DE3529871A1

DE3529871A1 - Method for making printing masks

Info

Publication number: DE3529871A1
Application number: DE19853529871
Authority: DE
Inventors: Des Erfinders Auf Nennung Verzicht
Original assignee: GUIDO KOCHSIEK FA
Current assignee: GUIDO KOCHSIEK FA
Priority date: 1985-08-21
Filing date: 1985-08-21
Publication date: 1987-02-26

Abstract

The method for making printing masks is carried out by means of handling devices preferably in the manner of a rotatable drum with tools on tool carriers guided on the drum circumference, the working stages necessary for making the masks, such as mask support fastening, register holing, mask drawing, mask cutting, milling and exposing, take place according to the calculated plan. It is characteristic that one tool or a number of tools simultaneously draw, cut, mill or expose details of the mask on the mask support by adjusting movements when the drum is rotating or during its momentary standstill.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren zur automatisierten Herstellung von Druckmasken. Derartige Druckmasken werden als Druckvorlagen auf Druckereimaschinen in die entsprechenden Drucke umgesetzt. Maskenträger können Papier, Transparente, Folien und Filme sein. Die gesamte graphische Industrie ist in einem wesentlichen Teil ihrer Tätigkeit mit der Erstellung von Druckmasken beschäftigt, wenn Layouts, Freistellmasken, Stanzkonturen oder Kontermasken benötigt werden.The invention relates to methods for automated Manufacture of printing masks. Such masks are as print templates on printing machines in the corresponding Prints implemented. Mask wearers can use paper, Be transparencies, foils and films. The entire graphic Industry is an essential part of their activity busy creating print masks if Layouts, clipping masks, punch contours or counter masks are needed.

Es ist bekannt, daß die Maskenerstellung in der graphischen Industrie noch weitgehend von Hand erfolgt. Hierbei werden nach einem zeichnerischen Entwurf mittels einfachen Werkzeugen wie Lupe, Zeichenfeder, Zirkel, Schere und Ziehfeder auf der farbigen Deckschicht über einer Transparentfolie die Entwürfe nachgezeichnet und eingeschnitten. Durch das anschließende Abheben der farbigen Deckschicht innerhalb der herauszuarbeitenden Konturen entsteht die Druckmaske.It is known that the mask creation in the graphic Industry is still largely done by hand. Here are based on a draft using simple tools like magnifying glass, drawing pen, compass, scissors and drawing pen on the colored cover layer over a transparent film the designs are traced and cut. By the subsequent lifting of the colored top layer within The print mask is created from the contours to be worked out.

Die Anforderungen an die Maßgenauigkeiten von Druckmasken liegen im Bereich von 1/100 mm. Besonders bei der Erstellung von Kontermasken sollen durch die hohe Maßhaltigkeit sogenannte Blitzer, also Fehlbelichtungen beim Fotosatz, ausgeschlossen werden. Naturgemäß ist die manuelle Maskenerstellung mit großen Nachteilen behaftet. Durch ungenaues Sehen, unruhige Hand und manuelle Werkzeughandhabung sind hohe Maßhaltigkeiten nicht zu erzielen. Der Zeitverlust durch fehlerhafte Maskenausführungen ist sehr groß. Teilmaskenmontagen und Zwischenkopien sind Ursache für Maskenträger-Materialverlust.The requirements for the dimensional accuracy of print masks are in the range of 1/100 mm. Especially when creating it of counter masks should be due to the high dimensional accuracy so-called speed cameras, i.e. incorrect exposures when setting photos, be excluded. Manual mask creation is natural has great disadvantages. Due to inaccurate Seeing, restless hand and manual tool handling high dimensional accuracy cannot be achieved. The loss of time due to faulty mask designs is very large. Partial mask assemblies and intermediate copies are the cause of Mask carrier material loss.

Um die beschriebenen Nachteile der manuellen Maskenerstellung zu verringern, wurde ein automatischer Maskenschneider entwickelt. Das standrichtige Layout oder ein vermaßtes Groblayout werden über ein Digitalisiertableau in einen Rechner eingelesen. Dieser steuert nach der eingegebenen Vorlage eine Schneideeinheit, welche auf zwei linearen, rechtwinklig zueinander angeordneten Gleitführungen beweglich gelagert ist. Entsprechend den Vorteilen einer computerunterstützten Konstruktion am Bildschirm können die Layouts nach dem Einlesen weiter bearbeitet werden wodurch Teilmaskenmontage und Zwischenkopien weitgehend überflüssig werden. Dennoch bleiben auch bei der bekannten Ausführung dieses automatischen Maskenschneiders Nachteile nicht aus. Zunächst muß die Registerlochung vor dem Aufspannen des Maskenträgers an einer weiteren Maschine durchgeführt werden. Hierdurch kann es zu Maßabweichungen zwischen der Lage der Registerlochung und der auszuarbeitenden Maske kommen. Das Maskenschneiden nach dem Aufspannen des Maskenträgers erfolgt aufgrund des Maschinenkonzeptes mit einer vergleichsweisen geringen Schneidgeschwindigkeit. Diese rührt aus den großen, mitbewegten Massen der X-Y-Führung her. Hierdurch werden auch vergleichsweise große Antriebskräfte erforderlich. Beim Betrieb des Maskenschneiders werden deshalb Maschinenschwingungen erzeugt, welche die häufig geforderten hohen Maßhaltigkeiten bei der Maskenherstellung oft nicht mehr gewährleisten lassen. Außerdem wird durch diese bekannte Bauform eines Maskenschneiders ein vergleichsweise großer konstruktiver Aufwand mit den entsprechenden Kosten verursacht. Ein weiterer Nachteil des beschriebenen und bekannten Maskenschneiders liegt in seiner Beschränkung auf das eigentliche Maskenschneiden, obwohl das angeschlossene Computersystem mit den gleichen Programmgrundlagen auch weitere Werkzeuge steuern könnte, welche bereits heute oder zukünftig zur Maskenherstellung in der graphischen Industrie verwendet werden.An automatic mask cutter was developed to reduce the described disadvantages of manual mask creation. The correct layout or a dimensioned rough layout are read into a computer via a digitizing panel. This controls a cutting unit according to the input template, which is movably mounted on two linear sliding guides arranged at right angles to each other. In accordance with the advantages of a computer-aided design on the screen, the layouts can be further processed after the reading, whereby partial mask assembly and intermediate copies are largely superfluous. Nevertheless, there are also disadvantages in the known version of this automatic mask cutter. First the register perforation must be carried out on another machine before the mask carrier is clamped. This can lead to dimensional deviations between the position of the register perforation and the mask to be worked out. Due to the machine concept, mask cutting after clamping the mask carrier takes place at a comparatively low cutting speed. This stems from the large, moving masses of the X - Y guide. This also requires comparatively large driving forces. When the mask cutter is in operation, machine vibrations are therefore generated, which often no longer guarantee the high dimensional accuracy that is often required in mask production. In addition, this known design of a mask cutter causes a comparatively great design effort with the corresponding costs. Another disadvantage of the described and known mask cutter is its limitation to the actual mask cutting, although the connected computer system with the same program basics could also control other tools which are already used today or in the future for mask production in the graphics industry.

Der beschriebenen Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, die aufgezeigten Nachteile eines bekannten automatischen Maskenschneiders zuverlässig zu beheben sowie den baulichen Aufwand für eine Anlage zur ausschließlichen Maskenschneidung drastisch zu reduzieren. Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die für die Herstellung von Druckmasken erforderlichen Arbeitsschritte wie Maskenträgerbefestigung, Registerlochung, Maskenzeichnung, Maskenschnitt, Fräsen und Belichten von einem rechnergesteuerten Handhabungsgerät, vorzugsweise in der Art einer rotierfähigen Trommel mit am Trommelumfang geführten Werkzeugen auf Werkzeugträgern, nach berechnetem Plan durchgeführt werden.The object of the invention is therefore to be described Reason, the disadvantages of a known automatic Mask cutter to fix reliably as well the structural effort for a plant for exclusive Drastically reduce mask cutting. According to the invention this object is achieved in that for the manufacture work steps required by printing masks such as mask carrier attachment, register perforation, mask drawing, Mask cutting, milling and exposure from a computer-controlled Handling device, preferably of the type a rotatable drum with guided on the drum circumference Tools on tool carriers, according to the calculated plan be performed.

Um die Maskenherstellung nach diesem Verfahren noch kostengünstiger zu gestalten, kann das Handhabungsgerät seine Arbeitsgeschwindigkeit dadurch steigern, daß die Zufuhr des Maskenträgers aus Einzelblatt- oder Rollenmagazin erfolgt. Eine besonders leistungsfähige Maskenherstellung wird dann erreicht, daß ein Werkzeug oder mehrere Werkzeuge gleichzeitig durch Stellbewegungen bei rotierender Trommel oder bei deren momentanen Stillstand auf dem Maskenträger Einzelheiten der Maske zeichnen, schneiden, fräsen oder belichten. Die Arbeitsgeschwindigkeit kann weiter erhöht werden, wenn durch die Steuerung und Regelung der Antriebsorgane des Handhabungsgerätes in ihren Leistungen, Drehzahlen und/oder Wegen nach berechnetem Plan die jeweils geringsten Massen am schnellsten zugestellt werden. Eine noch wirtschaftlichere Ausführung kann dadurch gegeben sein, daß die Trommel mit dem Maskenträger während der Maskenerarbeitung nur in einer Drehrichtung rotiert. To make the mask more cost-effective using this method to design, the handling device increase his working speed in that the The mask carrier is fed from a single sheet or roll magazine he follows. A particularly powerful mask production is then achieved that one tool or more Tools at the same time by adjusting movements while rotating Drum or at its current standstill Draw details of the mask on the mask holder, cut, mill or expose. The working speed can be further increased if by the controller and control of the drive elements of the handling device in their services, speeds and / or routes based on the calculated Plan the smallest masses fastest be delivered. An even more economical version can be given that the drum with the mask wearer during mask development only in rotates in one direction.

Mit der Erfindung wird zunächst gesichert, daß die Registerlochung maßhaltig zur Maske liegt. Maßabweichungen zwischen Layout und Maskenschnitt sind aufgrund der Stabilität des Handhabungsgerätes und der Verwendung der gleichen Rechnerprogrammsteuerung für die Layout-Zeichnungserstellung und der Schneidenführung ausgeschlossen. Für die Layout-Zeichnung wird kein Zeichengerät für grössere Formate zusätzlich benötigt. Es kann mit variablen Zeichnungs- bzw. Maskenformaten aus Einzelblattmagazinen oder Rollenmagazinen gearbeitet werden. Ein wesentlicher Vorteil ist darin zu sehen, daß ein Werkzeug oder mehrere Werkzeuge gleichzeitig durch Stellbewegung bei rotierender Trommel oder bei deren momentanen Stillstand auf den Maskenträger Einzelheiten der Maske zeichnen, schneiden, fräsen oder belichten können, wodurch sich eine hohe Arbeitsgeschwindigkeit ergeben kann. Durch die Rotation der Trommel mit dem Maskenträger in einer Drehrichtung wird die Arbeitsgeschwindigkeit kostengünstig gesteigert, weil keine Energie und Zeit für Drehrichtungsumkehr benötigt werden. Die Erfindung berücksichtigt auch bereits die zukünftige Form der Erstellung von Druckmasken durch die direkte Belichtung von strahlenempfindlichen Filmen mit Strahlenquellen, wodurch die Maskenerstellung mit zu schneidenden Abziehfolien weiter zurückgedrängt würde. The invention first ensures that the register perforation is true to size to the mask. Dimensional deviations between layout and mask cut are due to the stability of the handling device and the use of same computer program control for the layout drawing creation and the cutting edge guide excluded. No drawing device for larger ones is used for the layout drawing Formats additionally required. It can be done with variable Drawing or mask formats from single sheet magazines or reel magazines. An essential one The advantage is that one tool or several Tools simultaneously by adjusting movement while rotating Drum or at its current standstill draw, cut the mask carrier details of the mask, can mill or expose, which results in a high Working speed can result. By the rotation the drum with the mask carrier in one direction of rotation the speed of work is increased cost-effectively, because no energy and time for reversing the direction of rotation are needed. The invention already takes into account the future form of creating print masks the direct exposure of radiation-sensitive films with radiation sources, whereby the mask creation with too cutting peel-off films would be pushed back further.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.An embodiment of the invention is in drawings shown and is described in more detail below.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 die Seitenansicht einer Maschinenausrüstung für das erfindungsgemäße Verfahren und Fig. 1 is a side view of machine equipment for the inventive method and

Fig. 2 die Anordnung gemäß Fig. 1 in der Vorderansicht. Fig. 2 shows the arrangement of FIG. 1 in the front view.

In einem Maschinengestell, bestehend aus den Seitenwänden (2), der Frontplatte (3) und der Rückwand (4) ist eine Trommel (5) in zwei Lagern (6) gelagert. Auf dieser Trommel (5) wird der Maskenträger (7) befestigt. Im gezeigten Ausführungsbeispiel wird der Maskenträger (7), z. B. ein Transparentfilm mit abziehbarer, farbiger Deckfolie, durch das Festsaugen über einen erzeugten Unterdruck rutschfest gehalten. Hierzu wird eine Lagerung (6) zu Öffnungen (10) an der Trommeloberfläche ausgerüstet. Entsprechend der verschiedenen möglichen Maskenträgerformate kann die Unterdruckerzeugung segmentweise gesteuert werden. Dadurch wird verhindert, daß durch Ansaugen von Falschluft durch die dann möglicherweise nicht ausreichende Unterdruckerzeugung der Maskenträger (7) nicht sicher gehalten wird. A drum ( 5 ) is mounted in two bearings ( 6 ) in a machine frame consisting of the side walls ( 2 ), the front plate ( 3 ) and the rear wall ( 4 ). The mask carrier ( 7 ) is attached to this drum ( 5 ). In the embodiment shown, the mask carrier ( 7 ), for. B. a transparent film with peelable, colored cover film, held non-slip by suction by means of a negative pressure generated. For this purpose, a bearing ( 6 ) for openings ( 10 ) on the drum surface is equipped. The generation of negative pressure can be controlled in segments according to the various possible mask carrier formats. This prevents the mask carrier ( 7 ) from not being held securely by sucking in false air due to the possibly insufficient generation of negative pressure.

Der Maskenträger wird nach der benötigten Formatgröße in dem gezeigten Ausführungsbeispiel aus dem zugehörigen Einzelblattmagazin (11) abgerufen und automatisch auf eine vorgegebene Trommelposition geschoben. Mit der Einschaltung der Unterdruckerzeugung wird der Maskenträger zunächst am Rand auf der Trommeloberfläche angesaugt. Hierdurch ist es möglich, durch das Weiterdrehen der Trommel, das Maskenträger-Einzelblatt vollständig aus dem Einzelblattmagazin herauszuziehen und entsprechend der Formatgröße anzusaugen.The mask carrier is called up from the associated single sheet magazine ( 11 ) according to the required format size in the exemplary embodiment shown and is automatically pushed to a predetermined drum position. When the vacuum generation is switched on, the mask carrier is first sucked in on the edge of the drum surface. This makes it possible to pull the mask carrier single sheet completely out of the single sheet magazine by rotating the drum and to suck it in according to the format size.

Andere Ausführungsbeispiele können Maskenträger auf Rollenmagazinen automatisch auf die Trommeloberfläche ziehen und lassen auch die formatgerechte Beschneidung des Maskenträgers zu.Other exemplary embodiments can have mask carriers on roller magazines automatically pull onto the drum surface and also leave the format trimming of the mask wearer to.

Ist der Maskenträger richtig positioniert auf der Trommeloberfläche befestigt, wird in einem weiteren Arbeitsschritt die Registerlochung (12) in den Maskenträger (7) eingebracht. Hierzu ist in die Trommel (5) eine Stanzleiste (13) mit den benötigten Vorlochungen eingearbeitet. Die Trommel wird in die für die Registerlochung bestimmte Position eingefahren. Die zu der Stanzleiste (13) passenden Stanzwerkzeuge (14) für die Registerlochung (12) sitzen in einer Stanzwerkzeughalterung (15) radial zur Trommeloberfläche angeordnet. Durch Antriebe können die Stanzwerkzeuge (14) den Maskenträger in der Lochungsposition durchstoßen. Dabei werden entsprechend den Formaten des Maskenträgereinzelblattes im Ausführungsbeispiel nur die benötigten Stanzwerkzeuge betätigt. Mit diesem Verfahren ist gewährleistet, daß die Registerlochung exakt zu der auf dem Maskenträger zu entwickelnden Maske eingelocht ist.If the mask carrier is correctly positioned on the drum surface, the register perforation ( 12 ) is made in the mask carrier ( 7 ) in a further step. For this purpose, a punched strip ( 13 ) with the required pre-perforations is worked into the drum ( 5 ). The drum is moved into the position intended for register perforation. The punching tools ( 14 ) for the register perforation ( 12 ) which match the punching strip ( 13 ) are arranged in a punching tool holder ( 15 ) arranged radially to the drum surface. The punching tools ( 14 ) can pierce the mask carrier in the perforated position by means of drives. In this case, only the required punching tools are actuated in accordance with the formats of the individual mask carrier sheets. This method ensures that the register perforation is punched exactly into the mask to be developed on the mask carrier.

Für die weiteren Arbeitsschritte ist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel ein weiterer Werkzeugträger (16) radial zur Trommeloberfläche angeordnet. Dieser Werkzeugträger (16) hält Zeichengeräte (17), z. B. Kugelschreiberminen in mehreren Farben, einen Reflektor (18) für die Strahlenumleitung aus Strahlenquellen, Fräs- oder Gravierwerkzeuge (19) und eine Werkzeugschneide (20) zum Ausschneiden der abziehbaren, farbigen Deckfolie auf dem Transparentfilm des Maskenträgers. Im vorgestellten Ausführungsbeispiel wird als Strahlenquelle (21) ein Laserlicht verwendet. In diesem Fall wird als Reflektor (18) ein geeigneter Spiegel eingesetzt.In the exemplary embodiment shown, a further tool carrier ( 16 ) is arranged radially to the drum surface for the further work steps. This tool holder ( 16 ) holds drawing devices ( 17 ), for. B. Ballpoint pen refills in several colors, a reflector ( 18 ) for the radiation diversion from radiation sources, milling or engraving tools ( 19 ) and a cutting edge ( 20 ) for cutting out the removable, colored cover film on the transparent film of the mask wearer. In the exemplary embodiment presented, a laser light is used as the radiation source ( 21 ). In this case, a suitable mirror is used as the reflector ( 18 ).

Der Werkzeugträger ist beweglich auf einer Gleitführung, bestehend im Ausführungsbeispiel aus einer Hülse (22) und einer Welle (23), gelagert. Die Welle (23) ist parallel zu einer Trommelmantellinie angeordnet. The tool carrier is movably mounted on a sliding guide, consisting in the exemplary embodiment of a sleeve ( 22 ) and a shaft ( 23 ). The shaft ( 23 ) is arranged parallel to a drum jacket line.

Ein Antriebssystem (24) für den Werkzeugträger erlaubt die Positionierung jedes Werkzeuges über jedem Punkt der Trommeloberfläche, wenn zur der linearen Einstellbewegung des Werkzeugträgers auf der Gleitführung die Trommel eine zusätzliche Drehung ausführen kann. Zur Positionierung eines angewählten Werkzeuges werden Werkzeugträgerantrieb (24) und Trommelantrieb (25) nach einem berechneten Plan z. B. in Form von computergeführten Zeichnungsprogrammen (CAD) betätigt.A drive system ( 24 ) for the tool carrier allows the positioning of each tool over any point on the drum surface if the drum can perform an additional rotation for the linear adjustment movement of the tool carrier on the slide guide. To position a selected tool, tool carrier drive ( 24 ) and drum drive ( 25 ) according to a calculated plan z. B. in the form of computer-aided drawing programs (CAD) operated.

Für die vorgesehenen Arbeitsschritte Zeichnen, Schneiden, Fräsen und Belichten sind noch weitere Antriebe für die Werkzeugeinstellung vorzusehen. Im gezeigten Ausführungsbeispiel werden die Zeichengeräte (17), Werkzeugschneiden (20) und Fräs- oder Gravierwerkzeuge (19) pneumatisch zur Anlage auf den Maskenträger gebracht. Die Pneumatikantriebe (26) sind so angeordnet, daß sie nicht weitere Antriebe (27) für die Einstellung optimaler Schneidenwinkel oder zur Aufbringung der Schneidleistung, z. B. bei Fräswerkzeugen, behindern.Additional drives for tool setting are to be provided for the intended working steps of drawing, cutting, milling and exposure. In the exemplary embodiment shown, the drawing devices ( 17 ), tool cutting edges ( 20 ) and milling or engraving tools ( 19 ) are pneumatically brought into contact with the mask carrier. The pneumatic drives ( 26 ) are arranged so that they do not have other drives ( 27 ) for setting optimal cutting angle or for applying the cutting performance, for. B. with milling tools.

Beim Belichten von lichtempfindlichen Filmen als Maskenträger kann ein starrer Reflektor (18) durch die Bewegung von Werkzeugträger und Trommel jeden Punkt anstrahlen. In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird der Reflektor beweglich ausgeführt und mit einem Antrieb versehen. Hierdurch wird die Arbeitsgeschwindigkeit beim Belichten eines lichtempfindlichen Films als Maskenträger noch weiter erhöht.When exposing photosensitive films as mask carriers, a rigid reflector ( 18 ) can illuminate any point by moving the tool carrier and drum. In a further exemplary embodiment, the reflector is designed to be movable and provided with a drive. This further increases the working speed when exposing a light-sensitive film as a mask carrier.

In einem anderen Ausführungsbeispiel können mehr als ein Werkzeugträger unabhängig voneinander nach berechnetem Plan bewegt werden, wodurch Arbeitsschritte parallel durchgeführt werden können.In another embodiment, more than one Tool carriers independently of each other according to the calculated plan are moved, whereby work steps are carried out in parallel can be.

Die Maschinenausrüstung für das erfindungsgemäße Verfahren wird durch ansich bekannte elektronische Rechengeräte mit den erforderlichen Peripheriegeräten für die Eingabe oder den Entwurf von Druckmasken ergänzt.The machine equipment for the method according to the invention is using known electronic computing devices the necessary peripheral devices for input or completed the design of print masks.

Die zugehörigen Rechenprogramme verarbeiten die vorgegebenen Druckmaskenentwürfe in Steuerbefehle an die Antriebsorgane der Maschinenausrüstung für das erfindungsgemäße Verfahren.The associated computer programs process the specified ones Print mask designs in control commands to the drive elements the machine equipment for the invention Method.

Wenn die Druckmaske auf dem Maskenträger abgebildet worden ist, wird dieser an einem Abstreifer (28) nach dem gestufen Ausschalten der Unterdruckerzeugung und durch Druckluftunterstützung automatisch mit einer Trommeldrehbewegung auf eine Ablage (29) übergeben. Damit ist die Trommel (5) wieder aufnahmebereit für den nächsten Maskenträger.When the printing mask is imaged on the mask support, it is automatically passed to a stripper (28) after the gestufen off the negative pressure generating compressed air and by support with a drum rotational movement to a rack (29). The drum ( 5 ) is now ready for the next mask wearer.

1 handling device
2 side wall
3 front panel
4 rear wall
5 drum
6 bearings
7 mask wearers
8 rotating union
9 suction channel
10 opening
11 single sheet magazine
12 register holes
13 punching strip
14 punching tool
15 punching tool holder
16 tool carriers
17 drawing device
17 reflector
19 Milling or engraving tools
20 tool cutting edges
21 radiation source
22 sleeve
23 wave
24 drive system
25 drum drive
26 Pneumatic drive
27 drives
28 wipers
29 filing

Claims

1. A process for the production of printing masks, characterized in that the work steps required for the production such as mask support attachment, register perforation, mask cutting, milling and exposure from a computer-controlled handling device ( 1 ) preferably in the manner of a rotatable drum ( 5 ) with tools guided at the beginning of the drum ( 14, 17-20 ) in tool carriers ( 15, 16 ), according to the calculated plan.

2. Device for performing the method according to claim 1, characterized in that the supply of the mask carrier ( 7 ) is carried out from single sheet or roll magazine.

3. Apparatus according to claim 1 and 2, characterized in that a tool ( 14 ) or several tools ( 17-20 ) cut simultaneously by adjusting movements with a rotating drum ( 5 ) or at its current standstill on the mask carrier ( 7 ) details of the mask , draw, mill or expose.

4. The device according to claim 3, characterized in that the drive elements of the handling device ( 1 ) in their performances, speeds and / or paths are controllable and regulated according to the calculated plan.

5. The device according to claim 3, characterized in that the drum ( 5 ) with the mask carrier ( 7 ) rotates only in one direction of rotation during mask development.