DE3705592A1 - Device for the thin coating (lacquering) of disc-shaped substrates for electronic applications, for example circuit boards, Compact Discs, etc. - Google Patents

Device for the thin coating (lacquering) of disc-shaped substrates for electronic applications, for example circuit boards, Compact Discs, etc.

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DE3705592A1 DE19873705592 DE3705592A DE3705592A1 DE 3705592 A1 DE3705592 A1 DE 3705592A1 DE 19873705592 DE19873705592 DE 19873705592 DE 3705592 A DE3705592 A DE 3705592A DE 3705592 A1 DE3705592 A1 DE 3705592A1
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Abstract

A device for the thin coating (lacquering) of disc-shaped substrates for electronic applications, for example circuit boards, Compact Discs, etc., has a spray device for the coating material which is arranged in a spray chamber which has adjacent to it at least one treatment chamber, in particular drying chamber, for the coated substrates. A continuously driven conveyor for the substrates which runs through the spray chamber and the treatment chamber is designed as a circular conveyor which has a number of carriers which are movable at uniform distances on at least one circular path about a fixed axis, with in each case one support for a horizontally aligned substrate. The outline of each support is smaller than that of a supported substrate such that the carrier can be essentially completely covered by a supported substrate. In addition, the drive devices of the circular conveyor with the associated bearing means and guide means are arranged outside the spray region or shielded with respect to the latter.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur dünnen Beschichtung (Belackung) scheibenförmiger Substrate für elektronische Anwendungszwecke, bspw. Leiter­ platten Compact-Disks etc., mit einer das Be­ schichtungsmaterial fein zerstäubenden und das zer­ stäubte Beschichtungsmaterial in einem Sprühbereich gleichmäßig auf das jeweilige Substrat leitenden Sprüheinrichtung, die in einer Sprühkammer angeord­ net ist, mit wenigstens einer der Sprühkammer be­ nachbarten Behandlungs- insbesondere Trocknungs­ kammer für die beschichteten Substrate, sowie mit einem durch die Sprüh- und die Behandlungskammer verlaufenden, kontinuierlich angetriebenen Förderer, dem eine Aufgabe- und eine Entnahmestation für die unbeschichteten bzw. die beschichten Substrate zu­ geordnet ist und durch den die Substrate in hori­ zontaler Ausrichtung im Abstand nebeneinanderliegend unter der Sprüheinrichtung vorbei durch die Sprüh­ kammer und anschließend durch die Behandlungskammer transportierbar sind. Die Aufgabe- und die Entnahme­ station können dabei voneinander getrennt oder alter­ nativ miteinander kombiniert sein. The invention relates to a device for thin Coating (varnishing) of disc-shaped substrates for electronic applications, e.g. ladder flat compact disks etc., with a loading layering material fine atomizing and the zer dusted coating material in a spray area conductive evenly on the respective substrate Spray device arranged in a spray chamber net, be with at least one of the spray chamber neighboring treatment - especially drying chamber for the coated substrates, as well as with one through the spray and treatment chamber running, continuously driven conveyor, the one loading and unloading station for the uncoated or the coated substrates is ordered and through which the substrates in hori zonal alignment spaced side by side passing under the spray device through the spray chamber and then through the treatment chamber are transportable. The task and the removal station can be separated from each other or older be natively combined.  

Zur Beschichtung und insbesondere Belackung von Leiterplatten und anderen scheibenförmigen Sub­ straten, wie sie in der Elektronik in den ver­ schiedensten Ausführungsformen in großem Umfange benötigt werden, sind ganz- oder halbautomatisch arbeitende Anlagen mit diesem grundsätzlichen Auf­ bau gebräuchlich. Der Transport der Substrate an der Sprüheinrichtung vorbei erfolgt im allgemeinen entweder durch Hängebahnen oder, insbesondere bei kleinen Substraten, auf waagerechten Transport­ bändern. Die waagerechte Anordnung der Transport­ bänder ist deshalb im allgemeinen zweckmäßig, weil dadurch vermieden wird, daß das auf das Substrat in dem Sprühbereich aufgebrachte noch fließfähige Beschichtungsmaterial, bspw. der Lack, unter Schwer­ kraftwirkung an dem Substrat herunterfließt und da­ mit ungleichmäßige Schichtdicken hervorruft, bevor es erhärtet ist.For coating and especially coating of Circuit boards and other disc-shaped sub strate as they are in electronics in the ver a wide variety of embodiments are fully or semi-automatic working systems with this basic principle construction in use. The transportation of the substrates the sprayer is generally done over either by monorails or, especially at small substrates, on horizontal transport tapes. The horizontal arrangement of the transport tapes is generally useful because thereby avoiding that on the substrate still flowable applied in the spray area Coating material, for example the paint, under heavy force flow down the substrate and there with uneven layer thicknesses before it is hardened.

Werden zum Transport der Substrate endlose Förderbänder verwendet, läßt sich nicht vermeiden, daß die Förderbänder in den nicht von aufliegenden Sub­ straten abgedeckten Bereichen in der Sprühkammer mit Beschichtungsmaterial verunreinigt werden, was in gleichem Maße auch für die im Bereiche der Sprüh­ kammer liegenden Führungseinrichtungen dieser Förder­ bänder gilt. Auch werden die die Substrate aufnehmen­ den Träger oder Aufnahmen bei einem endlosen Förder­ band von dem untenliegenden Trum auf dem Kopf stehend zurücktransportiert, mit der Folge, daß die Gefahr besteht, daß überschüssiges Beschichtungsmaterial (overspray) während des Rücktransportes auf die Substratauflagefläche gelangen kann, womit das nächstfolgend aufgelegte Substrat verschmutzt wird.Become endless conveyor belts to transport the substrates used, it can not be avoided that the Conveyor belts in the non-overlying sub covered areas in the spray chamber be contaminated with coating material what to the same extent for spraying chamber lying management facilities of this funding bands applies. They will also take up the substrates the carrier or recordings in an endless conveyor tied upside down from the strand below transported back, with the result that the danger there is excess coating material (overspray) during the return transport to the Substrate contact area can get, with which  next placed substrate is dirty becomes.

Eine sehr feine Partikelzerstäubung und damit große Homogenität der aufgetragenen Schicht wird mit einer Sprüheinrichtung erreicht, die einen mit hoher Drehzahl (20-60 000 U/min.) rotierenden Sprühkopf in Gestalt einer Zerstäuberglocke auf­ weist (iee productronic 29 (1984), Nr. 10, 30), wobei in dem Sprühbereich ein elektrisches Feld aufrecht erhalten wird, zu dessen Erzeugung ty­ pischerweise eine Hochspannung von bis zu 100 kV verwendet wird.A very fine atomization of particles and thus great homogeneity of the applied layer reached with a spray device that one with high speed (20-60,000 rpm) rotating Spray head in the form of an atomizer bell points (iee productronic 29 (1984), No. 10, 30), being an electric field in the spray area is maintained, ty typically a high voltage of up to 100 kV is used.

Wenn die zu beschichtenden Substrate nichtmetallisch sind (Halbleiter-wafer, Keramikscheiben etc.) oder nur sehr dünne metallisierte Oberflächen aufweisen (Compact Disks), müssen der die eine Elektrode für das elektrische Feld bildenden Zerstäuberglocke Masseelektroden zugeordnet werden, die in dem Sprüh­ bereich unmittelbar unter dem Substrat liegen. Sie können mit dem von dem Förderer bewegten Substrat mitlaufen - dann bilden sie gleichzeitig einen Teil des Fördersystems - oder unterhalb der Sprüheinrichtung ortsfest angeordnet sein. In dem letztgenannten Falle wird als Förderelement des Förderers eine dünne Papierschicht oder Folie verwendet, die über die Masseelektroden hinweggleitet und auf die die Substrate aufgelegt werden. Diese Papierschicht oder Folie wird in der Sprühzone naturgemäß gemein­ sam mit den Substraten besprüht; das zieht auf­ wendige Reinigungsverfahren nach sich, wenn nicht, wie für Papierbänder bekannt, ein Einwegeband be­ nutzt wird (GB-PS 11 26 539, FR-OS 25 70 297, WO 86/01 745). If the substrates to be coated are non-metallic (semiconductor wafers, ceramic wafers, etc.) or only have very thin metallized surfaces (compact disks), the electrodes that form an electrode for the electric field must be assigned to the ground electrodes, which are located directly below in the spray area the substrate. They can run along with the substrate moved by the conveyor - then they simultaneously form part of the conveyor system - or can be arranged in a stationary manner below the spray device. In the latter case, a thin paper layer or film is used as the conveying element of the conveyor, which slides over the ground electrodes and on which the substrates are placed. This paper layer or film is naturally sprayed together with the substrates in the spray zone; this entails agile cleaning processes if, as is known for paper tapes, a disposable tape is used (GB-PS 11 26 539, FR-OS 25 70 297, WO 86/01 745).

Für eine rentable Beschichtung, insbesondere Be­ lackung von Massenprodukten sind diese Vorrichtungen nicht geeignet.For a profitable coating, especially Be painting of mass products are these devices not suitable.

Auch bei Anlagen, die mit Linearförderern arbeiten, die kettenförmige Förderelemente benutzen, ergeben sich für die Vielzahl der Kettenglieder die erläuter­ ten Verschmutzungsprobleme, wobei immer das grund­ sätzliche Problem besteht, daß die Substrat-Träger beim Rücklauf von dem unteren Trum auf dem Kopf stehend transportiert werden, so daß Beschichtungs­ material auf die Substrat-Auflageflächen der Träger laufen kann.Even in systems that work with linear conveyors, use the chain-shaped conveying elements, result the explanations for the large number of chain links pollution problems, always the reason additional problem is that the substrate carrier when returning from the lower run on the head be transported upright so that coating material on the substrate support surfaces of the carrier can run.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, eine Vorrichtung zur dünnen Beschichtung (Belackung) scheibenförmiger Substrate für elektronische Anwendungszwecke zu schaffen, bei der die Verschmutzungsgefahr der be­ weglichen Teile und der Substrat-Auflageflächen mit überschüssigem Beschichtungsmaterial auf ein Minimum reduziert ist und die dennoch eine halb- oder voll­ automatische, exakte, homogene Beschichtung, insbesondere scheibenförmiger Substrate im Rahmen einer wirtschaft­ lichen Massenproduktion gestattet.The object of the invention is therefore a device for thin coating (lacquering) more disc-shaped Substrates for electronic applications create where the risk of contamination of the be moving parts and the substrate support surfaces with excess coating material to a minimum is reduced and still half or full automatic, exact, homogeneous coating, in particular disc-shaped substrates in the context of an economy allowed mass production.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist die eingangs genannte Vorrichtung erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß der Förderer ein Kreisförderer ist, der eine Anzahl in gleichmäßigen Abständen auf wenigstens einer Kreisbahn um eine ortsfeste Achse bewegbarer Träger mit jeweils einer Auflage für ein horizontal ausgerichtetes Substrat aufweist, daß der Umriß jeder Auflage wenig kleiner oder gleich jenem eines aufgelegten Substrates ist, derart, daß der Träger durch ein aufgelegtes Substrat im wesentlichen vollständig abdeckbar ist und daß die Antriebseinrichtungen des Kreisförderers mit den zugeordneten Lager­ und Führungsmitteln außerhalb des Sprühbereiches angeordnet oder gegen diesen abgeschirmt sind.To solve this problem, the above is Device according to the invention characterized in that that the conveyor is a circular conveyor, the one Number at equal intervals to at least a circular path movable around a fixed axis Carrier with one pad each for a horizontal aligned substrate that the outline  each edition a little less than or equal to one placed substrate is such that the carrier by an overlaid substrate is essentially complete can be covered and that the drive devices of the circular conveyor with the assigned bearings and guide means outside the spray area arranged or shielded against this.

Da die Träger mit ihren Auflagen für die Substrate bei dem Kreisförderer immer in gemeinsamen horizon­ talen Ebenen liegend transportiert werden, ist sichergestellt, daß auch beim Rücklauf der abge­ leerten Träger kein überschüssiges Beschichtungs­ material auf die Träger gelangen kann. Bei ihrem Durchlauf durch die Sprühkammer sind die mit den Substraten in Berührung kommenden Teile des Trägers durch die Substrate selbst vollständig abgedeckt, mit der Folge, daß auch eine Verschmutzung der Auf­ lageflächen mit Beschichtungsmaterial ausgeschlossen ist. Gleichzeitig sind die Antriebseinrichtungen des Kreisförderers mit den zugeordneten Lager- und Führungs­ einrichtungen außerhalb des Einwirkungsbereiches des zerstäubten Beschichtungsmittels angeordnet, womit die Notwendigkeit zu aufwendigen Reinigungsarbeiten entfällt.Because the carriers with their supports for the substrates with the district conveyor always in the same horizon valley levels are transported horizontally ensured that even when returning the abge no excess coating was emptied from the carrier material can get onto the carrier. By your Pass through the spray chamber are the ones with the Parts of the carrier in contact with substrates completely covered by the substrates themselves, with the result that pollution of the up contact surfaces with coating material excluded is. At the same time, the drive devices of the Circular conveyor with the associated storage and management facilities outside the sphere of influence of atomized coating agent arranged, with what the need for extensive cleaning work not applicable.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist der Kreis­ förderer eine Anzahl von einer um die ortsfeste Achse drehbar gelagerten, mit einem Antrieb gekuppelten Nabe sternförmig abgehende Arme auf, auf denen die Träger angeordnet sind. Diese Arme selbst sind ge­ gen eine Besprühung in der Sprühzone unempfindlich und bedürfen keiner Reinigung, während andererseits sich damit ein sehr einfacher Aufbau des Förder­ systems in Gestalt eines Karussells ergibt.In a preferred embodiment, the circle conveyor a number of one around the fixed axis rotatably mounted, coupled with a drive Hub on outgoing arms on which the Carriers are arranged. These arms themselves are ge Insensitive to spraying in the spray zone and do not require cleaning, while on the other hand  a very simple structure of the funding systems in the form of a carousel.

Auf jedem der Arme können jeweils wenigstens zwei Träger in unterschiedlichem Abstand von der orts­ festen Achse angeordnet sein, um den Sprühbereich (Sprühkegel) besser auszunutzen. Auch ist es vor­ teilhaft, wenn im Bereiche der Sprühkammer unterhalb der Träger eine Auffangeinrichtung für überschüssiges Beschichtungsmaterial angeordnet ist, die zweckmäßiger­ weise eine Auffangwanne aufweisen kann, deren Berandung in einem dem Sprühbereich entsprechenden radialen Ab­ stand von der ortsfesten Achse verläuft und an die ge­ gebenenfalls Absaugmittel angeschlossen sind. Diese Auffangeinrichtung erlaubt eine einfache Möglichkeit der Rückgewinnung des Beschichtungsmaterials (Re­ cycling). Die Auffangeinrichtung ist bspw. über einen Siphon mit einem Recycling-Tank verbunden. Durch die Wiederverwendung kann der Beschichtungsmittelverbrauch sehr niedrig gehalten werden. Die Sprühkammer oder Sprühkabine erlaubt es, oben Luftfilter anzubringen und eine weitgehend laminare Luftströmung von oben nach unten durch die Kammer zu leiten; über den Siphon kann die Abluft abgeführt werden.At least two can be on each of the arms Carriers at different distances from the site fixed axis to be arranged around the spray area (Spray cone) better to use. It is also before partial if in the area of the spray chamber below the carrier is a catcher for excess Coating material is arranged, which is more appropriate as can have a drip pan, the edge in a radial direction corresponding to the spray area stood from the fixed axis and to the ge if necessary, suction devices are connected. These Collecting device allows an easy possibility the recovery of the coating material (Re cycling). The collecting device is, for example, via a Siphon connected to a recycling tank. Through the Coating agent consumption can be reused be kept very low. The spray chamber or Spray booth allows air filters to be attached to the top and a largely laminar air flow from above to lead down through the chamber; over the siphon the exhaust air can be removed.

Vorteilhafterweise können die Arme zumindest in dem Bereich der Sprühkammer durch wenigstens eine schrägliegend angeordnete Ablauffläche zumindest teilweise abgedeckt sein, um sie vor dem Sprüh­ nebel zu schützen. Auch können die Arme an ihren außenliegenden Enden einen als Abstropfstelle für überschüssiges Beschichtungsmaterial wirkenden tiefsten Punkt aufweisen, so daß sich geordnete, örtlich be­ grenzte Ablaufverhältnisse für auf die Arme gelangtes überschüssiges Beschichtungsmaterial ergeben. Advantageously, the arms can at least in the Area of the spray chamber by at least one sloping drain surface at least be partially covered to spray them before to protect fog. The arms can also be on her outer ends as a drainage point for excess coating material acting deepest Have point so that orderly, locally be limited running conditions for those who got on their arms result in excess coating material.  

Wenn es mit Rücksicht auf die physikalischen Ge­ gebenheiten der Substrate (bspw. geringe Wand­ stärke, kleines Gewicht) zweckmäßig ist, die Substrate während der Beschichtung und/oder der anschließenden Trocknung oder Behandlung ortsfest auf ihrem Träger zu fixieren, kann jeder Träger eine Spann- oder Haltevorrichtung (chuck) für das aufgelegte Substrat aufweisen. Außerdem kann es zur Erzielung einer sehr gleichmäßigen Belackung geringer Schichtdicke zweckmäßig sein, wenn jeder Träger um eine Vertikalachse drehbar gelagert und mit einem ihm eine Drehbewegung um diese Achse er­ teilenden Antrieb gekuppelt ist.When considering the physical Ge conditions of the substrates (e.g. small wall strength, small weight) is appropriate, the Substrates during the coating and / or the subsequent drying or treatment stationary Any carrier can fix on their carrier a chuck for the have placed substrate. Besides, it can to achieve a very uniform coating small layer thickness may be appropriate if everyone Bearings rotatably mounted about a vertical axis and with a rotation movement around this axis dividing drive is coupled.

Bei bestimmten Substraten, z.B. bei Compact-Disks, ist es erwünscht, die in der Sprühkammer aufgebrachte Belackung im Randbereich wieder zu entfernen, um das Auftreten von Lackwülsten und dergl. zu vermeiden. Dies läßt sich in einfacher Weise dadurch bewerkstelligen, daß in dem Bereich zwischen der Sprüh- und der Trocken­ kammer eine Einrichtung zur randseitigen Entfernung der Beschichtung von den Substraten angeordnet ist, der die beschichteten Substrate von dem Kreisförderer aufeinanderfolgend zuführbar sind.For certain substrates, e.g. for compact discs, it is desirable to apply the one applied in the spray chamber To remove the varnish in the edge area again in order To avoid the appearance of paint beads and the like. This can be accomplished in a simple manner by that in the area between the spray and the dry chamber a device for edge removal the coating of the substrates is arranged, the coated substrates from the circular conveyor can be fed in succession.

Außerdem kann die Sprühkammer eine tunnel- oder schleusenartig ausgebildete Eintritts- und Austritts­ öffnung für die Arme aufweisen, durch die eine im wesentlichen sprühnebeldichte Abdichtung der Sprüh­ kammer nach außen hin bewirkt wird. Damit ist sicher­ gestellt, daß keine Beschichtungsmaterialnebel nach außen dringen können, insbesondere, wenn an die tunnel- oder schleusenartige Ein- und Auslaß­ öffnung Absaugmittel angeschlossen sind.In addition, the spray chamber can be a tunnel or lock-shaped entry and exit have an opening for the arms through which one in the essential spray-tight sealing of the spray chamber is effected to the outside. So that is safe placed that no coating material mist after can penetrate outside, especially when the  tunnel-like or lock-like inlet and outlet suction devices are connected.

Die in der Sprühkammer angeordnete Sprüheinrichtung kann, abhängig von dem verwendeten Beschichtungs­ material und der Art der zu beschichtenden Substrate einen Ultraschallzerstäuber oder eine Airless- Zerstäubereinrichtung oder andere für den jeweiligen Zweck besonders geeignete Zerstäubermittel aufweisen. Eine besonders homogene Beschichtung ergibt sich, wenn die Sprüheinrichtung einen mit hoher Drehzahl rotierenden Sprühkopf und eine Einrichtung zur Er­ zeugung eines elektrischen Feldes im Sprühbereich aufweist, wobei dann die zumindest teilweise metallischen Träger mit ihren Spann- oder Halte­ vorrichtungen (chucks) als Elektrode der Einrichtung zur Erzeugung des elektrischen Feldes wirkend ausge­ bildet und geerdet oder mit einem Pol einer Hoch­ spannungsquelle dieser Einrichtung verbunden sein können.The spray device arranged in the spray chamber can, depending on the coating used material and the type of substrates to be coated an ultrasonic atomizer or an airless Atomizer device or other for the particular Have particularly suitable atomizers for the purpose. A particularly homogeneous coating results if the sprayer is a high speed one rotating spray head and a device for Er Generation of an electric field in the spray area has, the then at least partially metallic supports with their tensioning or holding devices (chucks) as electrodes of the device acting to generate the electric field forms and grounded or with a pole of a high be connected to this device can.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung dargestellt. Es zeigen:In the drawing is an embodiment of the Subject of the invention shown. Show it:

Fig. 1 eine Vorrichtung gemäß der Erfindung, in einer schematischen Darstellung und in einer Draufsicht, Fig. 1 shows a device according to the invention in a schematic view and in a plan view,

Fig. 2 die Vorrichtung nach Fig. 1, geschnitten längs der Linie II-II der Fig. 1, in einer Seitenansicht, Fig. 2 shows the device according to Fig. 1, taken along the line II-II of Fig. 1, in a side view;

Fig. 3 ein Compact-Disk als Beispiel für ein zu be­ schichtendes Substrat, in einer Draufsicht, und Fig. 3 shows a compact disk as an example of a substrate to be coated, in a plan view, and

Fig. 4 das Compact-Disk nach Fig. 3 im Querschnitt in ver­ größerter schematischer Darstellung, mit der Schicht­ folge von Polycarbonat-Träger - aufgesputterte Metallschicht - zu lackierende Oberfläche (von unten nach oben), und Fig. 4 shows the compact disk of FIG. 3 in cross section in a larger schematic representation, with the layer sequence of polycarbonate support - sputtered metal layer - surface to be painted (from bottom to top), and

Fig. 5 einen Substrat-Träger der Vorrichtung nach Fig. 1, mit zugeordneter Spann- oder Halte­ vorrichtung, in schematischer Darstellung, in einer Seitenansicht und in einem anderen Maßstab. Fig. 5 shows a substrate carrier of the device of FIG. 1, with associated clamping or holding device, in a schematic representation, in a side view and on a different scale.

Die in der Zeichnung dargestellte Vorrichtung dient insbesondere zum Belacken von Substraten in Gestalt von Compact-Disks 1, von denen eine in Fig. 3, 4 sche­ matisch veranschaulicht ist. Sie kann aber auch zur Beschichtung von anderen scheibenförmigen Substraten, wie Halbleiter-Scheiben, Leiterplatten, Keramik- Substraten, Folien und dergl. benutzt werden, während unter einer Compact-Disk sowohl CD-DA (Compact Disk- Digital Audio) CD-ROM (d.h. nur lesbare) als auch CD- I (d.h. interaktive, also les- und beschreibbare) Datenspeicher verstanden werden. Jedes solche Compact- Disk 1 besteht aus einer spritzgegossenen oder gepreßten dünnen Polykarbonatscheibe 50, die in einem getrennten, hier nicht interessierenden Arbeitsgang auf einer Seite durch Aufsputtern einer Aluminium-Reflektionsschicht 51 metallisiert wurde und die in der beschriebenen Vor­ richtung mit einer Schutzlackschicht 52 beschichtet wer­ den muß. Die Schutzlackschicht 52 soll die aufgesputterte Aluminiumschicht 51 vollständig abdecken.The device shown in the drawing is used in particular for coating substrates in the form of compact disks 1 , one of which is schematically illustrated in Fig. 3, 4. However, it can also be used for coating other disk-shaped substrates, such as semiconductor wafers, printed circuit boards, ceramic substrates, foils and the like, while under a compact disk both CD-DA (compact disk digital audio) CD-ROM ( ie only readable) as well as CD-I (ie interactive, ie readable and writable) data memories can be understood. Each such compact disk 1 consists of an injection-molded or pressed thin polycarbonate disc 50 , which was metallized on one side by sputtering on an aluminum reflective layer 51 in a separate, irrelevant operation and which is coated in the described device with a protective lacquer layer 52 that must. The protective lacquer layer 52 is intended to completely cover the sputtered aluminum layer 51 .

Die Vorrichtung weist ein im wesentlichen kastenför­ miges rechteckiges Gehäuse 2 auf, dessen Wände außen aus Blech zur Abschirmung des elektrischen Feldes be­ stehen und das durch eine vertikale metallische Trenn­ wand 3 in eine Sprühkammer 4 und eine daran anschließende Trocknungskammer 5 unterteilt ist. Die Wände der Sprüh­ kammer 4 können innen mit einem isolierenden Material (z.B. Polypropylen, Teflon, PVC) ausgekleidet sein. In dem Gehäuse 2 ist ein in Gestalt eines Transport­ karussells 6 ausgebildeter Kreisförderer angeordnet, der mit einem Untergestell 7 auf dem Boden aufgestellt ist. Auf dem Untergestell 7 ist über eine im Bereiche der Trennwand 3 angeordnete Vertikalachse 8 ein Naben­ ring 9 um eine ortsfeste Vertikalachse drehbar gela­ gert, der mit der Achse 8 über Speichen 10 verbunden ist. The device has a substantially kastenför shaped rectangular housing 2 , the walls of which are made of sheet metal to shield the electrical field and the wall 3 is divided into a spray chamber 4 and a subsequent drying chamber 5 by a vertical metallic partition. The walls of the spray chamber 4 can be lined with an insulating material (eg polypropylene, Teflon, PVC). In the housing 2 , a circular conveyor designed in the form of a transport carousel 6 is arranged, which is set up on the floor with a base frame 7 . On the base frame 7 is arranged in the region of the partition 3 vertical axis 8, a hub ring 9 rotatably gela gela gerert, which is connected to the axis 8 via spokes 10 .

Auf der Innenseite des Nabenringes 9 ist eine Verzahnung 11 angeordnet, in die ein Antriebsritzel 12 eingreift, das über eine Welle 13 mit einer in dem Unterge­ stell 7 untergebrachten Antriebsvorrichtung 14 gekuppelt ist, die es erlaubt, den Nabenring 9, bezogen auf Fig. 1, im Uhrzeigersinn kontinuierlich anzutreiben, wie dies durch einen Pfeil 150 angedeutet ist.On the inside of the hub ring 9 , a toothing 11 is arranged, into which a drive pinion 12 engages, which is coupled via a shaft 13 to a drive device 14 accommodated in the lower part 7 , which allows the hub ring 9 , based on FIG. 1 to continuously drive clockwise, as indicated by an arrow 150 .

An dem Nabenring 9 sind in gleichen Abständen nach außen ragende Arme 15 befestigt, die in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise schräg nach unten zu geneigt an­ geordnet sind. Endseitig ist an jedem der Arme 15 ein Substrat-Träger 16 gelagert, der mit einer tellerförmigen, kreiszylindrischen Aufnahmescheibe 17 versehen ist, die eine horizontal ausgerichtete kreisförmige Auflagefläche für ein Compact-Disk 1 bildet. Die Abmessungen der Aufnahmescheibe 17 und des zylindrischen Trägers 16 sind dabei derart ge­ wählt, daß ein auf eine Auflagescheibe 17 aufge­ legtes Compact-Disk 1 die Auflagefläche und den Träger 16 nach oben zu vollständig abdeckt. Jeder der Träger 16 ist an dem zugeordneten Arm 15 über ein trichterförmig zulaufendes Gehäuseteil 18 und eine vertikale Lagerbüchse 19 befestigt; er kann eine Antriebseinrichtung 21 enthalten (Fig. 5), mit der der Auflagescheibe eine Drehbewegung um die zu­ geordnete Vertikalachse 22 erteilt werden kann.On the hub ring 9 outwardly projecting arms 15 are attached at equal intervals, which are arranged in the manner shown in FIG. 2 obliquely downward inclined to. On each end of each of the arms 15, a substrate carrier 16 is mounted, which is provided with a plate-shaped, circular-cylindrical receiving disc 17 , which forms a horizontally oriented circular contact surface for a compact disk 1 . The dimensions of the receiving disk 17 and the cylindrical support 16 are selected such that a compact disk 1 placed on a support disk 17 completely covers the support surface and the support 16 upwards. Each of the carriers 16 is attached to the associated arm 15 via a funnel-shaped housing part 18 and a vertical bearing bush 19 ; it can contain a drive device 21 ( FIG. 5) with which the support disc can be given a rotary movement about the assigned vertical axis 22 .

Außerdem ist jeder der Träger 16 mit einer Klemm-, Spann- oder Ansaugvorrichtung (chuck) für ein auf­ gelegtes Compact-Disk 1 versehen, die es gestattet, das Compact-Disk lagefest auf der Auflagescheibe 17 zu fixieren, derart, daß dieses die erwähnte Drehbewegung der Auflagescheibe 17 mitmacht. Diese Klemm- oder Spannvorrichtung weist im vorliegenden Falle eine Anzahl von Kanälen 23 in der Aufnahmescheibe 17 auf, die über eine zweckentsprechende Verteilereinrichtung mit einer Unterdruckquelle 24 verbunden sind, die es gestattet, die Kanäle 23 mit Unterdruck zu beauf­ schlagen und damit das Compact-Disk 1 an der Auflage­ scheibe 17 festzusaugen.In addition, each of the carriers 16 is provided with a clamping, tensioning or suction device (chuck) for a compact disc 1 which allows the compact disc to be fixed in position on the support disc 17 in such a way that the latter is mentioned Rotating movement of the support plate 17 participates. This clamping or tensioning device in the present case has a number of channels 23 in the receiving disk 17 , which are connected via a suitable distributor device to a vacuum source 24 , which allows the channels 23 to be subjected to a vacuum and thus the compact disk 1 on the support disc 17 to suck.

Während bei der in den Fig. 1,2 dargestellten Aus­ führungsformen an jedem der Arme 15 lediglich ein Träger 16 endseitig angeordnet ist, könnte die An­ ordnung auch derart getroffen sein, daß jeder der Arme 15 mehrere, bspw. zwei Träger 16, 16 a trägt, die in unterschiedlichem radialen Abstand von der Vertikalachse 8 angeordnet sind. In jedem Falle werden aber die mit ihren Mittelpunkten jeweils auf einem gemeinsamen, zu der Achse 8 konzentrischen Kreis liegenden Träger 17 in dem Transportkarussell 6 jeweils auf einer gemeinsamen Kreisbahn transpor­ tiert.While in the embodiment shown in Fig. 1.2 From EMBODIMENTS on each of the arms 15, only one carrier 16 is arranged at the end, which at 16 could also be properly made so that each of the arms 15, a plurality, eg. Two carriers 16, a carries, which are arranged at different radial distances from the vertical axis 8 . In any case, but with their centers on a common, concentric to the axis 8 lying circle carrier 17 in the transport carousel 6 are each transported on a common circular path.

Das Gehäuse 2 weist an seiner im Bereiche der Be­ dienungsseite angeordneten Vorderwand 25 eine im Querschnitt etwa dreieckförmige Einbuchtung 26 auf, die durch zwei mit der Trennwand 3 verbundene, etwa rechtwinklig aufeinanderstehende Wände 27 begrenzt ist. In den Wänden 27 sind eine Einlaß­ öffnung 28 in die Sprühkammer 4 und eine Auslaß­ öffnung 29 aus der Trocknungskammer 5 vorgesehen, durch die die Träger 16 aus dem durch die Einbuchtung 26 gebildeten Bedienungsraum in die Sprühkammer 4 eintreten und aus der Trocknungskammer 5 aus­ treten können. Außerdem weist die Trennwand 3 eine Auslaßöffnung 30 auf, die den Übertritt der Träger 16 aus der Sprühkammer in die Trocknungs­ kammer 5 ermöglicht.The housing 2 has, on its front wall 25 arranged in the region of the service side, has an approximately triangular indentation 26 in cross section, which is delimited by two walls 27 connected to the dividing wall 3 , approximately at right angles to one another. In the walls 27 has an inlet are opening 28 in the spray chamber 4 and an outlet opening 29 from the drying chamber 5 is provided, through which the beam 16 entering from the space formed by the indentation 26 Operation space in the spraying chamber 4 and withdrawn from the drying chamber 5 of can . In addition, the partition 3 has an outlet opening 30 , which allows the transfer of the carrier 16 from the spray chamber into the drying chamber 5 .

Die Einlaßöffnung 28 und die Auslaßöffnung 30 der Sprühkammer 4 sind jeweils mit einem an­ schließenden Blechkanal 31 schleusen- oder tunnel­ artig ausgebildet, wobei an die Blechkanäle 31 jeweils eine Beschichtungsmaterial-Absaugvorrichtung 32 angeschlossen ist.The inlet opening 28 and the outlet opening 30 of the spray chamber 4 are each formed with a lock on closing sheet metal channel 31 or tunnel-like, wherein a coating material suction device 32 is connected to the sheet metal channels 31 .

In der Sprühkammer 4 ist in dem Bereich oberhalb der in einer vertikalen Ebene umlaufenden Träger 16 eine Sprüheinrichtung 33 mit einer mit hoher Dreh­ zahl umlaufenden Sprühglocke 34 angeordnet, die das ihr zugeführte Beschichtungsmaterial (Lack) feinst­ verteilt in einem bei 35 in Fig. 2 angedeuteten Sprühstrahl nach unten zu auf die auf die Auflage­ scheiben 17 aufgelegten Compact-Disk 1, d.h. die Substrate, aufbringt. Der Auftrag des Beschichtungs­ materials erfolgt in einem elektrischen Feld, das zwischen der metallischen Zerstäubungsglocke 34 und den metallischen Trägern 16 (bzw. der metalli­ schen Auflageplatte 17) dadurch erzeugt ist, daß die Zerstäuberglocke 34 und der metallische Naben­ ring 9 jeweils mit einem Pol einer nicht weiter dar­ gestellten Hochspannungsquelle (bis zu etwa 100 kV) ver­ bunden sind. Zu diesem Zwecke ist der Nabenring 9 über eine Schleifringleitung 36 bei 37 geerdet.In the spray chamber 4 in the area above the rotating carrier 16 in a vertical plane, a spray device 33 is arranged with a high-speed rotating spray bell 34 , the coating material (varnish) supplied to it finely distributed in a indicated at 35 in Fig. 2 Spray jet down to the discs 17 placed on the compact disk 1 , ie the substrates. The application of the coating material takes place in an electrical field, which is generated between the metallic atomizing bell 34 and the metallic carriers 16 (or the metallic platen 17 ) by the atomizing bell 34 and the metallic hub ring 9 each having a pole one Not further illustrated high voltage source (up to about 100 kV) are connected. For this purpose, the hub ring 9 is grounded at 37 via a slip ring line 36 .

In der Sprühkammer 4 ist außerdem unterhalb der Transportbahn der Träger 16 eine Beschichtungs­ mittel-Auffangeinrichtung angeordnet, welche eine Auffangwanne 38 aufweist, die radial über den Sprühstrahl oder -kegel 35 hinausragt und mit einem Recycling-Tank 39 in Verbindung steht, von dem aus das aufgefangene flüssige Beschichtungsmaterial über nicht weiter dargestellte Pumpen und Filter der Wieder­ verwendung zugeführt wird. An die Auffangwanne 38 ist eine Absaugvorrichtung 32 für Beschichtungsmaterial- Nebel angeschlossen.In the spray chamber 4 , a coating medium collecting device is also arranged below the transport path of the carrier 16 , which has a collecting trough 38 which projects radially beyond the spray jet or cone 35 and is connected to a recycling tank 39 , from which the captured liquid coating material is supplied for reuse via pumps and filters not shown. A suction device 32 for coating material mist is connected to the collecting trough 38 .

Ein an der Trennwand 3 befestigtes, im wesentlichen dachförmig schräg nach unten verlaufendes Abdeck­ blech 40 deckt die Arme 15 im Bereiche der Sprüh­ kammer 4 bis in den Bereich der Träger 16 nach oben zu ab; auftreffendes Beschichtungsmaterial läuft in die Auffangwanne 38. Die Arme 15 sind schließlich derart ausgebildet, daß sich an ihren Enden bei 41 eine als Abtropfstelle für überschüssiges Beschichtungs­ material wirkender tiefster Punkt ergibt.A fixed to the partition 3 , substantially roof-shaped obliquely downward cover plate 40 covers the arms 15 in the area of the spray chamber 4 up to the area of the carrier 16 ; impinging coating material runs into the collecting trough 38 . The arms 15 are finally formed in such a way that at their ends there is a deepest point acting as a drainage point for excess coating material at 41 .

Die insoweit beschriebene Vorrichtung arbeitet wie folgt:The device described so far works like follows:

Die unbeschichteten Compact-Disks 1 werden an einer Aufgabestation A in dem Bereich der Einbuchtung 26 vorzugsweise automatisch auf die vorbeilaufenden Auflagescheiben 17 der Träger 16 aufgelegt und auf diesen durch die bereits beschriebene Spann- und Klemmvorrichtung fixiert. Sie treten sodann durch die Öffnung 28 und den schleusenartigen Kanal 31 in die Sprühkammer 4 ein, wo sie unter dem Sprühkegel 35 in horizontaler Ausrichtung durchbewegt und da­ bei mit dem Beschichtungsmaterial beschichtet wer­ den. Anschließend verlassen sie über die Öffnung 30 und den schleusenartigen Kanal 31 die Sprühkammer 14 und gelangen in die Trocknungskammer 5, in der das auf die Compact-Disks 1 aufgebrachte Beschichtungs­ material zum Aushärten gebracht wird. Die fertig beschichteten ausgehärteten Compact-Disks 1 ver­ lassen schließlich die Trocknungskammer durch die Öffnung 29 und werden an einer Entnahmestation B von den Trägern 16 nach Lösen der Spann- und Klemm­ vorrichtung abgenommen.The uncoated compact disks 1 are preferably placed automatically at a feed station A in the region of the indentation 26 on the supporting disks 17 of the carriers 16 passing by and fixed thereon by the clamping and clamping device already described. They then enter through the opening 28 and the sluice-like channel 31 into the spray chamber 4 , where they move under the spray cone 35 in a horizontal orientation and are coated with the coating material. They then leave the spray chamber 14 via the opening 30 and the lock-like channel 31 and enter the drying chamber 5 , in which the coating material applied to the compact disks 1 is brought to harden. The fully coated cured compact discs 1 ver finally leave the drying chamber through the opening 29 and are removed at a removal station B from the carriers 16 after loosening the clamping and clamping device.

Die Antriebs- und Führungseinrichtungen des Trans­ portkarussells 6 sind ersichtlich durch das Abdeck­ blech 40 und die Trennwand 3 gegenüber der Einwirkung des Beschichtungsmaterials in der Sprühkammer 4 völlig abgedeckt. Überschüssiges Beschichtungsmaterial wird in der Auffangwanne 38 aufgefangen und über den Recycling-Tank 39, wie bereits erwähnt, der Wieder­ verwendung zugeführt.The drive and guide devices of the trans port carousel 6 can be seen completely covered by the cover plate 40 and the partition 3 against the action of the coating material in the spray chamber 4 . Excess coating material is collected in the collecting trough 38 and, as already mentioned, supplied for reuse via the recycling tank 39 .

In dem Bereich zwischen der Sprühkammer 4 und der Trocknungskammer 5 kann eine bei 42 in Fig. 2 schematisch angedeutete Einrichtung zum Entfernen der Randbeschichtung der Compact-Disks 1 angeordnet werden. Solche Einrichtungen sind an sich bekannt und deshalb in ihren Einzelheiten nicht weiter be­ schrieben.In the area between the spray chamber 4 and the drying chamber 5 , a device, schematically indicated at 42 in FIG. 2, for removing the edge coating of the compact disks 1 can be arranged. Such facilities are known per se and are therefore not described in further detail.

Die beschriebene Vorrichtung eignet sich insbesondere auch zum Versprühen von UV-härtendem Lack. Beim Sprühen eines solchen Lackes verdampft kein Lösungs­ mittel, so daß auch Absaugeeinrichtungen weitgehend entfallen können. The device described is particularly suitable also for spraying UV curing lacquer. At the Spraying such a paint will not evaporate any solution medium, so that suction devices largely can be omitted.  

Grundsätzlich können aber auch alle anderen Arten von Lacken (auch lösungsmittelhaltigen) oder Be­ schichtungsmitteln Verwendung finden.Basically, all other types can of paints (including those containing solvents) or Be Layering agents are used.

Da die Auflageflächen für die Compact Disks 1 auf den Aufnahmescheiben 17 und die Träger 16 aufgrund ihrer Abmessungen durch die in der Auflagestation A aufgelegten Compact Disks 1 vollständig abgedeckt sind, können sie beim Durchgang durch die Sprüh­ kammer 4 nicht mit Beschichtungsmittel verschmutzt werden. Bei Behandlung von Substraten mit anderer Umrißgestalt, bspw. rechteckigen Leiterplatten, sind die Aufnahmescheiben 17 entsprechend zu gestalten, so daß in jedem Falle eine einwandfreie Abdeckung der Auflageflächen durch die aufgelegten Substrate gewährleistet ist.Since the contact surfaces for the compact disks 1 on the receiving discs 17 and the carrier 16 are completely covered due to their dimensions by the compact disks 1 placed in the support station A , they cannot be contaminated with coating agent when passing through the spray chamber 4 . When treating substrates with a different outline shape, for example rectangular circuit boards, the receiving disks 17 are to be designed accordingly, so that in any case a perfect covering of the support surfaces is ensured by the substrates placed on them.

Claims (17)

1. Vorrichtung zur dünnen Beschichtung (Belackung) scheibenförmiger Substrate für elektronische An­ wendungszwecke, beispielsweise Leiterplatten, Compact-Disks etc., mit einer das Beschichtungs­ material fein zerstäubenden und das zerstäubte Beschichtungsmaterial in einem Sprühbereich gleich­ mäßig auf das jeweilige Substrat leitenden Sprüh­ einrichtung, die in einer Sprühkammer angeordnet ist, mit wenigstens einer der Sprühkammer benach­ barten Behandlungs-, insbesondere Trocknungskam­ mer, für die beschichteten Substrate, sowie mit einem durch die Sprüh- und die Behandlungskammer verlaufenden, kontinuierlich angetriebenen För­ derer, dem eine Aufgabe-und eine Entnahmestation für die unbeschichteten bzw. die beschichteten Substrate zugeordnet ist und durch den die Substrate in horizontaler Ausrichtung im Abstand nebeneinander­ liegend unter der Sprüheinrichtung vorbei durch die Sprühkammer und anschließend durch die Be­ handlungskammer transportierbar sind, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Förderer ein Kreisförderer (6) ist, der eine Anzahl in gleichmäßigen Ab­ ständen auf wenigstens einer Kreisbahn um eine ortsfeste Achse (8) bewegbarer Träger (16) mit jeweils einer Auflage (17) für ein horizontal aus­ gerichtetes Substrat (1) aufweist, daß der Umriß jeder Auflage (17) wenig kleiner oder gleich jenem eines aufge­ legten Substrates (1) ist, derart, daß der Träger (16) durch ein aufgelegtes Substrat im wesentlichen vollständig abdeckbar ist und daß die Antriebs­ einrichtungen (12 bis 14) des Kreisförderers mit den zugeordneten Lager- und Führungsmitteln (8, 9) außerhalb des Sprühbereiches angeordnet oder gegen diesen abgeschirmt sind.1. Device for thin coating (lacquering) of disc-shaped substrates for electronic application purposes, for example printed circuit boards, compact disks etc., with a spray atomizing the coating material and spraying the coating material evenly onto the respective substrate in a spray area, the device is arranged in a spray chamber, with at least one of the spray chamber adjacent treatment, in particular drying chamber, for the coated substrates, and with a running through the spray and the treatment chamber, continuously driven conveyor, which a task and a removal station for the uncoated or the coated substrates is assigned and by which the substrates are horizontally spaced next to each other under the spray device by the spray chamber and then by the loading treatment chamber can be transported, characterized in that the För which is a circular conveyor ( 6 ), which has a number in uniform from on at least one circular path about a fixed axis ( 8 ) movable carrier ( 16 ), each with a support ( 17 ) for a horizontally oriented substrate ( 1 ) that the outline of each edition ( 17 ) is little less than or equal to that of a laid-on substrate ( 1 ), such that the carrier ( 16 ) can be covered completely by a laid-on substrate and that the drive devices ( 12 to 14 ) of the circular conveyor with the associated bearing and guide means ( 8 , 9 ) are arranged outside the spray area or are shielded against it. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kreisförderer eine Anzahl von einer um die ortsfeste Achse (8) drehbar gelagerten, mit einem Antrieb (12 bis 14) gekuppelten Nabe (9) stern­ förmig abgehende Arme (15) aufweist, auf denen die Träger (16) angeordnet sind.2. Device according to claim 1, characterized in that the circular conveyor has a number of a star-shaped outgoing arms ( 15 ) rotatably mounted around the fixed axis ( 8 ), with a drive ( 12 to 14 ) coupled hub ( 9 ) which the carrier ( 16 ) are arranged. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß auf jeden der Arme (15) jeweils wenigstens zwei Träger (16) in unterschiedlichem Abstand von der ortsfesten Achse (8) angeordnet sind.3. Apparatus according to claim 2, characterized in that on each of the arms ( 15 ) at least two supports ( 16 ) are arranged at different distances from the fixed axis ( 8 ). 4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Arme (15) an ihren außen liegenden Enden einen als Abtropfstelle für über­ schüssiges Beschichtungsmaterial wirkenden tiefsten Punkt (41) aufweisen.4. Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the arms ( 15 ) have at their outer ends a as a drip point for excess coating material deepest point ( 41 ). 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereiche der Sprüh­ kammer (4) unterhalb der Träger (16) eine Auffang­ einrichtung (38, 39) für überschüssiges Beschich­ tungsmaterial angeordnet ist. 5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the region of the spray chamber ( 4 ) below the carrier ( 16 ) a collecting device ( 38 , 39 ) for excess coating material is arranged. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Auffangeinrichtung eine Auffangwanne (38) aufweist, deren Berandung in einem dem Sprühbereich (35) entsprechenden radialen Abstand von der orts­ festen Achse (8) verläuft und an die gegebenenfalls Absaugmittel (32) angeschlossen sind.6. The device according to claim 5, characterized in that the collecting device has a collecting trough ( 38 ), the edge of which extends in a radial distance from the fixed axis ( 8 ) corresponding to the spray area ( 35 ) and connected to the optionally suction means ( 32 ) are. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß die Arme (15) zumindest in dem Bereiche der Sprühkammer (4) durch wenigstens eine schrägliegend angeordnete Ablauffläche (40) zumindest teilweise abgedeckt sind.7. Device according to one of claims 2 to 5, characterized in that the arms ( 15 ) are at least partially covered at least in the region of the spray chamber ( 4 ) by at least one sloping drain surface ( 40 ). 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Träger (15) eine Spann- oder Haltevorrichtung (Fig. 4) für das auf­ gelegte Substrat (1) aufweist.8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that each carrier ( 15 ) has a clamping or holding device ( Fig. 4) for the placed on the substrate ( 1 ). 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich­ net, daß jeder Träger (16) um eine Vertikalachse (22) drehbar gelagert und mit einem ihm eine Dreh­ bewegung um diese Achse erteilenden Antrieb (21) gekuppelt ist.9. The device according to claim 8, characterized in that each carrier ( 16 ) rotatably mounted about a vertical axis ( 22 ) and coupled to it with a rotational movement about this axis issuing drive ( 21 ). 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Bereich zwischen der Sprüh- und der Trockenkammer (4, 5) eine Ein­ richtung (42) zur randseitigen Entfernung der Be­ schichtung von den Substraten (1) angeordnet ist, der die beschichteten Substrate von dem Kreisförderer (6) aufeinanderfolgend zuführbar sind.10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the area between the spray and the drying chamber ( 4 , 5 ) a device ( 42 ) for edge removal of the coating from the substrates ( 1 ) is arranged, the the coated substrates can be fed in succession from the circular conveyor ( 6 ). 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die Sprühkammer (4) eine tunnel- oder schleusenartig ausgebildete Eintritts­ und Austrittsöffnung (28, 30) für die Arme (15) auf­ weist, durch die eine im wesentlichen sprühnebel­ dichte Abdichtung der Sprühkammer (4) nach außen hin bewirkt ist.11. The device according to one of claims 2 to 7, characterized in that the spray chamber ( 4 ) has a tunnel-like or lock-shaped inlet and outlet opening ( 28 , 30 ) for the arms ( 15 ) through which an essentially spray tight sealing of the spray chamber ( 4 ) is effected to the outside. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß an die tunnel- oder schleusenartige Ein­ und Auslaßöffnung (28, 30) Absaugmittel (32) an­ geschlossen sind.12. The apparatus according to claim 11, characterized in that at the tunnel or lock-like inlet and outlet opening ( 28 , 30 ) suction means ( 32 ) are closed. 13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (33) einen Ultraschallzerstäuber aufweist.13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the spray device ( 33 ) has an ultrasonic atomizer. 14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (33) eine Airless-Zerstäubereinrichtung aufweist.14. Device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the spray device ( 33 ) has an airless atomizer device. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-12, da­ durch gekennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (33) einen mit hoher Drehzahl rotierenden Sprühkopf (34) aufweist.15. Device according to one of claims 1-12, characterized in that the spray device ( 33 ) has a spray head ( 34 ) rotating at high speed. 16. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Sprüheinrichtung (33) eine Einrichtung zur Erzeugung eines elektrischen Fel­ des im Sprühbereich (35) aufweist.16. The apparatus of claim 13 or 15, characterized in that the spray device ( 33 ) has a device for generating an electric field in the spray area ( 35 ). 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich­ net, daß die zumindest teilweise metallischen Trä­ ger (16) als Elektrode der Einrichtung zur Er­ zeugung des elektrischen Feldes wirkend ausgebildet und geerdet oder mit einem Pol einer Hochspannungs­ quelle dieser Einrichtung verbunden sind.17. The apparatus according to claim 16, characterized in that the at least partially metallic Trä ger ( 16 ) acting as an electrode of the device for generating the electric field He acting and grounded or connected to a pole of a high voltage source of this device.
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