DE3510314A1 - Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen pruefung von materialien auf inhomogenitaeten - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen pruefung von materialien auf inhomogenitaeten

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DE3510314A1
DE3510314A1 DE19853510314 DE3510314A DE3510314A1 DE 3510314 A1 DE3510314 A1 DE 3510314A1 DE 19853510314 DE19853510314 DE 19853510314 DE 3510314 A DE3510314 A DE 3510314A DE 3510314 A1 DE3510314 A1 DE 3510314A1
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Description

  • Beschreibung
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur berührungslosen Prüfung von absorptionsfähigen Materialien auf Inhomogenitäten, insbesondere zur Oberflächenprüfung, wobei das Material örtlich einer Bestrahlung mit einem Lichtstrahl ausgesetzt wird, der aufgrund des sog.
  • photothermischen Effektes im Material durch Absorption einen Temperaturanstieg und eine strukturelle Veränderung bewirkt, die Grundlage von Messungen sind.
  • Die Erfindung bewegt sich somit auf dem Gebiet der Photoakustischen Spektroskopie. Hiernach werden durch Licht, das auf die Oberfläche eines absorptionsfähigen Materials auftrifft und weder reflektiert noch durchgelassen wird, Wärmewellen erzeugt. Die Wärme bewirkt lokale Ausdehnungen im Inneren des Materials, die sich fortpflanzen. An der Oberfläche des Materials angelangt, erzeugen die Ausdehnungen in der Umgebungsluft einen Schallimpuls. Die Stärke der Ausdehnung ist stoffspezifisch, erfaßt also Inhomogenitäten, insbesondere das Vorhandensein von Fremdsubstanzen.
  • Die Phasenverschiebung zwischen einfallender Licht-und austretender Wärme- bzw. Schallwelle ist ein Maß für die Tiefe, in der das Material absorbiert.
  • Bekannt ist ein Verfahren zur Untersuchung der Oberflächenqualität von festen Materialien nach der DE-OS 33 37 000, bei dem die Phasenverschiebung einer thermischen Oberflächenwelle gemessen wird, die von einem modulierten Lichtstrahl erzeugt wird. Der Phasenwinkel der kontinuierlichen thermischen Welle wird mit Temperaturdetektoren entweder für einen bestimmten Abstand vom Lichtfleck als Funktion der Frequenz oder für eine feste Frequenz als Funktions des Abstandes gemessen.
  • Da der Phasenwinkel der thermischen Welle von der Dicke der oberflächengehärteten Schicht abhängt, kann die Dicke der gehärteten Schicht hierdurch gemessen werden. Apparativ bedeutet dies, daß entweder die Modulationsfrequenz des Lichtstrahles planmäßig geändert werden muß, oder es bedarf eines Manipulators zum Verschieben mindestens eines Temperaturdetektors, um Phasenverschiebungen infolge Inhomogenitäten im Material zu erfassen. Außerdem ist ein Phasendetektor erforderlich, der die Phase des gemessenen Signals mit einem festen Referenzsignal vergleicht. Das bekannte Verfahren ist speziell auf die Wellenausbreitung längs der Oberfläche und deren Phase als Funktion der über die Oberfläche zurückgelegten Entfernung gerichtet, so daß nur auf eine Inhomogenität zwischen dem Lichtfleck und dem Meßpunkt geschlossen werden kann, die Inhomogenität also nicht lokalisiert werden kann.
  • In der DE-OS 33 37 000 ist auf ein anderes Verfahren gemäß der finnischen Patentanmeldung 8 01 850 Bezug genommen, bei dem der modulierte Lichtstrahl von einem Laser erzeugt wird. Ein Infrarot-Meßgerät als Temperaturdetektor zeichnet den periodischen Anstieg der Oberflächentemperatur auf. Zwar wird durch dieses Verfahren die Materialoberfläche hauptsächlich an der Stelle des Lichtflecks allein bemessen, jedoch ist die unabdingbare Temperaturmessung (und dies gilt auch für das Verfahren nach der DE-OS 33 37 000) möglicherweise äußeren Einflüssen ausgesetzt und daher nicht immer zuverlässig.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein auf der Grundlage des photothermischen Effektes im Material beruhendes Prüfverfahren anzugeben, das einer Temperaturmessung (über die Messung von Phasenverschiebungen oder unmittelbar) nicht bedarf, um deren Abhängigkeit von äußeren Einflüssen auszuschließen.
  • Die Erfindung umfaßt zwei Prinziplösungen des einheitlichen Problems. Die erste Lösung setzt eine ebene Materialoberfläche voraus und bestimmt. daß die vom Lichtstrahl beeinflußte Zone, die ein Punkt oder eine Linie sein kann, von einem parallel zur und dicht oberhalb der Materialoberfläche gerichteten Laserstrahl abgetastet wird, und daß die Richtungsänderung des Laserstrahls nach der Lichtbestrahlung gemessen wird.
  • Diese Lösung benutzt den bekannten Mirage-Effekt zu einem neuen Zweck mit der Folge, daß die temperaturbedingte Änderung des Brechungsindex der Luft im Bereich der vom Lichtstrahl beeinflußten Zone eine Ablenkung des Laserstrahls bewirkt. Das Maß der Ablenkung gegenüber dem Referenzsignal, das vor der Bcstrahlung des Materials, d. h. vor der Richtungsände- rung des Abtast-Laserstrahls direkt anfällt und feststellbar ist, is ein Maß für eine festgestellte lnhomogcnität iiii Material oder an dessen oberfläche. Durch andere Einflüsse als den Mirage-Effekt kann im gegebenen Zusammenhang der Abtast-Laserstrahl nicht abgelenkt werden, wobei dem erfindungsgemäßen Verfahren zugute kommt, daß der Laserstrahl von der Materialoberfläche weg abgelenkt wird.
  • Die zweite Lösung gemäß der Erfindung geht von einer unebenen, aber reflektierenden Materialoberfläche aus und bestimmt, daß die vom Lichtstrahl beeinflußte Zone von einem im Einfallswinkel zum Lichtstrahl gerichteten Laserstrahl abgetastet wird, und daß die Richtungsänderung des reflektierenden Laserstrahls nach der Lichtbestrahlung gemessen wird. Dieses Verfahren beruht auf dem eingangs erwähnten Effekt der stoffspezifischen lokalen Ausdehnung im Inneren des Materials, also einer strukturellen Veränderung, die auf Inhomogenitäten im Material schließen läßt. Wenn vor der Lichtbestrahlung der Abtast-Laserstrahl in dem dem Einfallswinkel gleichen Ausfallswinkel reflektiert wird und seine Richtung als Referenzsignal unmittelbar feststellbar ist, ändert sich aufgrund einer mechanischen Ausdehnung im Material und damit der reflektierenden Oberfläche im Lichtfleck die Richtung der Oberflächen-Normalen und damit der Ausfallswinkel.
  • Die Oberflächen-Normale ist praktisch die Winkelhalbierende zwischen dem einfallenden und dem reflektierten Laserstrahl, die bei festliegender Richtung des einfallenden Laserstrahls ihre ursprüngliche Lage verändert, wobei sich der Ausfallswinkel des reflektierten Laserstrahls im doppelten Winkelmaß wie die Oberflächen-Normale ändert, da ja Einfallswinkel und Ausfallswinkel stets gleichbleiben. Die mit der Einführung des Abtast-Laserstrahls gemäß der Erfindung verbundenen Vorteile sind ansonsten dieselben wie im Zusammenhang mit der ersten Lösung angeführt.
  • Soweit bisher beschrieben, ist eine Modulation des Lichtstrahls, der im übrigen ebenfalls ein Laserstrahl sein kann, nicht zwingend notwendig. Es ergibt aber meßtechnische Vorteile, wenn der Lichtstrahl intensitätsmoduliert wird. Es fallen dann Wechselspannungssignale an, bei denen das Rauschen besser zu unterdrükken ist als bei Gleichspannungssignalen.
  • Die Erfindung sieht auch vor, daß die Frequenz der Intensitätsmodulation des Lichtstrahls verändert wird.
  • Hierdurch kann man an ein und derselben Meßstelle ein Tiefenprofil der strukturellen Veränderung innerhalb des Materials aufgrund des photothermischen Effektes messen, da die Eindringtiefe bzw. die Absorptionsfähigkeit des Materials von der Modulationsfrequenz des Lichtstrahls abhängig ist.
  • Apparativ benötigt das erfindungsgemäße Verfahren für beide angegebenen Lösungen eine Lichtquelle, einen Abtast-Laser und einen Positions-Detektor, der die Null-Richtung sowie die Richtungsänderungen des Laserstrahls nach der Lichtbestrahlung des Objektes mißt und entsprechende Signale abgibt. Je größer der Abstand des Positions-Detektors von der lichtbestrahlten Zone des Materials entfernt ist, umso größer werden die Vergleichswerte zwischen der Null-Richtung und der geänderten Richtung des abgelenkten bzw. reflektierten Laserstrahls.
  • Zweckmäßig wird ein gemeinsames Traggestell für alle erforderlichen Bauelemente vorgesehen, um zu einer transportablen und leicht umsetzbaren Meßapparatur zu gelangen. Wenn ein intensitätsmodulierter Lichtstrahl verwendet werden soll, ist ein Lichtintensitäts- Modulator, ein sog. »Choppe?', erforderlich. Selbstverständlich kann die Lichtfrequenz auch durch ein Stroboskop dargestellt werden. Der Lichtstrahl kann auch Infrarotlicht sein.
  • In der Zeichnung sind die beiden erfindungsgemäßen Lösungen in AusführungsbeisPielen schematisch dargestellt, und zwar zeigen Fig. 1 eine Meß-Anordnung der ersten Lösung für eine ebene Materialoberfläche, Fig. 2 eine Meß-Anordnung der zweiten Lösung für eine unebene, aber reflektierende Materialoberfläche, und Fig. 3 und Fig. 4 funktionelle Einzelheiten der zweiten Lösung nach Fig. 2.
  • In Fig. ist der Prüfling ein teilweise dargestelltes Magnetband 1, das über eine nicht dargestellte Walze bei der Messung kontinuierlich oder schrittweise vorgeschoben wird und in Richtung der oberen Mantellinie der Walze eine ebene Materialoberfläche hat. Von einer Lichtquelle 2 wird mit Hilfe eines Intensitäts-Modulators 3 ein Lichtstrahl 4 ausgestrahlt, der auf der Oberfläche des Magnetbandes 1 einen Lichtfleck bzw. eine vom Lichtstrahl 4 beeinflußte Zone erzeugt. Von einem Abtast-Laser 5 wird ein Laserstrahl 6 ausgesendet, der parallel zur und dicht oberhalb der Materialoberfläche gerichtet ist.
  • Da ein nichtreflektierter Teil des Lichtstrahles 4 von dem Magnetband 1 absorbiert wird, wird die entsprechende Lichtenergie in Wärme umgewandelt, die die Luft oberhalb der vom Lichtstrahl 4 beeinflußten Zone erwärmt und einen Mirage-Effekt begründet Hierdurch ändert sich temperaturbedingt der Brechungsindex der Luft, und der Abtast-Laserstrahl 6 wird in seinem Verlauf nach der Lichtbestrahlung abgelenkt, Der abgelenkte Lichtstrahl 6b trifft auf einen Positionsdetektor 7, der ein der Richtung des Strahles 6b entsprechendes Signal abgibt. Dieses Signal ist gegenüber der nichtabgelenkten Strahlrichtung 6a, die sich vor der Bestrahlung des Prüflings einstellt und im Positionsdetektor 7 unmittelbar das Referenzsignal erzeugt, ein Maß für die Ablenkung des Laserstrahls 6b. Dieses vom Positionsdetektor 7 gelieferte Signal kann auch das Referenzsignal für eine als gut zu befindende Homogenität des zu prüfenden Materials sein, so daß Richtungsänderungen des abgelenkten Laserstrahls 6b gegenüber der in Fig. 1 eingezeichneten Richtung Signale liefern, die unerwünschte Inhomogenitäten abbilden.
  • Fig. 2 zeigt die Meßanordnung für die zweite Lösung, bei der der Prüfling 8 eine übertrieben dargestellt unebene Materialoberfläche hat, die aber reflektieren muß. Wegen der unebenen Materialoberfläche kann der Abtast-Laserstrahl nicht entlang der Oberfläche verlaufend gerichtet sein. Daher wird der von dem Abtast-Laser 5 erzeugte Laserstrahl 6 in einem spitzen Einfallswinkel a zum Lichtstrahl 4 gerichtet, so daß die vom Lichtstrahl 4 beeinflußte Zone abgetastet wird. Der Einfallswinkel a muß so klein sein, daß der Mirage-Effekt unbedeutend ist, der einfallende Laserstrahl 6 jedoch zu dem ausfallenden Laserstrahl 6a reflektiert wird, wenn die Materialoberfläche im Bereich der vom Lichtstrahl 4 beeinflußten Zone eben ist, d. h. der Lichtstrahl 4 mit der Normalen 9a, der Winkelhalbierenden zwischen einfallendem Laserstrahl 6 und ausfallendem Laserstrahl 6a zusammenfällt, wie Fig. 3 zeigt.
  • Der Ausfallswinkel ist hier mit fi bezeichnet. Diese Situation stellt sich ein, wenn die Lichtquelle ausgeschaltet ist, so daß der Positionsdetektor 7 ein Null-Signal liefert, entsprechend dem nicht abgelenkten Laserstrahl 6a in Fig. 1. Nach dem Einschalten der Lichtquelle 2 bewirkt die im Material entstehende Wärme eine lokale Ausdehnung im Inneren des Materials, die sich zu einer in Fig. 4 übertrieben dargestellten mechanischen Ausdehnung 10 der Materialoberfläche ausbildet. Hierdurch ändern sich die Reflektionsverhältnisse in der Weise, daß die Normale 9a im Meßpunkt ihre Richtung ändert, wie in Fig. 4 durch die Linie 9b dargestellt ist. Da die Richtung des einfallenden Abtast-Laserstrahls 5 festliegt und sich der Einfallswinkel g ändert, ändert sich auch der gleiche Ausfallswinkel ß des reflektierten Laserstrahls 6b,so daß der Positionsdetektor 7 ein Meßsignal liefert, das die Größe der mechanischen Ausdehnung 10 abbildet, die auf eine Inhomogenität im Material schließen läßt.
  • - LeeFseite -

Claims (6)

  1. Patentansprüche 1. Verfahren zur berührungslosen Prüfung von absorptionsfähigen Materialien auf Inhomogenitäten, insbesondere zur Oberflächenprüfung, wobei das Material örtlich einer Bestrahlung mit einem Lichtstrahl ausgesetzt wird, der aufgrund des sog. photothermischen Effektes im Material durch Absorption einen Temperaturanstieg und eine strukturelle Veränderung bewirkt, die Grundlage von Messungen sind, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer ebenen Materialoberfläche die vom Lichtstrahl (4) beeinflußte Zone von einem parallel zur und dicht oberhalb der Materialoberfläche gerichteten Laserstrahl (6) abgetastet wird, und daß die Richtungsänderung des Laserstrahls nach der Lichtbestrahlung gemessen wird.
  2. 2. Verfahren zur berührungslosen Prüfung von absorptionsfähigen Materialien auf Inhomogenitäten, insbesondere zur Oberflächenprüfung, wobei das Material örtlich einer Bestrahlung mit einem Lichtstrahl ausgesetzt wird, der aufgrund des sog. photothermischen Effektes im Material durch Absorption einen Temperaturanstieg und eine strukturelle Veränderung bewirkt, die Grundlage von Messungen sind, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer unebenen, aber reflektierenden Materialoberfläche die vom Lichtstrahl (4) beeinflußte Zone von einem im spitzen Einfallswinkel (a) zum Lichtstrahl gerichteten Laserstrahl (6) abgetastet wird, und daß die Richtungsänderung des reflektierten Laserstrahls (6a) nach der Lichtbestrahlung gemessen wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (4) intensitätsmoduliert wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Intensitätsmodulation verändert wird.
  5. 5. Vorrichtung zur Durchführung der Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (4) zur Erzeugung eines fokussierten Lichtstrahles (4), einen Abtast-Laser (5), ausrichtbar auf die vom Lichtstrahl beeinflußte Materialzone, und durch einen Positionsdetektor (7),ausrichtbar auf die Richtung des Laserstrahls nach seiner Abtastung der lichtbestrahlten Materialzone.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein gemeinsames Traggestell für die Lichtquelle (4), den Abtast-Laser (5) und den Positionsdetektor (7).
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3710323A1 (de) * 1987-03-28 1988-10-06 Petry Harald Verfahren zur photothermischen materialpruefung mit dem mirage-effekt an proben mit rauhen oder unebenen oberflaechen
DE3905798A1 (de) * 1989-02-24 1990-08-30 Siemens Ag Verfahren zur messung von schaedigungen in mindestens einem bereich einer halbleiterscheibe waehrend der bearbeitung der halbleiterscheibe
DE3920193A1 (de) * 1989-06-21 1991-01-10 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur schichtdickenmessung von polymerschichten im nanometerbereich
EP0427943A1 (de) * 1989-11-15 1991-05-22 Dornier Gmbh Faseroptischer Sensor zum Nachweis von photothermischen Effekten
EP1571415A1 (de) * 2004-03-03 2005-09-07 Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Photothermisches Messsystem

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Appl. Phys. Lett., 36 (2), 1980, S. 130-132 *
Applied Optics, 20 (8), 1981, S. 1333-1344 *
J. Appl. Phys., 51 (9), 1980, S. 4580-4588 *
J. Appl. Phys., 54 (11), 1983, S. 6245-6255 *
J. Appl. Phys., 54 (2), 1983, S. 581-591 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3710323A1 (de) * 1987-03-28 1988-10-06 Petry Harald Verfahren zur photothermischen materialpruefung mit dem mirage-effekt an proben mit rauhen oder unebenen oberflaechen
DE3905798A1 (de) * 1989-02-24 1990-08-30 Siemens Ag Verfahren zur messung von schaedigungen in mindestens einem bereich einer halbleiterscheibe waehrend der bearbeitung der halbleiterscheibe
DE3920193A1 (de) * 1989-06-21 1991-01-10 Kernforschungsz Karlsruhe Verfahren zur schichtdickenmessung von polymerschichten im nanometerbereich
EP0427943A1 (de) * 1989-11-15 1991-05-22 Dornier Gmbh Faseroptischer Sensor zum Nachweis von photothermischen Effekten
EP1571415A1 (de) * 2004-03-03 2005-09-07 Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Photothermisches Messsystem
DE102004010267B3 (de) * 2004-03-03 2005-09-22 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Photothermisches Aufnahmesystem

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