DE3442897A1

DE3442897A1 - Gas laser

Info

Publication number: DE3442897A1
Application number: DE19843442897
Authority: DE
Inventors: Frank Dr.rer.nat. 7000 Stuttgart Ackermann; Rudolf Dipl.-Ing. 7481 Hettingen Steinle; Jürgen Dipl.-Ing. 7144 Asperg Weick; Reinhard Dr.rer.nat. 7143 Riet Wollermann
Original assignee: Trumpf SE and Co KG
Current assignee: Trumpf SE and Co KG
Priority date: 1984-11-24
Filing date: 1984-11-24
Publication date: 1986-07-03

Abstract

Fundamentally, heat is produced during operation of a laser. Said heat must be dissipated in a suitable manner since it reduces the power. In this case, the power loss is less the quicker the heat is dissipated. In the case of a gas laser, heat dissipation is achieved in a known manner in that the gas, which is located inside the tubular body (1) and is at the same time required for producing the laser beam which is likewise located in the tubular body, is passed to the exterior, is cooled, and is fed in again. Particularly in the case of a gas laser having transverse injection of, preferably, radio-frequency electrical power, additional cooling is achieved by cooling the electrodes (2 and 3) directly with fluid. In consequence, the invention provides that each electrode (2, 3) have at least one cooling duct for such a fluid cooling medium, especially water. This cooling medium is fed into each cooling duct at at least one point and is carried away at at least one further point in order to pass it to a further cooling device. It is possible without any problems to use a common cooling device for the fluid cooling medium of the electrodes (2 and 3) and for the laser gas in the tubular body (1). <IMAGE>

Description

Gas-Laser Gas laser

Die Erfindung bezieht sich auf einen Gas-Laser mit Quereinkopplung von vorzugsweise hochfrequenter elektrischer Energie mit einem rohrartigen Körper zur Aufnahme eines Laser-Gasstroms, wobei der rohrartige Körper mindestens je einen Anschluß für den Ein-bzw. Austritt des Laser-Gasstroms aufweist und längs des rohrartigen Körpers etwa gegenüberliegend mindestens je eine Elektrode für die Zuführung der elektrischen Energie angebracht ist. Die Erzeugung des Laserstrahls ist grundsätzlich mit einer je nach Leistung mehr oder weniger starken Wärmebildung verbunden, und dies gilt insbesondere bei größeren Lasern, die mit Hochfrequenz-Energie arbeiten. Diese Wärme muß möglichst rasch und vollständig abgeführt werden, weil die Laserleistung mit zunehmender Erwärmung sinkt. Wenn man das Laser-Gas an mindestens einer Stelle des rohrartigen Körpers ableitet und einer Kühlvorrichtung zuführt, so kann mit deren Hilfe zwar einen Teil der entstandenen Wärme abführen, jedoch nicht die gesamte Wärme. Das gekühlte Laser-Gas wird dem rohrartigen Körper an zumindest einer zweiten Stelle wieder zugeführt. Bei einem Laser geringer Leistung wird das Laser-Gas, beispielsweise im Bereich des einen Endes eingespeist und im Bereich des anderen Endes des rohrartigen Körpers abgezogen. Ein derartiger Laser wird als längsgeströmter Laser bezeichnet. Bei höheren Leistungen kann man den Laser-Gasstrom bereits nach Durchströmen einer Teillänge des rohrartigen Körpers abziehen, vçes;vegen der rohrartige Körper in diesem Falle mehrere Ein-und Auslässe aufweist.The invention relates to a gas laser with cross coupling of preferably high frequency electrical energy with a tubular body for receiving a laser gas flow, the tubular body at least one each Connection for the one or. Has exit of the laser gas flow and along the tubular Body approximately opposite at least one electrode each for feeding the electrical energy is attached. The generation of the laser beam is fundamental associated with a more or less strong heat build-up depending on the performance, and this applies in particular to larger lasers that work with high-frequency energy. This heat must be dissipated as quickly and completely as possible, because the laser power with increasing warming sinks. If you have the laser gas on at least derives from a point of the tubular body and supplies it to a cooling device, with their help, some of the heat generated can, however, be dissipated not all of the heat. The cooled laser gas is attached to the tubular body at least fed back to a second location. With a low power laser, this will be Laser gas, for example, fed in the area of one end and in the area the other end of the tubular body peeled off. Such a laser is called called a longitudinally flowing laser. At higher powers one can use the laser gas flow Pull off after flowing through part of the length of the tubular body, vçes; vegen the tubular body in this case has several inlets and outlets.

Wenn der Gas-Laser mit elektrischer Energie, insbesondere Hochfrequenz-Energie, betrieben wird, so erstrecken sich die beiden Elektroden in der Regel über die gesamte Länge des rohrartigen Körpers, zumindest aber über einen Großteil der Länge. Der rohrartige Körper hat dabei in bevorzugter Weise eine langgestreckte gerade Form. Außer dem Laser-Gas enthält er selbstverständlich auch den Laser-Strahl, der an vorgegebener Stelle austritt, um irgendeinem Zweck nutzbar gemacht zu werden, beispielsweise ein Werkstück, vorzugsweise eine Blechtafel zu schneiden.If the gas laser is using electrical energy, especially high-frequency energy, is operated, the two electrodes usually extend over the entire Length of the tubular body, but at least over a large part of the length. Of the tubular body preferably has an elongated straight shape. In addition to the laser gas, it naturally also contains the laser beam, which is on Exits a given place in order to be made usable for some purpose, for example to cut a workpiece, preferably a sheet of metal.

Die Aufgabe der Erfindung besteht infolgedessen darin, einen Gas-Laser der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß bei einem Laser vorgegebener Größe die abgegebene Leistung erhöht wird.The object of the invention is therefore to provide a gas laser of the type mentioned so that with a laser of a given size the output power is increased.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß der Gas-Laser gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, entsprechend dem kennzeichnenden Teil dieses Anspruchs ausgebildet ist. Durch die Anbringung wenigstens eines Kühlkanals an jeder Elektrode kann man mit Hilfe des durch diesen oder diese hindurchströmenden flüssigen Kühlmediums die Elektrode kühlen und damit in der angestrebten Weise die abgegebene Laser-Leistung erhöhen. Selbstverständlich hängt die Kühlleistung von der Größe und Anzahl der Kühlkanäle sowie der Strömungsgeschwindigkeit in letzterem wesentlich ab. Außerdem spielen auch die Wärmeleitfähigkeit der Elektrode und die physikalische Eigenschaft des flüssigen Kühlmediums eine Rolle. Des weiteren sind die Form, insbesondere Querschnittsform, von Elektrode und Kühlkanal bzw. -kanälen sowie die Wanddicken von Bedeutung. An sich ist vorgesehen, daß jede Elektrode wenigstens einen, vorzugsweise aber mehrere Kühlkanäle aufweist, jedoch schließt dies nicht aus, daß in einem Sonderfall bei bestimmter Formgebung auch ein gemeinsamer Kühlkanal für beide Elektroden vorhanden sein kann. Im übrigen ist Sorge zu tragen, daß die elektrische Sicherheit durch die unmittelbare Rühlung der Elektroden nicht beeinträchtigt wird, wobei sich die zu ergreifenden Sicherheitsmaßnahmen nach der Art des Kühlmediums und der elektrischen Energie richten.To solve this problem it is proposed according to the invention that the gas laser according to the preamble of claim 1, corresponding to the characterizing part Part of this claim is formed. By attaching at least one cooling channel at each electrode one can with the help of the flowing through this or these electrodes liquid cooling medium cool the electrode and thus in the desired way the Increase the output laser power. Of course, the cooling capacity depends on the size and number of cooling channels and the flow rate in the latter significantly. In addition, the thermal conductivity of the electrode and the physical properties of the liquid cooling medium play a role. Furthermore are the shape, in particular the cross-sectional shape, of the electrode and cooling channel or channels as well as the wall thicknesses of importance. It is provided that each electrode at least one, but preferably several cooling channels, but this does not include from that in a special case with a certain shape and a common cooling channel can be present for both electrodes. In addition, care must be taken that the electrical safety is not affected by the immediate cooling of the electrodes will, taking the too taking security measures after the Align the type of cooling medium and electrical energy.

In Weiterbildung der Erfindung wird vorgeschlagen, daß jeder Elektrode eine Kühlvorrichtung oder beiden Elektroden eine zusammengefaßte Kühlvorrichtung hydraulisch zugeordnet ist. Wenn man jeder Elektrode eine separate Kühlvorrichtung zuordnet, so kann dies zu einem höheren Kostenaufwand und größeren Platzbedarf, aber möglicherweise auch zu einer effektiveren Kühlung führen. Um den Leitungswiderstand gering zu halten und das Medium möglichst rasch kühlen zu können, ist es zweckmäßig, wenn die Kühlvorrichtung von den Elektroden einen geringen Abstand aufweist. In a further development of the invention it is proposed that each electrode a cooling device or both electrodes a combined cooling device is assigned hydraulically. If you have a separate cooling device for each electrode assigns, this can lead to higher costs and greater space requirements, but may also lead to more effective cooling. To the line resistance to keep the medium low and to be able to cool the medium as quickly as possible, it is advisable to when the cooling device is at a small distance from the electrodes.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, daß sich der Kühlkanal oder die Kühlkanäle im Innern der Elektrode befindet bzw. befinden. Dies bedeutet, daß an Stelle der bekannten flachen Elektroden solche mit größerem Querschnitt Verwendung finden, wobei sich die Querschnittsform und -größe nach dem Querschnitt und der Zahl der Kühlkanäle richtet. Es ist daran gedacht, daß die Kühlkanäle im Innern der Elektrode keine Leitungen für das Kühlmedium aufnehmen, sondern letzteres unmittelbar darin strömt. Bei mehreren Kanälen kann man deren Ein- und Auslaßenden innerhalb oder außerhalb der Elektroden zusammenfassen, so daß pro Elektrode jeweils nur eine Zu- und Abführleitung erforderlich ist. Schließlich kann man auch noch die beiden Zu- und Abführleitungen der beiden Elektroden, insbesondere in unmittelbarer Nähe der letzteren zusammenfassen. Another embodiment of the invention is that the cooling channel or channels are located inside the electrode. This means that instead of the known flat electrodes, those with larger Find cross-section use, the cross-sectional shape and size according to the Cross-section and the number of cooling channels is aimed. It is thought that the cooling channels Do not take up any lines for the cooling medium inside the electrode, but rather the latter flows directly in it. If there are several channels, you can choose their inlet and outlet ends summarize inside or outside the electrodes, so that each electrode only one supply and discharge line is required. Finally you can the two feed and discharge lines of the two electrodes, especially in the immediate vicinity Summarize proximity of the latter.

Eine weitere Variante der Erfindung sieht vor, daß jede Elektrode auf einem Teilumfang des rohrartigen Körpers anliegt. Das bedeutet, daß die am rohrartigen Körper anliegende Oberfläche der Elektrode der betreffenden Mantelfläche des rohrartigen Körpers entsprechend geformt ist, um dadurch einen möglichst großflächigen Kontakt zwischen Elektrode und rohrartigem Körper zu gewährleisten. Der Begriff "rohrartiger Körper" umfaßt alle bekannten Rohrformen, also beispielsweise Rohre mit kreisrundem oder auch eckigem Außenumfang. Daß die Länge des rohrartigen Körpers größer sein kann als diejenige der Elektrode ist hiervon unberührt.Another variant of the invention provides that each electrode rests on a partial circumference of the tubular body. That means that the most tubular Body adjacent surface of the electrode of the relevant lateral surface of the tubular Body is shaped accordingly, in order to achieve the largest possible contact to ensure between the electrode and the tubular body. The term "tubular Body "includes all known tube shapes, for example tubes with a circular or angular outer circumference. That the length of the tubular body can be greater can as that of the electrode is unaffected.

Des weiteren ist es sehr vorteilhaft, daß die Elektroden mittels einer Haltevorrichtung an den rohrartigen Körper angepreßt sind, um dadurch den für einen raschen Wärmeübergang notwendigen innigen Flächenkontakt zu verstärken.Furthermore, it is very advantageous that the electrodes by means of a Holding device are pressed against the tubular body, thereby for a rapid heat transfer to reinforce the necessary intimate surface contact.

Bei einem Laser mit einer Laser-Gas-Kühlvorrichtung wird gemäß einer anderen Ausbildung der Erfindung vorgeschlagen, daß die Laser-Gas-Kühlvorrichtung als gemeinsame Kühlvorrichtung für das Laser-Gas und das flüssige Kühlmedium der Elektroden ausgebildet ist. Somit verursacht die zusätzliche Elektrodenhlung zumindest keinen wesentlichen Mehraufwand für die Kühlvorrichtung. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß das flüssige Kühlmedium einen ersten Kühler für das Laser-Gas der gemeinsamen Kühlvorrichtung durchströmt und ein zweiter Kühler für die Kühlflüssigkeit von einem zusätzlichen Kühlmedium durchströmbar ist. Das zusätzliche Kühlmedium entnimmt beispielsweise in einem Wärmetausch dem flüssigen Kühlmedium für das Laser-Gas einen Teil seiner Wärme, während in einem weiteren Wärmeaustausch das flüssige Kühlmedium seinerseits aus dem Laser-Gas Wärme abführt. Damit wird also das Laser-Gas indirekt auch vom zusätzlichen Kühlmedium gekühlt. Bei letzterem kann es sich durchaus um Wasser, Frigen od. dgl. handeln.In the case of a laser with a laser gas cooling device, according to a Another embodiment of the invention proposed that the laser gas cooling device as a common cooling device for the laser gas and the liquid cooling medium of the Electrodes is formed. Thus, the additional electrode creates at least one no significant additional expense for the cooling device. An advantageous further development of the invention is that the liquid cooling medium is a first cooler for the laser gas flows through the common cooling device and a second cooler for the cooling liquid to be flown through by an additional cooling medium is. The additional cooling medium is removed from the liquid in a heat exchange, for example Cooling medium for the laser gas part of its heat, while in another Heat exchange, the liquid cooling medium in turn removes heat from the laser gas. This means that the laser gas is also cooled indirectly by the additional cooling medium. The latter can definitely be water, Frigen or the like.

Eine andere Variante der Erfindung sieht vor, daß der rohrartige Körper aus elektrisch nichtleitendem Material, insbesondere aus Glas oder Keramik gefertigt ist. Dadurch wird eine elektrische Verbindung der beiden Elektroden über den rohrartigen Körper vermieden.Another variant of the invention provides that the tubular body made of electrically non-conductive material, in particular made of glass or ceramic is. This creates an electrical connection between the two electrodes via the tubular Body avoided.

Das flüssige Kühlmedium kann vorteilhafterweise elektrisch leitend sein. Insbesondere verwendet man Wasser. Obwohl dieses die Elektroden unmittelbar durchströmt, läßt sich beispielsweise ein Hochfrequenz-Laser trotzdem elektrisch sicher bauen. Die Zuführungsleitung und die Ableitung für das Wasser zur bzw. von der Elektrode kann in Kunststoff ausgeführt werden, jedoch ist dies nicht die einzige Lösungsmöglichkeit für das Problem der elektrischen Sicherheit.The liquid cooling medium can advantageously be electrically conductive be. In particular, one uses water. Although this the electrodes directly flows through, for example, a high-frequency laser can still be electrical build safely. The supply line and the discharge line for the water to and from the electrode can be made of plastic, but this is not the only one Possible solution to the problem of electrical safety.

Eine andere Ausführungsform besteht darin, daß das flüssige Kühlmedium elektrisch nicht leitend ist. Für Laser, die nicht mit Hochfrequenz-Energie arbeiten, kann dies vorteilhaft sein.Another embodiment is that the liquid cooling medium is not electrically conductive. For lasers that do not work with high frequency energy, this can be beneficial.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung.The invention is explained in more detail below with reference to the drawing. The drawing shows an embodiment of the invention.

Hierbei stellen dar: Fig. 1 Schematisch in Blockschaltbildart einen Gas-Laser mit Quereinkopplung, Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie II-II der Fig. 1 in vergrößertem Maßstab.The figures show: FIG. 1 schematically in the form of a block diagram Gas laser with transverse coupling, FIG. 2 shows a section along the line II-II of FIG. 1 on an enlarged scale.

Der rohrartige Körper 1 des Gas-Lasers besteht aus einem elektrisch nichtleitenden Material, beispielsweise aus Glas. Er hat einen kreisringförmigen Querschnitt und eine langgestreckte gerade Form. Gegenüberliegend befinden sich Elektroden 2 und 3 für eine Quereinkopplung hochfrequenter elektrischer Enerqie. Ihre anlieqenden Fläche 4 bzw. 5 sind dem Außenmantel des rohrartiqen Körpers 1 genau anepaßt. so daß ein autes und vollständiaes Anliegen am zugeordneten Teilstück des Außenmantels des rohrartiqen Körpers qewährleistet ist. Die Länge der Elektroden entspricht im wesentlichen derjenigen des rohrartigen Körpers. Im übrigen kann die Außenfläche der vergleichweise massiven Elektroden rechteckig sein, wie Fig. 2 der Zeichnung zeigt. Um eine gute direkte Kühlung der Elektroden zu erreichen, besitzen sie mehrere, vorzugsweise in Längsrichtung und parallel verlaufende Kanäle, durch welche ein Kühlmedium, beispielsweise Kühlwasser strömt. Beim Ausführungsbeispiel ist zwar vorgesehen, daß sich der Kühlkanal 6 vom einen bis zum anderen Ende der Elektrode erstreckt, so daß das flüssige Kühlmedium am einen Ende eingeleitet und am gegenüberliegenden abgezogen wird, jedoch muß dies nicht notwendigerweise so sein. Es ist durchaus denkbar, daß in Längsrichtung der Elektroden gesehen, mehrere Zu- und Abströmbohrungen vorgesehen sind, so daß das Kühlmedium jeweils nur eine Teillänge durchströmt, wodurch eine intensivere Kühlung möglich wird.The tubular body 1 of the gas laser consists of an electric non-conductive material such as glass. It has a circular ring Cross-section and an elongated straight shape. Opposite are Electrodes 2 and 3 for cross-coupling of high-frequency electrical energy. Their adjacent surfaces 4 and 5 are the outer jacket of the tubular body 1 precisely adjusted. so that an authentic and complete concern for the assigned section the outer jacket of the tubular body is guaranteed. The length of the electrodes corresponds essentially to that of the tubular body. In addition, the The outer surface of the comparatively solid electrodes can be rectangular, as in FIG. 2 the Drawing shows. In order to achieve good direct cooling of the electrodes, have several, preferably in the longitudinal direction and parallel channels through which a cooling medium, for example cooling water, flows. In the exemplary embodiment although it is provided that the cooling channel 6 from one to the other end of the Electrode extends so that the liquid cooling medium is introduced at one end and is deducted from the opposite, but this does not necessarily have to be the case be. It is quite conceivable that, seen in the longitudinal direction of the electrodes, several Inflow and outflow bores are provided so that the cooling medium only one Partial length flows through, whereby a more intensive cooling is possible.

Im Innern des rohrartigen Körpers 1 strömt in bekannter Weise ein Laser-Gas, welches gleichfalls gekühlt wird. Diesbezüglich gilt dasselbe wie beim flüssigen Kühlmedium der Elektroden. Die Ausbildung des Kühlkreislaufs, gemäß dem das Gas beispielsweise am einen Ende 9 des rohrartigen Körpers zugeführt und am gegenüberliegenden anderen Ende 10 abgezogen wird, ist nur eine der verschiedenen Möglichkeiten und wird vorzugsweise bei Lasern geringerer Leistung angewandt. Das abfließende heiße Gas durchströmt eine erste Kühlvorrichtung 11, mit welcher der rohrartige Körper 1 über eine Leitung 12 verbunden ist. In Strömungsrichtung vor oder hinter dieser Kühlvorrichtung befindet sich ein Gebläse 13.Inside the tubular body 1 flows in in a known manner Laser gas, which is also cooled. In this regard, the same applies as for liquid cooling medium for the electrodes. The formation of the cooling circuit, according to the the gas is supplied, for example, at one end 9 of the tubular body and at opposite other end 10 is pulled off, is only one of the different Possibilities and is preferably used for lasers with lower power. That outflowing hot gas flows through a first cooling device 11, with which the tubular body 1 is connected via a line 12. Forward in the direction of flow or a fan 13 is located behind this cooling device.

über eine weitere Leitung 14 gelangt das gekühlte Gas bei diesem "einfachen" Kreislauf wieder zum einen Ende 9 des rohrartigen Körpers 1. Dieser Kreislauf ist durch die Pfeile 15 und 16 symbolisiert.The cooled gas arrives via a further line 14 in this "simple" Circuit again to one end 9 of the tubular Body 1. This one The cycle is symbolized by arrows 15 and 16.

Entsprechend sind bei dem ebenfalls nur 'einfach" ausgebildeten Kühlkreislauf jeder Elektrode 2 bzw. 3 durch Pfeile 17 und 18 die Strömungsrichtungen durch weitere Kühlvorrichtungen 19 bzw. 20 symbolisiert. An Stelle getrennter Kühlvorrichtungen 19 und 20 für jede Elektrode 2 bzw. 3 kann man auch eine zusammengefaßte Kühlvorrichtung vorsehen. Des weiteren kann es sehr vorteilhaft sein, wenn man nicht nur die Kühlvorrichtungen 19 und 20 der Elektroden 2 und 3 zusammenfaßt, sondern mit der ersten Kühlvorrichtung 11 zusammen eine nicht dargestellte gemeinsame Kühlvorrichtung bildet. Dabei kann dann das flüssige Kühlmedium, welches die Kanäle der Elektroden 2 und 3 durchströmt, in einen ersten Kühler einer derartigen gemeinsamen Kühlvorrichtung geleitet werden, der als Kühler für das heiße Laser-Gas dient. Ein zweiter Kühler wird dann von einem zusätzlichen Kühlmedium, welches also weder den rohrartigen Körper 1 noch die Elektroden durchströmt, durchflossen und dieser zweite Kühler kühlt das flüssige Kühlmedium, so daß das Laser-Gas indirekt von diesem zusätzlichen Kühlmedium gekühlt wird.Correspondingly, the cooling circuit, which is likewise only 'simply' designed, is each electrode 2 and 3 by arrows 17 and 18 the flow directions through further Cooling devices 19 and 20 symbolized. Instead of separate cooling devices 19 and 20 for each electrode 2 or 3, one can also use a combined cooling device provide. Furthermore, it can be very beneficial not to just use the cooling devices 19 and 20 of the electrodes 2 and 3 combined, but with the first cooling device 11 together form a common cooling device, not shown. Here can then the liquid cooling medium, which flows through the channels of electrodes 2 and 3, be passed into a first cooler of such a common cooling device, which serves as a cooler for the hot laser gas. A second cooler is then used by one additional cooling medium, which therefore neither the tubular body 1 nor the electrodes flows through, flows through and this second cooler cools the liquid cooling medium, so that the laser gas is cooled indirectly by this additional cooling medium.

An den beiden Enden des rohrartigen Körpers 1 befinden sich in bekannter Weise Spiegeleinheiten 21 bzw. 22. Außerdem ist in Fig.At the two ends of the tubular body 1 are known Way mirror units 21 and 22. In addition, in Fig.

1 noch schematisch ein Hochfrequenzgenerator 23 eingezeichnet.1 shows a high-frequency generator 23 schematically.

Seine Verbindung mit den Elektroden 2 und 3 ist ebenfalls schematisch durch die Leitungen 24 und 25 symbolisiert.Its connection to electrodes 2 and 3 is also schematic by the lines 24 and 25 symbolized.

Damit die Elektroden 2 und 3 fest und innig am rohrartigen Körper 1 anliegen, sind noch zwei Haltevorrichtungen 26, 27 eingezeichnet. Bei der Darstellung gemäß Fig. 2 handelt es sich ebenfalls nur um eine schematische Ausbildung einer solchen Haltevorrichtung. Im übrigen wird ausdrücklich darauf hingewiesen, daß zwar die Elektroden 2 und 3 des Ausführungsbeispiels gewissermaßen dickwandige Elektroden sind, in deren Innerem sich die Strömungskanäle 6 und 7 für das Kühlmittel befinden, daß es jedoch auch möglich ist, wie bisher, dünnere flache Elektroden zu verwenden, die an ihrer vom rohrartigen Körper 1 abgewandten Fläche einen oder mehrere Kühlkanäle tragen.So that the electrodes 2 and 3 firmly and intimately on the tubular body 1, two holding devices 26, 27 are shown. In the representation according to FIG. 2, it is also only a schematic design of a such holding device. In addition, it is expressly pointed out that although the electrodes 2 and 3 of the embodiment are to a certain extent thick-walled electrodes are inside, the flow channels 6 and 7 for the coolant are, that, however, it is also possible, as before, to use thinner flat electrodes, the one or more cooling channels on their surface facing away from the tubular body 1 wear.

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Claims

Claims 1. Gas laser with coupling of preferably high frequency electrical energy, with a tubular body for receiving a laser gas flow, wherein the tubular body has at least one connection each for the inlet and outlet of the laser gas flow and approximately opposite one another along the tubular body an electrode for the supply of electrical energy is attached, thereby characterized in that each electrode (2, 3) has at least one cooling channel (6) for one having liquid cooling medium.

2. Laser according to claim 1, characterized in that each electrode (2, 3) a cooling device (19, 20) or both electrodes combined Cooling device is assigned hydraulically.

3. Laser according to claim 1 or 2, characterized in that the cooling duct or ducts (6) are located or inside the electrode (2, 3) are located.

4. Laser according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that each electrode (2, 3) on a partial circumference of the tubular body (1) is present.

5. Laser according to at least one of the preceding claims, characterized marked that the electrodes (2, 3) by means of a holding device (26, 27) are pressed against the tubular body (1).

6. Laser with a laser gas cooling device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the laser gas cooling device as a common cooling device for the laser gas and the liquid cooling medium of the Electrodes is formed.

7. Laser according to claim 6, characterized in that the liquid Cooling medium a first cooler for the laser gas of the common cooling device flows through and a second cooler for the coolant from an additional Cooling medium can flow through.

8. Laser according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that the tubular body (1) made of electrically non-conductive material, in particular made of glass or ceramic.

9. Laser according to at least one of the preceding claims, characterized characterized in that the liquid cooling medium is electrically conductive, in particular water is.

10. Laser according to at least one of claims 1 to 8, characterized in that that the liquid cooling medium is electrically non-conductive.