DE3706255C2 - Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt - Google Patents

Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt

Info

Publication number
DE3706255C2
DE3706255C2 DE19873706255 DE3706255A DE3706255C2 DE 3706255 C2 DE3706255 C2 DE 3706255C2 DE 19873706255 DE19873706255 DE 19873706255 DE 3706255 A DE3706255 A DE 3706255A DE 3706255 C2 DE3706255 C2 DE 3706255C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
rigid
semiconductor wafer
ignitable thyristor
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19873706255
Other languages
English (en)
Other versions
DE3706255A1 (de
Inventor
Werner Mitzkus
Helmut Schweinbeck
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19873706255 priority Critical patent/DE3706255C2/de
Publication of DE3706255A1 publication Critical patent/DE3706255A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3706255C2 publication Critical patent/DE3706255C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4248Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4295Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with semiconductor devices activated by light through the light guide, e.g. thyristors, phototransistors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thyristors (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen lichtzündbaren Thyristor mit einer Halbleiterscheibe und einem mit einer Aussparung verse­ henen ersten Anschlußkontakt, der mit einem eine seitliche Öffnung aufweisenden zylinderförmigen Isolierstoffmantel und einem zweiten Anschlußkontakt zu einem Gehäuse zusammengefügt ist, mit einem in der Öffnung und der Aussparung angeordneten Lichtleitersystem, das einen parallel zur Halbleiterscheibe verlaufenden flexiblen Lichtleiter und einen mit seiner Lichteintrittsfläche direkt an ein Ende des flexiblen Licht­ leiters grenzenden und mit seiner Lichtaustrittsfläche dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe gegenüber­ liegenden starren Lichtumlenker zur 90°-Lichtumlenkung auf­ weist, und mit einer zur Führung des flexiblen Lichtleiters dienenden starren Hülse, die parallel zur Halbleiterscheibe angeordnet ist und in der Öffnung des Isolierstoffmantels sitzt und deren in das Innere des Gehäuses zeigende Ende gasdicht mit dem starren Lichtumlenker verbunden ist und in die der flexible Lichtleiter einsteckbar ist.
Ein solcher Thyristor ist beispielsweise im deutschen Patent DE 28 08 531 A1 beschrieben. Hierin wird ein optisches Steu­ ersignal über einen Glaskrümmer als 90°-Lichtumlenker auf einen lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe ge­ führt. Der Glaskrümmer grenzt mit seiner Lichtaustrittsfläche an den lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe und ist mit seinem äußeren Ende in eine parallel zur Halbleiter­ scheibe angeordnete starre Hülse, die in einer Öffnung im Isolierstoffmantel sitzt, eingesteckt. Das optische Steuersi­ gnal wird über einen flexiblen Lichtleiter von einer außer­ halb des Gehäuses angeordneten Lichtquelle zur Lichtein­ trittsfläche des Glaskrümmers geführt. Das Gehäuseinnere des Thyristors ist nach außen durch eine gasdichte Verbindung zwischen der starren Hülse und dem Lichtumlenker und durch eine gasdichte Verbindung zwischen der starren Hülse und dem Isolierstoffmantel hermetisch abgedichtet.
Diese in der DE 28 08 531 A1 beschriebene Ausführung eines lichtzündbaren Thyristors weist gegenüber anderen bekannten, beispielsweise in US-PS 4 466 009, EP 0 021 352 A1 und DE-OS 35 13 229 offenbarten Ausführungen einige wesentliche Vortei­ le auf. So wird durch die Tatsache, daß nur eine einzige optische Schnittstelle vorhanden ist, sowohl der Lichtlei­ stungsverlust als auch der Justieraufwand gering gehalten. Besonders vorteilhaft ist auch, daß kein speziell ausgebilde­ ter Kühlkörper mit einer Ausnehmung für die Gateanschlußlei­ tung und damit niedrigerer Kühlleistung erforderlich ist. Darüber hinaus bleibt durch die seitliche Zuführung des Lichtleitersystems der lichtzündbare Thyristor den herkömmli­ chen elektrisch zündbaren Thyristoren in Bauform und Bauhöhe gleich, was hinsichtlich Austausch einzelner oder mehrerer in einem Stapelaufbau zusammengefaßter Thyristoren besonders vorteilhaft ist. Eine Auswechslung des Kühlkörpers ist nicht erforderlich.
Die in der DE 28 08 531 A1 beschriebene Ausführung eines lichtzündbaren Thyristors ist jedoch ausschließlich für eine Zuführung eines Lichtsteuersignals vorgesehen. Soll jedoch ein Thyristor mit einem zusätzlichen elektrischen Gatekontakt ausgestattet sein, wie dies beispielsweise bei Hochleistungs- Thyristoren, die mittels elektrischer Schutzzündungen vor Überspannungen geschützt werden, der Fall ist, so ist zusätz­ lich zum Lichtleitersystem ein elektrischer Anschluß für den Gatekontakt notwendig. Ein derart ausgestatteter Thyristor ist aber bislang nicht bekannt.
Daraus ergibt sich die Aufgabe, den in der DE 28 08 531 A1 beschriebenen lichtzündbaren Thyristor so weiterzubilden, daß er auch elektrisch steuerbar ist.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Halbleiterscheibe einen Gatekontakt aufweist, daß die starre Hülse aus elek­ trisch leitendem Material besteht, daß die starre Hülse mit dem Gatekontakt elektrisch verbunden ist und außerhalb des Gehäuses einen elektrischen Anschluß aufweist.
Diese erfindungsgemäße Anordnung hat den Vorteil, daß zur Durchführung des elektrischen Anschlusses durch das Gehäuse keine zusätzliche Öffnung und damit auch keine zusätzliche hermetische Abdichtung im Isolierstoffmantel notwendig ist.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbei­ spielen in Verbindung mit zwei Figuren näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 den Schnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel und Fig. 2 den Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel.
Fig. 1 zeigt den Querschnitt durch einen lichtzündbaren Thyristor mit zusätzlichem Gatekontakt, der eine Halbleiter­ scheibe 6, die z. B. aus Silicium besteht, aufweist. Die Halbleiterscheibe 6 hat z. B. vier aufeinanderfolgende Schich­ ten unterschiedlichen Leitfähigkeitstyps, also beispielsweise einen n-Emitter, eine p-Basis, eine n-Basis und einen p- Emitter. Eine dieser Schichten ist lichtempfindlich und an der Hauptfläche der Halbleiterscheibe 6 angeordnet. Zusätz­ lich ist die Halbleiterscheibe mit einem Gatekontakt ausge­ stattet. Die beiden Emitter der Halbleiterscheibe 6 sind mit jeweils einem Anschlußkontakt 7, 8 Verbunden. Die beiden Anschlußkontakte 7, 8 sind mit einem zylinderförmigen Iso­ lierstoffmantel mit Ausgleichsflanschen 13 zu einem vorzugs­ weise gasdichten Gehäuse zusammengefügt.
Der dem lichtempfindlichen Bereich zugewandte Anschlußkontakt 7 ist mit einer Aussparung 9 Versehen. Zusätzlich weist der zylinderförmige Isolierstoffmantel 10 seitlich eine Öffnung 14 auf, in der eine starre Hülse 4 aus elektrisch leitendem Material gasdicht sitzt und parallel zur Halbleiterscheibe 6 angeordnet ist. Die starre Hülse 4 ragt vorzugsweise in das Gehäuse des lichtzündbaren Thyristors hinein. Das in das Innere des Gehäuses zeigende Ende der starren Hülse 4 ist gasdicht mit einem starren Lichtumlenker 1, z. B. einem Prisma 1a verbunden. Das Prisma 1a und die starre Hülse 4 sind derart zueinander angeordnet, daß die Lichtaustrittsfläche des Prismas dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiter­ scheibe 6 gegenüberliegt. Dabei kann das Prisma 1a direkt auf dem lichtempfindlichen Bereich aufsitzen oder in geringem Abstand dazu angeordnet sein. Das Prisma 1a ist zur 90°- Lichtumlenkung geeignet. Die Lichtaustrittsfläche des Prismas 1a ist zweckmäßigerweise zur Lichtbündelung z. B. als Sammel­ linse 2 ausgebildet. Die starre Hülse 4 ist dafür vorgesehen, daß ein von außen einführbarer flexibler Lichtleiter 5, der zur Zuführung der Lichtleistung dient, geführt und gehaltert wird. Dieser flexible Lichtleiter 5 grenzt mit seinem vor­ zugsweise plan geschliffenen einen Ende direkt an die Licht­ eintrittsfläche des Prismas 1a. Um die optischen Übertra­ gungsverluste so gering wie möglich zu halten, ist das Prisma 1a z. B. mindestens teilweise mit einer reflektierenden Schicht 3 überzogen. Außerdem ist es von Vorteil, die starre Hülse 4 mit einer reflektierenden Innenschicht zu versehen.
Um die starre Hülse 4 gasdicht in der Öffnung 14 des zylin­ derförmigen Isolierstoffmantels 10, der z. B. ein Keramikman­ tel sein kann, zu befestigen, kann beispielsweise auf die Oberfläche der Öffnung 14 eine Metallisierung aufgebracht werden, die z. B. vernickelt wird. Danach wird ein dünnwandi­ ges, der Öffnung 14 angepaßtes Rohr 12 in die Öffnung ge­ steckt und mittels eines Lotringes, der durch Erhitzen in den verbleibenden Spalt zwischen Rohr 12 und Öffnung 14 durch Schmelzen eindringt, fixiert. Die starre Hülse 4 kann dann weich in dieses Rohr 12 eingelötet werden. Der flexible Lichtleiter 5 wird z. B. mittels Klemmhülse und Überwurfmutter an dem Rohr 12, das dafür entsprechend vorbereitet ist, befestigt.
In diesem Ausführungsbeispiel ist der Gatekontakt der Halb­ leiterscheibe 6 mittels einer auf dem Gatekontakt aufliegen­ den elektrisch leitenden Feder 11 mit der starren Hülse 4 elektrisch verbunden. Auf der Gehäuseaußenseite ist eine Steckfahne 15 mit der starren Hülse 4 elektrisch verbunden. Damit bilden die Steckfahne 15, die starre Hülse 4 und die auf dem Gatekontakt aufliegende Feder 11 einen Gateanschluß für den lichtzündbaren Thyristor.
Darüber hinaus kann die Feder 11 als zusätzlicher Abstands­ halt er in den durch die Aussparung 9 des Anschlußkontaktes 7 und die Halbleiterscheibe 6 gebildeten Hohlraum und damit zur Justierung des Lichtleitersystems genutzt werden.
Es ist hier anzumerken, daß die Anschlußkontakte 7, 8 auch aus mehreren Einzelteilen bestehen können. So ist es z. B. auch möglich, den Anschlußkontakt 7 durch einzelne aufeinan­ derliegende elektrisch leitende Scheiben zu bilden. Es muß lediglich gemäß der vorliegenden Erfindung gewährleistet sein, daß in dem Anschlußkontakt 7 eine genügend große Aus­ sparung 9 vorhanden ist, um das Lichtleitersystem und die Feder 11 darin unterzubringen.
In Fig. 2 bezeichnen die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 auch die gleichen Bauteile. Der Unterschied dieser Anord­ nung besteht im wesentlichen darin, daß anstatt eines Prismas zur 90°-Lichtumlenkung jetzt ein Glaskrümmer 1b Verwendung findet. Dieser Glaskrümmer 1b ist auch gasdicht mit der starren Hülse 4 verbunden. Dazu kann z. B. der Glaskrümmer 1b plan auf dem einen Ende der starren Hülse 4 aufsitzen oder aber z. B. teilweise in der starren Hülse 4 stecken. Die Lichtaustrittsfläche ist aus Gründen der besseren Durchlaßei­ genschaften plan geschliffen. Der Glaskrümmer 1b hat eine 90°-Biegung und kann zur Lichtbündelung in Richtung des lichtempfindlichen Bereichs der Halbleiterscheibe 6 verjüngt sein. Außerdem kann - wie im Zusammenhang mit Fig. 1 bereits dargelegt - der Lichtumlenker, hier also der Glaskrümmer 1b auch wie die Innenseite der starren Hülse mit einer reflek­ tierenden Schicht 3 Versehen sein bzw. reflektierend ausge­ bildet sein. Es versteht sich von selbst, daß die reflektie­ rende Schicht auf dem Glaskrümmer natürlich nicht auf der Lichtaustrittsfläche bzw. Lichteintrittsfläche angeordnet ist.
Der Glaskrümmer 1b sitzt mit seiner Lichtaustrittsseite gegenüber dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiter­ scheibe. Dieser Glaskrümmer 1b kann entweder direkt auf der lichtempfindlichen Fläche aufsitzen oder in geringem Abstand dazu angeordnet sein. Ein geringer Abstand hat den Vorteil, daß ein Nachsetzen des Thyristors im Gehäuse nicht zu unzu­ lässiger Verspannung im Glaskrümmer 1b führt und den Glas­ krümmer 1b unter Umständen zerstört. Ansonsten entspricht der in Fig. 2 dargestellte lichtzündbare Thyristor der Darstellung in Fig. 1.

Claims (8)

1. Lichtzündbarer Thyristor mit einer Halbleiterscheibe (6) und einem mit einer Aussparung (9) versehenen ersten An­ schlußkontakt (7), der mit einem eine seitliche Öffnung (14) aufweisenden zylinderförmigen Isolierstoffmantel (10) und einem zweiten Anschlußkontakt (8) zu einem Gehäuse zusammen­ gefügt ist, mit einem in der Öffnung (14) und der Aussparung (9) angeordneten Lichtleitersystem, das einen parallel zur Halbleiterscheibe (6) verlaufenden flexiblen Lichtleiter (5) und einen mit seiner Lichteintrittsfläche direkt an ein Ende des flexiblen Lichtleiters (5) grenzenden und mit seiner Lichtaustrittsfläche dem lichtempfindlichen Bereich der Halbleiterscheibe (6) gegenüberliegenden starren Lichtumlen­ ker (1) zur 90°-Lichtumlenkung aufweist, und mit einer zur Führung des flexiblen Lichtleiters (5) dienenden starren Hülse (4), die parallel zur Halbleiterscheibe (6) angeordnet ist und in der Öffnung (14) des Isolierstoffmantels (10) sitzt und deren in das Innere des Gehäuses zeigende Ende gasdicht mit dem starren Lichtumlenker (1) Verbunden ist und in die der flexible Lichtleiter (5) einsteckbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterscheibe (6) einen Gatekontakt aufweist, daß die starre Hülse (4) aus elektrisch leitendem Material besteht, daß die starre Hülse (4) mit dem Gatekontakt elektrisch verbunden ist und außerhalb des Gehäuses einen elektrischen Anschluß aufweist.
2. Lichtzündbarer Thyristor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die starre Hülse (4) im Gehäuseinneren mit einer als Gatekontakt wirkenden Feder (11) verbunden ist.
3. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die starre Hülse (4) in das Innere des Gehäuses ragt.
4. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der starre Lichtumlenker (1) mindestens teilweise eine reflektie­ rende Schicht (3) aufweist.
5. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die starre Hülse (4) mindestens teilweise eine reflektierende Innenschicht aufweist.
6. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtaustrittsfläche des starren Lichtumlenkers (1) zur Lichtbündelung geeignet ausgebildet ist.
7. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der starre Lichtumlenker (1) ein Prisma (1a) ist.
8. Lichtzündbarer Thyristor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der starre Lichtumlenker (1) ein Glaskrümmer (1b) ist.
DE19873706255 1987-02-26 1987-02-26 Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt Expired - Fee Related DE3706255C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873706255 DE3706255C2 (de) 1987-02-26 1987-02-26 Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19873706255 DE3706255C2 (de) 1987-02-26 1987-02-26 Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3706255A1 DE3706255A1 (de) 1988-09-08
DE3706255C2 true DE3706255C2 (de) 1995-07-06

Family

ID=6321860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19873706255 Expired - Fee Related DE3706255C2 (de) 1987-02-26 1987-02-26 Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3706255C2 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10135984A1 (de) * 2001-07-24 2003-03-06 Eupec Gmbh & Co Kg Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung sowie Thyristor mit integrierter Licht-Überkopfzündung
DE102004025082B4 (de) * 2004-05-21 2006-12-28 Infineon Technologies Ag Elektrisch und durch Strahlung zündbarer Thyristor und Verfahren zu dessen Kontaktierung

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT503027B1 (de) * 2006-05-08 2007-07-15 Austria Tech & System Tech Leiterplattenelement mit optoelektronischem bauelement und licht-wellenleiter
US10033464B2 (en) 2013-05-28 2018-07-24 Stmicroelectronics S.R.L. Optoelectronic device having improved optical coupling

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4131905A (en) * 1977-05-26 1978-12-26 Electric Power Research Institute, Inc. Light-triggered thyristor and package therefore
US4368481A (en) * 1979-06-19 1983-01-11 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Light-driven semiconductor device
JPS5788770A (en) * 1980-11-21 1982-06-02 Hitachi Ltd Photo semiconductor device
DE3513229A1 (de) * 1985-04-12 1986-10-16 Schott Glaswerke, 6500 Mainz Lichtzuendbarer thyristor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10135984A1 (de) * 2001-07-24 2003-03-06 Eupec Gmbh & Co Kg Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung sowie Thyristor mit integrierter Licht-Überkopfzündung
DE10135984B4 (de) * 2001-07-24 2005-04-21 eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH & Co. KG Anordnung mit einem lichtzündbaren Halbleiterbauelement und einem Teil zur Lichtdurchführung
DE102004025082B4 (de) * 2004-05-21 2006-12-28 Infineon Technologies Ag Elektrisch und durch Strahlung zündbarer Thyristor und Verfahren zu dessen Kontaktierung

Also Published As

Publication number Publication date
DE3706255A1 (de) 1988-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0149232B1 (de) Halbleiterbauelement mit einem metallischen Sockel
DE2352357A1 (de) Halbleitergehaeuse
EP0588026A2 (de) Abschaltbares Hochleistungs-Halbleiterbauelement
DE2947090A1 (de) Vakuumschaltkreistrenner
DE2021691A1 (de) Halbleiter-Bauelement
EP1290707B1 (de) Vakuumschaltröhre
DE3706255C2 (de) Lichtzündbarer Thyristor mit zusätzlichem elektrischen Gatekontakt
EP0175936B1 (de) Optoelektronische Anordnung
DE4011275C2 (de) Gateanschlußkörper für ein Halbleiterbauelement
EP0063840A1 (de) Hochspannungs-Vakuumröhre, insbesondere Röntgenröhre
DE1514008B2 (de) Flaechentransistor
DE3538175C2 (de) Halbleiteranordnung zum Erzeugen eines Elektronenstromes und ihre Verwendung
DE1489171B2 (de) Opto-elektronische halbleitervorrichtung
DE1541005C3 (de) Elektronenentladungsvorrichtung
DE2231627C3 (de) Anschluß für die Signalplatte einer Fernsehaufnahmeröhre
CH634441A5 (de) Kontaktstueckanordnung in vakuumschalter.
DE2002374A1 (de) Gasentladungsroehre fuer einen Laser
EP0195467A1 (de) Influenzsondenanordnung mit mehreren Influenzsonden
DE4035404C2 (de)
EP0200021B1 (de) Lichtzündbarer Thyristor
EP0167078B1 (de) Anordnung mit einem lichtzündbaren Thyristor
DE4111383A1 (de) Halbleiterbauelement
EP0220698A2 (de) Thyristor mit scheibenförmigem Gehäuse
DE3538815A1 (de) Halbleiterbauelement
DE1802704C (de) Kühleinrichtung für die Antikathode einer Röntgenröhre

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee