DE3706255C2 - Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt - Google Patents
Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen GatekontaktInfo
- Publication number
- DE3706255C2 DE3706255C2 DE19873706255 DE3706255A DE3706255C2 DE 3706255 C2 DE3706255 C2 DE 3706255C2 DE 19873706255 DE19873706255 DE 19873706255 DE 3706255 A DE3706255 A DE 3706255A DE 3706255 C2 DE3706255 C2 DE 3706255C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- rigid
- semiconductor wafer
- ignitable thyristor
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4248—Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4295—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with semiconductor devices activated by light through the light guide, e.g. thyristors, phototransistors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Thyristors (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen lichtzündbaren Thyristor mit
einer Halbleiterscheibe und einem mit einer Aussparung verse
henen ersten Anschlußkontakt, der mit einem eine seitliche
Öffnung aufweisenden zylinderförmigen Isolierstoffmantel und
einem zweiten Anschlußkontakt zu einem Gehäuse zusammengefügt
ist, mit einem in der Öffnung und der Aussparung angeordneten
Lichtleitersystem, das einen parallel zur Halbleiterscheibe
verlaufenden flexiblen Lichtleiter und einen mit seiner
Lichteintrittsfläche direkt an ein Ende des flexiblen Licht
leiters grenzenden und mit seiner Lichtaustrittsfläche dem
lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe gegenüber
liegenden starren Lichtumlenker zur 90°-Lichtumlenkung auf
weist, und mit einer zur Führung des flexiblen Lichtleiters
dienenden starren Hülse, die parallel zur Halbleiterscheibe
angeordnet ist und in der Öffnung des Isolierstoffmantels
sitzt und deren in das Innere des Gehäuses zeigende Ende
gasdicht mit dem starren Lichtumlenker verbunden ist und in
die der flexible Lichtleiter einsteckbar ist.
Ein solcher Thyristor ist beispielsweise im deutschen Patent
DE 28 08 531 A1 beschrieben. Hierin wird ein optisches Steu
ersignal über einen Glaskrümmer als 90°-Lichtumlenker auf
einen lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe ge
führt. Der Glaskrümmer grenzt mit seiner Lichtaustrittsfläche
an den lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe und
ist mit seinem äußeren Ende in eine parallel zur Halbleiter
scheibe angeordnete starre Hülse, die in einer Öffnung im
Isolierstoffmantel sitzt, eingesteckt. Das optische Steuersi
gnal wird über einen flexiblen Lichtleiter von einer außer
halb des Gehäuses angeordneten Lichtquelle zur Lichtein
trittsfläche des Glaskrümmers geführt. Das Gehäuseinnere des
Thyristors ist nach außen durch eine gasdichte Verbindung
zwischen der starren Hülse und dem Lichtumlenker und durch
eine gasdichte Verbindung zwischen der starren Hülse und dem
Isolierstoffmantel hermetisch abgedichtet.
Diese in der DE 28 08 531 A1 beschriebene Ausführung eines
lichtzündbaren Thyristors weist gegenüber anderen bekannten,
beispielsweise in US-PS 4 466 009, EP 0 021 352 A1 und DE-OS
35 13 229 offenbarten Ausführungen einige wesentliche Vortei
le auf. So wird durch die Tatsache, daß nur eine einzige
optische Schnittstelle vorhanden ist, sowohl der Lichtlei
stungsverlust als auch der Justieraufwand gering gehalten.
Besonders vorteilhaft ist auch, daß kein speziell ausgebilde
ter Kühlkörper mit einer Ausnehmung für die Gateanschlußlei
tung und damit niedrigerer Kühlleistung erforderlich ist.
Darüber hinaus bleibt durch die seitliche Zuführung des
Lichtleitersystems der lichtzündbare Thyristor den herkömmli
chen elektrisch zündbaren Thyristoren in Bauform und Bauhöhe
gleich, was hinsichtlich Austausch einzelner oder mehrerer in
einem Stapelaufbau zusammengefaßter Thyristoren besonders
vorteilhaft ist. Eine Auswechslung des Kühlkörpers ist nicht
erforderlich.
Die in der DE 28 08 531 A1 beschriebene Ausführung eines
lichtzündbaren Thyristors ist jedoch ausschließlich für eine
Zuführung eines Lichtsteuersignals vorgesehen. Soll jedoch
ein Thyristor mit einem zusätzlichen elektrischen Gatekontakt
ausgestattet sein, wie dies beispielsweise bei Hochleistungs-
Thyristoren, die mittels elektrischer Schutzzündungen vor
Überspannungen geschützt werden, der Fall ist, so ist zusätz
lich zum Lichtleitersystem ein elektrischer Anschluß für den
Gatekontakt notwendig. Ein derart ausgestatteter Thyristor
ist aber bislang nicht bekannt.
Daraus ergibt sich die Aufgabe, den in der DE 28 08 531 A1
beschriebenen lichtzündbaren Thyristor so weiterzubilden, daß
er auch elektrisch steuerbar ist.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Halbleiterscheibe
einen Gatekontakt aufweist, daß die starre Hülse aus elek
trisch leitendem Material besteht, daß die starre Hülse mit
dem Gatekontakt elektrisch verbunden ist und außerhalb des
Gehäuses einen elektrischen Anschluß aufweist.
Diese erfindungsgemäße Anordnung hat den Vorteil, daß zur
Durchführung des elektrischen Anschlusses durch das Gehäuse
keine zusätzliche Öffnung und damit auch keine zusätzliche
hermetische Abdichtung im Isolierstoffmantel notwendig ist.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbei
spielen in Verbindung mit zwei Figuren näher erläutert. Es
zeigen
Fig. 1 den Schnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel und
Fig. 2 den Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel.
Fig. 1 zeigt den Querschnitt durch einen lichtzündbaren
Thyristor mit zusätzlichem Gatekontakt, der eine Halbleiter
scheibe 6, die z. B. aus Silicium besteht, aufweist. Die
Halbleiterscheibe 6 hat z. B. vier aufeinanderfolgende Schich
ten unterschiedlichen Leitfähigkeitstyps, also beispielsweise
einen n-Emitter, eine p-Basis, eine n-Basis und einen p-
Emitter. Eine dieser Schichten ist lichtempfindlich und an
der Hauptfläche der Halbleiterscheibe 6 angeordnet. Zusätz
lich ist die Halbleiterscheibe mit einem Gatekontakt ausge
stattet. Die beiden Emitter der Halbleiterscheibe 6 sind mit
jeweils einem Anschlußkontakt 7, 8 Verbunden. Die beiden
Anschlußkontakte 7, 8 sind mit einem zylinderförmigen Iso
lierstoffmantel mit Ausgleichsflanschen 13 zu einem vorzugs
weise gasdichten Gehäuse zusammengefügt.
Der dem lichtempfindlichen Bereich zugewandte Anschlußkontakt
7 ist mit einer Aussparung 9 Versehen. Zusätzlich weist der
zylinderförmige Isolierstoffmantel 10 seitlich eine Öffnung
14 auf, in der eine starre Hülse 4 aus elektrisch leitendem
Material gasdicht sitzt und parallel zur Halbleiterscheibe 6
angeordnet ist. Die starre Hülse 4 ragt vorzugsweise in das
Gehäuse des lichtzündbaren Thyristors hinein. Das in das
Innere des Gehäuses zeigende Ende der starren Hülse 4 ist
gasdicht mit einem starren Lichtumlenker 1, z. B. einem Prisma
1a verbunden. Das Prisma 1a und die starre Hülse 4 sind
derart zueinander angeordnet, daß die Lichtaustrittsfläche
des Prismas dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiter
scheibe 6 gegenüberliegt. Dabei kann das Prisma 1a direkt auf
dem lichtempfindlichen Bereich aufsitzen oder in geringem
Abstand dazu angeordnet sein. Das Prisma 1a ist zur 90°-
Lichtumlenkung geeignet. Die Lichtaustrittsfläche des Prismas
1a ist zweckmäßigerweise zur Lichtbündelung z. B. als Sammel
linse 2 ausgebildet. Die starre Hülse 4 ist dafür vorgesehen,
daß ein von außen einführbarer flexibler Lichtleiter 5, der
zur Zuführung der Lichtleistung dient, geführt und gehaltert
wird. Dieser flexible Lichtleiter 5 grenzt mit seinem vor
zugsweise plan geschliffenen einen Ende direkt an die Licht
eintrittsfläche des Prismas 1a. Um die optischen Übertra
gungsverluste so gering wie möglich zu halten, ist das Prisma
1a z. B. mindestens teilweise mit einer reflektierenden
Schicht 3 überzogen. Außerdem ist es von Vorteil, die starre
Hülse 4 mit einer reflektierenden Innenschicht zu versehen.
Um die starre Hülse 4 gasdicht in der Öffnung 14 des zylin
derförmigen Isolierstoffmantels 10, der z. B. ein Keramikman
tel sein kann, zu befestigen, kann beispielsweise auf die
Oberfläche der Öffnung 14 eine Metallisierung aufgebracht
werden, die z. B. vernickelt wird. Danach wird ein dünnwandi
ges, der Öffnung 14 angepaßtes Rohr 12 in die Öffnung ge
steckt und mittels eines Lotringes, der durch Erhitzen in den
verbleibenden Spalt zwischen Rohr 12 und Öffnung 14 durch
Schmelzen eindringt, fixiert. Die starre Hülse 4 kann dann
weich in dieses Rohr 12 eingelötet werden. Der flexible
Lichtleiter 5 wird z. B. mittels Klemmhülse und Überwurfmutter
an dem Rohr 12, das dafür entsprechend vorbereitet ist,
befestigt.
In diesem Ausführungsbeispiel ist der Gatekontakt der Halb
leiterscheibe 6 mittels einer auf dem Gatekontakt aufliegen
den elektrisch leitenden Feder 11 mit der starren Hülse 4
elektrisch verbunden. Auf der Gehäuseaußenseite ist eine
Steckfahne 15 mit der starren Hülse 4 elektrisch verbunden.
Damit bilden die Steckfahne 15, die starre Hülse 4 und die
auf dem Gatekontakt aufliegende Feder 11 einen Gateanschluß
für den lichtzündbaren Thyristor.
Darüber hinaus kann die Feder 11 als zusätzlicher Abstands
halt er in den durch die Aussparung 9 des Anschlußkontaktes 7
und die Halbleiterscheibe 6 gebildeten Hohlraum und damit zur
Justierung des Lichtleitersystems genutzt werden.
Es ist hier anzumerken, daß die Anschlußkontakte 7, 8 auch
aus mehreren Einzelteilen bestehen können. So ist es z. B.
auch möglich, den Anschlußkontakt 7 durch einzelne aufeinan
derliegende elektrisch leitende Scheiben zu bilden. Es muß
lediglich gemäß der vorliegenden Erfindung gewährleistet
sein, daß in dem Anschlußkontakt 7 eine genügend große Aus
sparung 9 vorhanden ist, um das Lichtleitersystem und die
Feder 11 darin unterzubringen.
In Fig. 2 bezeichnen die gleichen Bezugszeichen wie in Fig.
1 auch die gleichen Bauteile. Der Unterschied dieser Anord
nung besteht im wesentlichen darin, daß anstatt eines Prismas
zur 90°-Lichtumlenkung jetzt ein Glaskrümmer 1b Verwendung
findet. Dieser Glaskrümmer 1b ist auch gasdicht mit der
starren Hülse 4 verbunden. Dazu kann z. B. der Glaskrümmer 1b
plan auf dem einen Ende der starren Hülse 4 aufsitzen oder
aber z. B. teilweise in der starren Hülse 4 stecken. Die
Lichtaustrittsfläche ist aus Gründen der besseren Durchlaßei
genschaften plan geschliffen. Der Glaskrümmer 1b hat eine
90°-Biegung und kann zur Lichtbündelung in Richtung des
lichtempfindlichen Bereichs der Halbleiterscheibe 6 verjüngt
sein. Außerdem kann - wie im Zusammenhang mit Fig. 1 bereits
dargelegt - der Lichtumlenker, hier also der Glaskrümmer 1b
auch wie die Innenseite der starren Hülse mit einer reflek
tierenden Schicht 3 Versehen sein bzw. reflektierend ausge
bildet sein. Es versteht sich von selbst, daß die reflektie
rende Schicht auf dem Glaskrümmer natürlich nicht auf der
Lichtaustrittsfläche bzw. Lichteintrittsfläche angeordnet
ist.
Der Glaskrümmer 1b sitzt mit seiner Lichtaustrittsseite
gegenüber dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiter
scheibe. Dieser Glaskrümmer 1b kann entweder direkt auf der
lichtempfindlichen Fläche aufsitzen oder in geringem Abstand
dazu angeordnet sein. Ein geringer Abstand hat den Vorteil,
daß ein Nachsetzen des Thyristors im Gehäuse nicht zu unzu
lässiger Verspannung im Glaskrümmer 1b führt und den Glas
krümmer 1b unter Umständen zerstört. Ansonsten entspricht
der in Fig. 2 dargestellte lichtzündbare Thyristor der
Darstellung in Fig. 1.
Claims (8)
1. Lichtzündbarer Thyristor mit einer Halbleiterscheibe (6)
und einem mit einer Aussparung (9) versehenen ersten An
schlußkontakt (7), der mit einem eine seitliche Öffnung (14)
aufweisenden zylinderförmigen Isolierstoffmantel (10) und
einem zweiten Anschlußkontakt (8) zu einem Gehäuse zusammen
gefügt ist, mit einem in der Öffnung (14) und der Aussparung
(9) angeordneten Lichtleitersystem, das einen parallel zur
Halbleiterscheibe (6) verlaufenden flexiblen Lichtleiter (5)
und einen mit seiner Lichteintrittsfläche direkt an ein Ende
des flexiblen Lichtleiters (5) grenzenden und mit seiner
Lichtaustrittsfläche dem lichtempfindlichen Bereich der
Halbleiterscheibe (6) gegenüberliegenden starren Lichtumlen
ker (1) zur 90°-Lichtumlenkung aufweist, und mit einer zur
Führung des flexiblen Lichtleiters (5) dienenden starren
Hülse (4), die parallel zur Halbleiterscheibe (6) angeordnet
ist und in der Öffnung (14) des Isolierstoffmantels (10)
sitzt und deren in das Innere des Gehäuses zeigende Ende
gasdicht mit dem starren Lichtumlenker (1) Verbunden ist und
in die der flexible Lichtleiter (5) einsteckbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Halbleiterscheibe (6) einen Gatekontakt aufweist, daß die
starre Hülse (4) aus elektrisch leitendem Material besteht,
daß die starre Hülse (4) mit dem Gatekontakt elektrisch
verbunden ist und außerhalb des Gehäuses einen elektrischen
Anschluß aufweist.
2. Lichtzündbarer Thyristor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
starre Hülse (4) im Gehäuseinneren mit einer als Gatekontakt
wirkenden Feder (11) verbunden ist.
3. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 oder
2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
starre Hülse (4) in das Innere des Gehäuses ragt.
4. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß der
starre Lichtumlenker (1) mindestens teilweise eine reflektie
rende Schicht (3) aufweist.
5. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die
starre Hülse (4) mindestens teilweise eine reflektierende
Innenschicht aufweist.
6. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Lichtaustrittsfläche des starren Lichtumlenkers (1) zur
Lichtbündelung geeignet ausgebildet ist.
7. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der
starre Lichtumlenker (1) ein Prisma (1a) ist.
8. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der
starre Lichtumlenker (1) ein Glaskrümmer (1b) ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873706255 DE3706255C2 (de) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873706255 DE3706255C2 (de) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3706255A1 DE3706255A1 (de) | 1988-09-08 |
DE3706255C2 true DE3706255C2 (de) | 1995-07-06 |
Family
ID=6321860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873706255 Expired - Fee Related DE3706255C2 (de) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3706255C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10135984A1 (de) * | 2001-07-24 | 2003-03-06 | Eupec Gmbh & Co Kg | Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung sowie Thyristor mit integrierter Licht-Überkopfzündung |
DE102004025082B4 (de) * | 2004-05-21 | 2006-12-28 | Infineon Technologies Ag | Elektrisch und durch Strahlung zündbarer Thyristor und Verfahren zu dessen Kontaktierung |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT503027B1 (de) * | 2006-05-08 | 2007-07-15 | Austria Tech & System Tech | Leiterplattenelement mit optoelektronischem bauelement und licht-wellenleiter |
US10033464B2 (en) | 2013-05-28 | 2018-07-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Optoelectronic device having improved optical coupling |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4131905A (en) * | 1977-05-26 | 1978-12-26 | Electric Power Research Institute, Inc. | Light-triggered thyristor and package therefore |
US4368481A (en) * | 1979-06-19 | 1983-01-11 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Light-driven semiconductor device |
JPS5788770A (en) * | 1980-11-21 | 1982-06-02 | Hitachi Ltd | Photo semiconductor device |
DE3513229A1 (de) * | 1985-04-12 | 1986-10-16 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz | Lichtzuendbarer thyristor |
-
1987
- 1987-02-26 DE DE19873706255 patent/DE3706255C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10135984A1 (de) * | 2001-07-24 | 2003-03-06 | Eupec Gmbh & Co Kg | Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung sowie Thyristor mit integrierter Licht-Überkopfzündung |
DE10135984B4 (de) * | 2001-07-24 | 2005-04-21 | eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH & Co. KG | Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung |
DE102004025082B4 (de) * | 2004-05-21 | 2006-12-28 | Infineon Technologies Ag | Elektrisch und durch Strahlung zündbarer Thyristor und Verfahren zu dessen Kontaktierung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3706255A1 (de) | 1988-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0149232B1 (de) | Halbleiterbauelement mit einem metallischen Sockel | |
DE2352357A1 (de) | Halbleitergehaeuse | |
EP0588026A2 (de) | Abschaltbares Hochleistungs-Halbleiterbauelement | |
DE2947090A1 (de) | Vakuumschaltkreistrenner | |
DE2021691A1 (de) | Halbleiter-Bauelement | |
EP1290707B1 (de) | Vakuumschaltröhre | |
DE3706255C2 (de) | Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt | |
EP0175936B1 (de) | Optoelektronische Anordnung | |
DE4011275C2 (de) | Gateanschlußkörper für ein Halbleiterbauelement | |
EP0063840A1 (de) | Hochspannungs-Vakuumröhre, insbesondere Röntgenröhre | |
DE1514008B2 (de) | Flaechentransistor | |
DE3538175C2 (de) | Halbleiteranordnung zum Erzeugen eines Elektronenstromes und ihre Verwendung | |
DE1489171B2 (de) | Opto-elektronische halbleitervorrichtung | |
DE1541005C3 (de) | Elektronenentladungsvorrichtung | |
DE2231627C3 (de) | Anschluß für die Signalplatte einer Fernsehaufnahmeröhre | |
CH634441A5 (de) | Kontaktstueckanordnung in vakuumschalter. | |
DE2002374A1 (de) | Gasentladungsroehre fuer einen Laser | |
EP0195467A1 (de) | Influenzsondenanordnung mit mehreren Influenzsonden | |
DE4035404C2 (de) | ||
EP0200021B1 (de) | Lichtzündbarer Thyristor | |
EP0167078B1 (de) | Anordnung mit einem lichtzündbaren Thyristor | |
DE4111383A1 (de) | Halbleiterbauelement | |
EP0220698A2 (de) | Thyristor mit scheibenförmigem Gehäuse | |
DE3538815A1 (de) | Halbleiterbauelement | |
DE1802704C (de) | Kühleinrichtung für die Antikathode einer Röntgenröhre |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |