DE3742920C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine lineare Lichtfühleran­ ordnung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Eine solche Lichtfühleranordnung ist aus der JP-A- 236354/1985 bekannt und wird unter Bezug auf die Fig. 1 bis 3 erläutert.

Die lineare Lichtfühleranordnung wird bei einem Röntgen­ strahlenradiographiesystem einer solchen Art verwendet, bei der beispielsweise eine Lichtplatte als anregbare Leucht­ stoffplatte (Phosphorplatte) verwendet wird. Die Anordnung liest Röntgenstrahlenbilddaten aus, die in der Bildplatte in der Form eines latenten Bildes gespeichert sind.

Solch eine lineare Lichtfühleranordnung ist gemäß Fig. 1 aufgebaut. Zwischen einer Anregungsstrahlenquelle 2 und eine lineare Lichtfühleranordnung 3, die gegenüberliegend angeordnet sind, wird eine Bildplatte 1 gebracht und in Y Richtung bewegt. Eine der Hauptflächen, die hier mit 1a bezeichnet ist und die Strahlungsenergie als latentes Bild speichert, wird mit den anregenden Strahlen, normalerweise einem Laserstrahl, bestrahlt, die von der Anregungsstrahlenquelle 2 ausgehen. Aufgrund der Bestrahlung geht von der anderen Hauptfläche 1b der Bildplatte 1 eine als beschleunigte Phosphoreszenz bezeichnete Lichtstrahlung aus und wird von der linearen Lichtfühleranordnung 3 erfaßt. Die anregenden Strahlen und die lineare Lichtfühleranordnung 3 wirken zusammen, um die Bildplatte in X Richtung abzutasten. Die relative Bewegung der Anregungsstrahlenquelle 2 und der linearen Lichtfühleranordnung 3 in bezug auf die Bildplatte 1 führt zu einer Abtastung in der Y Richtung. Der von der linearen Lichtfühleranordnung 3 erfaßte Lichtstrahl wird in ein elektrisches Signal umgesetzt und zu Bilddaten, die dem latenten Bild entsprechen, verarbeitet, die dann gespeichert und angezeigt oder auf einem Film aufgezeichnet werden können.

Die Größe der Bildplatte 1 beträgt in einem speziellen Fall 400 mm × 400 mm, und die von der linearen Lichtfühleranordnung 3 gesammelten optischen Bilddaten werden zu elektrischen Bilddaten von 2000 × 2000 Pixeln (Bildelementen) ver­ arbeitet. n der Pixel Px 1, Px 2, Px 3, . . . Pxn, die geradli­ nig gemäß Darstellung in Fig. 2 in X Richtung angeordnet sind, werden im wesentlichen gleichzeitig durch die Abta­ stung durch das Zusammenwirken der Anregungsstrahlenquelle 2 und der linearen Lichtfühleranordnung 3 ausgelesen. Die Kombination von Lichtquelle 2 und Fühleranordnung 3 und die Bildplatte 1 werden dann nacheinander n Mal in Y Richtung senkrecht zur X Richtung verschoben, damit alle Pixel abge­ tastet werden und die Bilddaten der 2000 × 2000 Pixel er­ halten werden, wobei n = 2000.

Die lineare Lichtfühleranordnung 3 ist so angeordnet, daß sie der Anregungsstrahlenquelle 2 gegenüberliegt. Die Lichtfühleranordnung 3 enthält Fühlerelement E 1, E 2, E 3, . . . En (n = 2000) von 2000 Kanälen, was 2000 Pixeln und somit der Gesamtanzahl von Pixeln einer linearen Abtastung in X Richtung der Bildplatte 1 entspricht. Dies ist deut­ lich in Fig. 3 dargestellt. Die Oberfläche 1a der Bildplatte 1 wird mit den linearen Anregungsstrahlen bestrahlt, und die Oberfläche 1b emittiert Lichtstrahlen. Die emittierten Strahlen werden von der linearen Lichtfühleranordnung 3 mit einer Auflösung von 2000 Pixeln erfaßt.

Zur relativen Bewegung von Lichtquelle 2 und Lichtfühleran­ ordnung 3 zur Bildplatte 1 sind die Lichtquelle 2 und die lineare Linienfühleranordnung 3 aneinander befestigt, und die Bildplatte 1 wird in Y Richtung bewegt.

Die in Fig. 3 gezeigte lineare Lichtfühleranordnung 3 umfaßt eine erste Elektrode 5, eine amorphe Siliziumschicht 6 und eine zweite Elektrode 7. Die erste Elektrode 5 umfaßt Elektrodenelemente 5(1), 5(2), 5(3), . . . 5(n) (n = 2000). Die Siliziumschicht 6 (oder eine andere Halbleiterschicht) mit der lichtelektrischen Umwandlungsfunktion bedeckt die Oberfläche der ersten Elektrode 5. Die zweite Elektrode 7 ist eine transparente leitende Schicht, die die Oberfläche des amorphen Siliziums 6 bedeckt.

Die Länge L der Lichtfühleranordnung 3 beträgt 400 mm ent­ sprechend der Länge der Bildplatte 1 in X Richtung. Die Größe jedes Elektrodenelements der ersten Elektrode 5 be­ stimmt sich aus diesen Größen, nämlich 400 mm und 2000 Pi­ xeln. Das Rastermaß P der Elektrodenelemente beträgt bei­ spielsweise 180 µm und die Länge S jedes Elektrodenelements 120 µm. Dies führt zu einem Abstand von 60 µm zwischen den Elektrodenelementen.

Die von der Oberfläche 1b der Bildplatte 1 emittierten Lichtstrahlen gelangen zur zweiten Elektrode 7 und werden von der armophen Siliziumschicht 6 in jeweilige elektrische Stromsignale umgesetzt. Der Signalstrom wird zum ersten Elektrodenabschnitt 5 gerade unter der Stelle der Lichtbe­ strahlung ausgegeben. Auf diese Weise werden die von der Oberfläche 1a der Bildplatte 1 emittierten Bildlichtstrah­ len erfaßt.

Bei der Anordnung der Elektrodenelemente mit einem Abstand von 60 µm kann der Strom, der zu einem bestimmten Element fließen soll, über die amorphe Siliziumschicht 6 zu Elemen­ ten fließen, die diesem bestimmten Element benachbart sind. Dies führt zu einem Übersprechen des erfaßten Signals.

Um dieses Problems Herr zu werden, wäre es ideal, die erste Elektrode 5, die amorphe Siliziumschicht 6 und die zweite Elektrode 7 zur Bildung gesonderter Fühlerelemente mit 2000 Kanälen gesondert auszubilden, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Beim gegenwärtigen Stand der fotolithographischen Technik ist es außerordentlich schwierig, die Muster der drei Schichten mit zufriedenstellend hoher Genauigkeit in der Größenordnung von 10 µm herzustellen. Insbesondere die Ausrichtung der Maske der einzelnen Schichten ist sehr schwierig. Daher ist die Herstellung einer linearen Licht­ fühleranordnung gemäß Fig. 4 nahezu unmöglich.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine lineare Lichtfühleran­ ordnung zu schaffen, für die die Muster mit der bei der gegenwärtigen Herstellungstechnologie möglichen Genauigkeit hergestellt werden können und die das Problem des Übersprechens wirksam beseitigt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine lineare Lichtfühleranordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Un­ teransprüchen gekennzeichnet.

Gemäß der angegebenen Lösung umfaßt die lineare Lichtfüh­ leranordnung einen ersten Elektrodenabschnitt mit Mehr­ kanalelektrodenelementen und einen dritten Elektrodenab­ schnitt mit einer Vielzahl von Elektrodenelementen, die je zwischen den benachbarten Elektrodenelementen des ersten Elektrodenabschnitts liegen und auf einem vorbestimmten Potential gehalten werden.

Die Elektrodenelemente des ersten Elektrodenabschnitts und jene des dritten Elektrodenabschnitts sind abwechselnd an­ geordnet. Die Elektrodenelemente des dritten Elektrodenab­ schnitts werden beispielsweise auf Massepotential gehalten. Diese Anordnung der Elektrodenelemente löst das Problem des Übersprechens unter Verhinderung eines Stromflusses zu den benachbarten Elementen.

Eine Anzahl von Elektrodenelementen des ersten Elektroden­ abschnitts ist durch den dritten Elektrodenabschnitt elek­ trisch isoliert, damit das Übersprechen zwischen den Kanä­ len wirkungsvoll verhindert wird und die Herstellung der linearen Lichtfühleranordnung leicht wird.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend an­ hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein Modell einer linearen Lichtfühleranordnung als Leseeinrichtung in Verbindung mit einer Bild­ platte,

Fig. 2 ein Diagramm der Bildplatte zur Erläuterung der Anordnung von Pixeln,

Fig. 3 eine Querschnittsansicht mit dem Aufbau einer herkömmlichen linearen Lichtfühleranordnung;

Fig. 4 eine Querschnittsansicht einer idealen linearen Lichtfühleranordnung,

Fig. 5 eine Querschnittsansicht einer ersten Ausfüh­ rungsform einer linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung,

Fig. 6A bis 6D im Querschnitt eine Folge von Herstellungs­ schritten zur Herstellung der linearen Lichtfüh­ leranordnung von Fig. 5,

Fig. 7 eine Querschnittsansicht einer zweiten Ausfüh­ rungsform der linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung,

Fig. 8 eine Querschnittsansicht einer dritten Ausfüh­ rungsform einer linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung, und

Fig. 9 eine Querschnittsansicht einer vierten Ausfüh­ rungsform einer linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung.

Im folgenden sei zunächst auf Fig. 5 Bezug genommen, die den Aufbau einer ersten Ausführungsform der erfindungsge­ mäße linearen Lichtfühleranordnung zeigt.

Auf einem Glassubstrat 14 ist ein erster Elektrodenab­ schnitt 15 ausgebildet. Der erste Elektrodenabschnitt 15 setzt sich aus Elektrodenelementen 15(1), 15(2), 15(3), . . . 15(n) (n = 2000) zusammen. Ein dritter Elektrodenabschnitt 18 ist ebenfalls auf dem Glassubstrat 14 ausgebildet. Der dritte Elektrodenabschnitt 18 setzt sich aus Elektrodenele­ menten 18(1), 18(2), 18(3), . . . 18(m) (m = n - 1 = 1999) zusammen, von denen jedes zwischen benachbarten Elektroden­ elementen des ersten Elektrodenabschnitts angeordnet ist. Die Elektrodenelemente des ersten und des dritten Elektro­ denabschnitts sind also abwechselnd angeordnet. Die Raster­ maße P 1 und P 2 und die Längen S 1 und S 2 der Elektrodenele­ mentanordnung der ersten und der dritten Elektrodenab­ schnitte betragen 140 µm und 60 µm bzw. 110 µm und 30 µm.

Eine amorphe Siliziumschicht 16 bedeckt den ersten und den dritten Elektrodenabschnitt 15 und 18. Die amorphe Sili­ ziumschicht wird von einer zweiten Elektrode 17 in Form einer transparenten leitenden Schicht aus Zinnoxide (SnO₂) bedeckt. Die Elektrodenelemente 15(1) bis 15(n) des ersten Elektrodenabschnitts 15 sind mit Anschlußklemmen 19(1), 19(2), 19(3), . . ., bzw. 19(n) (n = 2000) verbunden. Die Elektrodenelemente 18(1) bis 18(m) des dritten Elektroden­ abschnitts 18 sind mit Masse verbunden, so daß sie auf dem­ selben Potential gehalten werden.

Die Schritte des Herstellungsverfahrens für die so aufge­ baute Lichtfühleranordnung soll nachfolgend unter Bezug auf Fig. 6 beschrieben werden.

Schritt (a) (Fig. 6A): Eine leitende Schicht 15′ wird mit­ tels bekannter Dampfabscheidung oder chemischer Dampfab­ scheidung (CVD) auf einem Glassubstrat 14 ausgebildet.

Schritt (b) (Fig. 6B): Überflüssige Teile der in Schritt (a) ausgebildeten leitenden Schicht 15′ werden fotolithogra­ phisch entfernt. Bei diesem Schritt werden die diskreten Elektrodenelemente 15(1) bis 15(n) und 18(1) bis 18(m) des ersten und des dritten Elektrodenabschnitts, die abwech­ selnd angeordnet sind, ausgebildet. Die Rastermaße P 1 und P 2 und die Längen S 1 und S 2 sind dabei wie oben angegeben.

Schritt (c) (Fig. 6C): Eine amorphe Siliziumschicht 16 wird mittels bekannter Dampfabscheidung, durch Aufstäuben oder mittels des CVD-Verfahrens so ausgebildet, daß sie den er­ sten und den dritten Elektrodenabschnitt 15 und 18 bedeckt.

Schritt (d) (Fig. 6D): Der zweite Elektrodenabschnitt 17 wird ausgebildet und bedeckt die amorphe Siliziumschicht 16. Der zweite Elektrodenabschnitt 17 ist eine transparente leitende Schicht aus Zinnoxid SnO₂ oder Indiumzinnoxid (ITO). Der zweite Elektrodenabschnitt 17 kann unter Verwen­ dung der oben angegebenen bekannten Verfahren hergestellt werden.

Nachfolgend sollen Arbeitsweise und Verwendung der linearen Lichtfühleranordnung beschrieben werden.

Im Gebrauch der linearen Lichtfühleranordnung von Fig. 5 werden die Elektrodenelemente 18(1) bis 18(m) des dritten Elektrodenabschnitts 18 auf festem Potential, zum Beispiel Massepotential, gehalten. Unter dieser Voraussetzung wird die zweite Elektrode 17 mit dem von der Seite 1b der Bildplatte 1 emittierten Licht bestrahlt. Das empfangene Licht wird von der amorphen Siliziumschicht 16 in Strom umgesetzt. Dieser Strom wird zu dem Elektrodenelement des ersten Elektrodenabschnitts 15 ausgegeben, das der Bestrahlungsstelle entspricht. Das Vorhandensein der Elektrodenelemente 18(1) bis 18(m) auf festem Potential zwischen den Elektrodenelementen 15(1) bis 15(n) trennt die Elektroden­ elemente 15(1) bis 15(n) elektrisch voneinander. Das heißt, der zu beiden Seiten eines jeden Elektrodenelements in der amorphen Siliziumschicht 16 fließende Strom wird von den angrenzenden Elektrodenelementen 18(1) bis 18(m) nach Masse abgeleitet. Auf diese Weise wird das Übersprechen, das andernfalls zwischen den Elektrodenelementen 15(1) bis 15(n), das heißt in Kanälen, auftreten würde, erfolgreich verhindert.

Bei dem in Fig. 5 gezeigten Aufbau von erstem Elektrodenab­ schnitt 15, drittem Elektrodenabschnitt 18, amorpher Sili­ ziumschicht 16 und zweitem Elektrodenabschnitt 17, die auf dem Glassubstrat 14 ausgebildet sind, bedürfen nur der er­ ste und der dritte Elektrodenabschnitt 15 und 18 der ersten Schicht einer Teilbearbeitung, während die übrigen Ab­ schnitte keine solche Bearbeitung erfordern. Die Fotoli­ thographietechnik ist daher nur zur Ausbildung des ersten Elektrodenabschnitts 15 und des dritten Elektrodenab­ schnitts 18 erforderlich. Dies bedeutet, daß die Herstellung der Muster mit der höchstmöglichen Genauigkeit bei dieser Technik verwendet werden kann. Bei der Fotolithographietechnik kann eine Arbeitsgenauigkeit von 5 bis 10 µm mit zufriedenstellender Reproduzierbarkeit erreicht werden. Bei der Herstellung des ersten und des dritten Elektrodenabschnitts 15 und 18 können deren Größen auf derart kleine Zahlen verringert werden, falls nötig. Zur Erzielung des höchsten Meß- oder Erfassungswirkungsgrades ist es erwünscht, die Größe (Fläche) der einzelnen Elektrodenelemente des ersten Elektrodenabschnitts so groß wie möglich zu machen. Die Anforderung an den dritten Elektrodenabschnitt ist lediglich, ein festes Potential zu halten. Geringe Größe der Elektrodenelemente des dritten Elektrodenabschnitts führen daher zu keinen Problemen in der praktischen Verwendung.

Es sei angemerkt, daß die Zahlenwerte zu den Größen und der Anzahl von Pixeln lediglich Beispiele sind und erforderli­ chenfalls geändert werden können.

Eine zweite Ausführungsform der linearen Lichtfühleran­ ordnung gemäß der Erfindung soll nun unter Bezug auf Fig. 7 beschrieben werden. Wie dargestellt, sind eine Anzahl von Elektrodenelementen 25(1), 25(2), 25(3), . . . einer ersten Schicht, eine amorphe Siliziumschicht 26 als zweite Schicht und eine Elektrode 27 als dritte Schicht wie bei der her­ kömmlichen Anordnung nach Fig. 3 auf einem Glassubstrat 24 ausgebildet. Von den Elektrodenelementen sind die geradzahli­ gen Elektrodenelemente 25(2), 25(4), . . . auf Massepotential gehalten, während die ungeradzahligen Elektrodenelemente 25(1), 25(3), . . . mit Ausgangsanschlüssen verbunden sind und als erste Elektrode dienen.

Eine dritte Ausführungsform der linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung ist in Fig. 8 gezeigt. Wie dargestellt, sind eine Anzahl von Elektrodenelementen 25(1), 25(2), 25(3), 25(4), . . . einer ersten Schicht, eine amorphe Siliziumschicht 26 als zweite Schicht und ein Elektrodenabschnitt 27 als dritte Schicht in gleicher Weise wie in Fig. 7 auf einem Glassubstrat 24 ausgebildet. Von den Elektrodenelementen werden die Elektrodenelemente 25(3), 25(6), . . . auf Massepotential gehalten, während die übrigen Elektrodenelemente 25(1), 25(2), 25(4), 25(5), . . . so angeordnet sind, daß zwei benachbarte Elektrodenelemente paarweise zusammengeschlossen und mit einem Ausgangsanschluß verbunden sind. Diese Elektrodenelemente 25(1), 25(2), 25(4), 25(5), . . . werden als erster Elektrodenabschnitt verwendet.

Eine vierte Ausführungsform der linearen Lichtfühleranordnung gemäß der Erfindung ist in Fig. 9 gezeigt. Wie dargestellt, sind eine Anzahl von Elektrodenelementen 25(1), 25(2), 25(3), . . . einer ersten Schicht, eine amorphe Siliziumschicht 26 als eine zweite Schicht und ein Elektrodenabschnitt 27 als eine dritte Schicht wie bei der Anordnung von Fig. 7 auf einem Glassubstrat 24 angeordnet. Die Elektrodenelemente 25(1), 25(2), 25(3), . . . sind mit je­ weiligen Wahlschaltern 28(1), 28(2), 28(3), . . . verbunden. Diese Wahlschalter werden dazu verwendet, den Anschluß der Elektrodenelemente 25(1), 25(2), 25(3), . . . an Masse oder an einen Ausgangsanschluß zu wählen. Die ungeradzahligen Wahlschalter 28(1), 28(3), . . . stellen eine erste Schalter­ gruppe dar. Die geradzahligen Wahlschalter 28(2), 28(4), . . . stellen eine zweite Schaltergruppe dar. Bei dieser An­ ordnung wird das wirksame Signal von dem Signal von der zweiten Schaltergruppe abgeleitet, wenn die erste Schalter­ gruppe geerdet ist, oder von dem Signal von der ersten Schaltergruppe, wenn die zweite Schaltergruppe geerdet ist. Bei diesem Signal ist das Übersprechen von Elektrodenele­ menten 25(1), 25(2), 25(3), . . . ausgeschaltet, und darüber hinaus kann die Lichtbilderfassung mit höherer Auflösung durchgeführt werden.

Claims (9)

1. Lineare Lichtfühleranordnung, umfassend
eine erste Elektrodenanordnung (15) mit einer Viel­ zahl diskreter Elektrodenelemente (15(1) bis 15(n); 25(1), 25(3), 25(5); 25(1), 25(2), 25(4), 25(5); 25(1)-25(5)), die linear angeordnet sind,
eine Halbleiterschicht (16; 26) mit lichtelektrischer Umwandlungsfunktion, die auf eine der Hauptflächen der li­ near angeordneten ersten Elektrodenanordnung (15) gelegt ist und die linear angerodneten Elektrodenelemente bedeckt und
eine zweite Elektrodenanordnung (17; 27), die dieje­ nige Hauptfläche der zweiten Halbleiterschicht (16; 26) be­ deckt, die nicht mit der linear angeordneten ersten Elek­ trodenanordnung (15) in Kontakt steht,
gekennzeichnet durch eine dritte Elektrodenanordnung (18) mit einer Viel­ zahl von Elektrodenelementen (18(1) bis 18(m); 25(2), 25(4); 25(3); 25(1) bis 25(5)), von denen jedes zwischen den benachbarten Elektrodenelementen (15(1) bis 15(n); 25(1), 25(3), 25(5); 25(1), 25(2), 25(4), 25(5); 25(1) bis 25(5)) der ersten Elektrodenanordnung (15) angeordnet ist und die auf einem vorbestimmten Potential gehalten werden.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektrodenelemente (15(1) bis 15(n); 25(1) bis 25(5)) der ersten und der dritten Elektro­ denanordnung (15, 18; 25) abwechselnd angeordnet sind.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Fläche der einzelnen Elektroden­ elemente (18(1) bis 18(m)) der dritten Elektrodenanordnung (18) schmaler als die der einzelnen Elektrodenelemente (15(1) bis 15(n)) der ersten Elektrodenanordnung (15) ist.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das vorbestimmte Potential, auf dem die dritte Elektrodenanordnung (18) gehalten wird, das Erd­ potential ist.

5. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die zweite Elektrodenanordnung eine transparente leitende Schicht (17; 27) umfaßt, die eine der Hauptflächen der Halbleiterschicht (16; 26) im wesentlichen ganz bedeckt.

6. Lineare Lichtfühleranordnung mit einer ersten Elektrodenanordnung (15) mit einer Vielzahl von linear angeordneten Elektrodenelementen (15(1) bis 15(n); 25(1), 25(3), 25(5); 25(1), 25(2), 25(4), 25(5); 25(1) bis 25(5)), einer linearen zweiten Elektrodenanordnung (17; 27) und
einer linearen Halbleiterschicht (16; 26) mit lichtelektri­ scher Umwandlungsfunktion, die zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenanordnung (15, 16; 26) angeordnet ist, gekennzeichnet durch
eine dritte Elektrodenanordnung (18) mit einer Viel­ zahl von Elektrodenelementen (18(1) bis 18(n); 25(2), 25(4); 25(3); 25(1) bis 25(5)), von denen jedes zwischen benachbarten Elektrodenelementen der ersten Elektrodenan­ ordnung (15) angeordnet ist und auf einem vorbestimmten Po­ tential gehalten wird.

7. Lineare Lichfühleranordnung mit einer ersten Elektrodenanordnung (15) mit einer Vielzahl von linear angeordneten Elektrodenelementen (25(1), 25(3), 25(5); 25(1), 25(2), 25(4), 25(5); 25(1) bis 25(5)), einer zweiten linearen Elektrodenanordnung und einer linearen Halbleiter­ schicht (16; 26) mit lichtelektrischer Umwandlungsfunktion, die zwischen der ersten und zweiten Elektrodenanordnung (15, 16; 26) eingeschlossen ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jedes N-te Elektrodenelement der er­ sten Elektrodenanordnung (15) auf einem vorbestimmten Po­ tential gehalten wird, wobei N eine ganze Zahl ist.

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das vorbestimmte Potential das Erd­ potential ist.

9. Anordnung nch Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die zweite Elektrodenanordnung eine transparente leitende Schicht (17; 27) umfaßt, die eine der Hauptflächen der Halbleiterschicht (16; 26) im wesentlichen ganz bedeckt.