DE3505894A1

DE3505894A1 - Shock wave tube with coil and diaphragm

Info

Publication number: DE3505894A1
Application number: DE19853505894
Authority: DE
Inventors: Georg Dipl.-Ing. Naser (FH), 8502 Zirndorf; Helmut Dr.rer.nat. 8501 Eckental Reichenberger; Rudolf Dr.Rer.Nat. 8520 Erlangen Schittenhelm
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1985-02-20
Filing date: 1985-02-20
Publication date: 1986-08-21

Abstract

The shock wave tube (1) comprises a coil (4) which is preferably encapsulated in a coil insulating frame (3). One insulating film (7, 17) each is located on either side of the coil insulating frame (3). A diaphragm (9, 19) made from electrically conductive material adjoins the insulating film (7, 17) in each case. When a shock wave is initiated by discharging a capacitor onto the coil (4), the two diaphragms (9, 19) are pressed outwards suddenly, resulting in the emission of shock waves (P1, P2). The reactions on the coil (4) at least largely cancel each other out in this case. Together with the coil insulating frame (3), the coil (4) therefore has a long service life. <IMAGE>

Description

Siemens Aktiengesellschaft Unser Zeichen Berlin und München VPA 85 P 305 8OESiemens Aktiengesellschaft Our symbol Berlin and Munich VPA 85 P 305 8OE

StoGwellenrohr mit Spule und MembranStoGwelle tube with coil and membrane

Die Erfindung bezieht sich auf ein Stoßwellenrohr mit einer Spule und einer an einer Seite der Spule angeordneten Membran aus elektrisch leitfähigem Material.The invention relates to a shock tube with a coil and one on one side of the coil Membrane made of electrically conductive material.

Stoßwellenrohre dieser Art sind seit längerer Zeit bekannt. Sie haben in jüngerer Zeit in der medizinischen Technik verbreitet Interesse gefunden. Mit ihnen lassen sich Konkremente im Körper eines Patienten zertrümmern, ohne daß ein operativer Eingriff erforderlich ist.Shock wave tubes of this type have been known for a long time. You have been in medical more recently Technology found widespread interest. They can be used to smash concretions in a patient's body, without the need for surgery.

Ein Stoßwellenrohr der eingangs genannten Art ist in der DE-OS 33 12 014 beschrieben. Dort ist eine Flachspule vorgesehen, die konkav gekrümmt ist. Sie ist über eine Auslöse- oder Funkenstrecke an einen Kondensator angeschlossen. Bei Entladung des Kondensators über die Auslösestrecke und die Flachspule erzeugt letztere im Zusammenwirken mit einer Membran aus elektrisch leitfähigem Material eine fokussierende Stoßwelle.A shock wave tube of the type mentioned is described in DE-OS 33 12 014. There's a pancake there provided, which is concavely curved. It is connected to a capacitor via a trigger or spark gap connected. When the capacitor is discharged via the release path and the flat coil, the latter is generated in the A focusing shock wave interacts with a membrane made of electrically conductive material.

Aufgrund des hohen abgegebenen Druckimpulses von z. B. 100 bar werden die Materialien eines solchen Stoßwellenrohres bei wiederholten Entladungen und Stoßwellenemissionen stark beansprucht. Besonders die als Flachspule ausgebildete Entladungsspule wird hohen mechanischen Kräften ausgesetzt, was zu einer frühen Materialermüdung führt. Die einzelnen Windungen der Flachspule können insbesondere in einen Kunststoff eingegossen sein. Es hat sich gezeigt, daß - je nach Konstruktion - die Flachspule samt Eingußmasse den gewaltigen BeanspruchungenDue to the high pressure pulse delivered by z. B. 100 bar are the materials of such a shock wave tube heavily used in the case of repeated discharges and shock wave emissions. Especially the flat coil formed discharge coil is exposed to high mechanical forces, which leads to an early material fatigue leads. The individual turns of the flat coil can in particular be cast in a plastic. It It has been shown that - depending on the design - the flat coil including the casting compound can withstand the enormous stresses

Nm 2 Rl / 15.02.1985Nm 2 Rl / 02.15.1985

- } - VPA 85 P 3 0 5 8 DB- } - VPA 85 P 3 0 5 8 DB

nicht standhält und nach einer Anzahl von Stoßwellenemissionen zum Reißen oder Zerspringen neigt.does not withstand and is prone to cracking or shattering after a number of shock wave emissions.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Stoßwellenrohr der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß sich eine Verlängerung der Lebensdauer der Spule ergibt.The object of the present invention is to design a shock wave tube of the type mentioned at the outset in such a way that that there is an extension of the life of the coil.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß sich dieses Ziel erreichen läßt, wenn die bei der Stoßwellenemission auf die Spule einwirkenden Kräfte merklich reduziert werden.The invention is based on the knowledge that this goal can be achieved when the shock wave emission forces acting on the coil are noticeably reduced.

Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß an der anderen Seite der Spule eine weitere Membran aus elektrisch leitfähigem Material angeordnet ist.The stated object is achieved according to the invention in that there is another on the other side of the coil Membrane made of electrically conductive material is arranged.

Bei diesem Stoßwellenrohr ist also auf beiden Seiten der Spule je eine Membran vorgesehen. Bevorzugt können beide Membranen aus demselben Material bestehen, den gleichen Durchmesser besitzen und - falls gewünscht dieselbe Dicke aufweisen. In diesem Fall erhält man ein weitgehend symmetrisches Gebilde, bei dem bei der Entladung des Kondensators von beiden Membranen eine Stoßwelle ausgesandt wird. Die Rückwirkung der ersten Membran auf die Spule wird dabei weitgehend durch die Rückwirkung der zweiten Membran auf die Spule kompensiert. Mit anderen Worten, die zerstörerischen Kräfte an der Spule heben sich weitgehend auf. Da die Spule dadurch weniger oder kaum beansprucht wird, ergibt sich eine verlängerte Lebensdauer. Dies gilt sowohl dann, wenn die Spule eingegossen ist, als auch dann, wenn sie ohne Vergußmasse gewickelt ist.In this shock wave tube, a membrane is provided on each side of the coil. Preferred can Both membranes are made of the same material, have the same diameter and - if desired, the same Have thickness. In this case, a largely symmetrical structure is obtained in which during the discharge of the capacitor, a shock wave is sent out by both membranes. The reaction of the first membrane on the coil is largely compensated for by the reaction of the second membrane on the coil. With In other words, the destructive forces on the coil largely cancel each other out. Because the coil is less or is hardly used, the result is a longer service life. This applies both when the coil is cast is, as well as when it is wound without potting compound.

- * - VPA 35 ρ 3 0 5 8 DB- * - VPA 35 ρ 3 0 5 8 DB

Eine weitgehende Kompensation der zerstörerischen Kräfte ergibt sich, wie bereits dargelegt, insbesondere dann, wenn das Stoßwellenrohr bezüglich der bevorzugt eben ausgeführten Spule symmetrisch aufgebaut ist. Zweckmäßigerweise wird man aus Isolationsgründen jeweils zwischen der Spule und den beiden Membranen je eine isolierende Folie anordnen.A far-reaching compensation for the destructive forces results, as already explained, in particular when the shock wave tube with respect to the preferably flat design Coil is constructed symmetrically. Appropriately, for reasons of isolation, between the Arrange the coil and the two membranes each with an insulating film.

Weitere Ausgestaltungen und vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und aus sechs Figuren, die Ausführungsbeispiele zeigen und im folgenden näher beschrieben werden. Gleiche Bauelemente sind mit denselben Bezugszeichen versehen. Es zeigen:
15Further refinements and advantageous developments of the invention emerge from the subclaims and from six figures which show exemplary embodiments and are described in more detail below. The same components are provided with the same reference symbols. Show it:
15th

Fig. 1 das Kernstück eines StoGwellenrohrs mit einerFig. 1 shows the core of a StoGwellenrohrs with a

Spule und beidseitig angeordneten Isolierfolien und Membranen;Coil and insulating foils and membranes arranged on both sides;

Fig. 2 einen Blick auf den Schnitt H-II in Figur 1;FIG. 2 a view of the section H-II in FIG. 1;

Fig. 3 eine weitere Ausführungsform des Kernstücks eines Stoßwellenrohrs, bei dem auf der Seite der zusätzlichen Membran ein Ultraschallsumpf in Form eines Absorptionskörpers angeordnet ist;Fig. 3 shows a further embodiment of the core piece of a shock wave tube, in which on the side an ultrasonic sump in the form of an absorption body is arranged on the additional membrane;

Fig. 4 eine weitere Ausführungsform, bei der von einer dünnen Metallschicht als weitere Membran Gebrauch gemacht wird.
304 shows a further embodiment in which use is made of a thin metal layer as a further membrane.
30th

Fig. 5 eine weitere Ausführungsform, bei der die Membranen durch ein gemeinsames Gehäuse an der Spule gehalten werden; und5 shows a further embodiment in which the membranes are connected by a common housing the coil are held; and

-X- VPA 85 P 3 0 5 8 DE-X- VPA 85 P 3 0 5 8 DE

Fig. 6 eine Auführungsform, bei der als Basismaterial eine Leiterplatte verwendet wird.6 shows an embodiment in which, as the base material a printed circuit board is used.

In Figur 1 ist das Kernstück eines Stoßwellenrohrs 1 gezeigt. Die wesentlichen Komponenten dieses Stoßwellenrohrs 1 sind ein Spulenträger 3 mit einer ebenen, flachen Spule 4, deren Windungen mit 5 bezeichnet sind, eine Folie aus elektrisch isolierendem Material oder Isolierfolie 7 an der einen Seite des Spulenkörpers 3 und eine runde Membran 9 aus elektrisch leitendem Material. Wie aus Figur 2 hervorgeht, sind die Windungen 5 der Spule 4 spiralförmig in einer Ebene angeordnet und in Kunstharz eingegossen, welcher den Spulenträger 3 bildet. Das äußere Ende der Spule ist mit 5a und das innere Ende ist mit 5i bezeichnet. Diese Enden 5a, 5i sind an äußere Anschlüsse 11 bzw. 13 herausgeführt, an die über eine (nicht gezeigte) Funkenstrecke ein (nicht gezeigter) Kondensator zur Entladung angeschlossen werden kann.In Figure 1, the core of a shock wave tube 1 is shown. The essential components of this shock wave tube 1 are a coil carrier 3 with a planar, flat coil 4, the turns of which are denoted by 5, a Foil made of electrically insulating material or insulating film 7 on one side of the bobbin 3 and one round membrane 9 made of electrically conductive material. As can be seen from Figure 2, the turns are 5 of the coil 4 arranged spirally in a plane and cast in synthetic resin, which forms the coil carrier 3. That outer end of the coil is designated 5a and the inner end is designated 5i. These ends 5a, 5i are on the outside Connections 11 or 13 lead out, to which a (not shown) a spark gap (not shown) Capacitor can be connected for discharge.

Aus Figur 1 wird deutlich, daß auch auf der anderen Seite der Spule 5 eine Isolierfolie 17 und darauffolgend eine Membran 19 aus elektrisch leitfähigem Material angeordnet sind. Die Oberflächen des Spulenträgers 3, der Isolierfolien 7, 17 und der Membranen 9, 19 sind weitgehend parallel ausgerichtet und liegen eng aneinander an.From Figure 1 it is clear that on the other side of the coil 5, an insulating film 17 and then one Membrane 19 are arranged from electrically conductive material. The surfaces of the bobbin 3, the insulating foils 7, 17 and the membranes 9, 19 are aligned largely parallel and lie close to one another.

Der zylinderförmige Spulenträger 3 ist außen von einem Abstandsring 21 umgeben. Dieser ist mit Bohrungen versehen, durch die Befestigungsmittel in Form von Schrauben 23 geführt sind. Mit Hilfe der Schrauben 23 und von Muttern 25 oder mittels anderer geeigneter Befestigungsmittel werden die Komponenten 3 und 7, 17 sowie 9, 19 eng aneinandergepreßt zusammengehalten.The cylindrical bobbin 3 is surrounded on the outside by a spacer ring 21. This is provided with holes, are guided through the fastening means in the form of screws 23. With the help of screws 23 and from Components 3 and 7, 17 and 9, 19 become tight by means of nuts 25 or other suitable fastening means held together pressed together.

- 3 - VPA 85 P 3 0 5 8 OB- 3 - VPA 85 P 3 0 5 8 OB

Während des Betriebes des Stoßwellenrohres 1 wird auf die Flachspule 5 ein kurzer elektrischer Spannungsimpuls von hoher Amplitude vom genannten Kondensator gegeben. Das so erzeugte elektromagnetische Feld bewirkt, daß sich die Membran 9 infolge auftretender Induktionskräfte schlagartig von der Flachspule 5 wegbewegt. Die Membran 9 ist jedoch an ihrem Umfang - unter Zwischenlage der Isolierfolie 7 - fest an die Flachspule 5 angedrückt. Die abstoßende Bewegung wird im Idealfall annähernd gleichmäßig über der freien Fläche der Membran erzeugt, wodurch eine Stoßwelle Pl ausgesandt wird. Es ist einleuchtend, daß sich beim Aussenden diese Stoßwelle Pl eine entsprechende Rückwirkung auf den Spulenträger 3 und damit auf die Spule 4 ergibt.During the operation of the shock wave tube 1, a short electrical voltage pulse is applied to the flat coil 5 of high amplitude given by said capacitor. The electromagnetic field generated in this way causes the membrane 9 suddenly moves away from the flat coil 5 as a result of the induction forces that occur. the However, membrane 9 is firmly pressed against flat coil 5 on its circumference - with the interposition of insulating film 7. In the ideal case, the repulsive movement is approximately uniform over the free surface of the membrane generated, whereby a shock wave Pl is emitted. It is evident that when this shock wave is emitted Pl results in a corresponding reaction on the coil carrier 3 and thus on the coil 4.

Diese Rückwirkung wird durch die Anordnung der Membran auf der anderen Seite des Spulenkörpers 3 kompensiert. Denn auch auf dieser anderen Seite wird unter dem Zwang der elektromagnetischen Kräfte eine Stoßwelle P2 ausgesandt, die ebenfalls zu einer Rückwirkung auf den Spulenträger 3 führt. Die Rückwirkungen beider Membranen 9, sind entgegengerichtet und kompensieren sich vollständig, zumindest aber teilweise. Die Kompensation ist um so vollständiger, je symmetrischer die Anordnung ist. Dadurch wird die Lebensdauer der Spule 4 und des Spulenkörpers 3 verlängert, so daß Wartungs- und Austauscharbeiten erst in größeren Zeitabständen erforderlich werden.This reaction is compensated for by the arrangement of the membrane on the other side of the bobbin 3. Because on this other side, too, a shock wave P2 is emitted under the compulsion of the electromagnetic forces, which also leads to a reaction on the coil carrier 3. The repercussions of both membranes 9, are opposing and compensate each other completely, but at least partially. The compensation is so more complete, the more symmetrical the arrangement is. This increases the life of the coil 4 and the bobbin 3 extended, so that maintenance and replacement work is only required at longer intervals will.

Es soll noch hervorgehoben werden, daß die Anordnung einer zusätzlichen Membran 19 zur Reduzierung zerstörerischer Kräfte nicht auf eine ebene Spule 4 beschränkt ist. Diese Maßnahme kann auch bei einer gewölbten Spule vorgesehen sein.It should be emphasized that the arrangement of an additional membrane 19 to reduce destructive Forces is not limited to a flat coil 4. This measure can also be used in the case of a curved Coil be provided.

- / - VPA 85 ρ 3 0 5 8 DE- / - VPA 85 ρ 3 0 5 8 DE

In Figur 3 ist eine andere Ausführungsform des Kernstücks eines Stoßwellenrohrs 1 dargestellt. Bei dieser Darstellung sind die einzelnen Bauelemente der leichteren Übersichtlichkeit wegen in einer Explosionsdarstellung gezeigt. Bei dieser Ausführungsform sind gleichfalls auf beiden Seiten des Spulenträgers 3 Isolierfolien 7, 17 und Membranen 9, 19 angeordnet. Die Membran 19 liegt hier an der Stirnseite eines zylindrischen Körpers 27 an. Dieser Körper 27 ist vorliegend als Ultraschall-Dämpfungskörper ausgebildet. Er dient somit als Sumpf für die nach links ausgesandte Stoßwelle P2. Dämpfungskörper 27 dieser Art sind an sich aus der Ultraschalltechnik bekannt. Vorliegend handelt es sich um einen Körper 27 aus Gießharz, in den ein absorbierendes Pulver wie Wolfram-Pulver eingebettet ist. Die Verteilung oder Konzentration dieses Pulvers weist in Abstrahlrichtung einen Gradienten auf. Sie ist in der Nähe der weiteren Membran 19 relativ hoch und nimmt in Abstrahlrichtung ab. Mit Hilfe des Körpers 27 wird verhindert, daß sich eine Stoßwelle P2 unkontrolliert außerhalb des Stoßwellenrohrs fortsetzt.In Figure 3, another embodiment of the core piece of a shock wave tube 1 is shown. With this representation the individual components are shown in an exploded view for the sake of clarity. In this embodiment, there are also insulating foils 7, 17 on both sides of the coil support 3 and membranes 9, 19 are arranged. The membrane 19 rests against the end face of a cylindrical body 27 here. In the present case, this body 27 is designed as an ultrasonic damping body. It thus serves as a swamp for the shock wave P2 emitted to the left. Damping bodies 27 of this type are per se from ultrasound technology known. In the present case, it is a body 27 made of casting resin in which an absorbent powder how tungsten powder is embedded. The distribution or concentration of this powder points in the direction of emission a gradient. It is relatively high in the vicinity of the further membrane 19 and decreases in the direction of emission. With the aid of the body 27, a shock wave P2 is prevented from being uncontrollably outside the shock wave tube continues.

In Figur 4 ist eine weitere Ausführungsform des Kernstücks eines Stoßwellenrohrs 1 gezeigt. Bei dieser Ausführungsform enthält der Spulenträger 3 eine spiralförmige flache Spule 4 mit Windungen 5 von rechteckigem Querschnitt. Die beidseitig angelegten Isolierfolien 7, 17 bestehen aus demselben Material und haben dieselbe Dicke. Es ist aber ersichtlich, daß die darauf folgenden Membranen 9 bzw. 19 unterschiedliche Dicken dl bzw. d2 besitzen. Speziell ist hier so vorgegangen, daß die Dicke d2 der weiteren Membran 19 kleiner ist als die Dicke dl der Membran 9. An die weitere Membran 19 schließt sich hier ein Körper 29 an. Dieser Körper 29 ist zur Ableitung von Verlustwärme vorgesehen. Er kann mitIn Figure 4, a further embodiment of the core piece of a shock wave tube 1 is shown. In this embodiment contains the coil carrier 3 a spiral flat coil 4 with turns 5 of rectangular Cross-section. The insulating foils 7, 17 applied on both sides consist of the same material and have the same Thickness. It can be seen, however, that the subsequent membranes 9 and 19 have different thicknesses dl or own d2. In particular, the procedure here is that the thickness d2 of the further membrane 19 is smaller than that Thickness dl of the membrane 9. A body 29 adjoins the further membrane 19 here. This body is 29 intended to dissipate waste heat. He can go with

- / - VPA 85 P 3 0 5 8 OE- / - VPA 85 P 3 0 5 8 OE

einer (nicht gezeigten) Wärmesenke verbunden sein. Der Körper 29 kann speziell ein Aluminiumoxid-Keramik-Körper sein.be connected to a heat sink (not shown). The body 29 can specifically be an alumina ceramic body be.

Bei der Ausführungsform nach Figur 4 ist weiter hervorzuheben, daß die Membran 19 als Schicht ausgebildet ist, die auf dem Körper 29 aufgebracht ist. Insbesondere kann es sich dabei um eine Metallschicht, beispielsweise eine Aluminium- oder Kupferschicht handeln, die auf den Körper 29 aufgedampft ist. Der Körper 29 aus Keramik ist elastisch genug, die bei der Auslenkung der Membran 19 auftretenden Verformungskräfte aufzufangen. An den Körper 29 kann sich ein (nicht gezeigter) Dämpfungskörper anschließen, beispielsweise ein Körper 27 gemäß Figur 3.In the embodiment according to FIG. 4, it should also be emphasized that the membrane 19 is designed as a layer, which is applied to the body 29. In particular, it can be a metal layer, for example a Act aluminum or copper layer, which is vapor-deposited on the body 29. The body 29 is made of ceramic elastic enough to absorb the deformation forces that occur when the membrane 19 is deflected. To the body 29 can be followed by a damping body (not shown), for example a body 27 according to FIG. 3.

Es war bereits dargelegt worden, daß die Membranen 9, in Form von Folien oder von aufgetragenen Schichten vorliegen können. Als Material kommt hierfür, wie erwähnt, Kupfer oder Aluminium in Betracht. Untersuchungen haben gezeigt, daß sich gute Eigenschaften hinsichtlich der Lebensdauer ergeben, wenn die verwendete Membran 9, 19 aus einer Bronzelegierung oder Molybdän besteht.It has already been stated that the membranes 9 are in the form of films or of applied layers can. As mentioned, copper or aluminum come into consideration as the material for this. Have investigations shown that there are good properties in terms of service life when the membrane 9, 19 consists of a bronze alloy or molybdenum.

Nach Figur 5 besteht die Flachspule 4 aus einer Anzahl eng aneinanderliegender spiralförmig gewundener Windungen 5 aus elektrisch leitendem Material runden Querschnitts, wobei die einzelnen Windungen 5 gegeneinander isoliert sind. Eine Füllmasse zwischen den einzelnen Windungen 5 ist hier nicht vorgesehen. Die Flachspule 4 wird auch hier von einem Abstandsring 21 aus isolierendem Material umgeben. Spule 4 und Abstandsring 21 werden von einer Isolierfolie aus einem Material großer elektrischer Durchschlagsfestigkeit und daran anschließend von einer Membran 9 aus einem Metall, z. B. Kupfer-Berylium-Bronze, überdeckt. Die andere Seite ist entsprechend ausgestaltet.According to FIG. 5, the flat coil 4 consists of a number of closely spaced spirally wound turns 5 made of electrically conductive material of round cross-section, the individual windings 5 being insulated from one another are. A filling compound between the individual turns 5 is not provided here. The flat coil 4 is also here surrounded by a spacer ring 21 made of insulating material. Coil 4 and spacer ring 21 are of a Insulating film made from a material with high dielectric strength and then from a membrane 9 made of a metal, e.g. B. copper beryllium bronze, covered. The other side is designed accordingly.

-S- VPA 85 P 3 0 5 8 DE -S- VPA 85 P 3 0 5 8 DE

Hier sind ebenfalls eine Isolierfolie 17 von großer elektrischer Durchschlagsfestigkeit und eine Membran 19 aus Metall, z. B. Kupfer-Berylium-Bronze, vorgesehen. An die Membran 19 schließt sich ein Körper 31 an, der als Träger und als Dämpfungskörper dient. Verbindungsleitungen 33 und 35 führen zum äußeren Ende 5a bzw. inneren Ende 5i der Flachspule 4. Sie sind sowohl durch die Isolierfolie 17 als auch durch die Membran 19 und den Körper 31 hindurchgeführt. Die Anordnung der Elemente 9, 7, 21, 4, 17, 19, 31 ist von einem Gehäuse kraftschlüssig eingefaßt, das aus zwei Gehäusehälften 37 und 39 besteht. Diese Gehäusehälften 37, 39 sind ringförmig mit jeweils einem Rückhalterand ausgeführt. Sie werden durch Haltemittel wie Schrauben 23 zusammengehalten.Here, too, an insulating film 17 of high dielectric strength and a membrane 19 are made Metal, e.g. B. copper beryllium bronze, provided. The membrane 19 is followed by a body 31, which acts as a carrier and serves as a damping body. Connecting lines 33 and 35 lead to the outer end 5a and inner end 5i, respectively of the flat coil 4. They are through the insulating film 17 as well as through the membrane 19 and the body 31 passed through. The arrangement of the elements 9, 7, 21, 4, 17, 19, 31 is frictionally framed by a housing, which consists of two housing halves 37 and 39. These housing halves 37, 39 are annular with each run a retaining edge. They are held together by holding means such as screws 23.

Bei der Isolierfolie 17 und der Membran 19 kann es sich wieder um ein Leiterplattenmaterial mit Kupfer-Kaschierung handeln. Stattdessen kann anstelle der Bauelemente 17, 19, 31 auch ein Tragkörper 31 verwendet werden, beispielsweise aus Keramik, der zur Bildung der Membran 19 über seine gesamte, der Spule 4 zugewandte Fläche metallisiert ist, wodurch die Membran 19 gebildet wird, und der zur Bildung der Isolierschicht 17 auf der Metallfläche mit einem Kunststoffmaterial bedampft ist.The insulating film 17 and the membrane 19 can again be a printed circuit board material with a copper lamination Act. Instead of the components 17, 19, 31, a support body 31 can also be used, for example made of ceramic, which is used to form the membrane 19 is metallized over its entire surface facing the coil 4, whereby the membrane 19 is formed, and which is vapor-deposited with a plastic material to form the insulating layer 17 on the metal surface.

Als ein solches Kunststoffmaterial kommt beispielsweise Parylene in Betracht.Such a plastic material comes for example Consider parylene.

Bisher war davon ausgegangen, daß die Flachspule 4 aus einem in einer Ebene gewickelten Draht besteht. Nach der Ausführungsform von Figur 6 ist eine solche Konstruktion ersetzt durch eine Flachspule 4, die aus einer doppelseitig kaschierten Leiterplatte hergestellt wurde. In diesem Fall besteht somit die Flachspule 4 aus zwei parallel zueinander angeordneten Teilspulen 4A undSo far it was assumed that the flat coil 4 from consists of a wire wound in one plane. According to the embodiment of Figure 6 is such a construction replaced by a flat coil 4, which was made from a double-sided laminated circuit board. In this case, the flat coil 4 thus consists of two sub-coils 4A and 4 arranged parallel to one another

4B, die durch das Basismaterial 40 der Leiterplatte voneinander getrennt sind. Mit anderen Worten, auf jeder Seite der Leiterplatte ist durch Ätztechnik eine spiralförmige Flachspule entstanden. Die beim Ätzen entstehenden Zwischenräume sind, wie bei der Darstellung in den Figuren 1, 3 und 4, durch einen isolierenden Kunststoff ausgefüllt. Die Zwischenräume zwischen den einzelnen Windungen 5A, 5B können insbesondere mit einem Gießharz ausgefüllt sein. Diese Ausfüllungen sind mit 6A bzw. 6B bezeichnet. Infolge der Verwendung einer Leiterplatte ergeben sich hier Windungen 5A bzw. 5B für die beiden Teilspulen 4A bzw. 4B von rechteckförmigem Querschnitt. Im Bereich des gemeinsamen Anschlusses 35 für die Flachspule 4 sind die beiden Teilspulen 4A, 4B durchkontaktiert. Die an dieser Stelle bestehende elektrische Verbindung ist mit 43 bezeichnet. Die beiden Teilspulen 4A, 4B sind elektrisch parallel geschaltet.4B, which are separated from one another by the base material 40 of the circuit board. In other words, everyone On the side of the printed circuit board, a spiral flat coil has been created using etching technology. Those created by etching As in the illustration in FIGS. 1, 3 and 4, gaps are made of insulating plastic filled out. The spaces between the individual turns 5A, 5B can in particular be made with a casting resin be filled out. These fillings are labeled 6A and 6B, respectively. As a result of using a printed circuit board This results in turns 5A and 5B for the two sub-coils 4A and 4B of rectangular Cross-section. The two sub-coils 4A, 4B are in the area of the common connection 35 for the flat coil 4 plated through. The electrical connection existing at this point is denoted by 43. The two Partial coils 4A, 4B are electrically connected in parallel.

Auch bei dieser Ausführungsform nach Fig. 6 kann es sich bei der Kombination der Bauelemente 17, 19 um eine Leiterplatte mit Kupfer-Kaschierung handeln. Die Kupfer-Kaschierung wirkt dabei als weitere Membran 19.In this embodiment according to FIG. 6 , the combination of the components 17, 19 can also be a printed circuit board with copper lamination. The copper lamination acts as a further membrane 19.

Es soll noch darauf hingewiesen werden, daß die Membran 19 nicht unbedingt eine dünne Folie oder dünne Schicht zu sein braucht. Es kann sich dabei auch um einen verhältnismäßig dicken Körper handeln, z. B. um einen Metallblock aus Kupfer oder Stahl, der in der Nähe derIt should also be pointed out that the membrane 19 is not necessarily a thin film or thin layer needs to be. It can also be a relatively thick body, e.g. B. to one Metal block of copper or steel that is near the

Spule 4 angeordnet ist.
30Coil 4 is arranged.
30th

18 Patentansprüche18 claims

6 Figuren6 figures

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Claims

85 P 3 0 5 8 DE claims

1. Shock wave tube with a coil and a membrane arranged on one side of the coil made of electrical conductive material, characterized in that on the other side of the coil (4) a further membrane (19) made of electrically conductive material is arranged.

2. Shock wave tube according to claim 1, characterized in that the membrane (9) and the further membrane (19) consist of the same material.

3. Shock wave tube according to claim 1 or 2, characterized in that the membrane (9) and the further membrane (19) have the same thickness (dl, d2).

4. Shock wave tube according to one of claims 1 to 3, wherein ς

an insulating film is arranged between the coil and the membrane, characterized in that that a further insulating film (17) is arranged between the coil (4) and the further membrane (19) is.

5. Shock wave tube according to one of claims 1 to 4, characterized in that the Coil (4) is flat and has a number of turns (5) which run in a spiral.

6. Shock wave tube according to one of claims 1 to 5, characterized in that the Coil (4) is a flat coil.

• *· VPA 85 P 30 5 80E• * · VPA 85 P 30 5 80E

7. Shock wave tube according to one of claims 1 to 6, characterized in that the Another membrane (19) is an electrically conductive film or layer which is applied to a body (27; 29) is.

8. Shock wave tube according to claim 7, characterized in that the body (27) is a Attenuation body for ultrasound is.

9. Shock wave tube according to claim 8, characterized in that the body (27) consists of consists of a plastic.

10. Shock wave tube according to claim 9, characterized in that the plastic is a metallic powder is added.

11. Shock tube according to claim 10, characterized characterized in that the concentration of the powder with increasing distance from the further Diaphragm (19) decreases.

12. Shock wave tube according to claim 10 or 11, d a characterized in that the Powder is tungsten powder.

13. Shock wave tube according to one of claims 7 to 12, characterized in that the Body (29) 'consists of an aluminum oxide ceramic.

14. Shock wave tube according to one of claims 7 to 13, characterized in that the electrically conductive layer is a copper or aluminum layer.

15. Shock wave tube according to one of claims 1 or 13, characterized in that at least one of the membranes (9, 19) is made from a bronze alloy or molybdenum.

16. Shock wave tube according to one of claims 1 to 15, characterized in that the Coil is enclosed by a spacer ring (21), and that the two membranes (9, 19) are frictionally engaged at their edge are connected to the spacer ring (21).

17. Shock wave tube according to one of claims 1 to 16, characterized in that the coil (4) with insulating film (7, 17) is made from a printed circuit board.

18. Shock wave tube according to one of claims 1 to 17, characterized in that the coil (4) consists of two parallel sub-coils (4A, 4B).