DE3609006A1 - Magnetfeldsensor - Google Patents
MagnetfeldsensorInfo
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- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
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Description
Die Erfindung betrifft einen Magnetfeldsensor gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Es ist aus der DE-OS 33 17 594 ein Magnetfeldsensor
bekannt, der mehrere Widerstandselemente aus einem
magnetisierten, magnetoresistiven Werkstoff aufweist.
Diese Widerstandselemente bestehen aus zusammenhängenden,
mäanderförmig angeordneten Streifen, wie sie als
Widerstandselemente in Dünnschicht-Anordnungen bekannt
sind. Im wesentlichen werden bei dem bekannten
Magnetfeldsensor Vorschläge für die elektrische und
geometrische Anordnung der Widerstandselemente zueinander
gemacht. Der bekannte Magnetfeldsensor dient zur
Erfassung des Gradienten von Magnetfeldern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Magnetfeldsensor zur Erfassung kleiner Feldstärken zu
schaffen.
Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Vorrichtung
durch das kennzeichnende Merkmal des Anspruchs 1 gelöst.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind den übrigen
Ansprüchen und der Beschreibung zu entnehmen.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen
insbesondere darin, daß durch die erfindungsgemäße
Anordnung eine starke magnetische Kopplung zwischen den
Streifen entsteht, die eine Verringerung der magnetischen
Feldstärke der Formanisotropie und somit eine Erhöhung
der Empfindlichkeit des Magnetfeldsensors bewirkt.
Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den
Fig. 1 bis 3 dargestellt und werden im folgenden näher
beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 das erste Ausführungsbeispiel in der Draufsicht,
Fig. 2 das zweite Ausführungsbeispiel in der
Draufsicht, und
Fig. 3 das zweite Ausführungsbeispiel im Schnitt AB der
Fig. 2.
Das Signal des Magnetfeldsensors besteht in der Änderung
des elektrischen Widerstands der magnetisierten,
magnetoresistiven Widerstandselemente und ist
proportional zu
(H/H k )² (Gl. 1)
Hist die zu messende magnetische Feldstärke, und H k ist die Anisotropiefeldstärke und durch H k = H i + H f (Gl. 2)
Hist die zu messende magnetische Feldstärke, und H k ist die Anisotropiefeldstärke und durch H k = H i + H f (Gl. 2)
gegeben.
H i bezeichnet die induzierte Anisotropiefeldstärke und H f ist die Feldstärke der Formanisotropie. H i ist eine materialabhängige Größe, H f dagegen ist für ein streifenförmiges Widerstandselement durch H f = (d/b) · M s (Gl. 3)
H i bezeichnet die induzierte Anisotropiefeldstärke und H f ist die Feldstärke der Formanisotropie. H i ist eine materialabhängige Größe, H f dagegen ist für ein streifenförmiges Widerstandselement durch H f = (d/b) · M s (Gl. 3)
gegeben, wobei d die Dicke, b die Streifenbreite und
M s die Sättigungsmagnetisierung ist.
Will man nun einen empfindlicheren Magnetfeldsensor
schaffen, kann dies durch die Verkleinerung von H k
geschehen. Das Signal kann somit nach Gleichung 2 und 3
durch die Wahl eines geeigneten Werkstoffes, oder durch
geeignete Formgebung des Streifens vergrößert werden.
Dabei bewirken die Vergrößerung der Breite b genauso wie
die Verkleinerung der Dicke d eines Meßstreifens eine
Vergrößerung des Signals und eine Erhöhung der
Empfindlichkeit.
Beim Bestimmen der Parameter für einen empfindlichen
Magnetfeldsensor können nun nicht nur physikalische,
sondern müssen auch technologische Gesichtspunkte
berücksichtigt werden. So ist es z.B. wünschenswert, den
Magnetfeldsensor mit einer Betriebsspannung zwischen 3
bis 20 V zu betreiben, dabei sollte der Magnetfeldsensor
zur Begrenzung der Stromaufnahme einen elektrischen
Widerstand größer als 100 Ohm aufweisen.
Der elektrische Widerstand eines Widerstandselements läßt
sich durch eine Verlängerung des Stromweges erhöhen. Bei
einer geringeren Breite b zur Erhöhung des elektrischen
Widerstandes führt dies wegen der geringeren Breite zu
einer Erhöhung der Formanisotropie (Gl. 3) und somit zu
einer Verkleinerung des Meßsignals. Der elektrische
Widerstand läßt sich auch durch die Wahl einer kleineren
Schichtdicke erhöhen, was ebenfalls zu einer Erhöhung der
Formanisotropie (Gl. 3) und somit zu einer Verkleinerung
des Meßsignals führt. Ferner nimmt die
Koerzitivfeldstärke der Schicht bei kleinerer
Schichtdicke zu und führt somit unterhalb einer
materialspezifischen Schichtdicke zu einer störenden
Hysterese.
Durch geeignete Wahl des Werkstoffes für das
Widerstandselement mit z.B. kleiner
Sättigungsmagnetisierung M s oder kleiner Feldstärke der
Formanistropie kann das Meßsignal erhöht werden.
Das erfindungsgemäße Widerstandselement besteht aus
mäanderförmig angeordneten schmalen Streifen, wobei der
Abstand zwischen den Streifen klein ist. Bei dieser
Anordnung kann der Vorteil der schmalen Streifenbreite
bezüglich eines hohen elektrischen Widerstandes voll
ausgenutzt werden, ohne daß der Nachteil, eine Erhöhung
der Feldstärke der Formanisotropie, auftritt. Zwischen
zwei Streifen entsteht eine magnetische Kopplung, die
durch einen kleinen Abstand zwischen den Streifen erhöht
wird. Dadurch hängt die Feldstärke der Formanisotropie
nicht mehr von der Breite des einzelnen Streifens,
sondern von der gesamten Breite aller Streifen
einschließlich der Lücken ab, welches zu einer
beträchtlichen Verkleinerung der Feldstärke der
Formanisotropie und somit zu einer Erhöhung des
Meßsignales und der Empfindlichkeit führt. Die
Stromflußrichtung in den Streifen und in den Verbindungen
zwischen den Streifen ist um 90° verdreht. Die
Veränderung des elektrischen Widerstandes aufgrund der
Magnetostriktion verhält sich daher in den Verbindungen
zwischen den Streifen und in den Streifen
entgegengesetzt. Aus diesem Grunde ist die Verbindung
zwischen den Streifen großflächig gewählt, was eine
Reduzierung deren elektrischen Widerstandes und somit
eine Erhöhung der Empfindlichkeit des Magnetfeldsensors
bewirkt.
In Fig. 1 ist das Widerstandselement des ersten
Ausführungsbeispiels eines Magnetfeldsensors in der
Draufsicht dargestellt. Das Widerstandselement 1 besteht
hier aus sechsundzwanzig Streifen 2, die so miteinander
verbunden sind, daß sich eine mäanderförmige Struktur
ergibt. Die Verbindungsstücke 3 sind großflächig
ausgestaltet. An den äußeren Streifen 2 a, 2 b weist das
Widerstandselement 1 großflächige Bereiche 4, 5, zur
Kontaktierung auf. Die Streifen 2 sind 0,1 mm breit und
10 mm lang. Die Lücken 6 zwischen den Streifen 2 sind
0,06 mm breit. Für die flächenhaften Verbindungsstücke 3
ergibt sich hieraus eine Breite von 0,26 mm, mit einer
Länge von 2 mm. Das Widerstandselement 1 weist eine
Schichtdicke d=200 nm auf, der Werkstoff besteht aus
einer kristallinen Ni81 Fe19-Legierung (Verhältnis
ist in Atomprozent angegeben). Das Widerstandselement 1
ist auf ein Substrat (nicht abgebildet) aufgebracht. Die
Anzahl der Streifen kann je nach Verwendung anders
gewählt werden.
In den Fig. 2 und 3 ist das zweite Ausführungsbeispiel
dargestellt. Der Magnetfeldsensor 10 weist dabei zwei
Widerstandslemente 11, 11′ auf, die auf ein Substrat 13
aufgebracht und durch eine Isolierschicht 14 voneinander
elektrisch getrennt sind. In Fig. 2 ist der
Magnetfeldsensor 10 in der Draufsicht abgebildet, wobei
übersichtshalber im mittleren Teil 15 und im rechten Teil
16 das oberste Widerstandselement 11′, sowie im rechten
Teil 16 auch noch die Isolierschicht 14 weggelassen sind.
Es ist in Fig. 2 nur ein Teil des Magnetfeldsensors
dargestellt. Fig. 3 stellt den Schnitt AB aus Fig. 2 dar.
Die einzelnen Widerstandselemente 11, 11′ sind
prinzipiell wie im ersten Ausführungsbeispiel aufgebaut.
Sie bestehen aus je sechsundzwanzig Streifen 17, 17′,
deren Verbindungsstücke (18, 18′) so angeordnet, daß sich
jeweils eine mäanderförmige Struktur ergibt. Die
Verbindungsstücke 18, 18′ sind gegenüber den schmalen
Streifen 17, 17′ flächenhafter ausgebildet. An den
äußeren Streifen 17 a, 17 a′ sind großflächige Bereiche 12,
12′ zur Kontaktierung angeordnet. Die Breite der Lücken
20, 20′ zwischen den Streifen 17, 17′ sind so groß, wie
die Breite der Streifen selbst. Die Widerstandselemente
11, 11′ sind so angeordnet, daß die Streifen parallel
zueinander liegen und daß in der Draufsicht die Streifen
17′des oberen Widerstandselements 11′ die Lücken 20 des
unteren Flächenelements 11 überdecken. Daraus ergibt
sich, daß die Lücken 20′ des oberen Widerstands 11′ über
den Streifen 17 des unteren Widerstandeselements 11
angeordnet sind. Die Schichtdicken d der
Widerstandselemente 11, 11′ betragen 200 nm. Die
Isolierschicht 14 besteht aus einem elektrisch
isolierenden diamagnetischen Werkstoff wie z.B. SiO2
und weist eine Schichtdicke von 100 nm auf. Diese
Schichtdicke kann auch größer gewählt werden. Die Breite
der Streifen 17, 17′ und der Lücken 20, 20′ beträgt
0,1 mm. Die flächenhaften Verbindungsstücke 18, 18′
weisen demnach eine Breite von 0,3 mm auf und sind 2 mm
lang. Die Streifen 17, 17′ weisen eine Länge von 10 mm
auf. Die Länge der Streifen 17 a, 17 a′ ist so bemessen,
daß die großflächigen Bereiche 12, 12′ zur Kontaktierung
räumlich voneinander getrennt angeordnet sind. Der dem
linken Teil 21 des Magnetfeldsensors 10 gegenüberliegende
Teil ist in den Fig. 2 und 3 nicht abgebildet, er ist
wie der Teil 21 des Magnetfeldsensors 10 ausgebildet.
Alternativ können die großflächigen Bereiche der
gegenüberliegenden Seite auch elektrisch miteinander
verbunden sein, wodurch die beiden Widerstandselemente
(11, 11′) in Reihe geschaltet sind. Hierbei bilden die
großflächigen Bereiche 12 und 12′ den elektrischen Ein
und Ausgang.
Anstelle des oberen Widerstandselements 11′ beim zweiten
Ausführungsbeispiel können auch nur Streifen ohne die
zwischen den Streifen angeordneten flächenhaften
Verbindungsstücke angebracht sein. Die Streifen dienen
hierbei nur zur magnetischen Kopplung, die Messung
erfolgt über das untere Widerstandselement. Der Vorteil
dieser Anordnung liegt darin, daß eventuell auftretende
Kurzschlüsse (Pinholes) in der Isolierschicht nur dann
störend wirken, wenn pro Streifen mehr als ein Kurzschluß
auftritt. Dies ermöglicht, daß die Isolierschicht dünner
ausgestaltet werden kann, was eine bessere magnetische
Kopplung zwischen den Streifen bewirkt.
Die Magnetfeldsensoren der Ausführungsbeispiele 1 und 2
sind insbesondere zur Erfassung kleiner Magnetfelder in
der Größenordnung des magnetischen Erdfeldes (H=40 A/m)
geeignet. Hierzu darf die Formanisotropie H f höchstens
100 A/m betragen. Für die Widerstandselemente eignen sich
Werkstoffe mit geringer Sättigungsmagnetisierung, kleiner
Koerzitivfeldstärke, kleiner Magnetostriktion und großer
Magnetoresistenz. Besonders geeignet ist eine
Nickel-Eisenlegierung mit 81 Atomprozent Nickel und 19
Atomprozent Eisen. Diese Legierung weist keine
Magnetostriktion und bei den anderen Größen auch günstige
Werte auf. Es können auch andere Werkstoffe wie
Kobalt-Eisenlegierungen mit etwa 90 Atomprozent Kobalt,
Eisen-Silizium-Legierungen mit etwa 6 Gewichtsprozent
Silizium, anderen Nickel-Eisen-Legierungen oder auch
amorphe Metallegierungen verwendet werden.
Der Magnetfeldsensor 10 wird hergestellt, indem die
Widerstandsschichten 11, 11′ und die Isolierschicht 14
mittels Dünnschichttechnik in Gegenwart eines
Magnetfeldes aufgebracht werden. Das Magnetfeld liegt
beim Aufbringen einer Nickel-Eisen-Legierung parallel zu
den Streifen 17, 17′. Die Strukturierung der
Widerstandsschichten kann prinzipiell mit nur einer
Lithographiemaske durchgeführt werden. Die
Lithographiemaske muß dann zur Strukturierung der oberen
Widerstandsschicht 11′, gegenüber der Strukturierung der
unteren Widerstandsschicht 11 nur um 180° in der Ebene
gedreht und um die Streifenbreite b verschoben werden.
Zur Reduzierung der Anisotropiefeldstärke werden die
Sensoren in einen Temperofen gebracht, der ein
magnetisches Feld rechtwinklig zur Längsachse der
Streifen aufweist.
In der Anwendung wird der Magnetfeldsensor so
ausgerichtet, daß das zu messende Magnetfeld parallel zur
Oberfläche der Widerstandselemente 1, 11, 11′ und im
rechten Winkel zur Längsachse der Streifen 2, 17, 17′
liegt. Die Magnetisierung in den Widerstandselementen 1,
11, 11′ ist parallel zur Längsachse der Streifen 2, 17,
17′ eingeprägt. Ein äußeres Magnetfeld dreht die
Magnetisierung der Widerstandselemente je nach Größe des
äußeren Magnetfeldes und verursacht aufgrund der
magnetoresistiven Eigenschaft eine Veränderung der
elektrischen Leitfähigkeit der Widerstandselemente.
Wie in der Beschreibung schon einleitend ausgeführt ist,
wird die Formanisotropie der Widerstandselemente 2, 17,
17′ kleiner, wenn die Streifen mäanderförmig angeordnet
sind, was auf die magnetische Kopplung zwischen den
Streifen 2, 17, 17′ zurückzuführen ist.
Je größer diese Kopplung nun ist, desto kleiner wird die
Formanisotropie und desto empfindlicher wird der
Magnetfeldsensor. Im ersten Ausführungsbeispiel (Fig. 1)
erfolgt die Kopplung über die schmalen Lücken zwischen
den Streifen. Im zweiten Ausführungsbeispiel (Fig. 2 und
Fig. 3) wird die magnetische Kopplung zwischen den
Streifen erreicht, indem zwei Widerstandselemente 11, 11′
derart übereinander angeordnet sind, daß die benachbarten
Streifen mit geringstem Abstand des einen
Widerstandselements (11, 11′) zwei Streifen des anderen
Widerstandselements (11′, 11) sind. Die magnetische
Kopplung erfolgt somit durch die Kopplung zwischen den
Streifen der beiden übereinanderliegenden
Widerstandselemente.
Claims (5)
1. Magnetfeldsensor, insbesondere zum Messen kleiner
Magnetfelder, mit wenigstens einem aus einem
magnetisierten magnetoresistiven Werkstoff bestehenden
Widerstandselement, das aus parallel angeordneten
mäanderförmig verknüpften Streifen besteht,
dadurch gekennzeichnet, daß er ein
unteres Widerstandselement (11) und ein oberes
Widerstandselement (11′) mit Streifen (17, 17′) je
gleicher Breite und je gleichen Abstands zwischen zwei
benachbarten Streifen (17, 17′) aufweist, daß die Lücken
(20, 20′) zwischen den Streifen etwa so groß wie die
Breite der Streifen (17, 17′) sind, daß die zwei
Widerstandselemente (11, 11′) durch eine elektrische
Isolierschicht (14) getrennt angeordnet sind, und daß in
der Draufsicht die Lücken (20) des unteren
Widerstandselements (11) von den Streifen (17′) des
oberen Widerstandselements (17′) bedeckt sind.
2. Magnetfeldsensor, insbesondere zum Messen kleiner
Magnetfelder, mit wenigstens einem aus einem
magnetisierten magnetoresistiven Werkstoff bestehenden
Widerstandselement, das aus parallel angeordneten
mäanderförmig verknüpften Streifen besteht,
dadurch gekennzeichet, daß er ein
Widerstandselement mit Streifen gleicher Breite und
gleichen Abstands zwischen den Streifen aufweist, daß auf
dem Widerstandselement eine elektrische Isolatorschicht
angeordnet ist, auf der sich, in der Draufsicht
betrachtet, die Lücken des Widerstandselements bedeckende
Streifen befinden.
3. Magnetfeldsensor nach einem der Anspüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetostriktion des
magnetisierten magnetoresistiven Werkstoffs idealerweise
gleich Null ist.
4. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß der magnetisierte
magnetoresistive Werkstoff eine Nickel-Eisenlegierung mit
der Zusammensetzung Nix Fey ist, wobei 79 kleiner als
x kleiner als 83 und 17 kleiner als y kleiner als 21 (x, y
in Atomprozent) ist.
5. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der minimale elektrische
Widerstand jedes Widerstandselements größer als 100 Ohm
ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863609006 DE3609006A1 (de) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | Magnetfeldsensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863609006 DE3609006A1 (de) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | Magnetfeldsensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3609006A1 true DE3609006A1 (de) | 1987-09-24 |
Family
ID=6296650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863609006 Withdrawn DE3609006A1 (de) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | Magnetfeldsensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3609006A1 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4110704A1 (de) * | 1991-04-03 | 1992-10-08 | Thomson Brandt Gmbh | Rundfunkempfaenger |
EP0560350A2 (de) * | 1992-03-13 | 1993-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetowiderstandeffekt-Element |
DE4419355A1 (de) * | 1994-06-03 | 1995-12-07 | Telefunken Microelectron | Verfahren zur Detektion von Straßen- und Schienenfahrzeugen |
US6072311A (en) * | 1997-03-26 | 2000-06-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic sensor with simplified integral construction |
DE19953190A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
WO2005026746A2 (de) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Hl-Planar Technik Gmbh | Magnetoresistiver sensor in from einer halb-oder vollbrückenschaltung |
DE112010001702B4 (de) * | 2009-04-21 | 2013-03-21 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetsensorpaket |
-
1986
- 1986-03-18 DE DE19863609006 patent/DE3609006A1/de not_active Withdrawn
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4110704C2 (de) * | 1991-04-03 | 2000-10-26 | Thomson Brandt Gmbh | Schaltung für ein aus einem Rundfunkempfänger oder einem Rundfunkempfänger und einem Recorder bestehendes Audiogerät |
DE4110704A1 (de) * | 1991-04-03 | 1992-10-08 | Thomson Brandt Gmbh | Rundfunkempfaenger |
EP0560350A2 (de) * | 1992-03-13 | 1993-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetowiderstandeffekt-Element |
EP0560350A3 (en) * | 1992-03-13 | 1993-11-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magneto-resistance effect element |
US5637392A (en) * | 1992-03-13 | 1997-06-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-resistance effect element |
US5702834A (en) * | 1992-03-13 | 1997-12-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magneto-resistance effect element |
DE4419355A1 (de) * | 1994-06-03 | 1995-12-07 | Telefunken Microelectron | Verfahren zur Detektion von Straßen- und Schienenfahrzeugen |
DE19744090C2 (de) * | 1997-03-26 | 2003-11-27 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetfeld-Sensoranordnung |
US6072311A (en) * | 1997-03-26 | 2000-06-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic sensor with simplified integral construction |
DE19953190A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
DE19953190C2 (de) * | 1999-11-05 | 2002-11-07 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
WO2005026746A2 (de) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Hl-Planar Technik Gmbh | Magnetoresistiver sensor in from einer halb-oder vollbrückenschaltung |
WO2005026746A3 (de) * | 2003-09-11 | 2005-06-23 | Hl Planar Technik Gmbh | Magnetoresistiver sensor in from einer halb-oder vollbrückenschaltung |
US8207732B2 (en) | 2003-09-11 | 2012-06-26 | Meas Deutschland Gmbh | Magneto-resistive sensor for measuring a magnetic field based on an anisotropic magneto-resistive (AMR) effect or a gigantic magneto-resistive (GMR) effect |
US9140766B2 (en) | 2003-09-11 | 2015-09-22 | Meas Deutschland Gmbh | Temperature compensating magneto-resistive sensor for measuring magnetic fields |
DE112010001702B4 (de) * | 2009-04-21 | 2013-03-21 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetsensorpaket |
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