DE3631926A1

DE3631926A1 - METHOD FOR PRODUCING A FOG OF VERY FINE HUMIDITY PARTICLES IN AIR

Info

Publication number: DE3631926A1
Application number: DE19863631926
Authority: DE
Inventors: Masahiko Izumi
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-09-21
Filing date: 1986-09-19
Publication date: 1987-03-26
Also published as: KR910005982B1; JPH0577466B2; NL8602323A; GB2180776B; AU6250586A; CH669834A5; CN1004860B; BR8604462A; FR2587628B1; SE8603728D0; SE8603728L; IT8648442A0; AU577203B2; IT1196617B; KR870002866A; FR2587628A1; CN86106342A; DK426086A; CA1265435A; GB2180776A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Ne bels aus sehr feinen Feuchtigkeitsteilchen oder Mikrotröpfchen aus Wasser in Luft, indem man mehr als 2 000 000, vorzugsweise mehr als 5 000 000 und noch bevorzugter mehr als 10 000 000 fein zerstäubter Feuchtigkeitsteilchen oder Mikrotröpfchen in jeweils etwa 28,3 l verteilt, die Erfindung bezieht sich weiter auf ein Verfahren zum Reinigen des Inneren eines Raumes unter Verwendung eines solchen Nebels aus ultrafeinen Feuchtig keitsteilchen.The invention relates to a method for producing a Ne made of very fine moisture particles or microdroplets from water to air by adding more than 2,000,000, preferably more than 5,000,000, and more preferably more than 10,000,000 finely atomized moisture particles or microdroplets distributed in about 28.3 l each, the invention relates further on a method of cleaning the interior of a room using such an ultra fine moisture mist particles.

Saubere Luft, die frei ist von Staub und Mikroben, wird in Krankenhäusern, pharmazeutischen Fabriken, Nahrungsmittelfabri ken, Kühlhäusern für die Lagerung von Nahrungsmitteln, Labora torien, Versuchsräumen und anderen benötigt. Es war bisher üblich, hierfür durch einen Luftfilter reine Luft einzuleiten oder einen Luftvorhang am Eingang eines Raumes zu schaffen. Auch bei Anwendung dieser Maßnahmen, selbst in Kombination mit einem Luft-Duschraum, ergaben sich noch Schwierigkeiten reine Luft befriedigender Qualität zu erhalten.Clean air that is free of dust and microbes is in Hospitals, pharmaceutical factories, food factory ken, cold stores for food storage, labora toriums, test rooms and others. It was so far It is customary to introduce pure air through an air filter or create an air curtain at the entrance to a room. Even when using these measures, even in combination with an air shower room, difficulties still arose To maintain air of satisfactory quality.

Es wird daher derzeit als fast unmöglich angesehen, in einem industriellen Maßstab ultrareine Luft oder ultrareines Gas in LSI- und VLSI-Fabrikationsanlagen, in biopharmazeutischen Fa brikationsanlagen, Operationsräumen, Waschanlagen für Präzisi onsvorrichtungen, Fabrikationsanlagen für sterilisierte Nah rungsmittel, Kühlhäusern und ähnlichen bereitzustellen, die eine strengere Kontrolle erfordern, um den Eintritt nicht nur von Bakterien und Viren sondern auch von Staubteilchen mit einer Größe von weniger als 0,5 µm auszuschließen.It is therefore currently considered almost impossible in one industrial scale ultra pure air or ultra pure gas in LSI and VLSI manufacturing plants, in biopharmaceutical companies brication systems, operating rooms, washing systems for precision ons devices, manufacturing facilities for sterilized near resources, cold stores and the like not only require stricter control to ensure entry of bacteria and viruses but also of dust particles with a size of less than 0.5 µm.

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Erzielen eines hohen Grades von Reinheit in Kühl-Lagerhäusern, Opera tionssälen, Fabrikationsanlagen und ähnlichen in verschiedenen industriellen Gebieten und erfüllt so ein starkes Bedürfnis.The present invention provides a method of achieving a high degree of purity in refrigerated warehouses, Opera factories, manufacturing plants and the like in various industrial areas and thus fulfills a strong need.

In der vorliegenden Erfindung wurde durch intensive Untersu chungen der Adsorptions-Luftreinigung durch Feuchtigkeitsteil chen, die in Luft zerteilt sind, festgestellt, daß zusätzlich zu feinen Staubteilchen in Luft selbst Bakterien, Schimmelpil ze, Sporen und Viren durch Adsorption an Nebelteilchen ent fernt werden können, indem man Luft einsetzt, die zerstäubte Feuchtigkeitsteilchen oder Mikrotröpfchen enthält, die kleiner als 0,5 µm sind, wobei mehr als 2 000 000 Teilchen, vorzugs weise mehr als 5 000 000 Teilchen und noch bevorzugter mehr als 10 000 000 Teilchen in jeweils etwa 28,3 l Luft enthalten sind. Überraschenderweise wurde auch festgestellt, daß eine gasförmige Atmosphäre, die fein zerstäubte Mikrotröpfchen ver teilt darin enthält, die Reinigungswirkung haben kann, ohne einen in dieser Atmosphäre befindlichen Gegenstand oder Artikel zu befeuchten, obwohl diese Atmosphäre Feuchtigkeitsteilchen enthält, dies aber nur, solange sich diese Feuchtigkeitsteil chen in Form sehr feiner Mikrotröpfchen befinden. Durch eine weitere Untersuchung wurde festgestellt, daß ein übliches Gas bis zu einem sehr reinen Zustand gesäubert werden kann, indem man das Gas durch eine gasförmige Atmosphäre leitet, in der sehr feine Nebelteilchen oder Mikrotröpfchen vorhanden sind, wobei man dieses sehr stark gereinigte Gas dann direkt in ein Zimmer, einen besonderen Raum oder irgendeinen anderen Platz leitet, der die Zuführung eines solchen sehr reinen Gases be nötigt.In the present invention, by intensive investigation Adsorption air purification by moisture part Chen, which are divided in air, found that in addition too fine dust particles in air even bacteria, mold ze, spores and viruses ent by adsorption on fog particles ent can be removed by using air that atomizes Contains moisture particles or microdroplets that are smaller than 0.5 µm, with more than 2,000,000 particles, preferably wise more than 5,000,000 particles, and more preferably more than 10,000,000 particles in about 28.3 liters of air each are. Surprisingly, it was also found that a gaseous atmosphere that ver finely atomized microdroplets ver divides therein, which can have the cleaning effect without an object or article in this atmosphere to moisturize, although this atmosphere contains moisture particles contains, but only as long as this moisture part Chen in the form of very fine microdroplets. By a Further investigation was found to be a common one Gas can be cleaned to a very pure state by passing the gas through a gaseous atmosphere, in which have very fine mist particles or microdroplets, and then you put this very highly purified gas directly into a Room, a special room or any other place directs the supply of such a very pure gas be compelled.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Herstel len eines Nebels aus sehr feinen Feuchtigkeitsteilchen oder Mikrotröpfchen in Luft geschaffen, das im wesentlichen die fol genden Stufen umfaßt: Einspritzen von Wasser in eine Zerstäu bungskammer unter einem Druck von 0,3 bis 5,5 bar, vorzugs weise unter einem Druck von 0,5 bis 2,5 bar, aus einem Wasser- Einspritzrohr mit einer großen Anzahl von Düsen mit einem Durchmesser von 0,2 bis 8 mm, vorzugsweise einem Durchmesser von 0,5 bis 3 mm, wobei man das eingespritzte Wasser gegen eine Wand spritzen läßt, die im Abstand von 10 bis 150 cm von den Düsen angeordnet ist, um die ultrafeinen Feuchtigkeits teilchen oder Mikrotröpfchen zu erzeugen und Hindurchleiten von Luft durch die Zerstäubungskammer, um darin in jeweils etwa 28,3 l mehr als 2 000 000, vorzugsweise mehr als 5 000 000 und noch bevorzugter mehr als 10 000 000 ultrafeiner Mikro tröpfchen mit einer Teilchengröße von 0,5 µm oder weniger mit zureißen. Die Erfindung umfaßt auch ein Verfahren zum Reinigen des Inneren eines Raumes durch Zirkulieren der nebelhaltigen Luft darin.According to the present invention, a method of manufacturing a mist made of very fine moisture particles or Microdroplets created in air, which essentially follows the fol stages include: injecting water into an atomizer Exercise chamber under a pressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably wise under a pressure of 0.5 to 2.5 bar, from a water Injection tube with a large number of nozzles with one Diameter from 0.2 to 8 mm, preferably a diameter from 0.5 to 3 mm, taking the injected water against can splash a wall that is at a distance of 10 to 150 cm from the nozzle is arranged to the ultra fine moisture to produce particles or microdroplets and pass them through Air through the atomization chamber to get in about each 28.3 l more than 2,000,000, preferably more than 5,000,000 and more preferably more than 10,000,000 ultrafine micro droplets with a particle size of 0.5 microns or less tear. The invention also includes a method of cleaning the interior of a room by circulating the foggy Air in it.

Die Zeichnung zeigt:The drawing shows:

Fig. 1 einen schematischen Längsschnitt eines Zerstäubers für die vorliegende Erfindung; Figure 1 is a schematic longitudinal section of an atomizer for the present invention.

Fig. 2 einen schematischen Querschnitt eines mittleren Ab schnittes des in Fig. 1 gezeigten Zerstäubers; Fig. 2 is a schematic cross section of a middle section of the atomizer shown in Fig. 1;

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht eines Cyclons zum Entfernen von Feuchtigkeitsteilchen; Fig. 3 is a schematic sectional view of a cyclone for removing moisture particles;

Fig. 4 eine Ansicht ähnlich der Fig. 1 einer anderen Ausfüh rungsform des Zerstäubers nach der vorliegenden Erfin dung; FIG. 4 is a view similar to FIG. 1 of another embodiment of the atomizer according to the present invention;

Fig. 5 eine schematische Querschnittsansicht eines oberen Ab schnittes des Zerstäubers nach Fig. 4; Fig. 5 is a schematic cross-sectional view of an upper section from the atomizer of Fig. 4;

Fig. 6 eine schematische Querschnittsansicht eines mittleren Abschnittes des Zerstäubers nach Fig. 4; Figure 6 is a schematic cross-sectional view of a central portion of the atomizer of Figure 4;

Fig. 7 eine schematische Ansicht eines Reinigungssystems, wie es in einer Anlage zur Herstellung von Halbleitern be nutzt wird; Fig. 7 is a schematic view of a cleaning system as it is used in a plant for the production of semiconductors;

Fig. 8 eine schematische Schnittansicht eines Wärmeaustauschers, der nach dem Zerstäuber angeschlossen wird und Fig. 8 is a schematic sectional view of a heat exchanger which is connected after the atomizer and

Fig. 9 eine schematische Querschnittsansicht eines oberen Ab schnittes des Wärmeaustauschers. Fig. 9 is a schematic cross-sectional view of an upper section from the heat exchanger.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Zerstäuber mit einem Wasser-Einspritzrohr versehen, das z.B. 30 bis 1500 Düsen mit einem Durchmesser von 0,2 bis 8 mm, vorzugsweise einem Durch messer von 0,5 bis 3 mm enthält. Wasser wird unter hohem Druck dem Einspritzrohr zugeführt und durch die Düsen unter einem Druck von 0,3 bis 5,5 bar, vorzugsweise unter einem Druck von 0,5 bis 2,5 bar (Manometerdruck) mit einer Geschwin digkeit von 1 bis 3 l/min durch jede Düse eingespritzt. Das eingespritzte Wasser wird gegen eine Wand geschossen, die in einem Abstand von 10 bis 150 cm von den Düsen angeordnet ist und zu sehr feinen Mikrotröpfchen zerstäubt, während Luft mit einer Geschwindigkeit von 15 bis 50 m/s und einer Rate von 3 bis 300 m/min in den Zerstäuber eingeführt wird, um in jeweils etwa 28,3 l mehr als 2 000 000, vorzugsweise mehr als 5 000 000 und noch bevorzugter mehr als 10 000 000 ultra feine Mikrotröpfchen mit einem Durchmesser von weniger als 0,5 µm mitzureißen.According to the present invention, the atomizer is with a Water injection pipe provided, e.g. 30 to 1500 nozzles with a diameter of 0.2 to 8 mm, preferably a diameter contains knives from 0.5 to 3 mm. Water gets under high Pressure is fed to the injection pipe and through the nozzles below a pressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably under a Pressure from 0.5 to 2.5 bar (pressure gauge pressure) with one speed injected from 1 to 3 l / min through each nozzle. The injected water is shot against a wall that arranged at a distance of 10 to 150 cm from the nozzles is atomized and into very fine microdroplets, while Air at a speed of 15 to 50 m / s and one Rate of 3 to 300 m / min is introduced into the atomizer in about 28.3 l each more than 2,000,000, preferably more than 5,000,000 and more preferably more than 10,000,000 ultra fine microdroplets with a diameter of less than Entrain 0.5 µm.

Im folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren detaillierter unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben, die Ausfüh rungsformen der Vorrichtung zeigt, die zum Ausführen des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet sind.The method according to the invention is described in more detail below Described with reference to the drawing, the Ausfü tion forms of the device that is used to carry out the method according to the invention are suitable.

In Fig. 1 ist ein Zerstäuber der grundlegendsten Form gezeigt, der zum Ausführen der vorliegenden Erfindung erforderlich ist. Der Zerstäuber 1 ist mit Wasser-Einspritzrohren 2 versehen, die sich an und längs der gegenüberliegenden Innenwandoberflächen der Zerstäuberkammer erstrecken und die je mit einer Vielzahl Düsen 3, vorzugsweise in gestaffelten Positionen mit Bezug zu den Düsen des gegenüberliegenden Einspritzrohres versehen sind. Mehr im besonderen ist jedes Wasser-Einspritzrohr mit 30 bis 1 500 Düsen eines Durchmessers von 0,2 bis 8 mm, vorzugsweise 0,5 bis 3 mm versehen, um Wasser unter einem Druck von 0,3 bis 5,5 bar, vorzugsweise unter einem Druck von 0,5 bis 2,5 bar (Manometerdruck) gegen die gegenüberliegende Innenwandoberflä che zu spritzen, die in einem Abstand von 10 bis 150 cm von den Düsen angeordnet ist. Figure 1 shows an atomizer of the most basic form required to practice the present invention. The atomizer 1 is provided with water injection tubes 2 which extend on and along the opposite inner wall surfaces of the atomizer chamber and which are each provided with a plurality of nozzles 3 , preferably in staggered positions with respect to the nozzles of the opposite injection tube. More particularly, each water injection tube is provided with 30 to 1,500 nozzles with a diameter of 0.2 to 8 mm, preferably 0.5 to 3 mm, for water under a pressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably under to spray a pressure of 0.5 to 2.5 bar (manometer pressure) against the opposite inner wall surface, which is arranged at a distance of 10 to 150 cm from the nozzles.

Das eingespritzte Wasser wird gegen die gegenüberliegende Innenwandoberfläche geschossen und zu sehr feinen Mikrotröpf chen zerstäubt, so daß der Zerstäuber 1 mit solchen ultrafei nen Feuchtigkeitsteilchen gefüllt ist. Andererseits wird Luft mit einer Geschwindigkeit von 15 bis 50 m/s und einer Strömungs geschwindigkeit von 3 bis 3 000 m³/min durch einen Lufteinlaß 4 in den Zerstäuber 1 geblasen, um in jeweils etwa 28,3 l mehr als 2 000 000, vorzugsweise mehr als 5 000 000 und noch bevor zugter mehr als 10 000 000 ultrafeine Mikrotröpfchen mitzu reißen, bevor die Luft die Zerstäuberkammer durch einen Luft auslaß 5 verläßt. Um zu große Tröpfchen, die ebenfalls mitge rissen werden können, zu entfernen, wird die Luft vom Luftaus laß 5 durch seinen tangentialen Einlaß 7 in ein Cyclon 6 gelei tet. Die Luft aus dem Cyclon, die die ultrafeinen Nebelteilchen enthält, wird in einen Raum oder Räume geleitet, die Reinigung erfordern und dann zur Rezirkulation in den Zerstäuber zurück geführt. The injected water is shot against the opposite inner wall surface and atomized to very fine microdroplets, so that the atomizer 1 is filled with such ultra-fine moisture particles. On the other hand, air is blown at a speed of 15 to 50 m / s and a flow rate of 3 to 3,000 m ³ / min through an air inlet 4 into the atomizer 1 , in order to in each case approximately 28.3 l more than 2,000,000. preferably more than 5,000,000 and before pulling more than 10,000,000 ultrafine microdroplets to entrain before the air leaves the atomizing chamber through an air outlet 5 . To remove too large droplets, which can also be entrained, the air is let out of the air outlet 5 through its tangential inlet 7 into a cyclone 6 . The air from the cyclone, which contains the ultrafine mist particles, is directed into a room or rooms that require cleaning and then returned to the atomizer for recirculation.

Die Fig. 4 bis 9 veranschaulichen eine andere Ausführungs form des Zerstäubers, der mit einer Temperaturkontrolle verse hen ist, um den Nebel aus ultrafeinen Mikrotröpfchen oder Nebel teilchen wirksamer herstellen zu können. FIGS. 4 to 9 illustrate another execution form of the atomiser, the shipping with a temperature control hen is to the fog of ultra-fine mist particles or micro-droplets to be able to produce more effective.

Der Zerstäuber 40 hat ein Verdampferrohr 47 eines Kühlappa rates, das spiralförmig auf und längs der inneren Oberfläche der zylindrischen Zerstäuberkammer 41 angeordnet ist. Das Ver dampferrohr 47 kann mit Bezug auf die Wasser-Einspritzdüsen 45 etwas oder vollkommen versetzt angeordnet sein. Die Einspritz düsen 45 sind so angeordnet, daß Wasser aus den jeweiligen Dü sen senkrecht gegen die gegenüberliegenden Teile des Verdampfer rohres 47 gesprüht wird. Das Wasser-Einspritzrohr 44 ist mit 30 bis 1500 Düsen eines Durchmessers von 0,2 bis 8 mm, vor zugsweise 0,5 bis 3 mm versehen, um Wasser unter einem Druck von 0,3 bis 5,5 bar, vorzugsweise unter einem Druck von 0,5 bis 2,5 bar und einer Strömungsrate von 1 bis 3 l/min durch jede Düse einzuspritzen. Die Düsen sind in einem Abstand von 10 bis 150 cm von der gegenüberliegenden Wandoberfläche angeordnet. Der Zerstäuber ist mit einem Filter 48, einem Wassertank 49 und einer Pumpe 50 in Reihe zu seinem konischen Bodenteil 58 versehen. Kaltes Wasser zirkuliert in Richtung des Pfeiles B, d.h. nacheinander durch das Wasser-Zirkulationsrohr 46, das Einspritzrohr 44, den zylindrischen Abschnitt 41 des Zerstäu bers, den konischen Abschnitt 51, den Filter 48, den Wassertank 49 und die Pumpe 50. Ein Kühlmittel, insbesondere ein Kühlmit tel relativ hoher Temperatur (von 1°C bis -5°C) zirkuliert in Richtung des Pfeiles C durch das Verdampferrohr 47. Durch einen Lufteinlaß 42 wird Luft in Richtung des Pfeiles A in den Zer stäuber geleitet, und während der Aufnahme der Mikrotröpfchen unter Bildung des Nebels wird sie gekühlt und sie verläßt den Zerstäuber durch ein Auslaßrohr 43, um dem vorgesehenen Zweck zu dienen. Das aus den Düsen 45 in dem Wasser-Einspritzrohr 44 unter einem Druck von 0,3 bis 5,5 bar, vorzugsweise unter einem Druck von 0,5 bis 2,5 bar (Manometerdruck) eingespritzte und gegen das Verdampferrohr 47 des Kühlaggregates und/oder die Sei tenwand der zylindrischen Zerstäuberkammer 41, die in einem Abstand von 10 bis 150 cm von den Düsen (E) angeordnet sind, geschossene Wasser wird zu ultrafeinen Mikrotröpfchen zerstäubt und gekühlt (die gegen das Verdampferrohr 47 geschossenen Was serströme werden gleichzeitig durch Wärmeaustausch mit dem durch das Rohr 47 strömenden Kühlmittel gekühlt). Luft wird mit einer Geschwindigkeit von 15 bis 50 m/s und einer Strömungs rate von 3 bis 3 000 m³/min geleitet, wie durch den Pfeil A angezeigt. Während des Mitreißens der sehr feinen Nebelteilchen wird die Luft selbst durch Wärmeaustausch mit den gekühlten Mi krotröpfchen gekühlt und bildet eine nebelhaltige Luft, die in jeweils 28,3 l mehr als 2 000 000, vorzugsweise mehr als 5 000 000 und noch bevorzugter mehr als 10 000 000 Mikrotröpf chen einer Teilchengröße von 0,5 µm oder weniger enthält. Tröpfchen mit einer Teilchengröße von wesentlich mehr als 0,5 µm werden durch die Zentrifugalwirkung der Luftzirkulation abge trennt. Wenn erforderlich, können solche Tröpfchen durch Ein satz eines Cyclons entfernt werden. The atomizer 40 has an evaporator tube 47 of a cooling apparatus, which is arranged spirally on and along the inner surface of the cylindrical atomizer chamber 41 . The evaporator tube 47 can be arranged somewhat or completely offset with respect to the water injectors 45 . The injection nozzles 45 are arranged so that water from the respective nozzles is sprayed vertically against the opposite parts of the evaporator tube 47 . The water injection pipe 44 is provided with 30 to 1500 nozzles with a diameter of 0.2 to 8 mm, preferably 0.5 to 3 mm, for water under a pressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably under a pressure of 0.5 to 2.5 bar and a flow rate of 1 to 3 l / min through each nozzle. The nozzles are arranged at a distance of 10 to 150 cm from the opposite wall surface. The atomizer is provided with a filter 48 , a water tank 49 and a pump 50 in series with its conical bottom part 58 . Cold water circulates in the direction of arrow B , that is, successively through the water circulation pipe 46 , the injection pipe 44 , the cylindrical section 41 of the atomizer, the conical section 51 , the filter 48 , the water tank 49 and the pump 50 . A coolant, especially a coolant of relatively high temperature (from 1 ° C to -5 ° C) circulates in the direction of arrow C through the evaporator tube 47 . Air is passed through an air inlet 42 in the direction of arrow A into the atomizer, and while the microdroplets are being taken up to form the mist, it is cooled and leaves the atomizer through an outlet pipe 43 to serve the intended purpose. The injected from the nozzles 45 in the water injection pipe 44 under a pressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably under a pressure of 0.5 to 2.5 bar (pressure gauge pressure) and against the evaporator pipe 47 of the cooling unit and / or be tenwand the cylindrical atomization chamber 41 cm at a distance of 10 to 150 are arranged on the nozzle (e), scored water is atomized into ultra-fine micro-droplets, and cooled (the shot against the evaporator tube 47 What serströme simultaneously by heat exchange with cooled by the coolant flowing through the pipe 47 ). Air is directed at a speed of 15 to 50 m / s and a flow rate of 3 to 3,000 m ³ / min, as indicated by arrow A. During the entrainment of the very fine mist particles, the air itself is cooled by heat exchange with the cooled micro droplets and forms a mist-containing air, which in each 28.3 l more than 2,000,000, preferably more than 5,000,000 and more preferably more than 10th Contains 000,000 microdroplets having a particle size of 0.5 µm or less. Droplets with a particle size of significantly more than 0.5 µm are separated by the centrifugal effect of the air circulation. If necessary, such droplets can be removed by using a cyclone.

In Fig. 7 ist schematisch ein vollständiges System veranschau licht, das bei einer Anlage zum Herstellen von 64 kBit-RAM brauchbar ist. Die die ultrafeinen Nebelteilchen mitreißende Luft aus dem Zerstäuber 40 führt man, wie durch den Pfeil A angezeigt, dem Cyclon 50 zu, um große Tröpfchen zu entfernen. Die aus dem Zerstäuber 40 austretende Luft wird tangential durch einen Einlaß in das Cyclon 50 eingeleitet, der in der Seitenwand des Cyclons vorgesehen ist. Während die Luft in dem Cyclon umhergewirbelt wird, werden zu große Tröpfchen entfernt, und man erhält einen Nebel aus ultrafeinen Feuchtigkeitströpf chen in Luft, von denen mehr als 90% eine Teilchengröße von weniger als 0,5 µm haben. Die den Nebel enthaltende Luft wird im Zentrum des Cyclons 50 durch ein Auslaßrohr entfernt.In Fig. 7 a complete system is schematically illustrated, which is useful in a system for producing 64 kbit RAM. The air entraining the ultrafine mist particles from the atomizer 40 is fed to the cyclone 50 as indicated by arrow A to remove large droplets. The air emerging from the atomizer 40 is introduced tangentially through an inlet into the cyclone 50 which is provided in the side wall of the cyclone. When the air is whirled around in the cyclone, droplets which are too large are removed and a mist of ultrafine moisture droplets in air is obtained, of which more than 90% have a particle size of less than 0.5 μm. The air containing the mist is removed in the center of the cyclone 50 through an exhaust pipe.

Die verteilte Mikrotröpfchen enthaltende Luft gelangt vom Cyclon durch ein Rohr B mit einem Filter F zur Entfernung von Tröpfchen, die beträchtlich größer sind als 0,5 µm, zu einem Luft-Duschraum 60 und dann in einen benachbarten ul trareinen Raum 70, um die Arbeiter in diesem Raum zu reinigen. Gleichzeitig wird ein Teil der nebelhaltigen Luft direkt in den ultrareinen Raum 70 geleitet, um reine Luft, frei von Staub, zum Waschen von Silicium-Substraten zu liefern, die für die Herstellung von LSIs benutzt werden sollen. Die in dem ultrarei nen Raum 70 benutzte Luft wird durch ein Rohr P und ein Gebläse zu dem Zerstäuber 40 zurückgeführt, woraufhin man den oben be schriebenen Betriebszyklus wiederholt. Nach diesem Verfahren kann die Luft in dem ultrareinen Raum in einem außerordentlich reinen Zustand gehalten werden, der weniger als ein Staubteil chen von 0,5 µm oder mehr in einem Raum von etwa 28,3 l umfaßt. In Anbetracht der Tatsache, daß in 28,3 l Luft in einer übli chen Fabrikationsanlage mehrere 10 000 Staubteilchen suspen diert sind, wird deutlich, daß das erfindungsgemäße Verfahren eine ausgezeichnete Wirksamkeit hat.The air containing the distributed microdroplets passes from the cyclone through a tube B with a filter F to remove droplets considerably larger than 0.5 µm, to an air shower room 60 and then to an adjacent ultra-clean room 70 around the workers to clean in this room. At the same time, a portion of the foggy air is directed directly into the ultra-clean room 70 to provide clean air, free of dust, for washing silicon substrates to be used in the manufacture of LSIs. The air used in the ultra pure space 70 is returned to the atomizer 40 through a pipe P and a blower, whereupon the operation cycle described above is repeated. According to this method, the air in the ultra-clean room can be kept in an extremely clean state comprising less than a dust particle of 0.5 µm or more in a room of about 28.3 liters. In view of the fact that several 10,000 dust particles are suspended in 28.3 l of air in a usual manufacturing plant, it is clear that the process according to the invention has an excellent effectiveness.

Die die Mikrotröpfchen enthaltende Luft kann durch einen Wärme austauscher 100 geleitet werden, wie er in den Fig. 8 und 9 gezeigt ist. Der Wärmeaustauscher 100 ist stromab des Cyclons 50 angeordnet, um die Temperatur der Luft auf einen optimalen Wert anzuheben. Das Gehäuse 101 des Wärmeaustauschers 100 ist mit einem zentral angeordneten vertikalen Rohr 105 zur Abgabe von Luft versehen, das an seinem oberen Ende mit einem Rohr 105′ in Verbindung steht, das sich außerhalb des Gehäuses 101 be findet. Die durch das Einlaßrohr 104 eintretende Luft wird innerhalb des Gehäuses 101 beim Abwärtsströmen verwirbelt und tritt am unteren Ende des Gehäuses in das Luft-Auslaßrohr 105 ein und steigt in der durch die Pfeile angegebenen Richtung nach oben. Das Gehäuse 101 ist innen mit einem äußeren Rohr 106 und einem inneren Rohr 107 versehen, deren untere Enden mit einer Pumpe 108 in Verbindung stehen, die unterhalb des Gehäu ses 101 angeordnet ist. Durch diese Rohre wird warmes oder kal tes Wasser geleitet, das durch deren obere Auslaßenden 109 und 110 austritt. In den oberen und unteren Abschnitten ist das Ge häuse 101 mit einer großen Anzahl von Wasser-Einspritzdüsen 111 a und 111 b in einem Waschwasserrohr 111 in Stellungen oberhalb oder unterhalb der vertikalen Reihen von Windungen der Rohre 106 und 107 versehen, um Waschwasser gegen die Rohre 106 und 107, die inneren Oberflächen des Gehäuses 101 und die äußeren Oberflächen des Luft-Auslaßrohres 105 zu spritzen. Unterhalb eines konischen Abschnittes 102 befindet sich ein Auslaßrohr 112′, um dadurch das Waschwasser und den bei der Gaskühlung anfallenden Abfluß abzulassen. Die durch den Lufteinlaß 104 in das Gehäuse 101 eintretende Luft wird daher durch die cyclo nische Wirkung von Staub und ähnlichem befreit und durch die Rohre 105 und 106 auf eine optimale Temperatur erhitzt oder gekühlt. Die Luft mit der optimalen Temperatur wird durch eine Luft-Auslaßleitung 105 herausgeleitet. Der abgetrennte Staub oder die abgetrennten Verunreinigungen werden mit Wasser weggewaschen, das durch das Waschwasserrohr 111 zugeführt und durch die Düsen 111 a, 111 b usw. eingespritzt wird.The air containing the microdroplets can be passed through a heat exchanger 100 , as shown in FIGS. 8 and 9. The heat exchanger 100 is arranged downstream of the cyclone 50 in order to raise the temperature of the air to an optimal value. The housing 101 of the heat exchanger 100 is provided with a centrally arranged vertical tube 105 for discharging air, which is connected at its upper end with a tube 105 ', which is located outside the housing 101 be. The air entering through the inlet tube 104 is swirled within the housing 101 as it flows downward and enters the air outlet tube 105 at the lower end of the housing and rises in the direction indicated by the arrows. The housing 101 is provided on the inside with an outer tube 106 and an inner tube 107 , the lower ends of which are connected to a pump 108 which is arranged below the housing 101 . Warm or cold water is passed through these pipes and exits through their upper outlet ends 109 and 110 . In the upper and lower sections, the housing 101 is provided with a large number of water injectors 111 a and 111 b in a wash water pipe 111 in positions above or below the vertical rows of turns of the pipes 106 and 107 to wash water against the pipes 106 and 107 to spray the inner surfaces of the housing 101 and the outer surfaces of the air outlet pipe 105 . Below a conical section 102 there is an outlet pipe 112 ', thereby draining the wash water and the discharge occurring during gas cooling. The air entering through the air inlet 104 in the housing 101 is therefore freed from the cyclonic effect of dust and the like and heated or cooled by the tubes 105 and 106 to an optimal temperature. The air with the optimal temperature is led out through an air outlet duct 105 . The separated dust or the separated impurities are washed away with water, which is supplied through the washing water pipe 111 and injected through the nozzles 111 a , 111 b , etc.

Die auf diese Weise behandelte Luft enthält eine große Anzahl sehr kleiner Mikrotröpfchen, die zum größten Teil kleiner sind als 0,5 µm, so daß sie geeigneterweise zur Reinigung eines Raumes oder zum Säubern verschiedener Gegenstände oder Artikel benutzt werden kann.The air treated in this way contains a large number very small microdroplets that are mostly smaller than 0.5 µm, so that they are suitable for cleaning a Space or for cleaning various objects or articles can be used.

Die sehr kleinen Mikrotröpfchen mit einer Teilchengröße von weniger als 0,5 µm, die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren benutzt werden, haben eine außerordentlich geringe Oberflächen spannung, so daß sie sehr leicht an Staubteilchen haften, die in der Luft schweben, so daß sich diese zu größeren Teilchen deutlich erhöhten Gewichtes zusammenballen, die leicht mit einem Luftstrom weggespült werden können. Auf Grund der Verwendung der sehr feinen Mikrotröpfchen kann man mit dem erfindungsgemä ßen Verfahren nicht nur außerordentlich feine Staubteilchen sondern auch Bakterien und Viren entfernen, so daß man damit wirksam einen Raum physikalisch und biologisch reinigen kann. Zur Entfernung von Viren war es üblich, sich eines Luftfilters oder ähnlichem zu bedienen, der jedoch Viren von 0,5 bis 0,01 µm nicht befriedigend herausfiltern kann. In einem mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens gereinigten Raum wird man sich daher weniger erkälten, so daß die vorliegende Erfindung be sonders geeignet ist zur Anwendung in Krankenhäusern, Apotheken, Laboratorien, Entbindungsanstalten und ähnlichen.The very small microdroplets with a particle size of less than 0.5 microns in the inventive method used have an extremely small surface area voltage so that they adhere very easily to dust particles which hover in the air so that they become larger particles significantly increased weight agglomerate easily with a Airflow can be washed away. Because of the use the very fine microdroplets can be with the processes not only extremely fine dust particles but also remove bacteria and viruses so that you can use it can effectively clean a room physically and biologically. To remove viruses, it was common to get an air filter or similar to operate, but the virus from 0.5 to 0.01 microns cannot filter out satisfactorily. In one by means of Process cleaned room according to the invention will be therefore less cold, so that the present invention be is particularly suitable for use in hospitals, pharmacies, Laboratories, maternity hospitals and the like.

Das erfindungsgemäße Verfahren mit seinem besonderen Merkmal, Bakterien auszuschließen, ist auch geeignet zur Anwendung in Fabriken zur Herstellung von Nahrungsmitteln, um Nahrungs mittel oder Produktionsanlagen zu waschen oder für ein Nahrungs mittellager oder einen Supermarkt und ähnliches, um gefrorenes Fleisch aufzutauen und Salat, Gemüse, frischen Fisch, frisches Fleisch und ähnliches aufzubewahren. Insbesondere erleichtert das erfindungsgemäße Verfahren die Herstellung von ungekochtem Schinken, die bisher durch die Möglichkeit des Eindringens von Bakterien und ähnlichem beschränkt war.The method according to the invention with its special feature, Excluding bacteria is also suitable for use in Factories producing food to food medium or production facilities to wash or for food central warehouse or a supermarket and the like to get frozen Defrosting meat and salad, vegetables, fresh fish, fresh Keep meat and the like. Especially relieved the inventive method the production of uncooked Ham, which was previously possible due to the possibility of penetration Bacteria and the like was limited.

Claims

1. A process for producing a mist of very fine micro droplets from water in air characterized by atomizing water into very fine micro droplets by injecting the water into an atomizing chamber with an overpressure of 0.3 to 5.5 bar, preferably 0.5 to 2 , 5 bar, using a water injection pipe with a large number of nozzles with a diameter of 0.2 to 8 mm, preferably before 0.5 to 3 mm, against a side wall which is at a distance of 10 to 150 cm from the nozzle is arranged and passing air through the atomizing chamber to thereby more than 2,000,000, preferably more than 5,000,000 and more preferably more than 10,000,000 very fine microdroplets with a particle size of 0.5 µm or less in about 28 To carry 3 l with you.

2. Application of the method according to claim 1 for cleaning the Inside a room by introducing the fog obtained afterwards from very fine microdroplets in air.