DE3706269A1 - Schaltung zur steuerung eines elektronenstrahls in elektronenstrahl-verdampfern - Google Patents

Schaltung zur steuerung eines elektronenstrahls in elektronenstrahl-verdampfern

Info

Publication number
DE3706269A1
DE3706269A1 DE19873706269 DE3706269A DE3706269A1 DE 3706269 A1 DE3706269 A1 DE 3706269A1 DE 19873706269 DE19873706269 DE 19873706269 DE 3706269 A DE3706269 A DE 3706269A DE 3706269 A1 DE3706269 A1 DE 3706269A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron beam
deflection
input
output
amplifier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19873706269
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Vassil Bonev Dipl In Pentschev
Venzislav Ivanov Dipl I Valkov
Venzislav Gavrilov Dimitrov
Vladimir Stefanov Dipl Eterski
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VTU
Original Assignee
VTU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VTU filed Critical VTU
Publication of DE3706269A1 publication Critical patent/DE3706269A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
DE19873706269 1986-03-06 1987-02-26 Schaltung zur steuerung eines elektronenstrahls in elektronenstrahl-verdampfern Withdrawn DE3706269A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BG8673938A BG45024A1 (US07166745-20070123-C00083.png) 1986-03-06 1986-03-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3706269A1 true DE3706269A1 (de) 1987-09-17

Family

ID=3916884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19873706269 Withdrawn DE3706269A1 (de) 1986-03-06 1987-02-26 Schaltung zur steuerung eines elektronenstrahls in elektronenstrahl-verdampfern

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4980615A (US07166745-20070123-C00083.png)
JP (1) JPS62219444A (US07166745-20070123-C00083.png)
BG (1) BG45024A1 (US07166745-20070123-C00083.png)
DD (1) DD274347A7 (US07166745-20070123-C00083.png)
DE (1) DE3706269A1 (US07166745-20070123-C00083.png)
FR (1) FR2595505B3 (US07166745-20070123-C00083.png)
HU (1) HUT43910A (US07166745-20070123-C00083.png)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2611983A1 (fr) * 1987-04-29 1988-09-09 Vtu Angel Kantchev Circuit d'alimentation electrique pour un evaporateur a faisceau d'electrons
US6707429B1 (en) * 2002-12-09 2004-03-16 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Self-contained sub-millimeter wave rectifying antenna integrated circuit
CN115464246B (zh) * 2022-09-26 2023-12-22 河北众航高能科技有限公司 一种电子束聚焦磁透镜驱动电路及其电子束焊接设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1514981B1 (de) * 1964-10-05 1970-07-09 United Aircraft Corp Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstoffen mittels eines Elektronenstrahls
DE1639010A1 (de) * 1967-09-04 1971-01-21 Elektromat Veb Verfahren zur Regelung eines magnetisch fokussierten und ablenkbaren Ladungstraegerstrahles,insbesondere groesserer Leistung
SU1050011A1 (ru) * 1982-07-16 1983-10-23 Институт Проблем Литья Усср Устройство стабилизации фокусировки электронного луча в электронно-лучевой установке

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3714505A (en) * 1970-12-01 1973-01-30 Bell Telephone Labor Inc Dynamic focus correction apparatus for a rectilinearly raster scanned electron beam
US3952228A (en) * 1974-11-18 1976-04-20 Ion Tech, Inc. Electron-bombardment ion source including alternating potential means for cyclically varying the focussing of ion beamlets
US4039899A (en) * 1976-05-03 1977-08-02 Tektronix, Inc. Geometry and focus correction circuit

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1514981B1 (de) * 1964-10-05 1970-07-09 United Aircraft Corp Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstoffen mittels eines Elektronenstrahls
DE1639010A1 (de) * 1967-09-04 1971-01-21 Elektromat Veb Verfahren zur Regelung eines magnetisch fokussierten und ablenkbaren Ladungstraegerstrahles,insbesondere groesserer Leistung
SU1050011A1 (ru) * 1982-07-16 1983-10-23 Институт Проблем Литья Усср Устройство стабилизации фокусировки электронного луча в электронно-лучевой установке

Also Published As

Publication number Publication date
FR2595505B3 (fr) 1988-08-26
DD274347A7 (de) 1989-12-20
US4980615A (en) 1990-12-25
BG45024A1 (US07166745-20070123-C00083.png) 1989-03-15
HUT43910A (en) 1987-12-28
JPS62219444A (ja) 1987-09-26
FR2595505A1 (fr) 1987-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0013573B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Positionsregelung eines Ladungsträgerstrahls in einer Ladungsträgerstrahl-Werkzeugmaschine
DE1690575A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur automatischen Zentrierung eines Elektronenstrahls
DE1190977B (de) Mit einem faseroptischen Lichtleiter arbeitende Abtastvorrichtung
DE3219573C2 (de) Elektronenstrahlunterbrecher
DE2622835C2 (de) Schaltungsanordnung zur Korrektur von Rasterverzerrungen
CH364046A (de) Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät
CH651072A5 (de) Selbstverzehrende katode fuer einen lichtbogenmetallverdampfer.
DE3047340C2 (US07166745-20070123-C00083.png)
DE2634341A1 (de) Verfahren und einrichtung zum ausrichten eines ladungstraegerstrahles eines technischen ladungstraegerstrahlgeraetes
DE3711606C2 (de) Optisches Abtastsystem
DE3706269A1 (de) Schaltung zur steuerung eines elektronenstrahls in elektronenstrahl-verdampfern
DE2521579A1 (de) Verfahren und anordnung zur automatischen korrektur von aberrationen eines ladungstraegerstrahls
WO2001022469A1 (de) Elektronenoptische linsenanordnung mit weit verschiebbar achse
DE911853C (de) Schaltungsanordnung zum Phasenvergleich zweier Impulsfolgen
EP0222219B1 (de) Einrichtung, bei der ein Elektronenstrahl auf ein Medium trifft
DE1514981B1 (de) Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstoffen mittels eines Elektronenstrahls
DE2249365C3 (de) Röntgengerät mit einer der Glühkathode der Röntgenröhre vorgelagerten Rechteckblende, an der eine einstellbare Spannung liegt
DE3543598C2 (US07166745-20070123-C00083.png)
DE1077707B (de) Strahleinstellsystem fuer Elektronenstrahlspeicherroehren
DE3346208C2 (de) Elektrostatisches Linsensystem für Kathodenstrahlröhren
DE2458917C3 (de) Regelanordnung für die Fokussierung eines Leselichtbündels
DE3513546A1 (de) Verfahren und anordnung zum ablenken eines elektronenstrahls
DE3215143C2 (US07166745-20070123-C00083.png)
DE2028126A1 (de) Fokussier und Ablenksystem fur einen Strahl von geladenen Teilchen
DE1690575C3 (de) Verfahren und Einrichtung zur automatischen, lagemäßigen Zentrierung eines Elektronenstrahls

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8105 Search report available
8110 Request for examination paragraph 44
8136 Disposal/non-payment of the fee for publication/grant