DE3726937C2 - - Google Patents

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DE3726937C2
DE3726937C2 DE19873726937 DE3726937A DE3726937C2 DE 3726937 C2 DE3726937 C2 DE 3726937C2 DE 19873726937 DE19873726937 DE 19873726937 DE 3726937 A DE3726937 A DE 3726937A DE 3726937 C2 DE3726937 C2 DE 3726937C2
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DE19873726937
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German (de)
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DE3726937A1 (de
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Franz 3436 Hessisch Lichtenau De Engelmohr
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ThyssenKrupp Technologies AG
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Thyssen Industrie AG
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/021—Interferometers using holographic techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G—PHYSICS
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DE19873726937 1987-08-13 1987-08-13 Verfahren zum zerstoerungsfreien und flaechendeckenden erkennen von fertigungsunregelmaessigkeiten und eigenspannungsveraenderungen Granted DE3726937A1 (de)

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