DE3614996C1 - Elektrisch steuerbare Antriebsvorrichtung - Google Patents
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine elektrisch steuerbare Antriebsvorrichtung
zur Verschiebung eines Objektes in sehr kleinen Schrittlängen nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1 (EP-PS 00 71 666).
In der physikalischen Meß- und Untersuchungstechnik gewinnen
zunehmend Meßverfahren an Bedeutung, bei denen mit einer
geeigneten Sonde entweder sehr kleine Strukturen auf einer
Substratoberfläche abgetastet werden müssen oder die Oberfläche aus einem sehr kleinen Abstand zur Sonde
angetastet werden muß. Um die Sonde gezielt in die Nähe der
Substratoberfläche bringen zu können, wird eine Mikropositionier
einrichtung benötigt. Die besondere Schwierigkeit liegt darin
begründet, daß der einzelne Meß- oder Positionierschritt für
die Relativbewegung zwischen Substratoberfläche und Sonde
im Nanometerbereich, der Gesamtstellweg aber im Bereich von
einigen Millimetern liegen soll. Die Antriebsvorrichtung soll
dabei insbesondere auch für den Einsatz in Kammern mit verän
derlichen Druckbedingungen, z. B. Hochvakuum, und bei extrem
niedrigen Temperaturen geeignet sein, die bis in die Nähe des
absoluten Nullpunktes reichen können.
Der aus der EP-PS 00 71 666 bekannte elektrisch bewegbare Träger wurde
insbesondere für die Raster-Tunnel-Mikroskopie
entwickelt. Er besteht aus einer piezoelektrischen Platte
und einer Mehrzahl von Beinen, welche die Platte über einer
Bankoberfläche tragen. Die Beine sind mit der Platte beweglich,
aber ortsfest verbunden und können durch elektrostatische
Kräfte gegenüber der Bankoberfläche fixiert werden. Die piezo
elektrische Platte ist an ihrer Ober- und Unterseite mit einer
Elektrode belegt. Beim Anlegen einer Spannung an diese Elektrode
ändert sich die Dicke der Platte durch elektrostriktive Kräfte,
womit auch eine Durchmesseränderung der Platte verbunden
ist. Da die Beine ortsfest mit der Platte verbunden sind, werden
die Beine entsprechend der Durchmesseränderung verschoben.
Die Verschiebung erfolgt relativ zu den jeweils auf der Bankober
fläche fixierten Beinen.
Die Beine sind im nicht fixierten Zustand unter dem Einfluß
der Schwerkraft durch Haftreibung mit der Bankoberfläche
verbunden. Durch Deformation der piezoelektrischen Platte
müssen daher zunächst diese Kräfte überwunden werden, bevor
die Beine in die gleitende Vorschubbewegung gelangen. Der
Übergang zwischen Haft- und Gleitreibung erfolgt sprunghaft
und führt grundsätzlich zu einer in der Anfangsphase unkon
trolliert sprunghaften Vorschubbewegung, die im Annäherungs
bereich der relativ zueinander zu positionierenden Teile an diesen
Beschädigungen erzeugen können.
Der Träger ist sowohl linear als auch rotierend verschiebbar.
Die mit der Fixierbarkeit der einzelnen Beine verbundene genaue
Positionierbarkeit des Trägers ist mit einer relativ aufwendigen
mechanischen Konstruktion des Trägers und einer Vielzahl von
elektrischen Steuerungselementen verbunden. Der Träger ist
damit anfälliger für Beschädigungen und die Vielzahl elektrischer
Zuleitungen ist mit einer Wärmeabgabe verbunden, die beim
Einsatz im Tieftemperaturbereich nicht vernachlässigbar ist.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine Antriebs
vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die einen sehr einfachen Aufbau besitzt,
zum Betrieb relativ niedrige Spannungen benötigt, mit möglichst
wenigen Zuleitungen auskommt, eine sehr flache Bauweise ermöglicht,
in ihrer Gestaltung an unterschiedliche Aufgaben angepaßt werden
kann, die mechanisch und elektrisch sehr zuverlässig ist und
auch eine langsame, kontinuierliche Annäherung zwischen Sonde
und Prüfkörper erlaubt.
Diese Aufgabe wird
erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale im Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen
ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 15.
Aus der DE-OS 30 06 973 ist eine elektrisch steuerbare Antriebs
vorrichtung zur Verschiebung eines stabförmigen Objekts bekannt,
wobei die Antriebsvorrichtung ein piezoelektrisches Rohr mit ganz
flächiger Innenelektrode und segmentierter Außenelektrode ist und
an die Segmente der Außenelektrode zeitlich abgestimmte Gleich
spannungspotentiale gelegt werden. Ferner ist es durch die DE-
PS 34 12 014 bekannt, piezoelektrische Scheiben mit ganzflächiger
Elektrodenbeschichtung auf der einen Seite und gleichflächigen
Elektrodensegmenten auf der anderen als Antriebsvorrichtung für
Kippbewegungen einzusetzen.
Als zu verschiebendes Objekt kann sowohl ein die Substratober
fläche tragender Körper als auch die Sonde vorgesehen sein.
Das Objekt ist mit der Oberfläche der piezoelektrischen Platte bzw. Scheibe
durch die Haftreibung verbunden. Die Oberfläche der Schiebe
läßt sich durch geeignete Änderung der an den Elektroden
liegenden Spannungen bewegen. Bei langsamer Änderung der
Spannung folgt das Objekt aufgrund seiner Haftreibung der
Bewegung der Oberfläche der piezoelektrischen Scheibe.
Die Spannungsänderung kann jedoch auch so schnell erfolgen,
daß die damit verknüpfte Beschleunigung der Masseteile in der
Oberfläche ein Vielfaches der Erdbeschleunigung erreicht. Die
Trägheitskraft des aufliegenden Objektes wird so groß, daß
sie die Haftreibungskraft zwischen der Auflagefläche auf der
piezoelektrischen Scheibe und dem Objekt überschreitet. In
diesem Fall bewegt sich die Oberfläche relativ zum Objekt, ohne
dieses mitzunehmen.
Der Grundgedanke des somit beschriebenen Antriebsmecha
nismus besteht darin, durch zwei in bezug auf Kontraktion
und Dilatation einander gegengerichteter Teilflächen der piezo
elektrischen Platte eine gerichtete Bewegung in deren Oberfläche
zu erzeugen. Bei einer Aufteilung
in zwei Halbkreisflächen bei einer Scheibe als piezoelektrischer Platte erfolgt die Bewegung senkrecht zu
der Trennungslinie der Halbkreisflächen.
Die Größe des Verstellweges hängt von der Differenz der an
den beiden Teilflächen liegenden Spannung ab. Wählt man die
Spannungen so, daß ihre Summe zu jedem Zeitpunkt konstant
ist, dann heben sich die mit der Kontraktion und Dilatation
verbundenen Längenänderungen im Durchmesser der piezoelektri
schen Scheibe auf. Da der Rand der Scheibe in einem Rahmen
festgehalten wird, bewegt sich nur die Mitte linear in Abhängig
keit von der Differenz der Potentiale an den Elektrodenflächen.
Die an die piezoelektrische Scheibe legbare Spannung kann
über einen sehr großen Bereich variiert werden. Damit kann
auch die Schrittlänge der Objekverschiebung über einen weiten
Bereich frei gewählt werden. Der maximale Verstellweg hängt
von dem Durchmesser der piezoelektrischen Scheibe ab und
kann daher ebenfalls einfach an die jeweilige Meßaufgabe angepaßt
werden.
Durch Wiederholung des einzelnen Verschiebevorgangs kann
das Objekt schrittweise über einen vorgegebenen Weg oder
in eine vorgegebene Position geführt werden.
Zur Richtungssteuerung muß die eine Seite der piezoelektri
schen Scheibe in mehr als zwei Elektrodensegmente aufgeteilt werden.
Durch geeignete Kontraktion und Dilatation nebeneinander-
oder einander gegenüberliegender Teilflächen kann der Vektor
für die Bewegung der Oberfläche der piezoelektrischen Scheibe
eingestellt werden. Dabei ist darauf zu achten, daß jeweils
die Summe der Potentiale an zwei mit unterschiedlichen Poten
tialen belegten Elektrodensegmenten zumindest nahezu konstant ist,
so daß die Längenänderung der piezoelektrischen Scheibe in
Richtung des jeweiligen Bewegungsvektors kompensiert wird.
Die neue Antriebsvorrichtung besitzt keine mechanisch bewegten
Teile. Sie benötigt nur soviel elektrische Zuleitungen wie Elektroden
vorhanden sind.
Die für den Verschiebemechanismus der Antriebsvorrichtung
verantwortliche Massenverschiebung in der Oberfläche der piezo
elektrischen Scheibe tritt sowohl auf der Oberseite als auch
auf der Unterseite der Scheibe auf, wie nachfolgend noch anhand
der Figuren erläutert wird. Als Auflagefläche für das zu verschie
bende Objekt können daher prinzipiell beide Seiten verwendet
werden. Da die ganzflächig als Elektrode ausgebildete Seite
auf Massepotential liegt, treten keinerlei Probleme hinsichtlich
der elektrischen Isolation auf, wenn ein elektrisch leitendes
Objekt aufgelegt wird. Allerdings sind dann die spannungsführen
den Elektroden einer Grundplatte näher, auf der die gesamte
Antriebsvorrichtung ruht, so daß gegenüber dieser evtl. zusätzliche
isolierende Abstandshalter anzubringen sind.
Wählt man die Seite mit den spannungsführenden Elektroden
als Auflagefläche, so kann durch geeignete Beschichtung dieser
Fläche dafür gesorgt werden, daß bei Auflage des Objekts kein
Kurzschluß zwischen den Elektroden entsteht.
Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Antriebsvor
richtung wird nachfolgend anhand der schematischen Darstellung
in den Zeichnungen beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 eine Schnittdarstellung der Antriebsvorrichtung,
Fig. 2 eine Aufsicht auf die Antriebsvorrichtung,
Fig. 3 den Verlauf der Steuerspannungen und
Fig. 4 den zeitlichen Verlauf der Deformation der Ober
fläche der piezoelektrischen Scheibe.
Die in Fig. 1 gezeigte Schnittdarstellung der Antriebsvorrichtung
macht die Einfachheit des Aufbaus deutlich. Eine piezoelektrische
Scheibe 10 ist in einen Rahmen 11 eingespannt. Die Scheibe
ist mit einer unteren Elektrode 12 belegt, die auf Massepotential
liegt. Auf der Oberseite der Scheibe sind zwei voneinander
getrennte Elektroden 13 und 14 aufgebracht, an die jeweils
eine Spannung U a und U b gelegt werden kann.
Der Rahmen 11 ruht auf einer Grundplatte 15 , wobei die piezo
elektrische Scheibe 10 zusätzlich durch einen Abstandshalter
16 abgestützt wird. Der Abstandshalter 16 hat primär eine Sicher
heitsfunktion, für den Fall, daß sich die Scheibe 10 aus dem
Rahmen 11 löst. Er stellt außerdem sicher, daß sich auch die
Oberfläche der Unterseite der Scheibe 10 ungehindert bewegen
kann. Darüber hinaus kann dadurch auch der Massekontakt
hergestellt werden.
Auf die oberen Elektroden 13, 14 ist das zu verschiebende Ob
jekt 17 aufgelegt, das an seiner unteren Seite mit einem elektrisch
isolierenden Plättchen 18 verbunden ist. Es ist jedoch auch
möglich, auf die Elektroden eine elektrisch isolierende Beschich
tung aufzubringen, die einen Kurzschluß der an den Elektroden
liegenden Spannungen durch das aufgelegte Objekt 17 verhindert.
Für Testzwecke wurden als Objekte verschiedene Messingzylinder
mit einer Masse von 50 bis 300 Gramm ausgewählt. Als isolierendes
Plättchen 18 wurde eine 1,5 mm dicke, grob gereinigte Glas
scheibe von 45 mm Durchmesser verwendet, die mit den Messing
zylindern verklebt wurde. Die aufeinander gleitenden Flächen
sind also die Unterseite der Glasscheibe und die Oberseite der
Elektroden.
Die piezoelektrische Scheibe 10 hatte einen Durchmesser von
etwa 100 mm und eine Dicke von 3 mm. Piezoelektrische Keramik
materialien sind besonders geeignet und werden z. B. unter
der Bezeichnung Vibrit (Fa. Siemens) oder PXE 5 (Fa. Valvo)
angeboten. Als Elektrodenmaterial wurde Gold gewählt. Mit
Hilfe der Grundplatte 15 wurde der Aufbau so justiert, daß
die Oberfläche der Scheibe 10 waagrecht liegt. Der Rahmen
11 wurde z. B. aus Aluminium gefertigt.
Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf die Antriebsvorrichtung. In
diesem Fall wurden auf die kreisförmige piezoelektrische Schei
be 10 vier Elektroden 13, 13′, 14, 14′ aufgebracht. Durch entsprechen
de Ansteuerung der Elektroden kann z. B. erreicht werden,
daß das hier nicht gezeigte Objekt schrittweise senkrecht zu
den Trennungsstegen zwischen den Elektrodensegmenten verscho
ben wird, so daß eine zweidimensionale Verschiebung des Objekts
möglich ist. Der Rahmen 11 besteht aus zwei rechtwinkligen
Schenkeln, die über Schrauben 19 miteinander verspannt werden.
Die Schenkel erzeugen eine Punktanlage der piezoelektrischen
Scheibe 10. Diese Einspannung hat sich für eine zweidimensionale
Objektverschiebung als besonders vorteilhaft erwiesen.
Fig. 3 zeigt einen besonders geeigneten zeitlichen Verlauf der
beiden Steuerspannungen U a und U b in Form eines Sägezahns.
Die Summe der Spannungen U a(t) und U b(t) ist bei diesem
Spannungsverlauf konstant. Für die flache Flanke der Spannungen
wurde z. B. eine Anstiegszeit von 50 ms gewählt, während die
steile Flanke eine Anstiegszeit von 50 µs hatte. Die Amplitude
der Spannungen war zwischen 0 und 1000 V regelbar. Der zu
einander gegenläufige Spannungsverlauf bewirkt auch, daß
die Kontraktion und Dilatation in den durch die Elektroden 13,
14 abgedeckten Teilbereichen der piezoelektrischen Scheibe 10
zueinander gegenläufig sind.
Der zeitliche Verlauf der Deformation der Oberfläche der Scheibe 10
ist in Fig. 4 schematisch dargestellt. Zur Zeit t a ist die an
der Elektrode 13 anliegende Spannung U a maximal, d. h. die
Dicke der Scheibe 10 ist in diesem Bereich gedehnt. Zur gleichen
Zeit ist die an der Elektrode 14 anliegende Spannung U b minimal,
so daß dieser Bereich gestaucht ist. Die unterschiedliche Dickenän
derung in den Teilbereichen der Scheibe 10 führt zu einer
Massenverschiebung. Ein durch den Pfeil in Fig. 4 indizierter
Punkt auf der Oberfläche der Scheibe 10 an der Grenze zwischen
den beiden Elektroden 13, 14 wird daher nach links verschoben.
Zur Zeit t b sind die beiden Spannungen U a und U b gleich groß.
Die piezoelektrische Scheibe hat eine gleichförmige Dicke. Der
durch den Pfeil indizierte Punkt ist nach rechts gewandert
und liegt auf der Trennlinie zwischen den beiden Elektroden.
Zur Zeit t c haben sich die Dickenverhältnisse gegenüber der
Zeit t a genau umgekehrt. Der indizierte Punkt ist von der Trenn
linie entsprechend weit nach rechts gewandert. Denkt man sich
diesen Punkt durch Haftreibung mit einem Punkt auf der Glas
scheibe 18 verbunden, so ist auch das Objekt um den Betrag
der Verschiebung des Punktes nach rechts gewandert.
Zur Zeit t c setzt dann der Sprung der Spannung zum Zustand
wie bei t a ein. Diese Spannungsänderung erfolgt so schnell,
daß die Haftreibungskräfte überwunden werden, so daß das
Objekt an seinem Platz verharrt und der antreibende Punkt
auf der Oberfläche der piezoelektronischen Scheibe unter dem
Objekt an den Ausgangspunkt der vorstehenden Betrachtung
zurückwandert.
Es ist ersichtlich, daß die Schrittlänge des in Fig. 4 indizierten
Punktes von der Amplitude der angelegten Spannung abhängt.
Bei einem Testobjekt von 180 Gramm wurde z. B. mit einer Betriebs
spannung von 100 V eine minimale Schrittlänge von 13 nm erreicht
und bei einer Betriebsspannung von 900 V eine maximale Schritt
länge von 630 nm. Die Schrittfrequenz konnte zwischen 0 und
100 Hz verändert werden. Diese Werte hängen in bekannter
Weise von den piezoelektrischen Eigenschaften des piezoelektri
schen Materials ab.
Bei Einzelschrittfolge ist zu beachten, daß nach der plötzlichen
Spannungsumschaltung die Massenverlagerung innerhalb der
piezoelektrischen Scheibe erst nach einer gewissen Zeit endgül
tig zur Ruhe kommt. Die Endlage wird asymptotisch erreicht,
so daß dabei durchaus wieder der Haftreibungszustand zwischen
Objekt und Antriebsvorrichtung einsetzen kann. Das führt dann
zu einer Objektverschiebung aus der zuvor angesteuerten Lage
heraus. Durch eine geeignete Gegenspannung kann dieser Effekt
beseitigt werden. Die Gegenspannung kann zeitlich begrenzt
sein oder auch als Spannungsimpuls an die Elektroden gelegt
werden.
Claims (15)
1. Elektrisch steuerbare Antriebsvorrichtung zur Verschiebung
eines Objekts in sehr kleinen Schrittlängen mit einer piezoelek
trischen Platte (10), die auf beiden Flächen mit Elektroden belegt
ist, und mit einer steuerbaren Gleichspannungsquelle (U a , U b ), die
mit den Elektroden so verbunden ist, daß zwischen den Elektroden
der gegenüberliegenden Flächen der Platte (10) ein elektrisches
Feld entsteht, dadurch gekennzeichnet, daß
- a) die piezoelektrische Platte (10) an ihrem Rand in einen Rahmen (11) eingespannt ist,
- b) die eine Fläche der Platte (10) ganzflächig mit einer ge genüber dem Rahmen (11) elektrisch isolierten Elektrode (12) und die andere Fläche der Platte (10) mit mindestens zwei nahezu gleich großen, gegenüber dem Rahmen (11) elektrisch isolierten Elektrodenflächen (13, 14) belegt ist,
- c) die Steuerung der Spannungsquelle (U a , U b ) so ausgelegt ist, daß in einer ersten Phase eine langsame Spannungsänderung er folgt und in einer zweiten Phase eine sehr viel schnellere, entge gengerichtete Spannungsänderung gleicher Amplitude einsetzt, wo bei,
- d) jeweils die Summe der Potentiale an zwei mit unterschied lichem Potential belegten Elektrodenflächen (13, 14) zumindest na hezu konstant ist.
2. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die ganzflächig mit einer Elektrode
(12) belegte Fläche der piezoelektrischen Platte (10) die obere
Seite bildet, die auf Massepotential liegt und als Auflagefläche
für das zu verschiebende Objekt (17) vorgesehen ist.
3. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die mit getrennten Elektrodenflä
chen (13, 14) belegte Fläche der piezoelektrischen Platte (10) die
obere Seite bildet, an die die Steuerpotentiale (U a , U b ) angelegt
sind und die unter Zwischenschaltung einer elektrisch isolierenden
Schicht (18) als Auflagefläche für das zu verschiebende Objekt
(17) vorgesehen ist.
4. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß als elektrisch isolierende Schicht
eine dünne Glasscheibe (18) vorgesehen ist, die mit dem zu ver
schiebenden Objekt (17) verbunden ist.
5. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Schicht
ganzflächig, die getrennten Elektrodenflächen (13, 14) überdeckend,
auf die piezoelektrische Platte (10) aufgebracht ist.
6. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß eine aufgesputterte Beschichtung
vorgesehen ist.
7. Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß eine runde pie
zoelektrische Scheibe (10) vorgesehen ist, die in einen quadrati
schen Rahmen (11) eingespannt ist, wobei die Trennungslinie der
getrennten Elektrodenflächen (13, 14) parallel zu einem Rahmenpaar
liegt.
8. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß die getrennten Elektroden (13, 14)
zwei Halbkreisflächen bilden.
9. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß die getrennten Elektroden vier
gleich große Kreissegmente (13, 13′, 14, 14′) bilden.
10. Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung
des Spannungsverlaufs einer Sägezahnkurve entspricht ( Fig. 3).
11. Antriebsvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Anstiegszeit der flachen Flanke
des Sägezahns größer als 1 ms und die steile Flanke kleiner als
100 µs ist.
12. Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Phase der Spannungsänderung einen asymptotisch gegen den Endwert
verlaufenden Teil enthält.
13. Antriebsvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 12, da
durch gekennzeichnet, daß die piezoelektri
sche Scheibe (10) einen Durchmesser von 100 mm und eine Dicke von
3 mm aufweist.
14. Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungs
quelle zwischen 0 bis 1000 V regelbar ist.
15. Antriebsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der
Steuerzyklen einstellbar ist.
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