrischen Stapels wirkt als Halbwellen-Abstandshalter, während der Rest der Schichten den Viertelwellen-Reflexionsstapel bildet, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist. Bei einem solchen Filter ist das Durchlaßband, d. h. die Übertragungsspitze für den p-polarisierten Modus anders als für den s-polarisierten Modus, wobei Verluste in den dielektrischen Filmschichten des Stapels 4 vernachlässigt werden (vergleiche Fig. 2). So kann durch Wahl der Dicke der Steuerschicht 3 die Übertragung von s-polarisiertem Licht relativ zu dem p-polarisierten Licht verbessert werden, wie beispielsweise in der vertikal strichlierten Linie in Fig. 2 angedeutet, wodurch die Reflexionsfähigkeit für p-polarisiertes Licht relativ zu dem s-polarisierten Licht erhöht wird. Das Filter gemäß Fig. 1 hat den Hauptnachteil, daß die Dicke der Steuerschicht 3 sehr genau gesteuert werden muß.
• Im Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist die Metallschicht 2 durch ein Mehrlagendielektrikum mit zwanzig Schichten ersetzt, welches verstimmt ist, so daß eine Phasenverschiebung etwa zwischen 0º und 180º erlangt wird. Die Benutzung eines verstimmten mehrlagigen Dielektrikums ergibt eine Polarisationsabhängigkeit für die Spiegelanordnung.
• Der Stapel nach Fig. 3 umfaßt ein Substrat 5, auf dem ein Mehrschichtendielektrikum 6 mit zwanzig Schichten ausgebildet ist, die verstimmt sind. Eine Schicht 7 variabler Dicke ist auf der Oberseite dieses Dielektrikums ausgebildet und umfaßt eine Schicht aus Granat. Ein Mehrschichtendielektrikum 8 mit vierzehn Schichten ist auf der Oberseite der variablen Schicht 7 ausgebildet, und diese Schicht ist abgestimmt. Der Reflexionsfaktor R in Abhängigkeit von der Dicke der Schicht 7 ist in Fig. 4 sowohl für den p-Polarisationsmodus als auch für den s-Polarisationsmodus dargestellt. Aus der Figur ist ersichtlich, daß für einen Einfallswinkel von 45º der Reflexionsfaktor für die p-Polarisation ein konstanter Wert ist, während die Reflexionsfähigkeit für die s-Polarisation abfällt, um ein Wellenband von etwa 0,65 nm (6,5 Å) zu erzeugen, wenn Rs < Rp. Bei dieser Anordnung besteht wiederum die praktische Schwierigkeit, das Durchlaßband für s-Polarisation abzustimmen. Wiederum zeigt Fig. 4 nicht irgendwelche Kompensationsmaßnahmen für Absorptionsverluste. Wenn man die Verluste betrachtet, dann wird die Breite des Durchlaßbandes bei der Anordnung nach Fig. 3 erhöht, was die Ausbildung zweckmäßiger erscheinen läßt.
• Es ist möglich, ein Mehrschichtendielektrikum mit Rp > Rs dadurch herzustellen, daß man entweder die erste oder die zweite Schicht des Stapels mit einer Dicke von einer halben Wellenlänge ausbildet. In Fig. 5 ist ein Stapel mit fünfunddreißig Lagen dargestellt, wo der Stapel durch ein Mehrschichtendielektrikum 9, eine Halbwellenschicht 10 aus Siliziumdioxid (SiO&sub2;) und eine Viertelwellenschicht 11 aus Granat auf einem Substrat 12 gebildet ist. Das Ansprechen dieses Stapels ist in Fig. 6 dargestellt, und hierdurch erhält man eine zweckmäßigere Lösung zur Erzeugung eines Laserhohlraums, der vorzugsweise in dem p-polarisierten Modus schwingt.
• Es wird angenommen, daß dieses Ausführungsbeispiel in der Weise wirkt, daß die Absorption des s-polarisierten Lichtes relativ zu jener des p-polarisierten Lichtes verbessert wird. Das p-polarisierte Licht und das s-polarisierte Licht bewirken den Aufbau unterschiedlicher Typen von stehenden Wellen in einem MLD-Reflexionsstapel. Die stehende Welle für s-polarisiertes Licht hat eine kontinuierliche, relativ einfache Sinus-Form, während die stehende Welle für p-polarisiertes Licht eine diskontinuierliche und komplexe Form besitzt. Bei diesem Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung wird dieser Unterschied dadurch ausgenutzt, daß die Absorption verbessert wird, wobei dies am meisten das s-polarisierte Licht beeinflußt, d. h. am Intensitätsmaximum der stehenden Welle des s-polarisierten Lichtes.
• In der Praxis hat sich gezeigt, daß eine maximierte Absorption des s-polarisierten Lichtes auch dazu beiträgt, die differentiale Phasenverschiebung zu maximieren, die den im Gegensinn rotierenden Laserstrahlen aufgeprägt wird, wenn eine geeignete magneto-optische Schicht, beispielsweise eine Schicht aus Granatmaterial, in den Spiegel eingebaut wird.
• Dadurch, daß weniger Schichten in dem MLD-Reflexionsstapel untergebracht werden, kann ein durchlässiger Spiegel erzeugt werden, wie in Fig. 7 dargestellt, bei welchem die MLD 13 siebenundzwanzig Schichten, abgelagert auf einem Substrat 14, umfaßt. Eine dielektrische Halbwellenschicht 15 mit hohem Brechungsindex liegt über dem MLD 13, dessen oberste Schicht eine Viertelwellenschicht mit niedrigem Brechungsindex ist.
• Die Ergebnisse sind in Fig. 8 dargestellt, wobei Rp > Rs in dem Wellenband 620 bis 645 nm liegt.
• Es hat sich gezeigt, daß die Benutzung einer Halbwellenschicht weiter unten im MLD-Stapel bei einem durchlässigen Spiegel eine größere Differenz zwischen den Reflexionen von p-polarisiertem Licht und s-polarisiertem Licht über einem relativ schmaleren Wellenband ergibt.
• Um die erwähnten Ergebnisse zu erhalten, kann ein herkömmliches Computerprogramm für MLD-Vorrichtungen benutzt werden. Die in den Fig. 2, 4, 6 und 8 dargestellten Ergebnisse gelten für einen Einfallswinkel von 45º, aber es sind natürlich auch andere Einfallswinkel möglich, wobei sich entsprechende Abwandlungen der graphischen Darstellungen ergeben, was zu Änderungen in der Absorption des benutzten dielektrischen Materials führt.
• Der nachstehende Anhang liefert eine analytische Annäherung für einen einfachen Fall, wobei die Wirkung des Einbaus einer Halbwellenschicht mit niedrigem Brechungsindex in der Nähe der Oberseite eines MLD-Reflexionsstapels gezeigt wird.
Anhang
• Unter Anwendung der Schreibweise von Liddell (181) ist die Matrix für ein Paar von Dielektrika, die keinen Verlust und eine optische Dicke von &lambda;/4 haben, gleich:
• wobei u = n/coseR für p-polarisiertes Licht
• und u = ncoseR für s-polarisiertes Licht
• (n = Brechungsindex).
• Die Indexbezeichnung L bedeutet "niedrig".
• Die Indexbezeichnung H bedeutet "hoch".
• Für q Paare der Matrix ergibt sich:
• Wenn die äußerste Schicht des Stapels eine X/4 Wellenplatte mit angenommen kleinen Verlusten ist, kann die Matrix wie folgt wiedergegeben werden:
• Dies geschieht, indem die Phasendicke
• wobei (n-ik) der komplexe Brechungsindex ist,
• d die metrische Dicke ist,
• R der Winkel des Strahls in der Schicht ist
• und &lambda; die freie Wellenlänge im Raum.
• Der obige Ausdruck kann geschrieben werden als:
• Wenn ndcosR/&lambda; = &pi;/2,
• dann wird &delta; = &pi;/2 - -i k&pi;/2n
• Wenn man k&pi;/2n = &Delta; setzt,
• dann ergibt sich
• cos&delta; = cos(&pi;/2 - i&Delta;
• = cos &pi;/2 cosh&Delta; - isin &pi;/2 sind
• wenn k klein ist.
• In gleicher Weise ergibt sich
• sin&delta; = sin(&pi;/2 - i&Delta;
• = sin &pi;/2 cosh&Delta; - icos &pi;/2 sinh$
• =1
• Die Matrix für den Stapel mit einer verlustbehafteten äußeren Schicht und einer darauffolgenden Halbwellenschicht kann geschrieben werden als:
• Die zweite Matrix der RHS repräsentiert die Matrix für eine Viertelwellenschicht, weil die Endmatrix einen Stapel mit einer Viertelwellenschicht von SiO&sub2; als oberste Schicht repräsentiert.
• Dies ergibt:
• Unter Benutzung der üblichen Bezeichnung ergibt sich das E-Feld vor dem MLD durch:
• wobei EA&spplus; und EA&supmin; die Komponenten des elektrischen Feldes parallel zu den Zwischenflächen in der positiven (einfallenden) und negativen (reflektierten) Richtung sind. Die Indexbezeichnungen A und S beziehen sich auf Luft bzw. ein Substrat.
• Wenn man M ersetzt, ergibt sich:
• So daß
• EA&spplus; + EA&supmin; = (-1)(q+1)uLUES+uH&supmin;¹ (1)
• und
• uAEA&spplus; - uAEA&supmin; = (-1)(q+1)uLUES&spplus;&Delta; (2)
• Durch Multiplikation von (1) mit uA und Subtraktion von (2) ergibt sich:
• 2uAEA&supmin; = (-1)(q+1) LUES > (A/H D)
• Eine Multiplikation von (1) mit uA und eine Addition zu (2) liefert:
• 2 AEA > = (-1)(q+1) LUES > (A/H + D)
• Der Reflexionskoeffizient ist:
• r = EA&supmin;/EA&spplus; 0 uA - &Delta;uH/uA + &Delta;uH
• Dabei muß berücksichtigt werden, daß UE in Wirklichkeit komplex ist und wie folgt lautet
• (= uH' - iuH'')
• so daß
• r = A D H + i D H/A + D Hi D H
• Die Reflexionsfähigkeit R = rr* und gegeben durch:
• R = (UA - &Delta;uH')² + (&Delta;uH'')²/(uA + &Delta;uH)² + (&Delta;uH'')²
• kann der Ausdruck uH'' vernachlässigt werden.
• Dies liefert:
• R = (uA - &Delta;uH)²/(uA + &Delta;uH)²
• oder in einer guten Annäherung, wenn A klein ist und die quadratischen Ausdrücke ignoriert werden
• R = 1 - 4&Delta; uH/uA
• so daß der Verlust L = 1 - R = 4&Delta; uH/uA
• uH/uH (für p-Polarisation) = nHcosRA/nAcosRH
• und für s-Polarisation nHcosRH/nAcosRA
• Da V A r > V H t, cos V A < cos V H
• Daher ist der Verlust für p-polarisiertes Licht geringer als für s-polarisiertes Licht.

Claims (8)

1. Spiegel, bestehend aus einem mehrschichtigen dielektrischen reflektiven Stapel (4, 8, 9, 13) mit Viertelwellenschichten für eine spezielle Wellenlänge des Lichtes bei einem vorbestimmten Einfallswinkel, wobei abwechselnde Schichten des Stapels voneinander unterschiedliche Brechungsindizes aufweisen und wenigstens eine Schicht eine optische Dicke mit einer halben Wellenlänge der unter einem vorbestimmten Einfallswinkel einfallenden Strahlung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbwellenschicht nicht an der Oberseite des Stapels liegt, wodurch die Reflexion des p-polarisierten Lichtes relativ zu jener des s-polarisierten Lichtes verbessert wird.

2. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Schicht in der Nähe der Oberseite des mehrlagigen dielektrischen reflektiven Stapels (4) angeordnet ist.

3. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Schicht entfernt von der Oberseite des mehrschichtigen dielektrischen reflektiven Stapels (4, 8, 9, 13) angeordnet ist.

4. Spiegel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Anordnung einer Metallschicht (2) unter einer dielektrischen Steuerschicht (3) und unter dem mehrschichtigen dielektrischen reflektiven Stapel (4).

5. Spiegel nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall Gold oder Silber ist.

6. Spiegel nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch die Anordnung eines verstimmten mehrlagigen dielektrischen reflektiven Stapels (6) unter einer dielektrischen Steuerschicht (7) und dem mehrlagigen dielektrischen Stapel (8).

7. Spiegel nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Anordnung einer magneto-optischen Schicht.

8. Ringlasergyroskop, bei welchem wenigstens einer der darin angeordneten Spiegel einen Laserhohlraum definiert und unter den Schutzumfang eines der vorhergehenden Ansprüche fällt.